JPH0323457A - フォトツール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、プリント基板製造において、フォト技術に
よりパターンを形成したり、ソルダーレジスト層を形成
する際の露光作業に用いるフオトツールに関するもので
ある。

〔従来の技術〕

第３図は従来の露光作業の位置合せを行った状態を示す
平面図、第４図はそのＡ−Ａ断面図である．図において
、　（１）はパターンもしくはソルダーレジスト層を形
成するための基板，（２）はこの基板（１）に重ね合わ
せたワークフィルム．　（２ａ）はそのマスク部、（３
ａ），　（３ｂ）は位置合せのために県板（１）および
ワークフィルム（２）のそれぞれの対応する位置に明け
られた合せ穴、（４）はワークフィルム（２）に明けら
れたフィルム固定用穴、（５）はフィルム固定用穴（４
）付近に貼付けられた固定用粘着テープ，（６）は合せ
穴（３ａ）　，　（３ｂ）に揮入される合せピン、（７
）は基板（１）に形成された感光膜である。

このような構成により露光作業を行うには、基板（１）
とワークフィルム（２）を重ね合わせ、それぞれに明け
られた合せ穴（３ａ），　（３ｂ）に合せピン（６）を
通して正確に位置合せを行い５ワークフィルム（２）に
明けられた固定用穴（４）を介して，粘着テープ（５）
によりワークフィルム（２）を基板（１）に固定し，合
せピン（６）を外す。また両面を同時にｎ光できる露光
機を用いる場合は、これらを裏返しにして、反対面も同
じ手順でワークフィルム（２）を固定する。その後、こ
れらを図示しない露光機にセットして光を照射すること
により、基板（１）上の感光膜（７）に所定のパターン
を感光させる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来は以上のようなフォトツールと手順
で露光作業を行っているため、ワークフィルム（２）の
合せ穴（３ｂ）が消耗しやすく，合せ回数が増す毎にそ
の径が広がり，合せ精度が低下する。また粘着テープ（
５）による固定が外周に沿ってなされるため，反対面の
位置合せのために裏返す時や、露光機ヘセットするため
の移動の際に、ワークフィルム（２）がたわんだり、外
れたりして露光不良が発生する等の問題点があった．本
発明は上記のような問題点を解消するためになされたも
ので、使用回数に併う合せ精度の低下がなく、露光機へ
のセットの際もワークフイルムがずれることなく確実に
固定できるフオトツールを堤供することを目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 この発明のフオトツールは、基板およびワークフィルム
を支持するバックアップ板と、このバックアップ板の周
辺部に形成された位置決め部と、この位置決め部に設け
られた基準ピンと、前記ワークフィルムの周辺部に固定
されたワークフィルム固定板と，このワークフィルム固
定板および基板の前記基準ピンに対応する位置に形成さ
れた合せ穴とを備えたものである。

〔作　用〕

この発明におけるフォトツールは，位置決め部に設けら
れた基準ピンに，基板の合せ穴とワークフィルムに固定
された固定板の合せ穴とを合せて位置決めを行い、基板
およびワークフィルムをバックアップ板で保持して露光
を行う。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第ｌ
図は実施例のフォトツールにより位置合せを行った状態
を示す平面図、第２図はそのＢ一Ｂ断面図である。図に
おいて，第３図および第４図と同一符号は同一または相
当部分を示す．　（１１）は基板（１）および２枚のワ
ークフィルム（２）をサンドイッチ状態で支持する透明
なバックアップ板、（１２）はこのバックアップ板（１
１）の周辺部に固着された棒状の位置決め部材．　（１
３）は位置決め部材（ｌ２）に所定間隔で設けられた基
準ピン．　（１４）はワークフィルム（２）の周辺部に
貼付けられたワークフィルム固定板である。合せ穴（３
ａ），　（３ｂ）は基板（１）およびワークフィルム固
定板（ｌ４）の基準ピン（１３）に対応する位置に形成
されている。

上記のように構成されたフオトツールによる露光作業は
，あらかじめワークフィルム（２）を貼合せて固定した
固定板（１４）を、基板（１）を中心に挟んでサンドイ
ンチ状に重ね，基準ピン（１３）に基板（１）と固定板
（ｌ４）に明けられた合せ穴（３ａ），　（３ｂ）を通
して位置決めし，基板（１）およびワークフイルム（２
）をバックアップ板（１ｌ）で支持する．このときの作
業手順は，まずあらかじめ下面用ワークフィルム（２）
を貼り合せた下側の固定板（１４）を基準ピン（ｌ３）
にセットしておき、次に基板（１）をさし込み、さらに
その上にあらかじめ上面用ワークフィルム（２）を貼り
合せた上側の固定板（ｌ４）を差込み、その後露光機に
セットして上下より光を照射することにより露光作業を
行う。

この場合、バックアップ板（１１）、位置決め部材（ｌ
２）および下面用ワークフィルム（２）を貼付けた下側
の固定板（ｌ４）を露光機内にそのままセットしておき
，基板（１）と上面用ワークフィルム（２）を貼付けた
上側の固定板（１４）のみを着脱するような作業形態を
適用してもよい。

なお、上記実施例において、位置決め部材、基準ピン，
固定板としては、温度や湿度による寸法変化が少ない材
料、例えば真鍮、ステンレス等の金属製であるのが好ま
しい。光の透過が必要なバックアップ板として，アクリ
ル等のプラスチックを使用する場合は，位置決め部材と
は分離されている構造であることが好ましいが、バック
アップ板にガラスを用いる場合は，寸法変化が少ないた
め、ガラス板に直接基準ピンを設けて位置決め部とし，
位置決め部を一体化したＭＩｔ造であってもよい。

また上記実施例は上下から露光できるように構成してい
るが，片面から露光するものでもよく、この場合バック
アップ板として、遮光性のものを用いることができる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、ワークフィルムを固
定する固定板の合せ穴と，基板の合せ穴を基準ピンによ
り位置決めと固定を同時に行うようにし、かつバックア
ップ板により支持するようにしたため、ワークフィルム
に直接力が加わらず、位置決め精度が低下することはな
い。また両面館光を行う場合でも基板を裏返す必要はな
く、ワークフィルムのたわみや外れ等がなく露光不良の
発生がなくなる．

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例のフオトツールにより位置
合せを行った状態を示す平面図、第２図は第｛図のＢ−
Ｂ断面図，第３図は従来の露光作業の位置合せを行った
状態を示す平面図、第４図は第３図のＡ−Ａ断面図であ
る。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、（１）
は基板、（２）はワークフィルム、（３ａ），　（３ｂ
）は合せ穴，（７）は感光膜．　　（１１）はバックア
ップ板５（ｌ２）は位置決め部材．　（１３）は基準ピ
ン、（ｌ４）はワークフィルム固定板である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板およびワークフィルムを支持するバックアッ
   プ板と、このバックアップ板の周辺部に形成された位置
   決め部と、この位置決め部に設けられた基準ピンと、前
   記ワークフィルムの周辺部に固定されたワークフィルム
   固定板と、このワークフィルム固定板および基板の前記
   基準ピンに対応する位置に形成された合せ穴とを備えた
   ことを特徴とするフォトツール。