JPH03240283A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH03240283A JPH03240283A JP3794490A JP3794490A JPH03240283A JP H03240283 A JPH03240283 A JP H03240283A JP 3794490 A JP3794490 A JP 3794490A JP 3794490 A JP3794490 A JP 3794490A JP H03240283 A JPH03240283 A JP H03240283A
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- Japan
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- mirror
- resonator mirror
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、共振器ミラーの汚染を防止する装置を有する
レーザ発振装置に関する。
レーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
’！Ｊ ２ 図（Ａ）は一般的なレーザ発振装置の一例
を示す断面構造図、同図（Ｂ）はそのＡ−＾゛断面構造
図である。レーザ容器１の内部は低真空に保たれており
、その内部を循環するレーザ媒質ガスＧＦであるＣＯ２
、Ｈ，、Ｎ２の混合ガスはレーザ容器１により大気と隔
絶されている。レーザ容器１の内部には、放電用の電Ｆ
Ｊ２．３と、レーザ光を共振増幅するための共振器ミラ
ー５．６と、レーザ媒質ガスＧＦを高速で循環させるブ
ロア羽根４と、ブロア羽根４を所定の回転数にて回転さ
せるモータ９と、放電により加熱されたレーザ媒質ガス
ＧＦを冷却するための熱交換器７．８とが配設されてお
り、上記レーザ光をレーザ容器１の外部に取出すための
１００零透過率を有するウィンドウ７がレーザ容器１に
取付けられている。
を示す断面構造図、同図（Ｂ）はそのＡ−＾゛断面構造
図である。レーザ容器１の内部は低真空に保たれており
、その内部を循環するレーザ媒質ガスＧＦであるＣＯ２
、Ｈ，、Ｎ２の混合ガスはレーザ容器１により大気と隔
絶されている。レーザ容器１の内部には、放電用の電Ｆ
Ｊ２．３と、レーザ光を共振増幅するための共振器ミラ
ー５．６と、レーザ媒質ガスＧＦを高速で循環させるブ
ロア羽根４と、ブロア羽根４を所定の回転数にて回転さ
せるモータ９と、放電により加熱されたレーザ媒質ガス
ＧＦを冷却するための熱交換器７．８とが配設されてお
り、上記レーザ光をレーザ容器１の外部に取出すための
１００零透過率を有するウィンドウ７がレーザ容器１に
取付けられている。
このような構成において、レーザ発振中はレーザ媒質ガ
スＧＦを流速２０〜５０ｍ／ｓｅｃ程度の高速で循環さ
せるため、レーザ媒質ガスＧＦ中に含まれる塵や埃が放
電による集塵作用とレーザ光の圧力により共振器ミラー
５．６の表面に付着し、レーザ光により加熱、飛散して
共振器ミラー５．６の表面を汚染し、場合によっては破
損するおそれがある。このような現象を防止するため、
従来は第３図に示すような共振器くラー汚染防止装置が
共振器ミラー（図ては共振器ミラー５の場合を示す）に
装着されている。塵や埃を含んだレーザ媒質ガス［ｉＦ
は送風機２４により管路２２を経てフィルタ２３に送風
され、塵や埃が取除かれて清浄化されたレーザ媒質ガス
ＧＦＡとされる。さらに、この清浄化されたレーザ媒質
ガスＧＦ＾は管路２２を経て、共振器ミラー５を固定保
持している泉う−ホルダ２０に穿設されている吹出口２
１から共振器ミラー５の表面に吹付けられるようになっ
ている。このように、共振器ミラー５の表面には清浄化
されたレーザ媒質ガスＧＦＡが常に吹付けられているの
で、塵や埃が共振器ミラー５の表面に付着することを防
止することができる。
スＧＦを流速２０〜５０ｍ／ｓｅｃ程度の高速で循環さ
せるため、レーザ媒質ガスＧＦ中に含まれる塵や埃が放
電による集塵作用とレーザ光の圧力により共振器ミラー
５．６の表面に付着し、レーザ光により加熱、飛散して
共振器ミラー５．６の表面を汚染し、場合によっては破
損するおそれがある。このような現象を防止するため、
従来は第３図に示すような共振器くラー汚染防止装置が
共振器ミラー（図ては共振器ミラー５の場合を示す）に
装着されている。塵や埃を含んだレーザ媒質ガス［ｉＦ
は送風機２４により管路２２を経てフィルタ２３に送風
され、塵や埃が取除かれて清浄化されたレーザ媒質ガス
ＧＦＡとされる。さらに、この清浄化されたレーザ媒質
ガスＧＦ＾は管路２２を経て、共振器ミラー５を固定保
持している泉う−ホルダ２０に穿設されている吹出口２
１から共振器ミラー５の表面に吹付けられるようになっ
ている。このように、共振器ミラー５の表面には清浄化
されたレーザ媒質ガスＧＦＡが常に吹付けられているの
で、塵や埃が共振器ミラー５の表面に付着することを防
止することができる。
（発明が解決しようとする課題）
上述した共振器ミラー汚染防止装置によれば塵や埃が共
振器くラー表面に付着することを防止することはできる
が、清浄化されたレーザ媒質ガスが共振器ミラー表面に
常に吹付けられているので、フィルタで取除くことので
きない微粒子やレーザ媒質ガスに含まれるメタン（ＣＨ
４）、水（ｌ（２０）等の気体分子と共振器ミラー表面
との衝突の確立が増加してしまい、これらが共振器ミラ
ー表面に付着し、共振器くラー表面を汚染してしまう問
題があった。
振器くラー表面に付着することを防止することはできる
が、清浄化されたレーザ媒質ガスが共振器ミラー表面に
常に吹付けられているので、フィルタで取除くことので
きない微粒子やレーザ媒質ガスに含まれるメタン（ＣＨ
４）、水（ｌ（２０）等の気体分子と共振器ミラー表面
との衝突の確立が増加してしまい、これらが共振器ミラ
ー表面に付着し、共振器くラー表面を汚染してしまう問
題があった。
本発明は上述した事情から威されたものであり、本発明
の目的は、共振器ミラー表面への塵埃付着及び微粒子や
気体分子の付着による汚染を防止することができる共振
器ミラー汚染防止装置を有するレーザ発振装置を提供す
ることにある。
の目的は、共振器ミラー表面への塵埃付着及び微粒子や
気体分子の付着による汚染を防止することができる共振
器ミラー汚染防止装置を有するレーザ発振装置を提供す
ることにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、共振器ミラーの汚染を防止する装置を有する
レーザ発振装置に関するものであり、本発明の上記目的
は、前記共振器ミラーの表面近傍にてレーザ媒質ガスを
前記共振器ミラーの表面と平行に吹出す吹出口と、前記
吹出口から吹出された前記レーザ媒質ガスを吸込む吸込
口とを具備することによって達成される。
レーザ発振装置に関するものであり、本発明の上記目的
は、前記共振器ミラーの表面近傍にてレーザ媒質ガスを
前記共振器ミラーの表面と平行に吹出す吹出口と、前記
吹出口から吹出された前記レーザ媒質ガスを吸込む吸込
口とを具備することによって達成される。
（作用）
本発明のレーザ発振装置は共振器ミラー汚染防止装置に
より形成されるレーザ媒質ガス流のカーテンが飛散して
くる塵や埃を巻込んで吸込むので、共振器ミラー表面へ
の塵埃付着を防止することができ、また上記レーザ媒質
ガスが共振器ミラー表面に直接吹付けられていないので
、共振器ミラー表面への微粒子や気体分子の付着を防止
することができる。
より形成されるレーザ媒質ガス流のカーテンが飛散して
くる塵や埃を巻込んで吸込むので、共振器ミラー表面へ
の塵埃付着を防止することができ、また上記レーザ媒質
ガスが共振器ミラー表面に直接吹付けられていないので
、共振器ミラー表面への微粒子や気体分子の付着を防止
することができる。
（実施例）
第１図（Ａ）は本発明のレーザ発振装置の共振器ミラー
汚染防止装置の一例を第３図に対応させて示す断面構造
図、同図ＣＢ）はそのＢ−Ｂ’断面構造図である。共振
器ミラー（図では共振器ミラー５の場合を示す）を固定
保持しているミラーホルダ３゜ニハ複数ｍ（図では５組
）の対向する吹出口３１と吸込口３３とが共振器くラー
５から一定距ｓＶＡて、かつ吹出口３１から吸込口３３
への気流が共振器ミラー５の表面と平行になるように穿
設されており、各吹出口３１は１本の管路３２に集合さ
れてフィルタ２３に接続され、また各吸込口３３も別の
１本の管路３２に集合されて送風機（例えはルーツタイ
プ）３４に接続されている。送風機３４により吸込口３
３から管路３２を経て吸込まれた塵や埃を含んだレーザ
媒質ガスＧＦは管路３２を経てフィルタ２３に送風され
、塵や埃が取除かれて清浄化されたレーザ媒質ガスＧＦ
８とされる。さらに、この清浄化されたレーザ媒質ガス
ＧＦＢは管路３２を経て吹出口３１から吹出され、吸込
口３３に再度吸込まれるようになっている。
汚染防止装置の一例を第３図に対応させて示す断面構造
図、同図ＣＢ）はそのＢ−Ｂ’断面構造図である。共振
器ミラー（図では共振器ミラー５の場合を示す）を固定
保持しているミラーホルダ３゜ニハ複数ｍ（図では５組
）の対向する吹出口３１と吸込口３３とが共振器くラー
５から一定距ｓＶＡて、かつ吹出口３１から吸込口３３
への気流が共振器ミラー５の表面と平行になるように穿
設されており、各吹出口３１は１本の管路３２に集合さ
れてフィルタ２３に接続され、また各吸込口３３も別の
１本の管路３２に集合されて送風機（例えはルーツタイ
プ）３４に接続されている。送風機３４により吸込口３
３から管路３２を経て吸込まれた塵や埃を含んだレーザ
媒質ガスＧＦは管路３２を経てフィルタ２３に送風され
、塵や埃が取除かれて清浄化されたレーザ媒質ガスＧＦ
８とされる。さらに、この清浄化されたレーザ媒質ガス
ＧＦＢは管路３２を経て吹出口３１から吹出され、吸込
口３３に再度吸込まれるようになっている。
このように、共振器ミラー５の表面から一定距ｌＩ隔て
た面を清浄化されたレーザ媒質ガス［ｉＦＢが常に流れ
ているので、レーザ容器１内を循環しているレーザ媒質
ガスＧＦに含まれる塵や埃が共振器ミラー５の表面に一
付着することを防止することができると共に、フィルタ
２３で取除くことのできない微粒子やレーザ媒質ガス（
ｉＦ、 ＧＦＢに含まれる気体分子が共振器ミラー５の
表面に付着することも防止することができる。
た面を清浄化されたレーザ媒質ガス［ｉＦＢが常に流れ
ているので、レーザ容器１内を循環しているレーザ媒質
ガスＧＦに含まれる塵や埃が共振器ミラー５の表面に一
付着することを防止することができると共に、フィルタ
２３で取除くことのできない微粒子やレーザ媒質ガス（
ｉＦ、 ＧＦＢに含まれる気体分子が共振器ミラー５の
表面に付着することも防止することができる。
なお、上述した実施例（おいては、複数組の吹出口及び
吸込口を設けるようにしたが、細長形状の吹出口及び吸
込口とすれば１組でも同様の効果を呈する。
吸込口を設けるようにしたが、細長形状の吹出口及び吸
込口とすれば１組でも同様の効果を呈する。
（発明の効果）
以上のように本発明のレーザ発振装置によれば、共振器
ミラー表面への塵埃付着及び微粒子や気体分子の付着に
よる汚染を防止することができるので、共振器ミラーの
長寿命化を図ることができる。
ミラー表面への塵埃付着及び微粒子や気体分子の付着に
よる汚染を防止することができるので、共振器ミラーの
長寿命化を図ることができる。
９・・・モータ、２０．３０・・・ミラーホルダ、出口
、２２．３２・・・管路、２３・・・フィルタ、１ ３
１ ２４．３４ 風機、３３・・・吸込口。
、２２．３２・・・管路、２３・・・フィルタ、１ ３
１ ２４．３４ 風機、３３・・・吸込口。
Claims (1)
- １、共振器ミラーを有するレーザ発振装置において、前
記共振器ミラーの表面近傍にてレーザ媒質ガスを前記共
振器ミラーの表面と平行に吹出す吹出口と、前記吹出口
から吹出された前記レーザ媒質ガスを吸込む吸込口とを
備えたことを特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3794490A JPH03240283A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3794490A JPH03240283A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03240283A true JPH03240283A (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=12511663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3794490A Pending JPH03240283A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03240283A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202004007924U1 (de) * | 2004-05-17 | 2005-10-20 | Waeco International Gmbh | Ultraschallvernebelungsgerät |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP3794490A patent/JPH03240283A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202004007924U1 (de) * | 2004-05-17 | 2005-10-20 | Waeco International Gmbh | Ultraschallvernebelungsgerät |
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