JPH03230510A - 積層セラミックスコンデンサの製造方法 - Google Patents

積層セラミックスコンデンサの製造方法

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JPH03230510A
JPH03230510A JP2025264A JP2526490A JPH03230510A JP H03230510 A JPH03230510 A JP H03230510A JP 2025264 A JP2025264 A JP 2025264A JP 2526490 A JP2526490 A JP 2526490A JP H03230510 A JPH03230510 A JP H03230510A
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ceramic
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睦男 中島
Atsushi Hagimura
厚 萩村
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稲毛 育夫
Kunio Nishihara
邦夫 西原
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックス積層体素子、特に積層セラミン
クスコンデンサ及びそれら素子の製造方法に関する。
〔従来の技術〕
従来、セラミックスの膜又は薄板と内部電極か交互に積
層されたセラミックス積層体素子、例えば、積層セラミ
ックスコンデンサは以下の方法で製造されるのか通例で
ある。
まず、原料組成物を混合し、仮焼し、この仮焼粉に適当
なバインダ及び溶剤を混合し、この混合物を用いてドク
ターブレード法により薄膜を作成する。この薄膜に金属
電極を印刷し、積層する。
この積層体中の複数の金属電極板を一つ置きに外部電極
に接続して一方の系統を正、他方の系統を負とする。
この製造方法においては、図1に示すように、正、負の
電極板の重なった部分の面積か全断面積よりも小さくし
なければならず、従って周辺部では電極板の重ならない
部分か生じる。
コンデンサの静電容量は電極面積に比例するので、上記
のコンデンサではセラミックス薄膜の全断面積を利用す
ることか出来ず、コンデンサ小型大容量化の障害になっ
ている。又、セラミックスの種類によっては、電圧印加
によって比較的大きな歪みか生しる為に、電極のある部
分とない部分の境界イー1近に[ご力か集中し、長時間
らしくは繰り返しの電圧印加により、セラミックスに破
壊か生したり、内部電極か剥離するような故障か生しる
ことかある。更に叉、このような積層コンデンサを製造
するには内部電極の印刷精度を上げたり、積層時の各グ
リーンソーi・の積層位置t+’i度を上げねはならず
、生産性向上の障害になっている。
上記のような欠ヴを解消する方法として、債Ijり電工
効果素子の例であるか、1+f開昭59  l 155
7!IS’;公報に電気泳動法を利用して、A:i−の
側1’に’+而に露出した電極に対してその全面又は−
層おきに無機絶縁層を形成することを特徴とする電工効
果素子の製造方法か開示されている。そのような製造方
法を用いる場合には上記のような欠点は解消される。し
かし、この方法では5rrc機絶縁層(たいていの場合
はガラス質である)を焼き付けるのに高温を必要とする
ので、経済的ではなく、又、無機の絶縁層はセラミック
ス本体とのなじみが良いため広範囲に付着し、従って側
端面に露出した各々の電極に付着した絶縁層か相互に連
続しないように層間の距離を100ミクロン以上にしな
ければならないといわれ、従って、電極間距離を100
ミクロン以下にして静電容量の高いコンデンサを作るこ
とかできないという欠点かある。
〔発明か解決しようとする課題〕
近年、小型で静電容量の大きい積層セラミックスコンデ
ンサの震要は益々大きくなっている。その為、比誘電率
の高いセラミックスを探索する一方で、いかに−層のセ
ラミックスの厚みを薄くするかに努力かはられれており
、なかには−層の厚みか10ミクロン以下のものまで試
作されている。
このような薄い層を有する積層コンデンサを効率よく生
産するには、前記〔従来の技術〕の中で述へたような欠
点をもたない新規の電極絶縁方法を開発する必要かある
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは、先きに端層電工素子の絶縁方法に関して
てはあるか、ポリアミド酸を電気泳動により内部電極の
素子端露出部に析出させて被11!2層を形成し、その
後加熱によって該被膜層のポリアミド酸樹脂をイミド化
し、得られたボリイミl”Ml脂で絶縁層を形成する方
法を先に出願した(特願平l −171854)。この
出願した方法は、従来困升どいわれていた有機物による
絶縁である点たけてなく、積層体の一層の厚さを100
ミクロン以下にする二とかできるという点においても画
期的であった。更に又、この方法の改良法として、ポリ
アミド酸を内部電極の素子端露出部に析出させる時に同
時に絶縁性フィラーを析出させる方法も提案した(特願
平1−294900)。
本発明者らは、上記方法か面述の積層セラミノタスコン
デンサにも適用できることを発見し、本発明を完成した
即ち、本発明は、 (11セラミックスの膜又は薄板と内部電極板とか交互
に積層されている積層セラミックスコンデンサであって
、該積層セラミックスコンデンサの側端面に該内部電極
板の端面か露出しており、該側端面上の該内部電極板の
露出部とその近傍のセラミックス上のみに、一般式(1
) (式中、Xはフェニル基:ビフェニル基、及びフェニル
基及びビフェニル基の少なくとも1種か0、C01S、
 SO,、CI(2、C(CH3)2及びc(cpa)
zの少なくとも1種によって結合されたポリフェニル基
からなる群から選ばれた四価の基であり、Yはフェニル
基、ビフェニル基;フェニル基及びビフェニル基の少な
くとも1種か0SCO1S、 SO2、CH2、C(C
H,)2及びC(CF3)2の少なくとも1種によって
結合されたポリフェニル基;アルキレン基、及びキシリ
レン基からなる群から選ばれた二価の基である)で表さ
れる繰り返し単位を有するポリイミド樹脂を含有する絶
縁層か形成されていることを特徴とする積層セラミック
スコンデンサ、(2)該コンデンサにおいて、絶縁性フ
ィラーを含有するポリイミド樹脂からなる絶縁層か形成
されている積層セラミックスコンデンサ、 (3)セラミックスの膜又は薄板と内部電極板とか交互
に積層されているセラミックス積層体の側端面に該内部
電極板の端面か露出している該セラミックス積層体を、
一般式(II) (式中、Xはフェニル基、ヒフェニル基 及びフェニル
基及びヒフェニル基の少/i・:とし1f・tが0、c
o、 s、 so2、CIl□、C(C1l、)2及び
C(CF])2の少な:とも1種によって結合されたポ
リフェニル法からなる11tから選はれた四価の店であ
り、)′はフェニル基、ヒフェニル基、フェニル堪及び
ヒフェニル基の少な(とC1種か0、co、 s、 s
o2、C12、C(CIl、)2及びC(CF、)2の
少な・:ともl +=1によって結合されたポリフェニ
ル基、アルキレ、 ll 、 及びキノリレン基からな
る群からrはれたm: fdliの店である)で表され
る繰り返し単位を(fするポリアミド酸樹脂のカルボキ
シル基を塩基で中和し、水で希釈して得た被膜形成剤を
含有する電気泳動浴中こ浸漬し、該セラミックス積層体
の内部電極板を陽極として電気体動を実施して該セラミ
ックス積層体の側端面上の該内部電極板の露出部とその
近傍のみに該ポリアミド酸を析出させて被膜層を形成し
、その後加熱処理して該被膜層のポリアミド酸樹脂をイ
ミド化させて一般式(T) (式中、X及びYは前記の通りである)で表わされる繰
り返し単位を有するポリイミド樹脂を含有する絶縁層を
形成させることを特徴とする前記の積層セラミックスコ
ンデンサの製造方法、(4)セラミ7・クスの膜又は薄
板と内部電極板とか交互に積層されているセラミックス
積層体の側端面に該内部電極板の端面か露出している該
セラミックス積層体を、一般式(II) (式中、Xはフェニル基、ヒフェニル基、及びフェニル
基及びヒフェニル基の少なくとも1種か01CO1S、
 SO□、C112、C(CH3)2及びC(CF3)
2の少なくとも1種によって結合されたポリフェニル基
からなる群から選ばれた四価の基であり、Yはフェニル
基:ヒフェニル基、フェニル基及びヒフェニル基の少な
くとも1種か0、C01S、 SO2、CH2、C(C
H3)2及びC(CF3)2の少な・(とも1種によっ
て結合されたポリフェニル基:アルキレン基、及びキン
リレン基からなる群から選ばれた二価の基である)で表
される繰り返し単位を有するポリアミド酸樹脂と該樹脂
中に分散した絶縁性フィラーとからなる組成物中の該ポ
リアミド酸樹脂のカルボキシル基を塩基で中和し、水で
希釈して得た被膜形成用電気泳動浴中に浸漬し、該セラ
ミックス積層体の内部電極板を陽極として電気体動を実
施して該セラミックス積層体の側端面上の該内部電極板
の露出部とその近傍のみに該ポリアミド酸及び該ポリア
ミド酸で被覆された該絶縁性フィラーを析出させて被膜
層を形成し、その後加熱処理して該被膜層のポリアミド
酸樹脂をイミド化させて一般式(I) (式中、X及びYは前記の通りである)で表わされる繰
り返し単位を有するポリイミド樹脂と絶縁性フィラーと
からなる絶縁層を形成させることを特徴とする積層セラ
ミックスコンデンサーの製造方法、 である。
本発明の製造方法において用いられる上記ポリアミド酸
樹脂はその一部か予めイミド化されていてもよい。
上記の一般式(I)で表わされる繰り返し単位を有する
ポリイミド樹脂及び一般式(II)で表わされる繰り返
し単位を有するポリアミド酸樹脂において、Xの具体例
として次ぎのらのかあるまた、 Yの具体例としては次ぎのちのかある。
前記の 般式(I)で表わされる繰り返し単位 を有するポリイミ ド樹脂のセラミックス積層体基 [オへの密行性及び耐熱性の観点からXかてあり、 Yか 等であることか特に好ましい。
本発明の製造方法において用いられる前記の一般式(I
I)で表わされる繰り返し単位を有するボッアミド酸樹
脂は一般式(III) (式中、 Xは前記の通りである) を存するテトラ カルホン酸無水物類と一般式(IV) 14□N−Y−NH7(IV) (式中、Yは前記の通りである)を有するジアミン類と
の付加反応によって得られる。
上記のテトラカルホン酸無水物類としては、例えば、ピ
ロメリット酸二無水物、3.3’ 、 4.4°−ベン
ゾフェノンテトラカルホン酸二無水物、2.2°、3.
3ヘンシフエノンテトラカルホン酸二無水物、3゜3’
 、 4.4−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、
2.2°、 3.3’−ビフェニルテトラカルボン酸二
無水物、2.2−ヒス(3,4−ジカルボキシフェニル
)ブロバンニ無水物、2.2−ビス(2,3−)カルホ
キジフェニル)プロパンニ無水物、ビス(3,4−ジカ
ルボキシフェニル)エーテルニ無水物、ビス(3,4−
ジカルボキシフェニル)スルホンニ無水物、1.1−ビ
ス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタンニ無水物、
ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタンニ無水物
、ビス(3,4−ジカルボキシルフェニル)メタンニ無
水物、2.3.6.7−ナフタレンテトラカルボン酸二
無水物、1.4.5.8−ナフタレンテトラカルボン酸
二無水物、1,2゜5.6−ナツタレンチトラカルホン
酸二無水物、1.2.3.4−ヘンセンテトラカルホン
酸二無水物、3.4.9.10−ペリレンテトラカルホ
ン酸二無水物、2.3.6.7−アントラセンテトラカ
ルホン酸二無水物、1.2.7.8−フエナントレンテ
[・ラカルホン酸二無水物等が好ましいものとして挙げ
られる。
これらのうちで特に好ましいテトラカルホン酸二無水物
は、ピロメリノ1〜酸二無水物、3.3゛、 〜1.・
1ベンゾエノンテトラカルホノ酸二j低水1勿、3.3
’ 、 4.4−ヒスフェニルテトラカルボン酸二無水
物、およびビス(3,4−ノカルホキノフェニル)エー
テル二無水物である。
」−記のジアミン類としては、3.3°−ノアミノヘン
ゾフェノノ、1.3−ヒス(3−アミノフェノキノ)ヘ
ンセン、4.4’−ヒス(3−アミノフェノキノ)ヒフ
ェニル、2.2−ヒス〔ト(3−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕フェニル〕プロパン、2.2−ヒス〔・1−(
3アミノフエノギノ)フェニル) −1,1,1,3,
3,3ヘキサフロオロプロパン、ヒス〔1−(3−アミ
ノフェノキシ)フェニル〕スルフィト、ヒス〔ト(3ア
ミノフエノキン)フェニル〕ケトン、ビス〔4(3−ア
ミノフェノキノ)フェニル〕スルホン等の、メタ位のジ
アミンか挙げられ、これらは単独で、或いは2種類以上
品合して用いられる。
上記したテトラカルホン酸無水物とジアミンとの反応は
通常、有機溶媒中で実施する。有機溶媒としては、例え
ば、N−メチル−2−ピロリドン、N。
N−ツメジルアセトアミ[・、N、N−ツメチルホルム
アミド、1,3−ツメチル−2−イミダゾリジノン、N
、Nノエチルアセトアミト、N、N−ツメチルメトキノ
アセトアミl’、ツメチルスルホキット、ビリノン、)
/チルスルホン、ヘキサメチルホスホルアl〜、テトラ
メチル尿素、N−メチルカプロラクタム、テトラヒドロ
フラン ン、l,2−ノメトギノエタン、ヒス(2−メトギノエ
チル)エーテル、1,2−ヒス(2−メトキノエトキノ
)エタン、ビス(2−(2−メトキノエトキノ)エチル
〕エーテル等があげられる。これらの有機溶媒は単独で
も或いは2種以上混合して用いても構わない。
反応温度は通常−20°C以上200°C以下、好まし
くは一10°C以上50°C以下、さらに好ましくは0
°C以上である室温程度である。
反応圧力は特に限定されず、常圧で十分実施できる。
反応時間は溶剤の種類、反応温度および用いられるジア
ミンや酸二無水物により異なりうるか、ポリアミド酸の
生成か完了するのに十分な時間反応させるには通常2〜
40時間、好まし・(は4〜21時間程度で十分である
所<シて得られるポリアミド酸溶液はポリアミド酸を5
〜40重Bkg6程度含有する溶液であり、対数粘度か
0. 5 〜4 di/g (35°C、温度0.5 
g/me、N。
N−ジメチルアセトアミドでilt11定した値)程度
であるものか後述する水溶化性、及び加熱処理後のポリ
イミドの被膜物性に優れるので望ましい。
本発明ては、また、上記のようにして得られたポリアミ
ド酸に絶縁性フィラーを添加することもてきる。添加の
方法としては、絶縁性フィラーかポリアミド酸中に十分
に分散される方法であれは、ロール混練やホールミル等
のいずれの方法でもよい。絶縁性フィラーの添加量は2
〜70容量96程度か好ましい。添加量かあまりに少な
いと添加効果は現われず、逆に多すぎると最終的な電気
泳動浴中で絶縁性フィラーか沈澱してしまうので好まし
くない。
本発明で用いる絶縁性フィラーは、抵抗率105Ω・c
m程度以上の電気抵抗を示すものであれば無機化合物で
あっても、有機化合物であってもよい。このような絶縁
性フィラーとして用いられる無機化合物としては、ベリ
リウム、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、ホ
ウ素、珪素、スカンノウム、イツトリウム、ランタン、
チタン、ジルコニウム、ハフニウム及び希土類の酸化物
や複合酸化物、アルミニウム、ホウ素、珪素、チタン、
ジルコニウム、ハフニウム等の窒化物や酸窒化物、炭化
珪素のような炭化物か例示される。又、有機化合物とし
ては、電気ぶ動浴中て溶解しないものである必要かあり
、そのようなものとしてはソリコーン樹脂、テフロンで
代表されるフッ素系樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂
、エボキノ樹脂、アクリル樹脂等が例示される。
本発明においては絶縁性フィラーの形状は、粒子状、繊
維状等を問わず任意であるが、寸法については必要とさ
れる絶縁層膜の厚さとの関係て決定される。つまり、絶
縁性フィラーの最大径が絶縁層膜の最小厚みより小さい
二とが必要である。
更に、工業的には電気泳動浴中て良なTな分散状態を保
つことか重保である点を考1σずれは、絶縁性フィラー
の平均径は20ミクロン以下、好ましくは10ミクロン
以下であることが′−1!圭しい。
本発明の製造方法においては、ポリアミ)・酸溶液中に
絶縁性フィラーを分散:r+するが否かにかかわらす、
前記の一般式(■)で表わされろ繰り返し!ii位をf
I−するポリアト酸+S+脂は水の存在下で塩基、例え
はアミン又はアルカリ仝属イオンの添加によって、ぞの
COO++活かC0D−イオンに解離して水に可i8と
なるか又は安定にコロイi・分散することかでき、これ
は電気1水動によって陽極であるセラミックス漬層体側
端而に露出した内部電極板上に析出し、不溶化すること
かできる。
上記の塩基としては、アンモニア:ジアルキルアミン、
ジェタノールアミン、モルホリン等の二級アミン類 ト
リエチルアミン、トリブチルアミン、トリエタノールア
ミン、トリイソプロパツルアミン、ツメチルエタノール
アミン、ツメチルイソプロパツールアミン、ノエチルエ
タノールアミン、シメチルヘンンルアミン等の三級アミ
ン類苛性ソーダ、苛性カリ等の無機塩基類か用いられる
か、水希釈後の安定性や得られる被膜の性質から三級ア
ミン類か特に好ましい。
水稀釈性を付与する為に必要な塩基量は中和すべきポリ
アミド酸のカルホキン当量に対して30〜110モル0
6か一般的であり、特に40〜100モル06である二
とか好ましい。斯くして中和を行うことによって、ポリ
アミド酸は完全に水溶性となるか或いは部分的に水溶化
して懸濁状態となり水稀釈性を有するようになる。
上記の中和した組成物を水で希釈することにより、電気
’tyy、動処理か再処理ポリアミl’酸及び/又よ該
ポリアミl’酸で被覆された絶縁性フィラーをaむ懸濁
液からなる、被膜形成用電気、水動浴とすることか出来
るのである。
このようにして析出したポリアミ ド酸樹脂又は ポリアミド酸樹脂と絶縁性フィラ とからなる被 膜層は加熱処理によって一般式(1) (式中、Xは前記の通りである)で表わされる繰り返し
単位を有するポリイミド樹脂、又はポリイミド樹脂と絶
+Rはフィラーとからなる絶縁層に変換される。
上記のようにして得られたポリイミド樹脂、又はポリイ
ミド樹脂と絶縁性フィラーとからなる絶縁層はいずれも
絶縁耐力か優れており、且つ金属との接着も非常に優れ
ている。
本発明による積層セラミックスコンデンサの構成は、図
2(a)およびfb+に例示するように、セラミックス
の膜又は薄板と内部電極板か交互に積層さnているもの
であり、その内部電極板はセラミ・ノクスの膜又は薄板
の上、下いずれの面ともに、全面に存在し、かつ積層コ
ンデンサ側端面にその端面か露出しており、しかも各内
部電極板端面は外部電極を付けた時に一層ごとに正、負
別々の極性をもつように前述のポリイミド樹脂含有の絶
縁層で絶縁されているものである。このような積層コン
デンサを回路に取りつけるには、上記の外部電極にN+
、 Sn等てメツキをほとこし直接取りつけることも、
又、外部電極にリート線を取りつけ、このり−1−線で
回線と結ぶこともできる。
また必要に応し、フェノール樹脂等で封止してもよい。
本発明の積層セラミックスコンデンサにはセラミックス
コンデンサに用いられる全てのセラミックスか使用可能
である。それらの例を上げれはPb(Zn、 Nb)0
3、Pb(Fe、 W)0、Pb(Fe、 Nb)03
、Pb(Mg、 Nb)02、Pb(N+、W)02、
P b(Mg、 W)03、PbTIOs、Pb(Zr
TI)03、Pb(L+、Fe、W)Os、(Pb+−
xLax)(Zr、Tit−y)Oz等の鉛系ペロゲス
カイト化合物やPb5GezO+ +等の鉛系化合物、
BaTi0a、Ba(Ti、 5n)03、(Ba、 
Sr、 Ca)T+Ch、(Ba、 Ca) (Zr、
 Ti )Oz、(Ba、 Sr、 Ca)(Zr、 
Ti)Os、等のバリウム糸ペロブスカイト化合物、5
rTiOz等のストロンチウム系ペロブスカイト化合物
、CaTiO3、CaZrOs等のカルソウム系ペロブ
スカイト化合物やBIa丁IJ+2等の層状化合物等で
ある。また、それらの混合物であっても良い。更に、ま
た、本発明のセラミックス薄板には天然及び/または人
工の雲母ち含まれる。
内部電極板の[オ料としては、銀、パラジウム、金、自
分、ニンケル、銅、亜鉛等の導電性金属tオ料及びそれ
らの合金等か例示される。
尚、本発明でいう積層体はいわゆるグリーンノート法で
作られたもののみてなく、焼結体薄板を接n斉1j−午
です長り合わせたしのや、CVDやPVDてf乍られた
セラミ、クス薄膜と電極を交互に端重ねたもの等も勿論
庁まれる。
〔実施例〕
以下に実施例を上げて本発明を更に詳しく説明する。′
!71論、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
実施例1 撹拌器、還流冷却器及び窒素導入管を備えた反応容器中
で、3,3゛−ジアミノヘンシフエノン53.0g(0
,25モル)をN、N−ツメチルアセトアミド240 
mlこ溶解した。この溶液に3.3’ 、 4.4°−
ベンゾフェノンテトラカルホン酸二無水Th78.6g
 (0,244モル)の粉末を添加し、10°Cて24
時間撹拌してポリアミド酸溶液を1辱だ。得られたポリ
アミド酸の対数粘度は0.6dl/gであった。このポ
リアミド酸溶液中にツメチルエタノールアミン23.9
g(対カルホキツル当量55モル06)を徐々に加え、
20分間室温にて撹拌後、水905.3gを撹拌しつつ
徐々に室温にて加え水希釈してポリアミド酸水溶液を調
製した(樹脂濃度10重ffi 06 )。
また積層体(−層の厚みか約50μmで50層積層、セ
ラミックス組成はPb(Zn、Nb)0.−Pb(Mg
、Nb)03BaTiOa系、比誘電率は約9.000
.内部電極は銀とパラジウムの合金を主体にしたもの)
の試料については、一方の端面は一層おきに金属電極か
露出しており、もう一方の端面は全金属電極か露出して
いるものを予め作っておいた。−層おきに金属電極か露
出しな倶1に銀電極をJ売付け、半田てり一ト線を接続
した。前記水溶液をプラスチックの槽へ入れ、被膜形成
用電気6水動浴とし、被膜対象となる面記漬層体を陽極
として浸潤しり−1・線を陽極に接続した。60Vて4
秒間電圧を印加して電気泳動を行った。その後積層体を
取り出し、水洗後!50°Cて2時間、280°Cて2
時間の加熱処理により乾燥イミド化を行った。次に積層
体をまん中で切断し、イミ1〜樹脂絶縁膜付着側にKJ
電極を塗布しり一ト線を付けた。同様の操作を行うこと
により電極−楔毎に左右に絶縁層を存する積層体か得ら
れた。この絶縁層の厚さは50ミクロン程度で絶縁耐力
は500 V以上であることか確認された。
実施例2 撹拌器、5AIRE冷却器及び窒素導入管を備えた反応
容器中で、3.3′−ジアミノヘンシフエノン53.0
g(0,25モル)をN、N−ジメチルアセトアミド2
40m1に溶解した。この溶液に3.3’ 、 4.4
’−ヘンシフエノンテトラカルホン酸二無水物78.6
g (0,244モル)の粉末を添加し、】0°Cて2
4時間撹拌してポリアミド酸溶液を得た。この溶液にア
ルミナ粉末(住人化学■製商品名、AKP−30)を6
20g添加し、3本ロールにより混練してアルミナ分散
ポリアミド酸水溶液を作った。このワニスにジメチルエ
タノールアミン21.7g (対カルホキン当jt50
モル96)を?余々に添加し、20分間室温にて撹拌し
た後、撹拌しつつ水905.3gを徐々に室温にて添加
して水希釈しアルミナ粉末含有ポリアミド酸懸濁液を調
製した。
また、積層体の試料については実施例1と全く同様のも
のを用い、−層おきに金属電極か露出した側に銀電極を
焼付け、半田でリート線を接続した。前記の懸濁液をプ
ラスチックの槽へ入れ、被膜形成用電気泳動浴とし、被
膜対象となる前記積層体を陽極として浸潤しリード線を
陽極に接続した。20Vて5秒間電圧を印加して電気泳
動を行った。その後積層体を取り出し、N、N−ジメチ
ルアセトアミドを20重量96含有した水溶液で積層体
を洗浄した後、150℃で2時間、280℃で2時間の
加熱処理により乾燥イミ1へ化を行った。次に積層体を
まん中で切断し、イミド樹脂絶縁膜付着側に銀電極を塗
布しり−!・線を付けた。同様の操作を行うことにより
電極−枚毎に左右に絶縁層を有する積層体か(Elられ
た。二の絶縁層の厚さは50ミクロン程度であった。
このようにして得られた積層体の絶縁耐力をJ1j定し
たところ、電FJX500V以上てあった。
実施例3 撹拌機、還流冷却器及び窒素導入管を1]1hえた容器
に、2.2−ヒス(,1−(3−アミノフェノギノ)フ
ェニル〕プロパン+1.(]8g0.1モル)と\、\
−ツメチルアセI・アミl”200 mlを装填し、O
″Cf1近まで冷却し、窒素雰囲気下に於いてビロメl
j、・1−酸二j匪水物21.8g(0゜1モル)の粉
末を+Jl+え、()°C伺近で2時間撹拌した。次に
」二足溶液を室温にjiコし、窒素雰囲気下で約20時
間の撹拌を行った。こうして得られたポリアミド酸の対
数粘度は1.5 dl、′gてあった。このポリアミド
酸溶液中(こ1〜(jエチルアミン20.2 g (灯
カルホキノル当!U′L100モル0(、)を徐々に加
え1時間室温にて撹拌後、水973gを撹拌しつつ徐々
に加えて希釈しポリアミド酸水溶液を調整した(樹脂濃
度5重量06)。
実施例1と同様にして積層体の試料を作成し、この試料
及び上記のポリアミド酸水溶液を用いて、実施例1と同
様にして絶縁層を設けた。この絶縁層は厚さ50μで5
00V以上の絶縁耐力を有していた。
実施例4 撹拌機、還流冷却器及び窒素導入管を備えた容器に、2
.2−ヒス(4−(3−アミノフエノキソ)フェニル〕
プロパン旧、Og(0,1モル)とN、N−ジメチルア
セドアl〜219.6 gを加え、室温で窒素雰囲気下
に、3−31.L 4−ヘンシフエノンテトラカルホン
酸二無水物:31.6g (0,098モル)を乾燥固
体のまま、l合液温度の上昇に注意しながら、少量つつ
加え、室温で23時間反応した。こうして得られたポリ
アト酸の対数粘度は0.70dl/gであった。このポ
リアミド酸溶液中にトリエタノールアミン14.6g(
対カルホキノル当量50モル96)を徐々に加え、2時
間10°Cにて撹拌、水117.2 gを撹拌しつつ徐
々にl]I]えて希釈しポリアミ)−酸水溶液を調整し
た(樹脂濃度15重量06)。
実施例1と同様にして積層体の試料を作成し、この試料
及び上記のポリアミド酸水溶液を用いて、実施例1と同
様にして絶縁層を設けた。この絶縁層は厚さ50g、て
500v以上の絶縁耐力を有していた。
実施例5 アルミナ粉末の代わりにノリ力粉末(平均粒径0.5μ
m)を用いた以外は実施例2と全く同様にして実験を行
った。試料の絶縁破壊電圧は500V以上であった。
実施例6 アルミナ粉末の代わりに窒化珪素粉末(平均粒径0.8
μm)を用いた以外は実施例2と全く同様にして実験を
行なった。試料の絶縁破壊電圧は50OVv、上あっr
こ。
実施例7 アルミナ粉末の代わりにチタニア粉末(平均粒径0.8
μm)を用いた以外は実施例2と全く同様にして実験を
行なった。試料の絶縁破壊電圧は、500V以上あった
〔発明の効果〕
上記実施例よりも明らかなように本発明による積層セラ
ミックスコンデンサは高い絶縁耐力を有し、しかも従来
法にくらべ簡単で効率よく生産か可能である為、高い信
頼性を存する積層セラミックスコンデンサを低コストて
製造てきる。
【図面の簡単な説明】
図1は、現在市販されている従来法による積層セラミッ
クスコンデンサの断面斜視図である。 図1において、■は誘電セラミックス、■は内部電極、
■は外部電極を示す。 図2(a)は、本発明による積層セラミックスコンデン
サの断面斜視図である。 図2(a)において、■は誘電セラミックス、■は内部
電極、0はポリイミド含育絶縁層、■はA側面、また[
相]はB側面を示す。なお、この図では、A、  B両
側面にある外部電極は省略して示した。 また、図2 +1)lは、本発明の積層セラミックスコ
ンデンサの断面図である。 図2(b)において、@は誘電セラミックス、@は内部
電極、■はポリイミド含有絶縁面、■は外部電極、■は
A側面、また[相]はB側面を示す。 また、A、B両側面に出た内部電極は1層おきに側面に
達している内部電極は、すべて絶縁層に覆われて絶縁さ
れている。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)セラミックスの膜又は薄板と内部電極板とが交互
    に積層されている積層セラミックスコンデンサであって
    該積層セラミックスコンデンサの側端面に該内部電極版
    の端面が露出しており、該側端面上の該内部電極板の露
    出部とその近傍のセラミックス上のみに、一般式( I
    ) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、Xはフェニル基;ビフェニル基;及びフェニル
    基及びビフェニル基の少なくとも1種がO、CO、S、
    SO_2、CH_2、C(CH_3)_2及びC(CF
    _3)_2の少なくとも1種によって結合されたポリフ
    ェニル基からなる群から選ばれた四価の基であり、Yは
    フェニル基;ビフェニル基;フェニル基及びビフェニル
    基の少なくとも1種がO、CO、S、SO_2、CH_
    2、C(CH_3)_2及びC(CF_3)_2の少な
    くとも1種によって結合されたポリフェニル基;アルキ
    レン基;及びキシリレン基からなる群から選ばれた二価
    の基である)で表される繰り返し単位を有するポリイミ
    ド樹脂を含有する絶縁層が形成されていることを特徴と
    する積層セラミックスコンデンサ。
  2. (2)絶縁性フィラーを含有するポリイミド樹脂からな
    る絶縁層が形成されていることを特徴とする第1項記載
    の積層セラミックスコンデンサ。
  3. (3)セラミックスの膜又は薄板と内部電極板とが交互
    に積層されているセラミックス積層体の側端面に該内部
    電極板の端面が露出している該セラミックス積層体を、
    一般式(II) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、Xはフェニル基;ビフェニル基;及びフェニル
    基及びビフェニル基の少なくとも1種がO、CO、S、
    SO_2、CH_2、C(CH_3)_2及びC(CF
    _2)_2の少なくとも1種によって結合されたポリフ
    ェニル基からなる群から選ばれた四価の基であり、Yは
    フェニル基;ビフェニル基;フェニル基及びビフェニル
    基の少なくとも1種かO、CO、S、SO_2、CH_
    2、C(CH_3)_2及びC(CF_3)_2の少な
    くとも1種によって結合されたポリフェニル基;アルキ
    レン基;及びキシリレン基からなる群から選ばれた二価
    の基である)で表される繰り返し単位を有するポリアミ
    ド酸樹脂のカルボキシル基を塩基で中和し、水で希釈し
    て得た被膜形成剤を含有する電気泳動浴中に浸漬し、該
    セラミックス積層体の内部電極板を陽極として電気泳動
    を実施して該セラミックス積層体の側端面上の該内部電
    極板の露出部とその近傍のみに該ポリアミド酸を析出さ
    せて被膜層を形成し、その後加熱処理して該被膜層のポ
    リアミド酸樹脂をイミド化させて一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、XおよびYは前記の通りである)で表わされる
    繰り返し単位を有するポリイミド樹脂を含有する絶縁層
    を形成させることを特徴とする請求項1記載の積層セラ
    ミックスコンデンサの製造方法。
  4. (4)セラミックスの膜又は薄板と内部電極板とが交互
    に積層されているセラミックス積層体の側端面に該内部
    電極板の端面が露出している該セラミックス積層体を、
    一般式(II) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、Xはフェニル基;ビフェニル基;及びフェニル
    基及びビフェニル基の少なくとも1種がO、CO、S、
    SO_2、CH_2、C(CH_3)_2及びC(CF
    _3)_2の少なくとも1種によって結合されたポリフ
    ェニル基からなる群から選ばれた四価の基であり、Yは
    フェニル基;ビフェニル基;フェニル基及びビフェニル
    基の少なくとも1種がO、CO、S、SO_2、CH_
    2、C(CH_3)_2及びC(CF_3)_2の少な
    くとも1種によって結合されたポリフェニル基;アルキ
    レン基;及びキシリレン基からなる群から選ばれた二価
    の基である)で表される繰り返し単位を有するポリアミ
    ド酸樹脂と該樹脂中に分散した絶縁性フィラーとからな
    る組成物中の該ポリアミド酸樹脂のカルボキシル基を塩
    基で中和し、水で希釈して得た被膜形成用電気泳動浴中
    に浸漬し、該セラミックス積層体の内部電極板を陽極と
    して電気泳動を実施して該セラミックス積層体の側端面
    上の該内部電極板の露出部とその近傍のみに該ポリアミ
    ド酸及び該ポリアミド酸で被覆された該絶縁性フィラー
    を析出させて被膜層を形成し、その後加熱処理して該被
    膜層のポリアミド酸樹脂をイミド化させて一般式( I
    ) ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、X及びYは前記の通りである)で表わされる繰
    り返し単位を有するポリイミド樹脂と絶縁性フィラーと
    からなる絶縁層を形成させることを特徴とする請求項2
    記載の積層セラミックスコンデンサーの製造方法。
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