JPH03232773A - 高靭性および高強度を有する窒化けい素基焼結材料の製造法 - Google Patents

高靭性および高強度を有する窒化けい素基焼結材料の製造法

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JPH03232773A
JPH03232773A JP2027717A JP2771790A JPH03232773A JP H03232773 A JPH03232773 A JP H03232773A JP 2027717 A JP2027717 A JP 2027717A JP 2771790 A JP2771790 A JP 2771790A JP H03232773 A JPH03232773 A JP H03232773A
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孝 小山
Hideo Oshima
秀夫 大島
Yasutaka Aikawa
相川 安孝
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、高靭性および高強度を有し、特にこれらの
特性が要求される切削工具として適用した場合にすぐれ
た切削性能を発揮する窒化けい素(以下Si3N4で示
す)基焼結材料の製造法に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、513N4基焼結材料の製造法としては、例えば
特公昭60−2034Ei号公報に記載される方法が知
られている。
この従来方法は、原料粉末として、513N4粉末、酸
化ジルコニウム(以下Z r O2で示す)粉末、およ
び酸化マグネシウム(以下MgOで示す)粉末を用い、
これら原料粉末を、所定の配合組成に配合し、通常の条
件で混合し、圧粉体に成形した後、この圧粉体に、 窒素または窒素+不活性ガスの雰囲気中、温度=160
0〜2100℃、圧力=1.5〜130気圧、の条件で
焼結することにより813N4基焼結材料を製造する方
法である。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、上記の従来方法によって製造されたSiaN4
基焼結材料は、高強度をもつものの、十分な靭性をもつ
ものでないため、これを例えば鋳鉄の湿式連続高速切削
や粗フライス切削などに切削工具として用いた場合に、
靭性不足が原因で切刃に欠損やチッピングが発生し易く
、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
〔課題を解決するための手段〕
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、高靭性
と高強度を合せもったSisN4基焼結材料を開発すべ
く研究を行なった結果、 原料粉末として、SiN(α−813N44 を主成分とするものが望ましい)粉末、窒化ジルコニウ
ム(以下ZrNで示す)粉末、酸化けい素(以下S i
O2で示す)粉末、およびMgO粉末を用い、これら原
料粉末を所定の配合組成に配合し、通常の条件で、混合
しか椀、圧粉体に成形した後、この圧粉体に、 窒素雰囲気中、相対的に低い圧力で1次焼結を施すと、
この1次焼結では、α−813N4かやや針状化したβ
−8i3N4に変化し、結合相として粘性が低く、ぬれ
性の良好なMg−5jO−NまたはMg −Si  −
Zr −0−N系の液相が形成されるために良好な焼結
性か確保され、引続いて、同じく窒素雰囲気中、相対的
に高い圧力で2次焼結を施すと、分散相としてのZrN
の一部が、 ZrN+5IO2+N2→ Z r O2+ S ia N4−      ・・・
(1)ZrN十結合相(1次焼結)十N2→ Z r O2+結合相(2次焼結)・(2)以上(1)
および(2)の反応によってZ r O2となり、この
ZrNからZ r 02の生成時に、内在するマイクロ
ポアが吸収されて緻密化されると共に、β−3iaN4
の針状化が一段と進行し、さらに1次焼結時に形成され
た結合相に比して酸素含有量が減少し、窒素含有量が増
加した結合相が形成されるようになり、この結果製造さ
れたSi3N4基焼結材料は、残留する熱伝導率が高く
、硬さの高いZrNによって、すぐれた耐熱衝撃性と耐
摩耗性が確保され、また化学的に安定で、耐酸化性の向
上に寄与し、かつクラックが進展してきた時にマルテン
サイト変態により破壊エネルギーを吸収する作用を有す
るZ r O2と、著しく針状化したβ−8i3N4に
よって高靭性か確保され、かつ高緻密化と含まって高強
度も有するようになり、この場合のZ「02は、Mgか
固溶(StやNが固溶する場合もある)して、立方晶あ
るいは正方品を呈するものであり、さらに相対的に窒素
が多く、酸素が少ない結合相が耐熱性向上に寄与し、か
つ、この結合相はガラス相、フォルステライト相、ある
いはユンステタイト相などからなるなどの研究結果を得
たのである。
この発明は、上記研究結果にもとづいてなされたもので
あって、原料粉末として、513N4粉末、望ましくは
α−S i3N 4粉末、ZrN粉末、SiO2粉末、
およびMgO粉末を用い、これら原料粉末を、重量%で
、 ZrN   :1〜27%、 S iO2: 0.5〜5%、 MgO:1〜10%、 Si3N4 :残り、 の配合組成に配合し、通常の条件で混合し、圧粉体に成
形した後、この圧粉体に、 窒素(N2)雰囲気中、温度:1500〜20oo℃、
圧力=1〜50気圧、 の良好な焼結性が得られる条件で1次焼結し、っいで、 N2雰囲気中、1700〜2000℃の温度にして、1
次焼結における圧力より高い100〜2000気圧の圧
力、 の条件で1回または2回以上の2次焼結を、1次焼結に
引続いて連続的に、あるいは1次焼結とは別に、さらに
2回以上の2次焼結を行なう場合には最初の2次焼結と
は別に断続的に施し、この2次焼結にて、ZrNからZ
 r O2を分散相として生成させ、この時点て内在す
るボアの吸収が起って緻密化し、かっβ−813N4の
針状化を一段と進行せしめ、もって高靭性と高強度を確
保するようにし、さらに1次焼結で形成されたMgSi
  −0−NまたはMg −Si  −Zr −0−N
系の結合相における酸素含有量を減少させ、窒素含有量
を増加させて耐熱性向上をはかる513N4基焼結材料
の製造法に特徴を有するものである。
したがって、この発明の方法で製造されるSiaN4基
焼結材料は、容量%て、 Z r O2: 0.1〜20%、 ZrN   :0.1 〜14%、 Mg −Si  −0−NまたはMg −5j  −Z
rO−N系の結合相:1〜1596、 を含有し、残りかβ−8i3N4と不可避不純物からな
る組成をもつものである。
つぎに、この発明の方法において、製造条件を上記の通
りに限定した理由を説明する。
(1)  配合組成 (a)ZrN粉末 ZrNには、1次焼結ではそのままの状態で存在して良
好な焼結性を確保するか、2次焼結では、その1部から
Z r O2を生成させ、残存するZrNによって焼結
材料にすぐれた耐熱衝撃性と耐摩耗性を付与せしめ、一
方生成したZrOのもつ破壊エネルギー吸収作用によっ
て靭性向上をはかる作用があり、したかってその配合割
合が1重量%未満では、焼結材料におけるZrO2の含
有量が0,1容量%未満となるほか、残存するZrNの
含有量も0.1容量%未満となってしまい、前記作用に
所望の効果を得ることができないものであり、一方その
配合割合が27重量%を越えると、焼結材料におけるZ
 r O2の含有量が20容量%を越えて多くなりすぎ
、硬さが低下して所望の耐摩耗性を確保することができ
ず、同時にZrNの含有量も14容量%を越えて多くな
り、耐酸化性の低下をきたすようになることから、その
配合割合を1〜27重量%と定めた。
(b)  S iO2およびMgO粉末S IO2およ
びMgOには、1次焼結時にSi  N  粉末の表面
に存在するSiO2、さら4 に必要に応じてZrN粉末の一部と反応して相対的に酸
素含有量が高く、窒素含有量が低い、これによって粘性
が低いMg −5t  −0−NまたはMg −Si 
 −Zr−0−N系の液相を生成し、この液相によって
良好な焼結を進行せしめ、結合相を形成する作用があり
、また2次焼結では前記結合相は相対的に酸素含有量か
減少し、窒素含有量が増加して耐熱性が向上したものに
なるが、その配合割合が、S iQ 2 : o、 1
重量96未満およびMgO:1重量%未満では焼結材料
における結合相の含有量が1容量%未満となってしまい
、所望のすぐれた焼結性を確保することができず、一方
その配合割合がS iO2: 5重量%およびMgO:
10重量%を越えると結合相の含有量が15容量%を越
えて多くなってしまい、焼結材料の耐熱性が低下するよ
うになることから、その配合割合を、それぞれSiO2
:0.1〜5重量%、MgO:1〜10重量%と定めた
。
(c) Si3N4粉末 Si3N4は、1次焼結で粉末表面に存在するS iO
2と他の助剤成分であるMgOおよびSiO2、さらに
必要に応じてZrNから生成する液相への溶解−析出に
よりβ−8i3N4粒子となり、このβ−813N4粒
子の成長は1次焼結では僅かであるが、2次焼結では上
記の(+)の反応により針状に粒成長して靭性が著しく
向上し、かつ焼結材料中に内在するボアが吸収されて緻
密化するようになるものであり、この場合均一にして良
好な焼結性を確保するためには微粒で、かつ粒度分布か
狭いものを使用するのが好ましい。
(2)1次焼結条件 上記の通り1次焼結では粘性が低く、良好な焼結を促進
させる相対的に酸素含有量が高く、窒素含有量か低い結
合相を形成させる必要があるが、温度か1500℃未満
であったり、圧力が1気圧未満であったりすると、前記
結合相の形成が不十分となり、満足な焼結を行なうこと
かできず、一方圧力か50気圧を越えると、高圧のN2
ガスが焼結体内に封し込められてしまい、このN2ガス
によって焼結性か阻害されるようになるばかりでなく、
2次焼結でのボア吸収による緻密化並びにβSi3N4
粒子の針状化成長も抑制されるようになり、また200
0℃を越えた温度は設備的に大がかりとなることから、
その条件を温度: 1500〜2000℃、圧力=1〜
50気圧と定めた。
(3)2次焼結条件 2次焼結で、上記の(1)および(2)の反応を行なわ
しめ、酸素減少と窒素増加による結合相の耐熱性向上を
はかり、ZrNの一部からZ r O2を生成させ、か
つβ−8i3N4粒子の針状化を著しく促進させ、さら
に焼結体内に内在するボアを吸収して緻密化し、もって
高靭性と高強度を確保するが、温度が1700℃未満で
も、圧力が100気圧未満でも上記の(1)および(2
)の反応が十分に行なわれず、この結果焼結材料に上記
のすぐれた特性を付与させることができず、一方200
0℃を越えた温度、並びに2000気圧を越えた圧力は
設備的に大がかりとなり、コスト高となることから、そ
の条件を温度: 1700〜2000℃、圧カニ100
〜2000気圧と定めた。
なお、1次および2次焼結条件は配合組成によって定め
られるが、実施条件での圧力は1次焼結に比して2次焼
結の方が相対的に高くなることは勿論である。
〔実 施 例〕
つぎに、この発明の方法を実施例により具体的に説明す
る。
原料粉末として、いずれも0.1〜0.5即の範囲内の
平均粒径を有する813N4 (α/β:容量比で97
/3 、酸素=2重量%含有)粉末、ZrN(酸素=3
重量%含有)粉末、S L 02粉末、MgO粉末、お
よびZ r O2粉末を用意し、これら原料粉末をそれ
ぞれ第1表に示される配合組成に配合し、ボールミルに
て72時間の湿式混合を行ない、乾燥した後、平面: 
30mm X 30m11%厚さ=]Owの寸法をもっ
た圧粉体、並びにJIS・5NGN432の切削チップ
形状の圧粉体にプレス成形し、ついでこれらの圧粉体を
同じく第1表に示される条件で焼結することにより本発
明法1〜】4、比較法1〜8、および従来法を実施し、
本発明Si  N  基焼結材料1〜14、比較Si3
N44 基焼結材料1〜8、および従来SiaN4基焼結材料を
それぞれ製造した。
つぎに、この結果得られた各種のSi3N4基焼結材料
について、成分組成を測定し、この場合Z r 02お
よびZrNの割合は、X線回折によりβ−Si  N 
  ZrO2,およびZrNの回折3 4 ′ ピークの強度を測定し、この測定結果にもとづいて計算
により求め、また、Mg−3t−0−NまたはMg −
Si  −Zr −0−N系の結合相の割合は、鏡面研
磨面をEPMA(X線マイクロアナライザー)により観
察して求め、さらに理論密度比、ロックウェル硬さ(A
スケール)、抗折力、および1M法(インデンテーショ
ン法)による破壊靭性値を測定した。また、縦型フライ
ス盤を用い、被削材:幅:150m+eX長さ:300
+nmの寸法をもったFC25製穴あき角材、 切削速度: 200m / l1ins切込み:2mm
。
送   リ: 0.25mm/rev。
刃   先: 0.15mm X −25″の条件で鋳
鉄の湿式フライス(断続)切削試験を行ない、切刃に欠
損が発生するまでの切削時間を測定した。これらの結果
を第2表にまとめて示した。
なお、比較法1〜8は、いずれも製造条件のうちのいず
れかの条件(第1表に※部を付す)かこの発明の範囲か
ら外れた条件で行なったものである。
〔発明の効果〕
第1表および第2表に示される結果から、本発明法1〜
14で製造された本発明Si3N4基焼結材料1〜14
は、いずれも99%以上の理論密度比をもち、緻密で、
ボアの形成もきわめて少なく、従来法で製造された従来
Si3N4基焼結材料に比して一段とすぐれた靭性を示
し、かつこれと同等あるいはこれ以上の高強度と高硬度
を有するので、強度および硬さのほかに、特に高靭性が
要求される条件での切削に切削工具として用いた場合に
は、すぐれた性能を長期に亘って発揮するのに対して、
比較法1〜8で製造された比較813N4基焼結材料1
〜8に見られるように、製造条件のうちのいずれかの条
件でもこの発明の範囲から外れると、上記特性のうちの
少なくともいずれかの特性か劣るようになり、また切削
工具として用いた場合にも短かい使用寿命しか示さない
ことが明らかである。
上述のように、この発明の方法によれば、高靭性および
高強度を有し、かつ耐熱衝撃性および耐摩耗性にもすぐ
れたSi3N4基焼結材料を製造することができ、した
がってこれを、例えばこれらの特性が要求される切削工
具として用いた場合にはすぐれた切削性能を著しく長期
に亘って発揮し、長い使用寿命を示すなど工業上有用な
効果がもたらされるのである。
出 願 人 三菱金属株式会社 代 理 人 晶 田 和 夫 外1名

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 原料粉末として、窒化けい素粉末、窒化ジルコ
    ニウム粉末、酸化けい素粉末、および酸化マグネシウム
    粉末を用い、これら原料粉末を、重量%で、 窒化ジルコニウム:1〜27%、 酸化けい素:0.1〜5%、 酸化マグネシウム:1〜10%、 窒化けい素:残り、 の割合に配合し、通常の条件で混合し、圧粉体に成形し
    た後、この圧粉体に、 窒素雰囲気中、温度:1500〜2000℃、圧力:1
    〜50気圧、 の良好な焼結性条件で1次焼結を施し、引続いて窒素雰
    囲気中、温度:1700〜2000℃、圧力:1次焼結
    における圧力より高い100〜2000気圧、の条件で
    1回または2回以上の2次焼結を連続的または断続的に
    施し、該2次焼結にて、 酸化ジルコニウムを分散相として生成させると共に、硬
    質相としての窒化けい素の針状化を一段と促進させて靭
    性の向上をはかり、 かつ、Mg−Si−O−NまたはMg−Si−Zr−O
    −N系の結合相における酸素含有量の減少と窒素含有量
    の増加をはかって耐熱性を向上させることを特徴とする
    高靭性および高強度を有する窒化けい素基焼結材料の製
    造法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0742182A1 (en) 1995-05-09 1996-11-13 Mitsubishi Materials Corporation Silicon nitride based sintered material, method for preparing the same and its use as a deficiency resistance cutting tool
CN112679211A (zh) * 2021-01-29 2021-04-20 北方民族大学 一种ZrN-镧氧化物复相陶瓷及其无压反应烧结制备方法
CN113880592A (zh) * 2021-11-08 2022-01-04 北京理工大学 一种高硬高韧氮化硅陶瓷复杂结构件制备工艺

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