JPH03231249A - 異物検査装置及び検査治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造装置で利用されるレチクルやフォ
トマスク等のマスク基板（以下レチクルと総称する）及
びマスク保護部材（以下ペリクルと称する）の表面上に
付着した異物を検出する装置に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体製造用のフォトリソグラフィ工程ではレチクル上
に形成されたパターンを半導ウェハ上へ転写することに
より行われる。

この場合レチクルにゴミ等の異物が付着していると、異
物の像がウェハ上に転写され製造された半導体チップの
欠陥の原因となる。又、異物付着を防止する方法として
ペリクル膜をペリクルフレームで固定することにより構
成されたマスク保護部材（以下ペリクルと称する）を貼
り付けて、すなわちレチクル上に所定の支持枠を介して
ペリクル膜を貼り付けて、レチクル表面に直接異物が付
着しないようにする構成がとられている。

しかしながらこの場合もペリクルに付着する異物が大き
いときには半導体ウェハ上にこの異物像が転写されてし
まう。

従ってレチクルとペリクルでは許容される異物の大きさ
が異なるとはいえウェハのパターン転写を行う前に異物
の検査を行う必要がある。

従来レチクル又はペリクル付レチクルの表面上の異物を
自動検出する装置として、特開昭６３−２８５４４９号
公報等に開示されたものが知られている。

この種の装置は集光したレーザビームを検査面に対し斜
入射させた状態で振動鏡によりＸ方向に一次元走査し、
同時に被検査物をＹ方向に移動して、被検査物上の異物
からの散乱光を所定の空間位置に配置された複数の光電
検ａ器で受光することによって異物の有無、大きさ、付
着位置等を検出するものであった。

〔発明か解決しようとする課題〕

しかしながら、上記の如き従来の装置においては、ペリ
クル付レチクルのペリクル面及びレチクル面の異物検査
は可能であってもレチクルにペリクルを貼りつける前の
洗浄対応の容易なペリクル単体での検査をすることはで
きないという問題点があった。

これは一般に使われているペリクルはレチクルと外形寸
法が異なるためレチクル搬送手段の所定の位置とペリク
ルの形状が合わずレチクル検査時とペリクル検査時とで
同一の搬送台、異物検査アーム等の搬送手段を使用する
ことが出来ないことによるものである。

本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもの
で、レチクルであってもペリクルであっても同一の搬送
台、同一の検査アーム等の搬送手段を使うことを可能と
することにより、同一の検査装置にて異物検査が行える
ことを目的としている。

〔課題を解決する為の手段〕

かかる問題点を解決するため本発明においては、レチク
ルの異物検査を行うときはレチクルを搬送可能なレチク
ル搬送台、又は異物検査アームを用いて異物検査部にお
いて検査し、ペリクルの異物検査を行うときは上記搬送
台又は異物検査アームで搬送可能な検査治具（以下「ダ
ミーレチクル」と言う）に、予めペリクルを載置したの
ちこのペリクルを載置したダミーレチクルを前記搬送台
、又は異物検査アームで前記検査部へ搬送することによ
り、レチクルとは外形寸法の異なるペリクル単体上の異
物検査を行えるような構成とした。

〔作　用〕

本発明によれば、レチクルであってもペリクル単体であ
っても同一の搬送台、又は同一の異物検査アーム、同一
の検査部で異物の検査を行うことができるので、レチク
ル表面の異物検査を行う検査部とは別にペリクル専用の
異物検査部を設ける必要がなくなるので、装置構成を簡
略にすることができる。

〔実　施　例〕

以下、図面を参照して本発明の実施例について詳述する
。

第１図は本発明の第１実施例による異物検査装置の全体
構成を示す図である。

レチクル搬送アーム２は駆動部３により矢印４の方向（
Ｙ方向）に移動可能で、これによりレチクル１は不図示
のレチクル保管部からＰ１位置まで搬送される。

レチクル搬送アーム２には真空吸着部が設けられている
ものとし、レチクルｌの下面を真空吸着固定して搬送す
る。

又レチクル搬送アーム２は、コの字型のアームであり、
レチクルだけでなくすでにペリクルが貼り付けられたレ
チクル（ペリクル付レチクル）でもレチクル部分の外形
形状は変わらないため同一の構成で搬送可能である。

Ｐ１位置まで搬送されたレチクル１は駆動部５により矢
印６の方向（Ｚ方向）に移動可能でこれによりレチクル
１はＰ１位置にある異物検査アーム７上に載置可能とな
る。

次に、異物検査アーム７の吸着開始、レチクル搬送アー
ム２の吸着解除により異物検査アーム７に受渡しされる
。

このとき異物検査アーム７にはレチクル搬送アーム２よ
りレチクルｌを異物検査アーム７に載置できるように、
突起状の真空吸着部１８．１９が設けられており、レチ
クルｌの下面を真空吸着固定するような構造となってい
る。

ここで異物検査アーム７は駆動部８により矢印９の方向
（Ｘ方向）に移動可能なようになっており、レチクル１
の異物検査を実行する場合は、該アームによりレチクル
を異物検査部１０へ搬送し、レチクルｌの表面に付着し
た異物の検査を行う。

又異物検査アーム７は、コの字型のアームであり、レチ
クルだけでなくすでにペリクルが貼り付けられたレチク
ル（ペリクル付レチクル）でもレチクル部分の外形形状
は変わらないため同一の構成で搬送、検査可能である。

ここで、異物検査、各駆動部の動作、真空ポンプの制御
による真空の開始・解除は第２図の如く制御部１３のＣ
ＰＵにより制御されているものとする。

次に第３図（ａ）、　　（ｂ）を参照して異物検査アー
ム７かレチクルｌを真空吸着して支持固定するときの吸
着位置を示す。

第３図（ａ）はレチクル１の上面図、第３図（ｂ）はレ
チクル１のｓ−ｓ’　面での断面図である。

異物検査アーム７は第３図（ｂ）の如くレチクル１の下
面を突起状の吸着部１８．１９の三箇所で下面側から真
空吸着して支持するような構成をとっている。

吸着部１８．１９の吸着位置は、ペリクルフレーム１７
より外側に位置し、レチクル搬送アーム２がレチクル１
を異物検査アーム７上に載置する際、レチクル搬送アー
ム２を妨げないような位置に配置されている。　更に本
実施例では、この吸着部１８．１９は、ペリクルフレー
ム１７のうち異物検査アーム７の腕の部分と略平行な方
向の一辺の長さｌの範囲内でレチクル１を吸着可能な位
置に配置されているものとする。

又、第３図（ａ）、　　（ｂ）ではペリクル膜１６がペ
リクルフレーム１７を介してレチクルＩに装着された状
態を示すがペリクルがなくても前記吸着位置は変わらな
い。

次に第４図（ａ）、　　（ｂ）を参照してダミーレチク
ル１５の構成を示す。

第４図（ａ）はダミーレチクル１５の上面図。

第４図（ｂ）はダミーレチクル１５をＡ−Ａ’面で切断
したときの断面図である。

ここで、ダミーレチクル１５の形状は平面寸法について
は、前記搬送アーム２，７．前記異物検査部１０が使用
可能なようにレチクルｌと同一の平面寸法を有している
が、厚みについては多少のバラツキがあってもかまわな
い。

ダミーレチクル１５には通気孔（２０Ａ、２０Ｂ）、　
　（２１Ａ、２１Ｂ）が設けられており、通気孔２０Ａ
、２１Ａは異物検査アーム７の吸着部１８．１９の位置
（ダミーレチクル１５の下面側）にあり、通気孔の面積
は異物検査アーム７の吸着部１８．１９の面積より小さ
くなっている。

また、第４図（ｂ）の如く、通気孔２ＯＡ、２１Ａの各
々につながってダミーレチクル１５の上面側にはペリク
ルフレーム１７が載置される位置に通気孔２０Ｂ、２１
Ｂが設けられている。

通気孔２０Ｂ、２１Ｂの幅はべりクルフレーム１７の肉
厚より小さくなっている。

従ってダミーレチクル１５にペリクルフレーム１７を介
してペリクル膜１６を所定位置に載置したとき異物検査
アーム７の吸着部１８．１９によって通気孔２０Ａ、２
１Ａから真空を引けば通気孔２０Ｂ、２１Ｂによりペリ
クルフレーム１７が支持固定される。

次に第５図及び第１図を参照にして本装置でペリクル１
４を単体検査（ペリクルがレチクルに貼りつけられた状
態でのペリクル検査ではない）するときの吸着状態を中
心としたシーケンスを説明する。

初期状態としてダミーレチクル１５はＰ１位買置レチク
ル搬送アーム２上に載置され下面を真空吸着部により支
持固定されており、同じＰ１位置でダミーレチクルの下
には異物検査アーム７が配置されているものとする。

このとき異物検査アームの真空吸着部１８，１９は真空
に引かれていない。

ペリクル搬送アーム１１は第１図の如く駆動部１２によ
り、矢印４の方向（方向）に移動可能であり、これによ
りペリクル１４は不図示のペリクル保管部からＰ１位置
まで搬送される。

ペリクル搬送アーム１１によるペリクル１４の保持は搬
送アーム１１に真空吸着部を設けてペリクル１４の側面
を真空吸着するものとしてもよいし、あるいは複数のツ
メにより掴むようにしてもよい。

駆動部５は第５図の如くペリクル搬送アーム１１、レチ
クル搬送アーム２を矢印６の方向（Ｚ方向）へ移動可能
となっている。

次にダミーレチクル１５が異物検査アーム７の吸着部分
と係合するまでレチクル搬送アーム２を矢印６の方向に
移動させ、その後ペリクル搬送アーム１１は矢印６の方
向に移動してペリクル１４をダミーレチクル１５の所定
の位置上に載置する。

その後、異物検査アーム７の吸着部１８．１９を真空に
引いて、通気孔２ＯＡ、２１Ａ、より２０Ｂ、２１Ｂを
経由してペリクル１４のペリクルフレーム１７をダミー
レチクル１５上に仮止めする。

その後ペリクル搬送アーム１１及びレチクル搬送アーム
２の真空を解除することによって、ペリクルフレーム１
７の位置がずれることなくダミーレチクル１５を介して
ペリクルＩ４を異物検査アーム７上へ載置可能となる。

その後ペリクル搬送アーム１１．レチクル搬送アーム２
は異物検査アーム７の移動を妨げないようＺ方向に退避
する。

そして、異物検査アーム７はダミーレチクル１５をペリ
クル１４を載置したままＰ１位置より検査部ＩＯまで搬
送し、ペリクル１４に付着した異物の検査を行われる。

検査終了後は上記シーケンスと逆の手順を行なえばペリ
クル１４をもとの位置にもどすことができる。

次に、本発明に係る第２の実施例について説明する。

異物検査装置全体の構成及びシーケンスについては第１
の実施例と同様の構成をとるものとし、第１の実施例で
はべりクルフレーム１７の仮止めに真空の吸着力を用い
ていたが、本実施例では磁気による吸着力を利用するダ
ミーレチクル１５を用いることとする。

ここで、ダミーレチクル１５のＡ−Ａ’面（異物検査ア
ームの吸着部を含む面）による断面図である第６図を参
照にして本実施例に最適なダミーレチクル１５の構成を
示す。

ここで、第１の実施例と同様の部材には同様の符号を付
しである。

又、本ダミーレチクル１５の形状は、平面寸法はレチク
ル１と同一であるが、厚みはべりタル貼り付は位置に相
当する部分はペリクルフレーム１７の高さ以内で若干厚
くなっている構造をとるものとする。

ペリクルフレーム１７には第６図の如く鉄等の強磁性体
による支持体２５が予め埋め込まれているものとする。

ただし、支持体２５のレチクル面との当接面には、薄い
保護膜が形成されていて、レチクルを傷付けないように
なっている。

ダミーレチクル１５は電源部２３、磁力を発生する為の
コイル２２Ａ、２２Ｂ及びスイッチ部２４を備えており
、スイッチ２４は異物検査アーム７の真空開始によって
作動するような構造（例えば板バネ状のスイッチ）を有
している。

従って、異物検査アーム７の吸着部１８．１９より真空
を引けば、前記スイッチ２４が作動し、前記支持体２５
の下に設置されているコイル２２Ａ、２２Ｂに電流が流
れ、コイル２２Ａ、２２Ｂに磁力が発生し、ペリクルフ
レーム１７が支持体２５を介してダミーレチクル１５に
支持固定される。

仮止めの方法以外の部分については第１の実施例と同様
の手順によりペリクル単体の異物検査が可能となる。

又、仮止めの為の手段はこれに限るものではなく、例え
ばカギ状のフックによりペリクルフレーム１７を固定す
るようにしてもよい。

次に第７図を参照して本発明の第３の実施例について詳
述する。

第７図は本実施例に係る異物検査装置全体の構成を示す
図である。

本実施例ではダミーレチクルにペリクルを仮止めしたま
ま受渡しを可能とする実施例を説明する。

ここで、第１の実施例と同様の構成部材には同一の符号
を付しである。

レチクル搬送アーム２は駆動部３により矢印４の方向（
Ｙ方向）に移動可能で、これによりレチクル１は不図示
のレチクル保管部からＰ１位置まで搬送される。

Ｐ１位置まで搬送されたレチクルｌはＰ１位置まで移動
された搬送台２６の真空吸着部の吸着開始、レチクル搬
送アーム２の吸着解除により搬送台２６に受渡しされる
。

ここで搬送台２６は駆動部２８により矢印２９の方向（
Ｘ方向）に移動可能なようになっており、矢印３０の方
向（Ｚ方向）に上下動可能な構造になっているものとし
、レチクル１を搬送可能な真空吸着部が設けられている
。

レチクル１の異物検査を実行する場合は、搬送台２６に
よりレチクル１をＰ１位置からＰ２位置に搬送し、異物
検査アーム７に受は渡す。

異物検査アーム７は駆動部８により矢印９の方向（Ｙ方
向）に移動可能で、レチクルｌを載置した状態で異物検
査部１０にレチクルｌを搬送しレチクルｌの表面に付着
した異物の検査を行う。

このとき、Ｐ２位置まで搬送されたレチクル１は異物検
査アーム７の真空開始、搬送台２６の真空解除により異
物搬送アーム７に受渡しされる。

又搬送台２６の吸着部は突起状に形成されており、レチ
クルだけでな（すでにペリクルが貼り付けられたレチク
ル（ペリクル付レチクル）でもレチクル部分の外形形状
は変わらないため同一の構成で検査可能である。

ここで、第８図（ａ）、　　（ｂ）を参照してレチクル
１を搬送部２６及び異物検査アーム７で真空吸着して支
持固定するときの吸着位置を示す。

第８図（ａ）はレチクル１の上面図、第８図（ｂ）はレ
チクルｌを５ｌ−８ｔ’で切断したときの断面図である
。

搬送部２６は第８図の如く吸着部３３，３４゜３５．３
６の四箇所でレチクル１の上面を真空吸着して固定する
ような構成をとり、一方異物検査アーム７はレチクル１
の下面を吸着部１８．１９の三箇所で下面側から真空吸
着して支持するような構成をとっている。

本実施例での各吸着部の位置は、ペリクルフレーム１７
より外側でレチクル１を吸着するように配置されており
、吸着部３３と３５．３４と３６．１８．１９はべりク
ルフレーム１７のうち吸着部３３と３５を結ぶ直線と略
平行な一辺の長さｌの範囲内でレチクル１を吸着するよ
うに配置されており、吸着部１８は吸着部３３と３５の
間に、また、吸着部１９は吸着部３４と３６の間に配置
されているものとする。

第８図（ａ）ではペリクル膜１６がペリクルフレーム１
７を介してレチクルｌに装着された状態を示すがペリク
ルがなくても吸着部分は変わらない。

次に第９図（ａ）、（ｂ）、　　（ｃ）を参照して本実
施例に係るダミーレチクル１５の構成を示す。

第９図（ａ）はダミーレチクル１５の上面図、第９図（
ｂ）はダミーレチクル１５をＢ−Ｂ’で切断したときの
断面図、第９図（Ｃ）はダミーレチクル１５をＡ−Ａ’
で切断したときの断面図を示す。

まずダミーレチクル１５には第１の真空吸着用通気孔（
３７Ａ、３７Ｂ）、（３８Ａ、３８Ｂ）。

（３９Ａ、３９Ｂ）、　　（４０Ａ、４０Ｂ）及び第２
の通気孔（２０Ａ、２０Ｂ）、　　（２１Ａ、［ＩＢ）
が設けられており、このうち通気孔３７Ａ。

３８Ａ、３９Ａ、４０Ａは搬送台２６の吸着部の位置（
ダミーレチクル１５の上側）にあり、通気孔３７Ａ、３
８Ａ、３９Ａ、４０Ａの面積は搬送台２６の吸着部３３
，３４，３５．３６の面積より小さくなるように構成さ
れている。

ここで、第９図（ｂ）の如く、通気孔３７Ａ。

３８Ａ、３９Ａ、４０Ａの各々につながってダミーレチ
クルの上面側にはペリクルフレーム１７が載置される位
置に通気孔３７Ｂ、３８Ｂ、３９Ｂ、４０Ｂが設けられ
ており、通気孔３７Ｂ、３８Ｂ、３９Ｂ、４０Ｂのそれ
ぞれの幅はべりクルフレーム１７の肉厚より小さくなっ
ている。

従って、ダミーレチクル１５にペリクルフレーム１７を
介してペリクル膜１６を所定位置に載置したとき通気孔
３７Ａ、３８Ａ及び３９Ａ、４０Ａから搬送台２６の吸
着部３３．　３４．　３５．　３６によって真空を引け
ば通気孔３７Ｂ、３８Ｂ及び３９Ｂ、４０Ｂによりペリ
クルフレーム１７が吸着固定される。

一方、通気孔２ＯＡ、２１Ａは、異物検査アーム７の吸
着部１８．１９及びダミーレチクル１５を保持する支持
台２７の吸着部４１．４２の位置（ダミーレチクル１６
の下面側）にあり、通気孔２０Ａ、２１Ａの面積は異物
検査アーム７の吸着部１８．１９及び支持台２７の吸着
部４１．４２の面積より小さくなっている。

ここで、第９図（Ｃ）の如く、通気孔２０Ａ。

２１Ａの各々につながってダミーレチクル１５の上面側
にはペリクルフレーム１７が載置される位置に通気孔２
０Ｂ、２１Ｂが設けられており、通気孔２０Ｂ、２１Ｂ
のそれぞれの幅はべりクルフレーム１７の肉厚より小さ
くなっている。

従って、ダミーレチクル１５にペリクルフレーム１７を
介してペリクル膜１６を所定位置に載置したとき異物検
査アーム７の吸着部１８．１９及び支持台２７の吸着部
４１．４２によって通気孔２ＯＡ、２１Ａから真空を引
けば通気孔２０Ｂ。

２１Ｂによりペリクルフレーム１７が吸着固定される。

吸着部４３．４４は支持台２７がダミーレチクル１５を
支持固定する為の吸着位置を示す。

次に本装置でペリクルを単体検査（ペリクルがレチクル
に貼りつけられた状態でのペリクル検査ではない）する
ときの吸着状態を中心としたシーケンスを再び第７図を
参照にして説明する。

初期状態としてダミーレチクル１５は支持台２７の上に
吸着部４３．４４により載置固定されている。　このと
き支持台２７の別の吸着部４１゜４２は真空に引かれて
いない。

ペリクル搬送アーム１１は駆動部１２により矢印１３の
方向（Ｙ方向）に移動可能であり、また、駆動部３１に
より矢印３２の方向（Ｚ方向）に移動可能である。

ペリクル搬送アーム１１はべりクル１４を不図示のペリ
クル保管部によりＰ３位置まで搬送し、レチクルｌと外
形寸法が同じダミーレチクル１５上に載置する。

ペリクル搬送アーム１１によるペリクル１４の保持は搬
送アーム１１に真空吸着部を設けてペリクル１４の側面
を真空吸着するものとしてもよいし、あるいは複数のツ
メにより掴むようにしてもよい。

ペリクル１４を載置したのち支持台２７の吸着部４１．
４２を真空に引いて、通気孔２０Ａ、２１Ａより２０Ｂ
、２１Ｂを経由してペリクル１４のペリクルフレーム１
７をダミーレチクル１５上に仮止めする。

次にペリクル搬送アーム１１をＰ３位置より逃がして今
度は搬送台２６をＰ３位置まで移動させ、更に搬送台２
６の吸着部がダミーレチクル１５と係合するまで矢印３
０の方向に搬送台２６を移動させた後、吸着部３３，３
４．３５．３６を真空に引く。

これにより通気孔３７Ａ、３８Ａ、３９Ａ、４０Ａより
３７Ｂ、３８Ｂ、３９Ｂ、４０Ｂを経由してペリクル１
４をダミーレチクル１５に仮止めする。

次いで支持台２７の吸着部４１．４２．の真空を解除し
て支持台２７によるダミーレチクル１５の吸着を解除す
る。

搬送台２６はペリクル１４をダミーレチクル１５を介し
てＰ３位置からＰ２位置まで搬送し、ダミーレチクル１
５が異物検査アーム７の吸着部と係合するまで矢印３０
の方向に移動させた後、異物検査アーム７に受は渡す。

受は渡すときは、異物検査アーム７の吸着部１８，１９
を真空に引いて、通気孔２０Ａ、２１Ａより２０Ｂ、２
１Ｂを経由してペリクル１４をダミーレチクル１５を介
して異物検査アームに仮止めし、次いで搬送台２６の吸
着部３３．　３４．　３５．３６の真空を解除すれはペ
リクルフレーム１７の位置がずれることなく、ペリクル
１４をダミーレチクル１５を介して異物検査アーム７上
へ載置できる。

この状態で異物検査アーム７をＰ２位置から異物検査部
に移動させてペリクル１４に付着した異物の検査を行う
。

検査終了後は上記シーケンスと逆の手順によりペリクル
１４をもとの位置にもどすことができる。

以上の異物検査、各駆動部の動作、真空ポンプの制御に
よる真空の開始、解除は第１の実施例と同様に制御部１
３により行われる。

次に、本発明に係る第４の実施例について説明する。

異物装置全体の構成及びシーケンスについては第３の実
施例と同様の構成をとるものとする。

第３の実施例ではペリクルフレーム１７の仮止めに真空
の吸着力を用いていたが、本実施例では磁気による吸着
力を利用するダミーレチクルを用いることとする。

ここで、第１０図にダミーレチクル１５のＡ−Ａ′面（
異物検査アーム７の吸着部を含む面）による断面図を参
照にして本実施例に最適なダミーレチクルの構成を示す
。

前記実施例と同様の部材には同様の符号を付してあり、
外形形状は第２の実施例と同様であるものとする。

ペリクルフレーム１７は第１０図の如く鉄等の強磁性体
による支持体２５が予め埋め込まれているものとする。

ダミーレチクル１５は電源部２３，４６、磁力を発生す
る為のコイル２２Ａ、２２Ｂ及びスイッチ部２４．４５
を備えており、スイッチ２４は異物検査アーム７、スイ
ッチ４５は搬送台２６の真空開始によって作動するよう
な構造（例えば板バネ状のスイッチ）を有している。

従って、異物検査アーム７、搬送台２６の吸着部より真
空を引けば、前記スイッチ２４．４５が作動し、前記支
持体２５の下に設置されているコイル２２Ａ、２２Ｂに
電流が流れ、コイル２２Ａ。

２２Ｂに磁力が発生し、ペリクルフレーム１７が支持体
２５を介してダミーレチクル１５に支持固定される。

ここで第１１図にダミーレチクル１５に内蔵されている
回路図を示す。

この図を参照にして搬送台２６より異物検査アーム７へ
のペリクル１４とダミーレチクル１５の受渡しの際のペ
リクル１４とダミーレチクル１５との仮止め動作を説明
する。

ここで、ダイオード４７は電源部４６の電圧に対して、
ダイオード４７゛　は電源部２３の電圧に対してそれぞ
れ充分な耐電圧を持っているものとする。

搬送台２６の吸着部３４を真空に引くことにより、スイ
ッチ４５がＯＮされ、回路１に電流が流れることにより
、コイル２２Ａ、２２Ｂに磁力が発生し、支持体２５を
介してペリクル１４をダミーレチクル１５に仮止めする
。

そして、異物検査アーム７の吸着部１８を真空に引くこ
とによりスイッチ２４がＯＮされ、回路ｌあるいは回路
２に電流が流れることによりコイル２２Ａ、２２Ｂに磁
力が発生し、支持体２５を介してペリクル１４がダミー
レチクル１５に仮止めされる。

その後、搬送台２６の吸着部３４の真空を解除するとス
イッチ４５がＯＦＦとなり、磁力は専ら回路２によって
発生する。

従って、コイルは受渡し動作の際、常に磁力を発生して
いることとなり、ペリクルフレーム１７の位置がずれる
ことな（ダミーレチクル１５を介してペリクル１４を異
物検査アーム７上へ載置可能となり、ペリクル１４単体
の異物検査が可能となる。

ペリクル１４をダミーレチクル１５に仮止めする以外に
ついては第３の実施例と同様の手順によリペリクル１４
単体での異物検査が可能となる。

尚、支持台２７と搬送台２６でのダミーレチクル１５．
ペリクル１４の受渡しについても上述と同様のスイッチ
ング動作により受渡し可能である。

以上本実施例では仮止めの為のコイルの配置は第２の実
施例と同様の構成としたがこれに限るものではない。

又、仮止めの為の手段はこれに限るものではなく、例え
ばカギ状のフックによりペリクルフレーム１７を固定す
るようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、レチクルであってもレチ
クルと外形形状の異なるペリクル単体であっても同一の
検査部で同一の異物検査アーム。

同一の搬送台を使って異物の検査が行えるので、別途に
ペリクル単体の検査部を設ける必要がなく、装置の構成
を簡略化することができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１の実施例による異物検査装置の全体構成図
、 第２図は異物検査装置の制御関係を示すプロ　ツク図、 第３図（ａ）は第１の実施例によるレチクルを吸着する
ときの吸着位置を示す上面図、 第３図（ｂ）は第３図（ａ）中のｓ−ｓ’断面図、第４
図（ａ）は第１の実施例によるダミーレチクルの構造を
示す上面図、 第４図（ｂ）は第４図（ａ）中のＡ−Ａ’断面図、第５
図は第１の実施例による異物検査装置の側面図、 第６図は第２の実施例によるダミーレチクルの構造を示
す断面図、 第７図は第３の実施例による異物検査装置の全体構成を
示す図、 第８図（ａ）は第３の実施例によるレチクルを吸着する
ときの吸着位置を示す上面図、 第８図（ｂ）は第８図（ａ）中の５ｌ−８ｌ°断面図、 第９図（ａ）は第３の実施例によるダミーレチクルの構
造を示す上面図、 第９図（ｂ）は第９図（ａ）中のＡ−Ａ’断面図、第９
図（ｃ）は第９図（ａ）中のＢ−Ｂ’断面図、第１０図
は第４の実施例によるダミーレチクルの構造を示す断面
図、 第１１図は第４の実施例によるダミーレチクルに内蔵さ
れる回路図 である。 〔主要部分の符号の説明〕 １・・・レチクル ２・・・レチクル搬送アーム ３、　５．　８．　１２．　２８．　３１・・・駆動部
７、・・・異物検査アーム ０・・・異物検査部 ■・・・ペリクル搬送アーム ３・・・制御部 ４・・・ペリクル（マスク保護部材） ５・・・ダミーレチクル ６・・・ペリクル膜 １７・・・ペリクルフレーム １８．１９・・・異物検査アーム７の吸着部２ＯＡ−Ｂ
、２１Ａ−Ｂ、３７Ａ−Ｂ、３８Ａ・Ｂ、３９Ａ−Ｂ、
４０Ａ−Ｂ・・・真空吸着孔２２Ａ、２２Ｂ・・・コイ
ル ２３．４６・・・電源部 ２４．４５・・・スイッチ ２５・・・支持体 ２６・・・ペリクル搬送台 ２７・・・ダミーレチクル支持台 ３３．３４，３５．３６・・・搬送台の吸着部４１．４
２・・・レチクル搬送アームの吸着部４３．４４・・・
支持台の吸着部 ４７．４７’　・・・ダイオード

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）マスク基板上の異物もしくは該マスク基板に固着
   されるマスク保護部材上の異物を検査可能な検査部と、 前記検査部へ前記マスク基板を搬送する搬送手段とを有
   する異物検査装置において、 前記搬送手段によって搬送可能な如く、前記マスク基板
   と同一の外形寸法を有し、少なくとも一方の面側に該マ
   スク基板と外形寸法の異なるマスク保護部材を保持可能
   な平板状構造体と、該構造体に組み込まれ、該構造体と
   前記搬送手段との係合部分を介して前記搬送手段側から
   の付勢により前記保護部材と前記構造体とを一時的に吸
   着固定する仮止め手段とで構成された検査治具を備え、 前記保護部材を前記検査治具に仮止めしたまま前記搬送
   手段によって前記検査部へ搬送して、異物検査を行なう
   ことを特徴とする異物検査装置。
2. （２）前記仮止め手段は、真空による吸引力又は磁気に
   よる吸引力を利用することを特徴とする請求項１記載の
   異物検査装置。
3. （３）マスク基板上の異物もしくは該マスク基板に固着
   されるマスク保護部材上の異物を検査可能な検査部と、 前記検査部へ前記マスク基板を搬送する搬送手段とを有
   する異物検査装置に使用される治具であって、 前記搬送手段によって搬送可能な如く、前記マスク基板
   と同一の外形寸法を有し、少なくとも一方の面側に該マ
   スク基板と外形寸法の異なるマスク保護部材を保持可能
   な平板状構造体と、該構造体に組み込まれ、該構造体と
   前記搬送手段との係合部分を介して前記搬送手段側から
   の付勢により作動し、前記保護部材と前記構造体とを一
   時的に吸着固定する吸着手段とを備えたことを特徴とす
   る検査治具。
4. （４）前記吸着手段は、真空通気孔又は発磁素子である
   ことを特徴とする請求項３記載の検査治具。
5. （５）マスク基板上の異物もしくは該マスク基板に固着
   されるマスク保護部材上の異物を検査可能な検査部と、 前記マスク基板を所定位置まで搬送する第１の搬送手段
   と、 前記所定位置より前記検査部へ前記マスク基板を搬送す
   る第２の搬送手段とを有する異物検査装置において、 前記第１、第２の搬送手段によって搬送可能な如く、前
   記マスク基板と同一の外形寸法を有し、少なくとも一方
   の面側に該マスク基板と外形寸法の異なるマスク保護部
   材を保持可能な平板状構造体と、該構造体に組み込まれ
   、該構造体と前記第１の搬送手段との係合部分を介して
   前記第１の搬送手段側からの付勢により前記保護部材と
   前記構造体とを一時的に吸着する第１の仮止め手段と、
   該構造体と前記第２の搬送手段との係合部分を介して前
   記第２の搬送手段側からの付勢により前記保護部材と前
   記構造体とを一時的に吸着する第２の仮止め手段とで構
   成された検査治具を備え、さらに、前記第１の搬送手段
   が前記マスク保護部材を前記第２の搬送手段に受渡しす
   る際、 前記第２の搬送手段が前記マスク保護部材と係合した時
   点から前記第２の仮止め手段の吸着を開始するとともに
   、前記第１の仮止め手段の吸着を解除する制御手段を設
   け、前記マスク保護部材を前記検査治具に仮止めしたま
   ま前記第２の搬送手段によって前記検査部へ搬送して、
   異物検査を行うことを特徴とする異物検査装置。
6. （６）前記第１、第２の仮止め手段は、真空による吸引
   力又は磁気による吸引力を利用することを特徴とする請
   求項５記載の異物検査装置。
7. （７）マスク基板上の異物もしくは該マスク基板に固着
   されるマスク保護部材上の異物を検査可能な検査部と、 前記マスク基板を所定位置まで搬送する第１の搬送手段
   と、 前記所定位置より前記検査部へ前記マスク基板を搬送す
   る第２の搬送手段とを有する異物検査装置に使用される
   治具であって、 前記第１、第２の搬送手段によって搬送可能な如く、前
   記マスク基板と同一の外形寸法を有し、少なくとも一方
   の面側に該マスク基板と外形寸法の異なるマスク保護部
   材を保持可能な平板状構造体と、該構造体に組み込まれ
   、該構造体と前記第１の搬送手段との係合部分を介して
   前記第１の搬送手段側からの付勢により作動し、前記保
   護部材と前記構造体とを一時的に吸着する第１の吸着手
   段と、該構造体と前記第２の搬送手段との係合部分を介
   して前記第２の搬送手段側からの付勢により作動し、前
   記保護部材と前記構造体とを一時的に吸着する第２の吸
   着手段とを備えたことを特徴とする検査治具。
8. （８）前記第１、第２の吸着手段は、真空通気孔又は発
   磁素子であることを特徴とする請求項７記載の検査治具
   。