JPH03238189A - レーザ溶接装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本願発明はレーザ溶接装置に関する。

【従来の技術】

近年の電゛子技術の発達により、電子装置の小型化、高
集積化が促進され、より微細な加工技術を開発する必要
が生じている。 電子装置製造工程において、電子部品等を基板等の取付
は体の所定位置に接合するために、従来からハンダ等を
利用した接合方法が用いられている。しかしながら、上
述のように、上記電子装置がきわめて小型になり、また
、集積度を高（するためには電子部品と取付は体との間
で大きな接合部分をとることができず、上記ハンダ等に
よる接合方法は限界に達している。 上記問題を解決する加工技術としてレーザ溶接加工が注
目され、実用化されている。レーザ光線は高いエネルギ
密度を有する光線であり、また、指向性および集束性が
よく、非接触で溶接加工を行うことができるため、その
利用範囲はきわめて広い。 上記溶接加工を行うために、第８図に示すように、いわ
ゆるＹＡＧレーザを利用したレーザ溶接装置１がよく用
いられる。上記ＹＡＧレーザは固体レーザの一種であり
、ランプ２による光励起作用によりレーザ光線が発振さ
れるため保守が容易であり、また、大出力を得ることが
できるとともに、集束性がよいため、精密溶接加工に適
している。 上記ＹＡＧレーザを利用したレーザ溶接装置ｌは、レー
ザ光線の発振源であるＹＡＧレーザ発振装置３と、上記
レーザ発振装置３よって発振されたレーザ光線を電子部
品４と取付は体５とからなるワーク６の接合部９に照射
する照射装置７と、上記Ｉノーサ発振装置３から発振さ
れたレーザ光線を上記照射装置７まで伝送する光ファイ
バ８を備える。精度の高い電子装置を製造するには、上
記電子部品４の取付は体５に対する取付は位置の精度を
高くする必要があることはもちろん、レーザ光線を上記
電子部品４と取付（プ体５の接合部９に正確に照射する
ために、上記ワーク６の接合部９と照射装置７との相対
位置をも正確に規定する必要もある。 従来、電子部品４の取付は体５に対する取付１−１位置
を規定するために、電子部品４を」二記取付は体５の取
付は面に搬送するとともに、上記電子部品４の取付は体
５に対する取イマ］け位置を調節しうるコレット装置１
０が設けられている。一方、ワーク６上における上記レ
ーザ光線の被照射部９ａの位置を規定するために、上記
照射装置７の位置および方向を調節しうる位置調節手段
１１が設けられている。 また、上記レーザ光線の被照副部９ａを」二記ワークの
接合部９正確に規定するために、上記レーザ溶接装置１
において、上記溶接加工に用いるレーザ光線とは別途に
、肉眼で認識することができ、かつ、上記電子部品およ
び取付は体の被照射部９ａに影響を与えない照明光を発
生する位置調節用光線発生装置１２を設け、上記位置調
節用光線発生装置１２から発せられる位置調節用光線を
上記電子部品４と取付は体５との接合部９に照射して、
レーザ光線の被照射部９ａをあらかじめ検出し、上記コ
レット装置ＩＯあるいは上記照射装置７の位置を調節し
てレーザ光線を上記接合部９に照射できるように構成さ
れている。

【考案が解決しようとする課題】

上記従来のレーザ溶接装置ｌにおいては、加工位置にお
いて上記電子部品４と取付は体５の接合部９にレーザ光
線が照射されるように、上記コレット装置ＩＯおよび上
記照射装置７の相対位置が調節された後、電子部品４お
よび取付は体５が連続的に加工位置まで搬送され、溶接
加工が連続的に行われる。 ところが、上記電子部品４の取付は体５に対する取付は
位置の精度を向上させるため、溶接加工の直前に上記コ
レット装置１０を用いて、上記電子部品４の取付は体５
に対する取付は位置の微調節を再度行う必要がある。上
記電子部品４の取付は位置の再調節を行うと、上記電子
部品４ど取付は体５の接合部９が、上記コレット装置Ｉ
Ｏと上記照射装置７との位置調節によりあらかじめ規定
したレーザ光線の被照射部９ａからずれ、不完全な溶接
が行われたり、溶接ミスが発生するという問題が生じる
。 上記問題を解決するため、照射装置７の上記位置調節手
段１１を上記電子部品４の位置調節ごとに調節して、被
照射部９ａの位置調節を行うことも考えられるが、多数
の電子装置を連続して溶接加工する場合には、二段階の
位置調節を各々の加工工程ごとに行わなければならず、
位置調節作業に多くの時間を要し、作業性が低下する。 また、上記照射装置７とコ１ノット装置ｊＯとを、−の
移動テーブルに設置して、上記照射装置７とコ１ノット
装置ｌＯとを、上記電子部品４の位置調節とともに一体
的に移動させ、レーザ光線の電子部品４上の被照射部９
ａの位置を固定化し、レーザ光線が上記電子部品４の接
合縁からずれないようにすることも可能である。 しかしながら、上記照射装置７はある程度の大きさを有
し、電子部品あるいは取付は体の形状等によっては、上
記照射装置７を上記コレット装置１０と一体的に位置調
節することができない場合がある。また、その重量もか
なりあることから、上記コレット装置１０と一体的に位
置調節すると、調節速度が遅くなり、作業時間が増加し
て、生産性を低下させることとなってしまう。 本願発明は、上述の事情のもとで考え出されたものであ
って、簡単な構成で上記従来の問題を解決し、電子部品
の位置調節にともない、レーザ光線の被照射部が接合部
からずれるのを防止することができるレーザ溶接装置を
提供することをその課題とする。

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手
段を講じている。 すなわち、本願発明は、レーザ光線によって電子部品を
取付は体に溶接するレーザ溶接装置であって、 レーザ発振装置と、 上記レーザ発振装置によって発振されたレーザ光線を照
射する照射装置と、 上記取付は体を載置する取付は体支持テーブルと、 上記電子部品を上記取付は体の取付は面に搬送するとと
もに、上記電子部品の取付は体に対する取付は位置を調
節しうるコレット装置と、上記照射装置から照射される
レーザ光線を上記電子部品と取付は体の接合部に向けて
反射しうる反射鏡とを備え、 上記コレット装置と上記反射鏡とを同一の移動テーブル
に設置し、上記コレット装置と上記反射鏡とを一体的に
位置調節できるとともに、上記照射装置から照射される
レーザ光線を上記反射鏡を介して上記接合部に照射でき
るように構成したことを特徴とする。

【発明の作用および効果】

本願発明は、電子部品を取付は体の取付は面まで搬送す
るとともに、上記電子部品の取付は体に対する位置を調
節しうるコレット装置と、レーザ光線を反射しうる反射
鏡とを同一の移動テーブルに設置し、上記コレット装置
と上記反射鏡とを上記移動テーブルによって一体的に位
置調節することにより、電子部品の取付は体に対する位
置調節にともなうレーザ光線の接合部からのずれを防止
しようとするものである。 レーザ光線は一般の光と同様の光学的特性を備えており
、反射鏡によって容易に反射され、光路が変更させられ
る。本願発明は上記特性を利用し、照射装置から照射さ
れるレーザ光線を、直接ワークに照射するのではなく、
−旦反射鏡に反射させた後、ワークに照射するものであ
る。 レーザ光線の被照射部を、上記コレット装置の位置調節
動作に連動する上記反射鏡によって、上記電子部品の調
節移動に追随させることが可能となり、上記電子部品の
接合部からずれないようにすることができる。 以下、第３図ないし第７図に基づいて本願発明の作用お
よび効果を説明する。 第３図ないし第７図は、コレット装置１８と反射鏡１４
とが−の移動テーブルに設置されたレーザ溶接装置にお
ける、電子部品４の位置調節にともなう被照射部９ａの
動きを示している。なお、これらの図において、仮想線
で示されているのは、調節前の電子部品４、コレット装
置１８および反射鏡１４である。 第３図ないし第５図に、反射鏡１４として平面鏡１４ａ
を採用した場合を示す。この場合には、照射装置７から
上記移動テーブル１３に平行にレーザ光線を照射し、上
記コレット装置１８と一体的に位置調節される反射鏡１
４ａに反射させた後、上記電子部品４と取付は体５の接
合部９に照射することにより、電子部品４の位置調節に
よる被照射部９ａの接合部からのずれを防止することが
できる。 第３図は、コレット装置１８のＸ軸方向の動きにともな
う上記被照射部９ａのＸ軸方向およびＺ軸方向の動きを
示すものである。この図に示すように、電子部品４がＸ
軸方向に調節移動させられる場合には、上記レーザ光線
の被照射部９ａは、上記電子部品４の動きに対応してＸ
軸方向に移動し、またＺ軸方向には移動しないため、電
子部品４の位置調節を行っても電子部品４の接合部９か
らずれることはない。 一方、第４図は上記電子部品４のＸ軸方向の動きに対す
る被照射部９ａのｙ軸方向への動きを示すものである。 この図に示すように、レーザ光線の被照射部９ａの電子
部品４上のｙ軸方向の位置は、上記電子部品４のＸ軸方
向への移動によって、取付は体に当接する上記電子部品
４の側縁１６に沿って多少移動し、当初規定した接合部
９からｙ軸方向にずれる。これは、レーザ光線の光路が
上記電子部品４の調節方向（Ｘ軸方向）と所定の角度を
もっためであるが、電子部品４の位置調節距離はきわめ
て小さく、」二記被照射部９ａが」−配電子部品４の側
縁１Ｇの両端部から外れてしまうことはないため溶接に
支障はない。 また、第５図は、電子部品４がｙ軸方向に調節移動させ
られた場合の被照射部９ａの動きを表したものである。 上記被照射部９ａは、上記電子部品４の移動方向にほぼ
追随して移動している。この場合においても、第４図と
同様に被照射部９ａの移動量は上記電子部品４の移動量
と一致せず、上記調節後の被照射部９ａは当初の接合部
９からｙ軸方向に多少ずれるが、上記ｙ軸方向のずれも
上記電子部品４の側縁１６の長さに比べて小さく、した
がって上記被照射部９ａが電子部品４の側縁ＩＧから外
れることはない。このため、レーザ光線の被照射部は」
二記電子部品４の側縁］６上、すなわち溶接可能部位に
必ず位置することとなり、溶接ミスが発生するというこ
とはない。 上記レーザ光線の光路を、上記ＸＹテーブルと平行に設
定できない場合、あるいは、電子部品の調節方向とレー
ザ光線の光路が所定の角度をもつ場合の上記被照射部９
ａと当初規定した接合部９との、上記電子部品４の側縁
１６に沿う上記のず１１− ＝１２ れが許容できない場合には、第６図および第７図に示す
ように、反射鏡１４として凹面鏡１４１つを用いて上記
不都合を取り除くことが可能である。 すなわち、凹面鏡１４ｂは、光線の入射位置によって反
射方向が異なるため、上記凹面鏡１４ｂが上記コレット
装置１０と一体的に移動すると、凹面鏡１４ｂの上記レ
ーザ光線が入射する部位が上記移動にともなってずれ、
その分１ノーザ光線の光路の方向が変わる。上記光路の
方向の変化を利用して上記凹面鏡１４ｂおよび照射装置
７の位置を設定すれば、電子部品４の所定の接合部９に
、ずれをほとんど生じさせることなく、レーザ光線の被
照射部９ａを規定することが可能となる。上記凹面鏡１
４ｂの曲率等の形状は、上記電子部品４の調整範囲ある
いは凹面鏡１４ｂの位置等によって適当なものが採用さ
れる。 電子部品は半導体製造工程等の精密な加工工程を経て製
造されており、その形状および寸法精度は高い。このた
め、コレット装置および反射鏡と照射装置の相対位置を
一旦設定すると、多数の電子部品を連続して溶接しても
、電子部品と反射鏡の相対位置がずれることはほとんど
ない。また、上記相対位置は標準寸法をもつ電子部品お
よび取付は体に合わせてあらかじめ調節されているため
、コレット装置による電子部品の再調節量は非常に少な
い。したがって、上記レーザ光線の被照射部があらかじ
め設定した接合部からほとんどずれることはなく、精度
の高い溶接加工を行うことが可能となる。 また、従来のように、レーザ光線の被照射部が上記電子
部品と取付は体の接合部から外れ、電子部品に悪影響を
与えたり、溶接ミスが発生するといったこともなくなる
。 さらに、」二記反射鏡は形状も小さく、また重量も小さ
いため、上記コレット装置の位置決め動作に影響を与え
ることはなく、電子部品の取付は体に対する位置調節を
迅速に行うことが可能となり作業能率を向上させること
も可能である。

【実施例の説明】

以下、本願発明の実施例を第１図ないし第７図に基づい
て具体的に説明する。 第１図は、レーザダイオード４ａと取付は基板４ｂとか
ら構成されるレーザダイオードユニット４Ｃを取付は体
５に溶接するためのレーザ溶接装置１５に本願発明を適
用した場合の概略構成を示す斜視図である。また、第２
図は第１図におけるレーザ溶接装置１５の要部の正面図
である。なお、これらの図において、従来例と同一また
は同等の部材には同一の符号を付しである。 本実施例のレーザ溶接装置１５は、ＹＡＧレーザ発生装
置１７と、上記ＹＡＧレーザ発生装置１７によって発振
されたレーザ光線を所定の加工位置まで伝送する光ファ
イバ８と、上記光ファイバ８の先端に設けられ、上記レ
ーザ光線を照射する照射装置７と、上記照射装置７から
照射されたレーザ光線を上記レーザダイオードユニット
４ｃと取付は体５との接合部９に向けて反射しうるよう
に平面鏡を用いた反射鏡１４ａと、上記レーザダイオー
ドユニット４Ｃを所定の取付は位置まで搬送するととも
に、上記取付は体５に対する取付は位置の調節を行いう
るコレット装置１８と、上記取付は体５を支持搬送する
取付は体支持テーブル１９と、上記コレット装置１８お
よび反射鏡１４ａが設置され、Ｘ軸およびｙ軸方向に移
動可能なＸＹテーブル１３とから大略構成される。 上記ＹＡＧレーザ発生装置１７は、第２図に示すように
、両端に反射鏡２０を有する固体状の光共振器２１と、
上記光共振器２１の両側に配置され、光エネルギを上記
光共振器２１に注入するフラッシュライト２２と、上記
フラッシュライト２２に電力を供給し、発光をコントロ
ールする電源部２３とを備えている。 上記光ファイバ８は、上記レーザ発生装置１７の内部に
導入された一端部に、上記レーザ光線の入射端２４が設
けられ、集光レンズ２５によって集光されたレーザ光線
が上記光ファイバ８に入射され、上記レーザ光線を、所
定の加工位置まで伝送する。 上記照射装置７は、上記光ファイバ８の他端に連結され
ており、上記光ファイバ８によって伝送１５− ６ されたレーザ光線を取り出す出射端２６と、上記出射端
２６から出射されるレーザ光線を集束させて照射する集
光レンズ２７とを備え、反射鏡１４ａに対する位置およ
び方向を調節できるように、可動アーム２８によって三
次元方向に位置調節可能に構成されている。上記照射装
置７の上記可動アーム２８は図示しない溶接装置本体に
固定されており、本実施例においては、上記照射装置７
から、後に説明する移動テーブル１３と平行にレーザ光
線を照射しうるように位置および方向が設定される。 本実施例における反射鏡１４ａは平面鏡が採用されてお
り、上記照射装置７およびコレット装置１８との相対位
置およびレーザ光線の反射方向を調節できるように、三
次元方向に位置調節可能な可動アーム２９に支持され、
上記照射装置７と、上記コレット装置１８を挟んで反対
側に配置されている。また、本実施例においては、上記
反射鏡１４ａは上記照射装置７から照射されるレーザ光
線の光路上に設置されており、上記照射装置７から照射
されるレーザ光線を、上記レーザダイオードユニット４
Ｃと取付は体５からなるワーク６の接合部９に向けて反
射しうるように位置調節されている。 上記コレット装置１８は、後に説明する移動テーブル１
３に固定されるシリンダ部３０と、上記シリンダ部３０
に摺動可能に挿入された摺動ロッド３１と、上記摺動ロ
ッド３１の先端部に形成される頭部３２と、上記頭部３
２の先端部に下方に延出するように形成されたコレット
爪３３とを備える。上記頭部３２は、上記シリンダ部３
０に挿入支持された摺動ロッド３１によって、回転可能
に、かつ上下方向移動可能に支持されている。また、上
記コレット爪３３は、図示しない真空発生装置に連結さ
れており、負圧によって上記レーザダイオードユニット
４ｃをその先端部に吸引保持できるように構成されてい
る。上記コレット装置１８は、図示しない制御装置によ
って駆動され、上記レーザダイオードユニット４Ｃを吸
引保持した状態で上記頭部３２を駆動させることにより
、上記レーザダイオードユニット４Ｃを所定の取付は位
置まで保持搬送することができるように構成されている
。 上記移動テーブル１３は、本実施例においては、ＸＹテ
ーブル１３ａから構成されており、上記コレット装置１
８および反射鏡１４ａが上面に設置され、上記ＸＹテー
ブル１３ａを移動させると、上記コレット装置１８と上
記反射鏡１４ａが一体的に移動するように構成されてい
る。 なお、本実施例においては、上記レーザ光線のワーク６
における被照射部９ａを規定するための位置調節用光線
発生装置１２を備えており、上記位置調節用光線発生装
置１２としてヘリウム−ネオンレーザ発生装置が採用さ
れている。上位置調節用光線発生装置１２は、上記光フ
ァイバ８の入射端２４近傍に設けられ、上記溶接用レー
ザ光線の光路に、その途中から上記位置調節用光線を入
射しうるように構成されている。 第３図ないし第５図に、１ノーザダイオードユニツト４
ｃがＸＹテーブル１３ａに設置されたコレット装置によ
ってＸ軸方向およびｙ軸方向に位置調節される場合のレ
ーザ光線の被照射部９ａの位置の変化を示す。なお、こ
れらの図は、レーザ光線が照射装置７からＸＹテーブル
１３ａに対して平行に照射された場合を示している。 第３図は、レーザ溶接装置１５の要部の正面図を示すと
ともに、上記レーザダイオードユニット４ｃがＸ軸方向
に位置調節される場合の被照射部９ａのＸ軸およびＸ軸
方向の位置の変化を示している。この図に示すように、
レーザダイオードユニッｈ４ｃがＸ軸方向に調節移動さ
せられる場合、上記レーザ光線の被照射部９ａは、上記
レーサダイオードユニッｌ−４ｃＯＸ軸方向の動きに対
応して移動し、上記被照射部９ａがレーザダイオードユ
ニッ）・４Ｃの側縁１６からずれることはない。 また、第４図は上記第３図の調節操作における平面図で
あり、レーザダイオードユニット４ＣがＸ軸方向に調節
移動させられる場合の被照射部９ａのｙ軸方向の動きを
表している。この図に示すように、レーザ光線の被照射
部９ａのレーザダイオ１９− ０ 一ドユニット４ｃ上のｙ軸方向の位置は、上記レーザダ
イオードユニット４ＣのＸ軸方向の調節移動によって、
上記側縁１６に沿って多少移動する。 これは、レーザ光線の光路が上記レーザダイオードユニ
ッｌ−４βの調節方向（Ｘ軸方向）と所定の角度をもっ
ためであるが、上記レーザダイオードユニット４Ｃの側
縁１６の長さに比べるとかなり小さく、上記被照射部９
ａが上記レーザダイオードユニット４Ｃの側縁１６、す
なわち溶接可能部位から外れてしまうことはない。第５
図は、レーザダイオードユニット４Ｃがｙ軸方向に調節
移動させられた場合の被照射部９ａの動きを表したもの
である。上記被照射部９ａは、上記レーザダイオードユ
ニット４Ｃの移動方向にほぼ追随して移動している。こ
の場合においても、第４図と同様に被照射部９ａの移動
量は上記レーザダイオードユニット４Ｃの移動量と厳密
には一致しないが、その差は上記側縁１６の長さに比べ
て小さく、また上記被照射部９ａがレーザダイオードユ
ニット４ｃの側縁１６から外れることがないため、溶接
に支障が生じることはない。 次に、上記構成のレーザ溶接装置］５の使用方法につい
て説明する。 始めに、上記コレット装置１８によって搬送されるレー
ザダイオードユニット４ｃおよび取付は体支持テーブル
１９に載置される取付は体５の溶接位置に合わせて、上
記反射鏡１４ａ、照射装置７、および取付は体支持テー
ブル１９の相対位置をあらかじめ設定する。本実施例に
おいては、上記照射装置７から位置調節用光線が照射さ
れ、上記反射鏡１４ａに反射されて、上記１ノ−サダイ
オードユニット４ｃと取付は体５の接合部９に１ノーザ
光線が集束するように、上記コｌノット装Ｗ１８および
照射装置７の位置調節が行われる。上記レーザダイオー
ドユニッ）４ｃは、半導体製造工程において加工されて
おり、その形状および寸法の精度は高い。したがって、
上記コレット装置１８によって、上記１ノーザダイオー
ドユニツト４ｃを所定の溶接位置に精度高く位置決めす
ることが可能であり、多数のレーザダイオードユニット
４ｃを連続的に溶接加工する場合でも、上記反射鏡１４
ａと上記レーザダイオードユニット４ｃとの相対位置精
度は高く保たれる。また、取付は体５も上記レーザダイ
オードユニット４ｃと同様の寸法精度を備え、上記取付
は体支持テーブル１９よって所定の溶接位置に精度高（
位置決めされる。このため、−旦、上記反射鏡１４ａ等
の位置調節を行えば、連続的に搬送されるレーザダイオ
ードユニット４ｃおよび取付は体５の接合部９に、レー
ザ光線を照射することが可能となる。 上記コレット装置１８、照射装置７、反射鏡１４ａおよ
び取付は体支持テーブル１９の相対位置の調節が終了し
た後、レーザダイオードユニット４ｃおよび取付は体５
を、上記溶接位置に搬送し、上記レーザダイオードユニ
ット４ｃの取付は体５に対する位置を確認し、再度位置
調節が必要な場合には、上記移動テーブル２０を駆動し
て上記コレット装置１８と反射鏡１４ａとを一体的に位
置調節し、上記レーザダイオードユニット４ｃの取付は
体５に対する位置調節を行う。 そして、上記位置調節を終了した後、上記照射装置７か
らレーザ光線を照射し、上記　反射鏡１４ａに反射させ
することにより、上記接合部９に照射して溶接加工を行
う。 上述のように、本実施例においては、上記照射装置７と
反射鏡１４ａの相対位置をあらかじめ規定した後は、上
記移動テーブル２０によって上記コレット装置１８と反
射鏡１４ａとを一体的に移動させ、レーザダイオードユ
ニット４ｃと取付は体５との相対位置を調節するのみで
、精度の高い溶接加工を行えるようになる。 また、上記コレット装置１８によって、上記レーザダイ
オードユニット４ｃの取付は体５に対する再度の位置調
節を行っても、レーザ光線の被照射部９ａが、レーザダ
イオードユニット４ｃの側縁１６からずれることがなく
、溶接可能部位から外れてしまうことはない。このため
、従来のように、レーザダイオードユニット４ｃに悪影
響を与えたり、溶接ミスが発生するといったこともなく
なる。 ２３− ４ また、上記反射鏡１’４ａは形状も小さく、また重量も
小さいため、上記コレット装置１６の調節動作に影響を
与えることはなく、レーザダイオードユニット４ｃの取
付は体５に対する位置調節を迅速に行うことが可能とな
り、作業能率を向上させることも可能である。 第６図および第７図に本願発明の他の実施例を示す。こ
れらの図に示す実施例は、反射鏡１４として、上記実施
例の平面像１４ａに代え、凹面鏡１４ｂを採用したもの
である。　上記レーザ光線の光路を、上記ＸＹテーブル
１３ａと平行に設定できない場合、あるいは、レーザダ
イオードユニット４ｃの調節方向とレーザ光線の光路が
所定の角度をもつ場合に、反射鏡１４として凹面鏡１４
ｂを用いることにより、さらに溶接精度を高めることが
可能となる。すなわち、凹面鏡１４ｂは、光線の入射位
置によって反射方向が異なるため、上記凹面鏡１４ｂが
上記コレット装置１８と一体的に移動すると、凹面鏡１
４ｂの上記レーザ光線が入射する部位が上記移動にとも
なってずれ、その分レーザ光線の光路の方向が変わる。 上記光路の方向の変化を利用して上記凹面鏡１４ｂおよ
び照射装置７の位置を設定すれば、レーザダイオードユ
ニット４ｃと取付は体５との所定の接合部９に、ずれを
ほとんど生じさせることなく、レーザ光線の被照射部９
ａを規定することが可能となる。 上記凹面鏡１４ｂの曲率等の形状は、上記レーザダイオ
ードユニット４ｃの位置調整範囲あるいは凹面鏡１４ｂ
の位置等によって適当なものが採用される。 本願発明は、上述の実施例に限定されることはない。実
施例においては、本願発明をレーザダイオードユニット
４ｃと取付は体５との溶接を行うレーザ溶接装置１６に
適用したが、他の電子装置を製造する溶接装置に適用す
ることができる。また、レーザ発振装置として、ＹＡＧ
レーザ発振装置を用いたが、炭酸ガスレーザ等地のレー
ザ発振装置を採用することもできる。また、実施例にお
いては、反射鏡１４として平面鏡１４ａあるいは凹面鏡
１４ｂを採用したが、大きさ形状等は必要に応じて適当
なものを採用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本願発明の実施例の概略構成斜視図、第２図は
第１図の要部の概略正面図、第３図ないし第７図は本願
発明の詳細な説明するための図、第８図は従来例の概略
構成図である。 ３・・・レーザ発振装置、４・・・電子部品、５・・・
取付は体、７・・・照射装置、９・・・接合部、１３・
・・移動テーブル、１４・・・反射鏡、１５・・・レー
ザ溶接装置、１日・・・コレット装置、１９・・・取付
は体支持テーブル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ光線によって電子部品を取付け体に溶接す
   るレーザ溶接装置であって、 レーザ発振装置と、 上記レーザ発振装置によって発振されたレーザ光線を照
   射する照射装置と、 上記取付け体を載置する取付け体支持テーブルと、 上記電子部品を上記取付け体の取付け面に搬送するとと
   もに、上記電子部品の取付け体に対する取付け位置を調
   節しうるコレット装置と、 上記照射装置から照射されるレーザ光線を上記電子部品
   と取付け体の接合部に向けて反射しうる反射鏡とを備え
   、 上記コレット装置と上記反射鏡とを同一の移動テーブル
   に設置し、上記コレット装置と上記反射鏡とを一体的に
   位置調節できるとともに、上記照射装置から照射される
   レーザ光線を上記反射鏡を介して上記接合部に照射でき
   るように構成したことを特徴とする、レーザ溶接装置。