JPH0323835B2 - - Google Patents
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- JPH0323835B2 JPH0323835B2 JP16374482A JP16374482A JPH0323835B2 JP H0323835 B2 JPH0323835 B2 JP H0323835B2 JP 16374482 A JP16374482 A JP 16374482A JP 16374482 A JP16374482 A JP 16374482A JP H0323835 B2 JPH0323835 B2 JP H0323835B2
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- furnace
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Landscapes
- Control Of Temperature (AREA)
- Control Of Heat Treatment Processes (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複数炉の制御方式に関し、特に炉温の
ような制御量が多変数である複数炉の制御方式に
係わる。
ような制御量が多変数である複数炉の制御方式に
係わる。
従来から、例えば1つのガス燃焼装置あるいは
電熱装置から複数個の炉(あるいは複数のゾーン
に仕切られた1つの炉)に熱風を供給して各炉
(あるいは各ゾーン)を所望の温度に制御するこ
とは極めてむずかしくほとんど実施されていな
い。従来行なわれている一般的な一実施例を第1
図a,bに示す。ダンパー1を介してダクト2に
より連通する燃焼炉3と、複数炉4a〜4c(あ
るいは複数のゾーン4a′〜4c′に仕切られた1つ
の炉4)に熱風を矢印方向に供給するブロア5
と、各炉4a〜4c(あるいは各ゾーン4a′〜4
c′)とそれぞれ直列に連結された各ダンパー6a
〜6cおよび冷却装置(図示せず)が付設された
例えば三方弁からなる各非干渉装置7a〜7c
と、ダクト2の温度、各炉4a〜4c(あるいは
各ゾーン4a′〜4c′)の温度をそれぞれ検出する
各熱電対8,9a〜9cとから構成されている。
電熱装置から複数個の炉(あるいは複数のゾーン
に仕切られた1つの炉)に熱風を供給して各炉
(あるいは各ゾーン)を所望の温度に制御するこ
とは極めてむずかしくほとんど実施されていな
い。従来行なわれている一般的な一実施例を第1
図a,bに示す。ダンパー1を介してダクト2に
より連通する燃焼炉3と、複数炉4a〜4c(あ
るいは複数のゾーン4a′〜4c′に仕切られた1つ
の炉4)に熱風を矢印方向に供給するブロア5
と、各炉4a〜4c(あるいは各ゾーン4a′〜4
c′)とそれぞれ直列に連結された各ダンパー6a
〜6cおよび冷却装置(図示せず)が付設された
例えば三方弁からなる各非干渉装置7a〜7c
と、ダクト2の温度、各炉4a〜4c(あるいは
各ゾーン4a′〜4c′)の温度をそれぞれ検出する
各熱電対8,9a〜9cとから構成されている。
まず、ダンパー1を所定の開度にして熱風をブ
ロア5により各ダンパ6a〜6cを介して各炉4
a〜4c(あるいは各ゾーン4a′〜4c′)へ供給
する。そして熱電対9a〜9cにより温度T2〜
T4を検出し、ダンパー6a〜6cの開度を調整
して、各炉(あるいは各ゾーン4a′〜4c′)の温
度を所望の値に制御するため、各冷却装置によつ
て温度T2〜T4をコントロールし、各ダンパー6
a〜6cの1つのダンパー開閉による各炉温(あ
るいは他のゾーンの温度)への影響を非干渉装置
7a〜7cにより防止して、各炉温(あるいは各
ゾーンの温度)が所望の設定値になるよう、PID
制御することによつて温度制御を行なつていた。
ロア5により各ダンパ6a〜6cを介して各炉4
a〜4c(あるいは各ゾーン4a′〜4c′)へ供給
する。そして熱電対9a〜9cにより温度T2〜
T4を検出し、ダンパー6a〜6cの開度を調整
して、各炉(あるいは各ゾーン4a′〜4c′)の温
度を所望の値に制御するため、各冷却装置によつ
て温度T2〜T4をコントロールし、各ダンパー6
a〜6cの1つのダンパー開閉による各炉温(あ
るいは他のゾーンの温度)への影響を非干渉装置
7a〜7cにより防止して、各炉温(あるいは各
ゾーンの温度)が所望の設定値になるよう、PID
制御することによつて温度制御を行なつていた。
しかしながら上述のように、冷却装置が付設さ
れた非干渉装置を介して経験的に手動により制御
することはできても、操作が煩雑で効率的に操作
することはきわめてむずかしい。しかも余計な熱
量を消費して省エネルギーにも反し、冷却装置が
付設された高価な非干渉装置を必要とするためコ
スト高となる要因となつていた。また、ダンパー
1の開度によつては非干渉装置を介しても制御で
きない場合も生じていた。
れた非干渉装置を介して経験的に手動により制御
することはできても、操作が煩雑で効率的に操作
することはきわめてむずかしい。しかも余計な熱
量を消費して省エネルギーにも反し、冷却装置が
付設された高価な非干渉装置を必要とするためコ
スト高となる要因となつていた。また、ダンパー
1の開度によつては非干渉装置を介しても制御で
きない場合も生じていた。
従つて、非干渉装置を介在せずに、多数の制御
量(本実施例の場合、各熱電対8,9a〜9cに
よる温度T1〜T4)を含む多数の測定量(本実施
例の場合、各熱電対9a〜9cによる温度T2〜
T4)が、多数の操作量(本実施例の場合、ダン
パー1,6a〜6cの開度)の何れか1つを操作
した時、それぞれ変動する場合の制御(多変数制
御)において、測定量の測定により、各制御量が
所望の値になるようにそれぞれの操作量を同時
に、かつ自動的に制御することは従来技術では不
可能であつた。また、このような多変数の制御量
と操作量の相関関係で、このような各対の制御量
−操作量に依る制御方式では制御量の安定性が悪
く、かつ応答性に劣るという難点があつた。
量(本実施例の場合、各熱電対8,9a〜9cに
よる温度T1〜T4)を含む多数の測定量(本実施
例の場合、各熱電対9a〜9cによる温度T2〜
T4)が、多数の操作量(本実施例の場合、ダン
パー1,6a〜6cの開度)の何れか1つを操作
した時、それぞれ変動する場合の制御(多変数制
御)において、測定量の測定により、各制御量が
所望の値になるようにそれぞれの操作量を同時
に、かつ自動的に制御することは従来技術では不
可能であつた。また、このような多変数の制御量
と操作量の相関関係で、このような各対の制御量
−操作量に依る制御方式では制御量の安定性が悪
く、かつ応答性に劣るという難点があつた。
本発明の目的は非干渉装置を介在せずに複数炉
の多変数制御を行なうにあたり、炉温の制御量を
含む測定量の検出要素により、各制御量がそれぞ
れ所望の値(設定目標値)になるようにダンパー
の開度の操作量を同時に、かつ自動的に制御し
て、熱効率のよい省エネルギーとなる複数炉の制
御方式(系)および、安定性と応答性の一段と向
上した制御手段を提供することを目的とする。
の多変数制御を行なうにあたり、炉温の制御量を
含む測定量の検出要素により、各制御量がそれぞ
れ所望の値(設定目標値)になるようにダンパー
の開度の操作量を同時に、かつ自動的に制御し
て、熱効率のよい省エネルギーとなる複数炉の制
御方式(系)および、安定性と応答性の一段と向
上した制御手段を提供することを目的とする。
以下、本発明による複数炉の制御方式を、複数
炉の温度制御に適用した実施例につき図面に基づ
き詳述する。
炉の温度制御に適用した実施例につき図面に基づ
き詳述する。
先ず、本実施例を第2図a,bに示す。ダンパ
ー10を介してダクト11により連通する1つの
燃焼装置12と、複数炉13a〜13c(あるい
は複数のゾーンに仕切られた1つの炉13)に熱
風を矢印方向に供給するブロア14と、各炉13
a〜13c(あるいは各ゾーン13a′〜13c′)
内を所望の温度に調節するダンパー15a〜15
cと、これらのダンパー15a〜15cの開度を
調節するステツピングモーターM1〜M3と、ダク
ト11および各炉13a〜13c(あるいは各ゾ
ーン13a′〜13c′)に配設された熱電対16,
17a〜17cとからなつている。各ステツピン
グモータM1〜M4は入力信号(実線で示す)が印
加され、かつ出力信号(点線で示す)が発生され
る。また、各熱電対16,17a〜17cからは
出力信号が生起される。これらの信号はI/O
(A/D)コントローラ18でA/D変換されて
CPU19(ヒユーレツトパツカード社製
HP1000Mシリーズ)へ供給され、そこで演算、
制御された信号が、再びコントローラ18でD/
A変換されて各ダンパー10,15a〜15cの
ステツピングモータM1〜M4へ印加される。
ー10を介してダクト11により連通する1つの
燃焼装置12と、複数炉13a〜13c(あるい
は複数のゾーンに仕切られた1つの炉13)に熱
風を矢印方向に供給するブロア14と、各炉13
a〜13c(あるいは各ゾーン13a′〜13c′)
内を所望の温度に調節するダンパー15a〜15
cと、これらのダンパー15a〜15cの開度を
調節するステツピングモーターM1〜M3と、ダク
ト11および各炉13a〜13c(あるいは各ゾ
ーン13a′〜13c′)に配設された熱電対16,
17a〜17cとからなつている。各ステツピン
グモータM1〜M4は入力信号(実線で示す)が印
加され、かつ出力信号(点線で示す)が発生され
る。また、各熱電対16,17a〜17cからは
出力信号が生起される。これらの信号はI/O
(A/D)コントローラ18でA/D変換されて
CPU19(ヒユーレツトパツカード社製
HP1000Mシリーズ)へ供給され、そこで演算、
制御された信号が、再びコントローラ18でD/
A変換されて各ダンパー10,15a〜15cの
ステツピングモータM1〜M4へ印加される。
次に、かかる制御方式について第3図に基づき
詳述する。
詳述する。
同方式において、制御対象である複数炉20
の、温度の複数の制御量(点17a,17b,1
7cにおける温度) Y=Y1 Y2 Y3 を含む複数の測定量(点16,17a,17b,
17cにおける温度 Y1 Y2 Y3 Y4 がダンパーの開度の複数の操作量(ダンパー1
0,15a,15b,15cの開度) U=U1 U2 U3 U4 の何れによつても変動する場合に、該制御量がそ
の目標値 YR=YR1 YR2 YR3 に調節されるように操作量を制御せんとするもの
である。
の、温度の複数の制御量(点17a,17b,1
7cにおける温度) Y=Y1 Y2 Y3 を含む複数の測定量(点16,17a,17b,
17cにおける温度 Y1 Y2 Y3 Y4 がダンパーの開度の複数の操作量(ダンパー1
0,15a,15b,15cの開度) U=U1 U2 U3 U4 の何れによつても変動する場合に、該制御量がそ
の目標値 YR=YR1 YR2 YR3 に調節されるように操作量を制御せんとするもの
である。
制御量Y1〜Y3は、引出し点21から引出され
て目標値YR1〜YR3の差引き点22へそれぞれ接
続され、制御量と目標値の差 Y1−YR1 〓 〓 Y3−YR3=ε1 〓 ε3 を得ている。
て目標値YR1〜YR3の差引き点22へそれぞれ接
続され、制御量と目標値の差 Y1−YR1 〓 〓 Y3−YR3=ε1 〓 ε3 を得ている。
これらの差ε1…ε3は、演算要素Cに印加され
る。要素Cは C11…C13 〓 〓 C41…C43 と記述される行列で、 C11…C13 〓 〓 C41…C43ε1 〓 ε3=U′c1 〓 U′c3 の操作変数U′c1…U′c3を線形処理により与えるも
のである。これらの操作変数はそれぞれ積分器I1
〜I4に印加され、積分動作が遂行されて量Uc1〜
Uc4として各操作量U1〜U4に印加される。
る。要素Cは C11…C13 〓 〓 C41…C43 と記述される行列で、 C11…C13 〓 〓 C41…C43ε1 〓 ε3=U′c1 〓 U′c3 の操作変数U′c1…U′c3を線形処理により与えるも
のである。これらの操作変数はそれぞれ積分器I1
〜I4に印加され、積分動作が遂行されて量Uc1〜
Uc4として各操作量U1〜U4に印加される。
この量Ucは、積分機能が遂行される結果、次
のように表わされる。
のように表わされる。
Uc(t)=Uc(t−1)+C11…C13
〓 〓
C41…C43ε1
〓
ε3
この積分動作とは、積分器による線形の積分機
能のみならず、積分機能を含む、あるいはこれと
類似する動作を包含するものである。
能のみならず、積分機能を含む、あるいはこれと
類似する動作を包含するものである。
また、積分動作には、動的補償を含ませるよう
にしてもよい。
にしてもよい。
なお、演算要素Cの、
C11…C13
〓 〓
C41…C43
の各要素は、制御対象としての複数炉20を自動
制御する前に、予じめその制御対象をモデルとし
て最適制御理論と、目標値YR1〜YR3を与えると
きの、操作変数U′c1〜U′c3、操作量U1〜U3、制
御量Y1〜Y3の挙動のシユミレーシヨンとにより
求め、最も適切に定められるものである。
(Control System Design for Furnace by
Using)(CAD“by K.Furuta et al at the
IFAC Symposium on the Theory and
Application of Digital Control、Delhi、
Session 20、1982参照)。
制御する前に、予じめその制御対象をモデルとし
て最適制御理論と、目標値YR1〜YR3を与えると
きの、操作変数U′c1〜U′c3、操作量U1〜U3、制
御量Y1〜Y3の挙動のシユミレーシヨンとにより
求め、最も適切に定められるものである。
(Control System Design for Furnace by
Using)(CAD“by K.Furuta et al at the
IFAC Symposium on the Theory and
Application of Digital Control、Delhi、
Session 20、1982参照)。
また、引出し点21は、フイードバツク要素F
を介して差引き点23に接続されている。これに
より、制御量Y1〜Y3を含む測定量Y1〜Y4にフイ
ードバツク動作が線形処理により遂行され、操作
量U1〜U4へ減算的に印加される。このフイード
バツク動作には、動的補償を含ませるようにして
もよい。フイードバツクの出力UFは、 UF=UF1 〓 UF4=F11…F13 〓 〓 F41…F43Y1 〓 Y3 である。
を介して差引き点23に接続されている。これに
より、制御量Y1〜Y3を含む測定量Y1〜Y4にフイ
ードバツク動作が線形処理により遂行され、操作
量U1〜U4へ減算的に印加される。このフイード
バツク動作には、動的補償を含ませるようにして
もよい。フイードバツクの出力UFは、 UF=UF1 〓 UF4=F11…F13 〓 〓 F41…F43Y1 〓 Y3 である。
なお、
F11…F13
〓 〓
F41…F43
の各要素も、前述の最適制御理論と、シユミレー
シヨンとにより予じめ求められるものである。
シヨンとにより予じめ求められるものである。
更に、引出し点24は、フイードフオワード要
素Nを介して加合せ点23へ接続されている。こ
れにより、目標値YR1〜YR3にフイードフオワー
ド動作即ち比例動作が線形処理により遂行されて
操作量U1〜U4へ加算的に印加される。このフイ
ードフオワード動作には、動的補償を含ませるよ
うにしてもよい。フイードフオワードの出力UN
は、 UN=UN1 〓 UN4=N11…N13 〓 〓 N41…N43YR1 〓 YR3 である。
素Nを介して加合せ点23へ接続されている。こ
れにより、目標値YR1〜YR3にフイードフオワー
ド動作即ち比例動作が線形処理により遂行されて
操作量U1〜U4へ加算的に印加される。このフイ
ードフオワード動作には、動的補償を含ませるよ
うにしてもよい。フイードフオワードの出力UN
は、 UN=UN1 〓 UN4=N11…N13 〓 〓 N41…N43YR1 〓 YR3 である。
この場合、
N11…N13
〓 〓
N41…N43
の各要素も、前述と同様に最適制御理論と、シユ
ミレーシヨンとによつて予じめ求められるもので
ある。
ミレーシヨンとによつて予じめ求められるもので
ある。
このように、操作量Uには、3種類の操作入力
が供給される結果、最終的には操作量Uは次のよ
うになる。
が供給される結果、最終的には操作量Uは次のよ
うになる。
U=Uc−UF+UN
操作量へ供給されるこれらの和出力
Uc−UF+UN
が所定の範囲を越えるときに、前記積分動作を停
止させるリミツタLが各操作ラインに介在されて
いる(第3図)。
止させるリミツタLが各操作ラインに介在されて
いる(第3図)。
第3図において、点線で囲む部分はCPUを表
わし、目標値YR1〜YR3の入力インターフエース
にはA/D変換のための入出力装置I/O−1、
操作量U1〜U4の出力インターフエースにはD/
A変換のための入出力装置I/O−2、制御量
Y1〜Y3を含む測定量Y1〜Y4の後向き径路への入
力インターフエースにはA/D変換のための入力
装置I/O−3が介在されている(第3図)。
わし、目標値YR1〜YR3の入力インターフエース
にはA/D変換のための入出力装置I/O−1、
操作量U1〜U4の出力インターフエースにはD/
A変換のための入出力装置I/O−2、制御量
Y1〜Y3を含む測定量Y1〜Y4の後向き径路への入
力インターフエースにはA/D変換のための入力
装置I/O−3が介在されている(第3図)。
このように構成されて成る多変数自動制御系は
次のように動作する。
次のように動作する。
先ず複数炉20を働らかせて、制御量Y1〜Y3
を含む測定量Y1〜Y4に応じて積分動作の初期値
を設定する(第4図)。次いで、CPUは目標値
YR1〜YR3、制御量Y1〜Y3を含む測定量Y1〜Y4の
データを読み取る。CPUの演算要素C、フイー
ドバツク要素F、フイードフオワード要素Nはそ
れぞれ前述の行列式で表わされる値に従つてその
演算を遂行し、 U′c=U′c1 〓 U′c4=C11…C13 〓 〓 C41…C43ε1 〓 ε3 UF=UF1 〓 UF4=F11…F13 〓 〓 F41…F43Y1 〓 Y3 UN=UN1 〓 UN4=N11…N13 〓 〓 N41…N43YR1 〓 YR3 を計算する。
を含む測定量Y1〜Y4に応じて積分動作の初期値
を設定する(第4図)。次いで、CPUは目標値
YR1〜YR3、制御量Y1〜Y3を含む測定量Y1〜Y4の
データを読み取る。CPUの演算要素C、フイー
ドバツク要素F、フイードフオワード要素Nはそ
れぞれ前述の行列式で表わされる値に従つてその
演算を遂行し、 U′c=U′c1 〓 U′c4=C11…C13 〓 〓 C41…C43ε1 〓 ε3 UF=UF1 〓 UF4=F11…F13 〓 〓 F41…F43Y1 〓 Y3 UN=UN1 〓 UN4=N11…N13 〓 〓 N41…N43YR1 〓 YR3 を計算する。
この操作量出力は、所定の範囲内に維持されて
制御される必要がある。このため、各操作量出力
値は、その範囲にあるか否かが判断され、若しも
その範囲内にあるときは、積分動作を遂行し、範
囲を越えるときは、リミツタLを介して出力せし
める(第4図)。
制御される必要がある。このため、各操作量出力
値は、その範囲にあるか否かが判断され、若しも
その範囲内にあるときは、積分動作を遂行し、範
囲を越えるときは、リミツタLを介して出力せし
める(第4図)。
このようにして、各操作変数U′c1…はそれぞれ
積分器I1…I4が働らき、積分動作が遂行されて Uc(t)=Uc(t−1)+U′c1 〓 U′c4 の積分出力を生じる。
積分器I1…I4が働らき、積分動作が遂行されて Uc(t)=Uc(t−1)+U′c1 〓 U′c4 の積分出力を生じる。
このような機能を導入すれば、本実施例のよう
に操作量としてのダンパーの開度が0〜100%で
あるにもかかわらず、動作開始時から積分動作を
遂行すれば、当初は操作量と目標値との差ε1…ε3
が大きいので、ダンパーの開度が事実上200ある
いは300%という不都合な操作量信号を発生する
ということが回避される。
に操作量としてのダンパーの開度が0〜100%で
あるにもかかわらず、動作開始時から積分動作を
遂行すれば、当初は操作量と目標値との差ε1…ε3
が大きいので、ダンパーの開度が事実上200ある
いは300%という不都合な操作量信号を発生する
ということが回避される。
こうして、積分器は目標値と制御量の差
ε=YR1
〓
YR3−Y1
〓
Y3
が零になるまで積分動作を繰返し、制御量が目標
値に可及的に接近するように制御ループを形成す
るものである。
値に可及的に接近するように制御ループを形成す
るものである。
而して、操作量U
U=Uc−UF+UN
が計算され、制御対象20へ出力される。
この場合、フイードバツク要素Fのフイードバ
ツク出力UFは、制御系の固有の特性を安定化さ
せる機能をもつものである。
ツク出力UFは、制御系の固有の特性を安定化さ
せる機能をもつものである。
一方、フイードフオワード要素Nの出力UFは、
目標値YRに制御量Yが迅速に接近するようにそ
の立上りを早めるもので、特に炉の動作開始時に
大きな効果を有する。この要素Nにより制御系の
応答性(レスポンス)は一段と向上する。
目標値YRに制御量Yが迅速に接近するようにそ
の立上りを早めるもので、特に炉の動作開始時に
大きな効果を有する。この要素Nにより制御系の
応答性(レスポンス)は一段と向上する。
こうして、操作量Uが制御対象20へ出力され
ると、次のサンプリングまで所定時間遅延させ、
再び次の動作が繰返される。
ると、次のサンプリングまで所定時間遅延させ、
再び次の動作が繰返される。
上記実施例において、制御量、目標値は3個、
操作変数、操作量は4個、測定量に4個の場合に
ついて説明したが、それぞれl個、n個、m個
(l、n、mは正の整数で、n、m≧l)の場合
にも、本発明は等しく適用できるものである。
操作変数、操作量は4個、測定量に4個の場合に
ついて説明したが、それぞれl個、n個、m個
(l、n、mは正の整数で、n、m≧l)の場合
にも、本発明は等しく適用できるものである。
以上の実施例からも明らかなように、本発明に
よれば、非干渉装置を介在せずに、制御対象とし
ての複数炉の温度の複数の制御量を含む測定量
が、ダンパーの開度の複数の操作量の何れによつ
ても変動する場合に、制御量をその目標値に調整
されるように操作量を制御するにあたり、制御量
と目標値の差から得られる操作変数のそれぞれに
積分動作を遂行して各操作量に印加するようにし
たから、各操作量が相互にかつ独立して機能を遂
行し制御量が目標値に接近するように多変数制御
される。また、この制御系にフイードフオワード
動作および(または)フイードバツク動作を遂行
させることによりレスポンスが向上し安定性が増
大し、しかも最も効率よく最小の熱量で各炉の炉
温を設定することができる。
よれば、非干渉装置を介在せずに、制御対象とし
ての複数炉の温度の複数の制御量を含む測定量
が、ダンパーの開度の複数の操作量の何れによつ
ても変動する場合に、制御量をその目標値に調整
されるように操作量を制御するにあたり、制御量
と目標値の差から得られる操作変数のそれぞれに
積分動作を遂行して各操作量に印加するようにし
たから、各操作量が相互にかつ独立して機能を遂
行し制御量が目標値に接近するように多変数制御
される。また、この制御系にフイードフオワード
動作および(または)フイードバツク動作を遂行
させることによりレスポンスが向上し安定性が増
大し、しかも最も効率よく最小の熱量で各炉の炉
温を設定することができる。
付言するに、上述の複数炉とは、第2図aに示
すような複数個の炉のみならず、同図bに示す単
一の炉を複数ゾーンに仕切つて実質的に複数炉を
形成する場合をも含むものである。
すような複数個の炉のみならず、同図bに示す単
一の炉を複数ゾーンに仕切つて実質的に複数炉を
形成する場合をも含むものである。
第1図a,bは複数炉(あるいは複数のゾーン
に仕切られた1つの炉)の従来の実施例を示す説
明図、第2図a,bは制御対象としての複数炉
(あるいは複数のゾーンに仕切られた1つの炉)
の説明図、第3図は該制御対象へ本発明を適用し
た自動制御方式のブロツクダイヤグラム、第4図
は該方式の動作フローチヤートを示す。 20……複数炉、Y1〜Y3……制御量、Y1〜Y4
……測定量、U1〜U4……操作量、YR1〜YR3……
目標値、ε1〜ε3……制御量と目標値の差、U′c1〜
U′c4……操作変数。
に仕切られた1つの炉)の従来の実施例を示す説
明図、第2図a,bは制御対象としての複数炉
(あるいは複数のゾーンに仕切られた1つの炉)
の説明図、第3図は該制御対象へ本発明を適用し
た自動制御方式のブロツクダイヤグラム、第4図
は該方式の動作フローチヤートを示す。 20……複数炉、Y1〜Y3……制御量、Y1〜Y4
……測定量、U1〜U4……操作量、YR1〜YR3……
目標値、ε1〜ε3……制御量と目標値の差、U′c1〜
U′c4……操作変数。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 加熱装置において加熱された熱風をそれぞれ
ダンパーを介して接続された複数炉に直接供給し
て各炉内をそれぞれ所望の温度に調節する複数炉
の温度制御方式において、複数炉の温度の複数の
制御量 Y=Y1 〓 Yl を含む複数の測定量 Y1 〓 Ym が、ダンパーの開度の複数の操作量 U=U1 〓 Un (但し、l、n、mは2以上の正の整数でn、m
≧l) の何れによつても変動する場合に、前記制御量が
その目標値 YR=YR1 〓 YRl に調節されるように前記操作量を制御するにあた
り、前記制御量と前記目標値の差 YR−Y=YR1−Y1 〓 〓 YRl−Yl=ε1 〓 εl を、前記目標値を与えるときの前記操作量および
前記制御量の挙動のシユミレーシヨン評価して予
じめ決定された演算要素 C11…C1l 〓 〓 Cn1…Cnl に乗じて算出させる操作変数 U′c=U′c1 〓 U′cn のそれぞれに積分動作を遂行した出力 Uc=Uc1 〓 Ucn を各操作量とし、 前記制御量を含む複数個の測定量 Y1 〓 Ym にフイードバツク動作を遂行した出力 UF=UF1 〓 UFn を前記各操作量へそれぞれ印加すると共に、前記
各操作量へそれぞれ供給される前記出力Uc−前
記出力UFの和出力が所定の範囲を越えるときに、
前記積分動作をそれぞれ停止させることを特徴と
した複数炉の温度制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374482A JPS5956084A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 複数炉の温度制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16374482A JPS5956084A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 複数炉の温度制御方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956084A JPS5956084A (ja) | 1984-03-31 |
| JPH0323835B2 true JPH0323835B2 (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=15779852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16374482A Granted JPS5956084A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 複数炉の温度制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956084A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4551515B2 (ja) * | 1998-10-07 | 2010-09-29 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置およびその温度制御方法 |
| JP3915370B2 (ja) * | 2000-04-18 | 2007-05-16 | オムロン株式会社 | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 |
| JP2002108408A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置の温度制御方法 |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16374482A patent/JPS5956084A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5956084A (ja) | 1984-03-31 |
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