JPH03229681A - 洗浄方法及び装置 - Google Patents
洗浄方法及び装置Info
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- JPH03229681A JPH03229681A JP23403689A JP23403689A JPH03229681A JP H03229681 A JPH03229681 A JP H03229681A JP 23403689 A JP23403689 A JP 23403689A JP 23403689 A JP23403689 A JP 23403689A JP H03229681 A JPH03229681 A JP H03229681A
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Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、溶剤を用いて洗浄する技術に関するものであ
る。
る。
溶剤を用いて洗浄する方法としては、作業の能率上、被
洗浄物の出し入れの為 開放状態の開口部を持った洗浄
装置が一般的である。
洗浄物の出し入れの為 開放状態の開口部を持った洗浄
装置が一般的である。
しかしながら、被洗浄物の形状は、小さかったり複雑で
あったりするため、籠等の中Ｃ二線めて入れ、洗浄操作
を行なうのが普通であり、この為、この出し入れの際の
、溶剤の洩れや、同伴による溶剤の損失を避けることは
困難であり、特開昭５９−１３２９０２や特開昭８１−
１３６４７８等の提案があるが、未だ不充分である。
あったりするため、籠等の中Ｃ二線めて入れ、洗浄操作
を行なうのが普通であり、この為、この出し入れの際の
、溶剤の洩れや、同伴による溶剤の損失を避けることは
困難であり、特開昭５９−１３２９０２や特開昭８１−
１３６４７８等の提案があるが、未だ不充分である。
又、一つの洗浄器に被洗浄物を設置し密閉後、洗浄、溶
剤除去後、被洗浄物を取り出す洗浄設備も提案されてい
るが稼動効率が悪く実用的でない。このため５作業環境
上から、溶剤の毒性や燃焼性が問題となり、用いられる
溶剤の種類が限定され、最近では高価ではあるが塩化弗
素化炭化水素が用いられている。しかしながら塩化弗素
化炭化水素は地球のオゾン層破壊の原因となることがわ
かり、その使用の制限が計られており、損失の減少や他
の溶剤への転換が必要となっている。また、被洗浄物の
出し入れ口を覆い、拡散してくる溶剤を含むガスを集め
、溶剤回収装置にて回収する方法が提案されているが、
溶剤の殆んどを回収する為には多量の空気を同伴する為
、回収溶剤ガス濃度が薄く、たかだか０．１パ一セント
程度にしかならない。この為、液化してふたたび液溶剤
として用いるようにする為には複雑な操作と高い費用を
必要とするのが普通である。又、回収ガスの取扱い量も
多く、大きな回収設備を要し、設備コストも高く、必要
床面積も大きい。又１回収される溶剤の品質にも問題が
ある。
剤除去後、被洗浄物を取り出す洗浄設備も提案されてい
るが稼動効率が悪く実用的でない。このため５作業環境
上から、溶剤の毒性や燃焼性が問題となり、用いられる
溶剤の種類が限定され、最近では高価ではあるが塩化弗
素化炭化水素が用いられている。しかしながら塩化弗素
化炭化水素は地球のオゾン層破壊の原因となることがわ
かり、その使用の制限が計られており、損失の減少や他
の溶剤への転換が必要となっている。また、被洗浄物の
出し入れ口を覆い、拡散してくる溶剤を含むガスを集め
、溶剤回収装置にて回収する方法が提案されているが、
溶剤の殆んどを回収する為には多量の空気を同伴する為
、回収溶剤ガス濃度が薄く、たかだか０．１パ一セント
程度にしかならない。この為、液化してふたたび液溶剤
として用いるようにする為には複雑な操作と高い費用を
必要とするのが普通である。又、回収ガスの取扱い量も
多く、大きな回収設備を要し、設備コストも高く、必要
床面積も大きい。又１回収される溶剤の品質にも問題が
ある。
本発明の目的は１作業の能率を阻害することなく、従来
技術が有している前述の欠点を解消しようとするもので
り、被洗浄物の出し入れ口と、密閉可能な蓋を有する複
数箇以上の洗浄器と、複数個の洗浄器に共用される支援
設備で構成される洗浄装置で、複数個の洗浄器に、次々
と、被洗浄物が供給され、洗浄工程に従って順次処理さ
れ、結果として、被洗浄物の供給、取り出しが、次々と
行なはれるようにした洗浄方法及び、装置を提供するも
のである。
技術が有している前述の欠点を解消しようとするもので
り、被洗浄物の出し入れ口と、密閉可能な蓋を有する複
数箇以上の洗浄器と、複数個の洗浄器に共用される支援
設備で構成される洗浄装置で、複数個の洗浄器に、次々
と、被洗浄物が供給され、洗浄工程に従って順次処理さ
れ、結果として、被洗浄物の供給、取り出しが、次々と
行なはれるようにした洗浄方法及び、装置を提供するも
のである。
以下に図１に従って具体的実施態様例を説明する。これ
は、あくまでも、実施態様例であり、他の具体的方法も
採用可能である。図中、Ａ部分が洗浄型部分であり、８
部分が支援設備である。先ず、 Ｎｏ、ｌからＮｏ、ｎ
かもなる複数筒の洗浄器の内のＮｏ、 １の洗浄器と支
援設備との関係において説明する。
は、あくまでも、実施態様例であり、他の具体的方法も
採用可能である。図中、Ａ部分が洗浄型部分であり、８
部分が支援設備である。先ず、 Ｎｏ、ｌからＮｏ、ｎ
かもなる複数筒の洗浄器の内のＮｏ、 １の洗浄器と支
援設備との関係において説明する。
預め、溶剤器５の内部圧力が−５１１１１１１１１１０
、好ましくは一３０ｍｍＨ＋ ０以下になるようファン
１５が調節される。洗浄操作や溶剤除去操作の間に洗浄
器内をこのような減圧状態にしておくことにより溶剤の
洩れを防止し、又、原石の着装を容易にする事ができる
。この圧力が−５１１１１［１２０より高い場合は、操
業上の圧力変動に対応できない為、目的を達し難い、蒸
気発生器８の内部温度は、溶剤蒸気分圧が、はＣＺ大気
圧になるようヒーター９で加熱され、又、溶剤５°の温
度は、沸点よりも５℃１好ましくは１０℃１更に好まし
くは２０℃以上低（１温度となるよう温度調節器６で調
節しておく。浄器底部のノズル１７の位置は、溶剤器の
溶剤液面レベルよりも高い位置となるように設置する。
、好ましくは一３０ｍｍＨ＋ ０以下になるようファン
１５が調節される。洗浄操作や溶剤除去操作の間に洗浄
器内をこのような減圧状態にしておくことにより溶剤の
洩れを防止し、又、原石の着装を容易にする事ができる
。この圧力が−５１１１１［１２０より高い場合は、操
業上の圧力変動に対応できない為、目的を達し難い、蒸
気発生器８の内部温度は、溶剤蒸気分圧が、はＣＺ大気
圧になるようヒーター９で加熱され、又、溶剤５°の温
度は、沸点よりも５℃１好ましくは１０℃１更に好まし
くは２０℃以上低（１温度となるよう温度調節器６で調
節しておく。浄器底部のノズル１７の位置は、溶剤器の
溶剤液面レベルよりも高い位置となるように設置する。
バルブ１８．１９．２０．２１．２２．２３、を閉とし
ておく。 このような状態にて、蓋２を開きＮｏ、ｌ洗
浄器に、被洗浄物を入れた籠３を設置し１次いで蓋２を
閉めて密閉状態とする。
ておく。 このような状態にて、蓋２を開きＮｏ、ｌ洗
浄器に、被洗浄物を入れた籠３を設置し１次いで蓋２を
閉めて密閉状態とする。
次いでポンプ１２によりバルブ１８、ノズル１７を経て
溶剤を洗浄器１、に導入し、ノズル１６、バルブ２０を
経て溶剤器５に循環するよう番こ操作し液溶剤による洗
浄及び冷却操作を同時に行なう、洗浄器内のガスはノズ
ル１６ バルブ２０を経て容器５のガス相部に押し出
され、コンデンサー７、及び７°にて凝縮され、不活性
気体はファン１５、溶剤回収装置ＩＩを経て放出される
。溶剤回収装置としては、−船釣に良く知られている装
置で、好ましくは回収溶剤がそのまま使える装置が良い
、洗浄器Ｉに液溶剤を送り込む前に、あらがじめ ノズ
ル１６、バルブ２２、真空ポンプ１４、ファン１５．溶
剤回収装置１１．を経て洗浄器内の空気をできるだけ除
去しておくことが好ましい、ノズル１６は被洗浄物の位
置よりも高いレベルにあり被洗浄物は自動的に溶剤５゛
により浸漬され。
溶剤を洗浄器１、に導入し、ノズル１６、バルブ２０を
経て溶剤器５に循環するよう番こ操作し液溶剤による洗
浄及び冷却操作を同時に行なう、洗浄器内のガスはノズ
ル１６ バルブ２０を経て容器５のガス相部に押し出
され、コンデンサー７、及び７°にて凝縮され、不活性
気体はファン１５、溶剤回収装置ＩＩを経て放出される
。溶剤回収装置としては、−船釣に良く知られている装
置で、好ましくは回収溶剤がそのまま使える装置が良い
、洗浄器Ｉに液溶剤を送り込む前に、あらがじめ ノズ
ル１６、バルブ２２、真空ポンプ１４、ファン１５．溶
剤回収装置１１．を経て洗浄器内の空気をできるだけ除
去しておくことが好ましい、ノズル１６は被洗浄物の位
置よりも高いレベルにあり被洗浄物は自動的に溶剤５゛
により浸漬され。
同温度となる。 洗浄効果を高める為に回転翼４．や振
動板４゛による攪拌を行なう。勿論、このような低温溶
剤による洗浄操作を行なう前に 高い温度の溶剤で洗浄
したり、異なる洗剤で洗浄操作をする等により洗浄効果
を高めたりする事は本発明実施の上に差し支えない。液
による洗浄が完了後、バルブ１８．２０、を閉め、洗浄
器内の液をノズルＩ７、バルブ１９．を経て溶剤容器５
に流下回収する。もし、又、液溶側洗浄の最後が高い温
度の液体溶剤で洗浄した場合の別の冷却操作として、例
えば、減圧ポンプにて洗浄器内部を減圧とし、液溶剤を
、噴霧する等の方法にて導入し、蒸発せしめて冷却する
方法をとってもよい。
動板４゛による攪拌を行なう。勿論、このような低温溶
剤による洗浄操作を行なう前に 高い温度の溶剤で洗浄
したり、異なる洗剤で洗浄操作をする等により洗浄効果
を高めたりする事は本発明実施の上に差し支えない。液
による洗浄が完了後、バルブ１８．２０、を閉め、洗浄
器内の液をノズルＩ７、バルブ１９．を経て溶剤容器５
に流下回収する。もし、又、液溶側洗浄の最後が高い温
度の液体溶剤で洗浄した場合の別の冷却操作として、例
えば、減圧ポンプにて洗浄器内部を減圧とし、液溶剤を
、噴霧する等の方法にて導入し、蒸発せしめて冷却する
方法をとってもよい。
次で、デミスタ−１０，ファン１３ バルブ２Ｉを経
て、沸点に近い飽和溶剤蒸気を蒸気発生器から導入し、
低い温度の被洗浄物の上に溶剤を凝縮させ、その凝縮溶
剤液によって被凝縮物表面に付着している溶解物や微小
不溶物を含んだ溶剤を洗い流し、ノズル１７、バルブ１
９、を経て溶剤容器５．に回収する。該飽和溶剤ガスに
はミストが含まれないよう、デミスタ−１０、を通して
送られる。被洗浄物表面に洗浄液として凝縮する洗浄用
溶剤量は、飽和溶剤蒸気と接する前の被洗浄物温度に関
係する。
て、沸点に近い飽和溶剤蒸気を蒸気発生器から導入し、
低い温度の被洗浄物の上に溶剤を凝縮させ、その凝縮溶
剤液によって被凝縮物表面に付着している溶解物や微小
不溶物を含んだ溶剤を洗い流し、ノズル１７、バルブ１
９、を経て溶剤容器５．に回収する。該飽和溶剤ガスに
はミストが含まれないよう、デミスタ−１０、を通して
送られる。被洗浄物表面に洗浄液として凝縮する洗浄用
溶剤量は、飽和溶剤蒸気と接する前の被洗浄物温度に関
係する。
被洗浄物の温度と洗浄用溶剤蒸気温度との差が５℃以下
では十分な洗浄効果が得られない。
では十分な洗浄効果が得られない。
蒸気発生器８にて蒸発した溶剤に相当する溶剤は、逆止
弁２４を経て溶剤容器５から自動的に補給される。被洗
浄物の温度が上昇し１表面にて凝縮が起こらなくなる頃
に、バルブ１９．２１、を閉め、ファン１３、を止め、
バルブ２２．を開け、真空ポンプ１４を用いて洗浄器内
溶剤ガスを、ノズル１６、バルブ２２、真空ポンプ１４
゜を経てコンデンサー７°に導き、凝縮液化して溶剤容
器５に回収する。更に、バルブ２３を開け、少量の空気
を流入させ、ノズル１６、バルブ２２、真空ポンプ１４
．コンデンサー７゛、ファンン１５、回収装置１１を経
て洗浄器内の溶剤を実質的に完全に追い出し回収する。
弁２４を経て溶剤容器５から自動的に補給される。被洗
浄物の温度が上昇し１表面にて凝縮が起こらなくなる頃
に、バルブ１９．２１、を閉め、ファン１３、を止め、
バルブ２２．を開け、真空ポンプ１４を用いて洗浄器内
溶剤ガスを、ノズル１６、バルブ２２、真空ポンプ１４
゜を経てコンデンサー７°に導き、凝縮液化して溶剤容
器５に回収する。更に、バルブ２３を開け、少量の空気
を流入させ、ノズル１６、バルブ２２、真空ポンプ１４
．コンデンサー７゛、ファンン１５、回収装置１１を経
て洗浄器内の溶剤を実質的に完全に追い出し回収する。
その後バルブ２２を閉め、真空ポンプ１４を停止し、洗
浄器内を大気圧として蓋を開け、被洗浄物を取り出す、
上述の操作を繰り返す。Ａ部分とＢ部分との連結部は、
例えば、フレキシブルなホースで連結し、洗浄器（図−
１のＡ部分）をレール上を移動させながら、それぞれの
洗浄器を順次、前述の操作を自動的に繰り返す事により
５次々と被洗浄物の供給、取り出しを行なう事ができ、
能率的である。
浄器内を大気圧として蓋を開け、被洗浄物を取り出す、
上述の操作を繰り返す。Ａ部分とＢ部分との連結部は、
例えば、フレキシブルなホースで連結し、洗浄器（図−
１のＡ部分）をレール上を移動させながら、それぞれの
洗浄器を順次、前述の操作を自動的に繰り返す事により
５次々と被洗浄物の供給、取り出しを行なう事ができ、
能率的である。
以上述べたように１本発明の洗浄方法及び装置による結
果、被洗浄物の出し入れの作業性は損なはれず１作業環
境への影響は無くなり。
果、被洗浄物の出し入れの作業性は損なはれず１作業環
境への影響は無くなり。
使用溶剤は毒性や燃焼性に関係なく選ぶ事ができる。又
、完全な密閉状態にて十分な攪拌や溶剤蒸気による洗浄
ができ、更に、従来のように、高温溶剤液の上の空間部
で蒸気洗浄操作をするのに比し、洗浄用飽和蒸気のミス
ト除去が完全に行なわれる為、高い洗浄効果が得られる
。又、洗浄、溶剤除去の操作が密閉状態にて行なはれる
上に、各操作は減圧状態でも行なはれ、更に、被洗浄物
の出し入れの際には、洗浄器内の溶剤は実質的に無い状
態にて行なう為、溶剤の損失を、実質的に無くす事がで
き、溶剤回収設備で処理しなければならないガス量も大
幅に減少し、回収設備も非常に小さくなり、場合によっ
ては必要としない程となしうる。
、完全な密閉状態にて十分な攪拌や溶剤蒸気による洗浄
ができ、更に、従来のように、高温溶剤液の上の空間部
で蒸気洗浄操作をするのに比し、洗浄用飽和蒸気のミス
ト除去が完全に行なわれる為、高い洗浄効果が得られる
。又、洗浄、溶剤除去の操作が密閉状態にて行なはれる
上に、各操作は減圧状態でも行なはれ、更に、被洗浄物
の出し入れの際には、洗浄器内の溶剤は実質的に無い状
態にて行なう為、溶剤の損失を、実質的に無くす事がで
き、溶剤回収設備で処理しなければならないガス量も大
幅に減少し、回収設備も非常に小さくなり、場合によっ
ては必要としない程となしうる。
第１図は本発明の実施例を示すフローチャートである。
１−Ｎｏ、 １洗浄器、 ２−Ｎｏ、１洗浄器の蓋、
３− 被洗浄物、４− 振動板。 ４’−−−−攪拌翼、５− 溶剤容器、６− 温度調節
器、６° −−−一温度調節器の熱交換器７７’−一−
コンデンサー、８− 蒸気発生器。 ９− ヒータ、ＩＯ−デミスタ−ｌｍ＝−溶剤回収器、
１２− ポンプ、１１− ファン、１４− 真
空ポンプ、 ＋５ − ファン、１８−１〜１８−
ｎ−Ｎｏ、 １− Ｎｏ、 ｎの洗浄器に連結するバル
ブ１８、 １９−１〜１９− ｎ−Ｎｏ、 １〜Ｎｏｎ
の洗浄器に連結するバルブ１９、 ２０−１〜２０−
ｎ−Ｎｏ、 １〜Ｎｏ、 ｎの洗浄器に連結するバルブ
２旺 ２１−１〜２１− ｎ −、Ｎｏ、 １〜Ｎ
ｏ、 ｎの洗浄器に連結するバルブ２１、 ２２−１２
２ｎ−Ｎｏ、 １〜Ｎｏ、 ｎの洗浄器に連結するバル
ブ２２゜
３− 被洗浄物、４− 振動板。 ４’−−−−攪拌翼、５− 溶剤容器、６− 温度調節
器、６° −−−一温度調節器の熱交換器７７’−一−
コンデンサー、８− 蒸気発生器。 ９− ヒータ、ＩＯ−デミスタ−ｌｍ＝−溶剤回収器、
１２− ポンプ、１１− ファン、１４− 真
空ポンプ、 ＋５ − ファン、１８−１〜１８−
ｎ−Ｎｏ、 １− Ｎｏ、 ｎの洗浄器に連結するバル
ブ１８、 １９−１〜１９− ｎ−Ｎｏ、 １〜Ｎｏｎ
の洗浄器に連結するバルブ１９、 ２０−１〜２０−
ｎ−Ｎｏ、 １〜Ｎｏ、 ｎの洗浄器に連結するバルブ
２旺 ２１−１〜２１− ｎ −、Ｎｏ、 １〜Ｎ
ｏ、 ｎの洗浄器に連結するバルブ２１、 ２２−１２
２ｎ−Ｎｏ、 １〜Ｎｏ、 ｎの洗浄器に連結するバル
ブ２２゜
Claims (9)
- （１）被洗浄物の出し入れ口と、密閉可能な蓋を有する
複数箇以上の洗浄器と、複数個の洗浄器に共用される支
援設備で構成される洗浄 装置で、複数個の洗浄器に、次々と、被洗浄物が供給さ
れ、洗浄工程に従って順次処理され、結果として、被洗
浄物の供給、取り出しが、次々と行なはれるようにした
洗浄方法及び、装置。 - （２）支援設備が、洗浄器への不活性気体や溶剤ガスの
給排、液体洗浄剤の給排、溶剤の除去、及び、溶剤の回
収設備からなる特許請求の範囲第（１）項の洗浄方法及
び装置。 - （３）洗浄工程が洗浄器への被洗浄物の設置、洗浄器蓋
による密閉化後、場合によっては洗浄器内気体を排除し
、次いで、洗浄操作、溶剤除去及び回収操作、洗浄器か
らの被洗浄物の取り出し操作が行なわれる特許請求の範
囲第（１）項の洗浄方法。 - （４）洗浄操作が、支援設備よりの液体溶剤供給により
液体溶剤に浸漬し、場合によっては、溶剤に流れや振動
を与えて洗浄した後、液体洗浄剤を支援設備に返す、（
以後、液体洗浄剤による洗浄と言う。）特許請求の範囲
第（１）項の洗浄方法及び装置。 - （５）洗浄操作が液体洗浄剤による洗浄操作を行なった
時と同時にか、又は、その後に、被洗浄物の温度が、洗
浄用溶剤蒸気の凝縮温度よりも５℃以上、好ましくは１
０℃以上、更に好ましくは２０℃以上低い温度になるよ
うに冷却操作後、被洗浄物が露出した状態にて、洗浄用
溶剤蒸気に接触させて洗浄（以後、蒸気洗浄と言う。）
する特許請求の範囲第（１）項の洗浄方法及び装置。 - （６）蒸気洗浄用溶剤蒸気の溶剤濃度が大気圧で飽和蒸
気濃度に近い濃度である特許請求の範囲第（１）項の洗
浄方法及び装置。 - （７）冷却操作が低い温度の液体洗浄剤に浸漬するか、
液体洗浄剤を抜き出したのち、洗浄器内を減圧とし、洗
浄器内にて液体洗浄剤を蒸発せしてなる、特許請求の範
囲第（１）項の洗浄方法及び装置。 - （８）溶剤除去操作が、沸点以上の温度のガス状溶剤を
送入し、洗浄器内の残存液体洗浄剤を蒸発せしめるか、
洗浄器内を減圧として溶剤を除去するか、不活性気体を
導入し、溶剤を除去するか、又は、これらを併用する特
許請求の範囲第（１）項の洗浄方法及び装置。 - （９）洗浄及び溶剤除去操作の間、洗浄器内の圧力が−
５ｍｍＨ＿２Ｏ以下、好ましくは、−３０ｍｍＨ＿２Ｏ
より低い圧力で行なう特許請求の範囲第（１）項の洗浄
方法及び装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23403689A JPH03229681A (ja) | 1988-09-26 | 1989-09-09 | 洗浄方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63-125465 | 1988-09-26 | ||
| JP12546588 | 1988-09-26 | ||
| JP23403689A JPH03229681A (ja) | 1988-09-26 | 1989-09-09 | 洗浄方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229681A true JPH03229681A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=26461905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23403689A Pending JPH03229681A (ja) | 1988-09-26 | 1989-09-09 | 洗浄方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03229681A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2701872A1 (fr) * | 1993-02-23 | 1994-09-02 | Air Liquide | Procédé de traitement d'objets à l'aide d'un liquide volatil inflammable. |
| JP2009142802A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Sakura Seiki Kk | インライン洗浄装置 |
-
1989
- 1989-09-09 JP JP23403689A patent/JPH03229681A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2701872A1 (fr) * | 1993-02-23 | 1994-09-02 | Air Liquide | Procédé de traitement d'objets à l'aide d'un liquide volatil inflammable. |
| US5454177A (en) * | 1993-02-23 | 1995-10-03 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for the treatment of objects with an inflammable volatile liquid |
| JP2009142802A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Sakura Seiki Kk | インライン洗浄装置 |
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