JPH03230587A - 導波路形ガスレーザ発振器 - Google Patents
導波路形ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH03230587A JPH03230587A JP2520990A JP2520990A JPH03230587A JP H03230587 A JPH03230587 A JP H03230587A JP 2520990 A JP2520990 A JP 2520990A JP 2520990 A JP2520990 A JP 2520990A JP H03230587 A JPH03230587 A JP H03230587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- discharge
- projections
- tube
- thin tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0315—Waveguide lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は導波路形ガスレーザ発振器に関する。
（従来の技術）
エキシマレーザを例にとって、従来技術を第４図を参照
して説明する。（１）はエキシマガスが封入されたレー
ザ管で、一端部には出力ミラー（２）、他端部には高反
射ミラー（３）が気密に取付けられ、これらミラーで光
共振器を構成している。
して説明する。（１）はエキシマガスが封入されたレー
ザ管で、一端部には出力ミラー（２）、他端部には高反
射ミラー（３）が気密に取付けられ、これらミラーで光
共振器を構成している。
レーザ管（１）は内部を高真空にする真空ポンプ（３）
および上記高真空後にエキシマガスを供給するガス供給
源（４）に接続している。（５） 、 （６）はレーザ
管（１）の外側部に設けられた横断面が円弧状になる放
電電極、（７）は高周波電源、（８）はトリガ回路で高
周波電源（６）による放電回路にコンデンサ（９）を介
して接続されている。レーザ管（１）は石英やセラミッ
クス等の誘電体からなり、放電細管路（１０）が形成さ
れている。
および上記高真空後にエキシマガスを供給するガス供給
源（４）に接続している。（５） 、 （６）はレーザ
管（１）の外側部に設けられた横断面が円弧状になる放
電電極、（７）は高周波電源、（８）はトリガ回路で高
周波電源（６）による放電回路にコンデンサ（９）を介
して接続されている。レーザ管（１）は石英やセラミッ
クス等の誘電体からなり、放電細管路（１０）が形成さ
れている。
（発明が解決しようとする課題）
高周波放電により励起する場合、放電細管路（１０）の
管壁近傍においてのみ高い励起密度が達成され、管壁か
ら遠ざかるに従い励起密度が低下し、レーザ発振が達成
されなくなる。たとえば、放電細管路（１０）の管径を
比較的大きくした場合、励起強度分布は第５図に示すよ
うに管壁から僅かに隔たったＤ点に最大値が生じる。こ
のため、レーザ出力分布は第６図に示すように周辺部が
高く、中心部が低いいわばドーナツ状の分布（１５）と
なる。
管壁近傍においてのみ高い励起密度が達成され、管壁か
ら遠ざかるに従い励起密度が低下し、レーザ発振が達成
されなくなる。たとえば、放電細管路（１０）の管径を
比較的大きくした場合、励起強度分布は第５図に示すよ
うに管壁から僅かに隔たったＤ点に最大値が生じる。こ
のため、レーザ出力分布は第６図に示すように周辺部が
高く、中心部が低いいわばドーナツ状の分布（１５）と
なる。
したがって、放電細管路（ｌＯ）は小径なものに限られ
、を効放電体積が小さく、比較的低出力のレーザしか得
られなかった。また、出力を増そうとして敢えて人力エ
ネルギを増加すると、上記管壁近傍の励起強度が異常に
強くなり、放電の安定性が失われて極端な場合、発振が
停止してしまう欠点があった。
、を効放電体積が小さく、比較的低出力のレーザしか得
られなかった。また、出力を増そうとして敢えて人力エ
ネルギを増加すると、上記管壁近傍の励起強度が異常に
強くなり、放電の安定性が失われて極端な場合、発振が
停止してしまう欠点があった。
そこで、本発明は放電細管路（１０）内の励起強度の異
常な不均一性を発生させることなく、比較的高出力のレ
ーザを得るレーザ発振装置を提供することを目的とする
。
常な不均一性を発生させることなく、比較的高出力のレ
ーザを得るレーザ発振装置を提供することを目的とする
。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
誘電体で形成され両端部が光共振器になる放電細管部に
高周波電圧を印加してレーザ発振する導波路形ガスレー
ザ発振器において、上記放電細管部はその内壁部に管中
央部へ向かって形成された複数の突状体を備えたもので
、放電細管路（１０）内においてエネルギ集中が生じ難
くなる。
高周波電圧を印加してレーザ発振する導波路形ガスレー
ザ発振器において、上記放電細管部はその内壁部に管中
央部へ向かって形成された複数の突状体を備えたもので
、放電細管路（１０）内においてエネルギ集中が生じ難
くなる。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で、レーザ管（２０）の横断
面を示している。すなわち、誘電体から作られたレーザ
管（２０）の軸中心線に向かって等角度でかつ放射方向
に沿って複数個の突状体（２１）が内壁部に上記軸中心
線方向に延在して一体的に形成されている。これら突状
体（２１）を形成したレーザ管（２０）の内部は放電細
管路（２２）となっている。また、レーザ管（２０）の
外側部側には突状体（２１）に対応する部分に上記軸中
心線方向に延在してそれぞれ溝（２３）が刻設されてい
る。これら溝（２３）には陰極本体（２４）から分岐し
た分陰極（２４ａ）と、陽極本体（２５）から分岐した
分陽極（２５ａ）とが対称的に挿入されている。
面を示している。すなわち、誘電体から作られたレーザ
管（２０）の軸中心線に向かって等角度でかつ放射方向
に沿って複数個の突状体（２１）が内壁部に上記軸中心
線方向に延在して一体的に形成されている。これら突状
体（２１）を形成したレーザ管（２０）の内部は放電細
管路（２２）となっている。また、レーザ管（２０）の
外側部側には突状体（２１）に対応する部分に上記軸中
心線方向に延在してそれぞれ溝（２３）が刻設されてい
る。これら溝（２３）には陰極本体（２４）から分岐し
た分陰極（２４ａ）と、陽極本体（２５）から分岐した
分陽極（２５ａ）とが対称的に挿入されている。
次に、ト記構成の作用について説明する。複数個の突状
体（２１）の形成により、放電細管路（２２）の内壁面
の面積が増大するとともに、突状体（２１）の先端から
内壁面までの最長距離（ｒ）分の放電断面積が増大した
放電部分が形成される。また、突状体（２１）において
、分陰極（２４ａ）と分陽極（２５ａ）との間の放電が
複数箇所で生じるため、第２図に示すように、管径方向
において大きな差のない励起強度が得られる。
体（２１）の形成により、放電細管路（２２）の内壁面
の面積が増大するとともに、突状体（２１）の先端から
内壁面までの最長距離（ｒ）分の放電断面積が増大した
放電部分が形成される。また、突状体（２１）において
、分陰極（２４ａ）と分陽極（２５ａ）との間の放電が
複数箇所で生じるため、第２図に示すように、管径方向
において大きな差のない励起強度が得られる。
なお、高周波放電方式の放電電極でなく、レーザ管（２
０）の両端に放電電極を設けた構成にしてもよい。この
場合、管壁から放出される“エキソ電子”により予備電
離が行われるため、大きな有効放電断面積が得られる。
０）の両端に放電電極を設けた構成にしてもよい。この
場合、管壁から放出される“エキソ電子”により予備電
離が行われるため、大きな有効放電断面積が得られる。
Ｅ発明の効果］
第２図に示す励起強度の結果から、第３図に示すような
比較的平坦なレーザ強度が得られ、レーザ出力を増大す
ることができた。
比較的平坦なレーザ強度が得られ、レーザ出力を増大す
ることができた。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明における管径と励起強度との関係を示す図、第３図は
同じくエネルギ強度の分布図、第４図は従来例を示す断
面図、第５図は従来例における管径と励起強度との関係
を示す図、第６図は同じくエネルギ強度の分布図である
。 （１） ・レーザ管 （２）・・・突状体 牟 ！ 閃 とｒ−ムイ） 不 い 蔓 困
明における管径と励起強度との関係を示す図、第３図は
同じくエネルギ強度の分布図、第４図は従来例を示す断
面図、第５図は従来例における管径と励起強度との関係
を示す図、第６図は同じくエネルギ強度の分布図である
。 （１） ・レーザ管 （２）・・・突状体 牟 ！ 閃 とｒ−ムイ） 不 い 蔓 困
Claims (1)
- 誘電体で形成され両端部が光共振器になる放電細管部に
高周波電圧を印加してレーザ発振する導波路形ガスレー
ザ発振器において、上記放電細管部はその内壁部に管中
央部へ向かって形成された複数の突状体を備えたことを
特徴とする導波路形ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2520990A JPH03230587A (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 導波路形ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2520990A JPH03230587A (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 導波路形ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03230587A true JPH03230587A (ja) | 1991-10-14 |
Family
ID=12159568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2520990A Pending JPH03230587A (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 導波路形ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03230587A (ja) |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP2520990A patent/JPH03230587A/ja active Pending
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