JPH03241815A - ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置の製造工程において、ウェハの電
気的特性に関する測定値等のようなデータを管理する技
術に関し、例えば、製品の特性解析、不良解析および異
物解析や歩留りの向上等に利用して有効な技術に関する
。

〔従来の技術〕

従来のウェハのデータ管理方法として、複数のウェハの
集合からなる識別符号付きのロットにモニタ用のウェハ
をセットし、そのロフトに所定の半導体製造処理を施し
た後、前記モニタウェハに対する測定を行い、その測定
値と前記ロフトの識別符号とを対応させた測定値履歴フ
ァイルをデータ処理装置を用いて作成することにより、
測定値のデータ管理を行うモニタウエノ）のデータ管理
方法、がある。

そして、この種のモニタウエノ＼のデータ管理方法とし
て、特開昭６３−２２０５１３号公報に記載されている
ものがある。

すなわち、このモニタウエノ）のデータ管理方法は、前
記モニタウェハ上に予め識別コードを付し、その識別コ
ードと前記ロフトの識別符号とを対応付けた対応ファイ
ルを前記データ処理装置に記録しておき、前記モニタウ
エノ＼に対する測定を行って、そのモニタウェハの識別
コードに対応する測定値を前記データ処理装置に入力し
、そのデータ処理装置により、前記対応ファイルを参照
しつつ、前記測定値履歴ファイルを作成させることを特
徴とする。

このモニタウェハの管理方法によれば、モニタウェハ上
に付された識別コードはモニタウエノ）と分離せず、そ
のモニタウェハを他のモニタウエノ＼と区別し、ロフト
との対応関係を明らかにする働きをするため、多数のウ
エノ＼が同時に測定された場合であっても、各ウェハ単
位の測定データは後において、識別コードを基づいてロ
フト単位測定データとして分類し得ることになる。

また、従来のウェハの並べ換え装置としては、特開昭６
２−２５２１４８号公報、および、特開昭６０−２０１
６４１号公報、に記載されているものがある。

前者のウェハの並べ換え装置は、複数の記号のかかれた
ウェハが所定の順番どおりに並べられずに収納された移
載側ウェハカセットと、収納側ウェハカセットとの間で
ウェハを搬送する主搬送手段と、咳主搬送手段の搬送径
路上で前記ウエノ□の番号を読みとる読み取り手段と、
該搬送径路の途中からウェハを任意側のバッファ用ウェ
ハカセットへ搬送する副搬送手段と、前記読み取り手段
によって読みとったウェハの記号の種類によって決定さ
れたバッファ用ウェハカセットへ該ウエノ＼を収納し移
載側ウェハカセットに収納されていたウェハをすべてバ
ッファ用ウェハカセットへ振りわけたのちにバッファ用
ウェハカセットの内容のウェハを収納側ウェハカセット
に所定の順番に収納する収納手段とを含むことを特徴と
する。

後者のウェハの並べ換え装置は、複数のウェハが所定の
番号どおりに並べられずに収納された第１のウェハカセ
ットと、第２のウェハカセットとの間でウェハを搬送す
る第１の搬送手段と、該第１の搬送手段の搬送径路上で
前記ウェハの番号を示す記号を読み取る読み取り手段と
、該搬送径路の途中からウェハを第３のウェハカセット
へ搬送する第２の搬送手段とを具備し、前記読み取り手
段によって読み取ったウェハの記号が示す番号が収納す
べき番号に一敗した時は、該ウェハを第３のウェハカセ
ットへ搬送し、一致しない時は第２のウニバカセントへ
搬送し、該第１と第２のウェハカセット間でウェハを往
復させながら該第３のカセットウェハを所定の順番に収
納するようにしたことを特徴とする。

（発明が解決しようとする課題〕 特開昭６３−２２０５１３号公報に記載されているウェ
ハのデータ管理方法においては、ウェハのデータ管理が
ロフト単位によって管理されることになるため、製品の
特性解析、不良解析および異物解析等のデータ管理はロ
フト単位による管理が限界になり、高い精度の管理を実
行することができないという問題がある。

また、特開昭６２−２５２１４８号公報および特開昭６
０−２０１６４１号公報に記載されているウェハの並べ
換え装置においては、次のような問題点がある。

（１）　　ウェハ収納カセットが３個以上使用されるた
め、スペース効率が低く、カセットの操作回数が多くな
る。

（２）複数ロットのロフト別についての並べ換工作業が
限界であるため、ユーザの要求に対応した並べ換え作業
を実行することができない。

本発明の目的は、製品の特性、不良および異物解析、生
産等に関するデータをウェハ単位によって管理すること
ができるウェハのデータ管理方法を提供することにある
。

本発明の他の目的は、カセット数を低減することができ
、スペース効率およびカセット管理効率を向上すること
ができるウェハの並べ換え装置を提供することにある。

本発明の別の目的は、ウェハの並べ換え作業をフレキシ
ブルに実行することができ、ユーザの要望に広く対応す
ることができるウェハの並べ換え装置を提供することに
ある。

さらに、本発明の別の目的は、ウェハの並べ換え作業お
よびウェハのデータ管理方法を合理的かつ正確に実行さ
せることができるウェハの識別装０を提供することにあ
る。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

まず、ウェハの識別装置は、それぞれに識別コードが付
されているウェハが複数枚収納されている実カセットが
供給されるローダ部と、ウェハに付されている識別コー
ドを光学的に読み取る読み取り装置と、 前記ローダ部の実カセットからウェハを１枚宛取り出し
て、前記読み取り装置に搬送する搬送装置と、 前記読み取り装置によりそれぞれ読み取られた各ウェハ
の識別コードを逐次記録する記録部とを備えていること
を特徴とする。

また、ウェハの識別装置およびウェハの並べ換え装２並
びにウェハのデータ管理方法は、それぞレニａｍ　別コ
ードが付されているウェハが複数枚収納されている実カ
セットが供給されるローダ部と、ウェハを１枚宛各位置
に収納可能な空カセットが供給されるアンローダ部と、 ウェハに付されている識別コードを光学的に読み取る読
み取り装置と、 前記ローダ部の実カセットからウェハを１枚宛取り出し
て、前記読み取り装置に搬送し、さらに、ウェハを読み
取り装置から前記アンローダ部の空カセットに搬送する
搬送装置と、 前記読み取り装置によって読み取られたウェハの識別コ
ードに基づいて前記搬送装置を操作することにより、各
ウェハを空カセットにおける識別コードに対応した所定
の位置に収納させるコントローラとを備えていることを
特徴とする。

さらに、ウェハのデータ管理方法は、各ウェハに光学的
に読み取り可能な識別コードをそれぞれ付しておき、ウ
ェハに処理が施される前または以後に、各ウェハの識別
コードを読み取って記録部に記録するとともに、データ
処理装置において、各ウェハについての処理データを前
記記録部に記録された識別コードにそれぞれ突き合わせ
て記録することを特徴とする。

また、他のウェハのデータ管理方法は、各ウェハに光学
的に読み取り可能な識別コードが付される工程と、 各ウェハに付された識別コードを読み取って、各ウェハ
を空カセットの識別コードに対応した所定の位置に収納
して規則的に並べる工程と、ウェハに処理が施された後
、カセットにおけるウェハ収納位置を認識して記録部に
記録するとともに、データ処理装置において、各ウェハ
についての処理データが前記記録部に記録されたウェハ
収納位置にそれぞれ突き合わされて記録される工程とを
備えていることを特徴とする。

〔作用〕

前記ウェハの識別装置によれば、各ウェハの識別コード
を読み取るとともに、ウェハを１枚宛取り扱うことによ
り、各ウェハを個別化することができる。また、個別化
した上で、ウェハの識別コードを記録部に逐次記録する
ことにより、この各ウェハについての識別コードの記録
と、個別化したウェハに関するデータとは容易に対応さ
せることができるため、各ウェハのデータ管理を各ウェ
ハ毎に対応させることも容易に可能である。

前記ウェハの並べ換え装置によれば、各ウェハの識別コ
ードを読み取るとともに、ウェハを１枚宛取り扱うこと
により、ウェハを個別化することができ、かつ、個別化
した上で、各ウェハを空カセットにおける所定の位置に
収納させることができるため、各ウェハとカセットの各
位置とを所望の通り対応させることができる。つまり、
ロフト内における複数枚のウェハを所望の通り並べ変え
ることができる。

前記ウェハのデータ管理方法によれば、各ウェハについ
ての識別コードと、個別化されたウエノ＼に関するデー
タとは突き合わされて記録されるため、各ウェハのデー
タ管理を各ウェハ毎に実行することができる。したがっ
て、製品の特性、不良および異物解析や生産等に関する
データをウエノ＼毎に管理することができ、ウェハ管理
精度を高め、生産性を高めることができる。

〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例であるウエノ＼の識別装置を
示す模式図、第２図はその斜視図、第３図はその要部を
示す斜視図、第４図はその作用を説明するためのフロー
チャート図、第５図はウェハの平面図である。

第６図は本発明の一実施例であるウェハのデータ管理方
法を示す工程図、第７図はその作用を説明するための説
明図である。

本実施例において、本発明に係るウェハの識別装置１１
はウェハ１の表面に付された識別コードを光学的手段に
より読み取り、当該ウェハ１を個々に識別するように構
成されている。

識別コード４はウェハ１の第１主面２におけるオリエン
テーションフラット３と反対側の位置に配されて、エツ
チング加工法やレーザ刻印法等のような手段を用いられ
て数字および文字により描画されている０本実施例にお
いて、識別コード４は、ウェハｌのロット番号を表示す
る識別コード（以下、ロットコードという。）５と、当
該ロット中の個々のウェハ番号を表示する識別コード（
以下、ウェハコード）６とにより構成されている。

本実施例に係るウェハの識別装置１１は箱形状に形成さ
れている機枠１２を備えており、この機枠Ｉ２上にはロ
ーダ部と、アンローダ部と、搬送装置としての多関節ロ
ボット（以下、ロボットとイウ、）と、識別コード読み
取り装置とがそれぞれ装置されている。ローダ部１３は
機枠１２上の前側部分における片側位置に配設されてお
り、コン）Ｏ−ラ１５により制御されるエレベータ１４
ヲ備えており、ウェハ１が複数枚収納されている実カセ
ット１６からエレベータ１４の制御により、ウェハ１を
１枚宛払い出し得るように構成されている。アンローダ
部１７は機枠１２上の前側部分における他の片側位置に
配設されており、コントローラ１９により制御されるコ
ンベア１８を備えており、コンベア１日上に乗せられた
ウェハ１をコントローラ１９の制御により１枚宛、後記
する検査装置にそれぞれ送給し得るように構成されてい
る。

ちなみに、カセット１６には多数条の保持溝（スロット
）が多数段（本実施例では、２５段）列設されており、
この保持溝内にウェハを挿入されることにより、複数枚
（本実施例では、スロット分）のウェハを規則的に整列
させた状態で収納し得るようになっている。

搬送装置としてのロボット２１は機Ｒ−１２上（７）後
側部分における片側位置に配設され、コントローラ２２
により制御されるアーム２３を備えており、アーム２３
の先端部にはウェハＩを保持するためのグリップ２４が
装置されている。ロボット２１はコントローラ２２によ
り制御されるアーム２３の操作により、グリップ２４に
おいてローダ部１３における実カセット１６からウェハ
１を１枚宛取り出して識別コード読み取り装置に搬送し
、さらに、当該ウェハ１を識別コード読み取り装置から
アンロード部１７へ搬送して、コンベア１８上に移載す
るように構成されている。

識別コード読み取り装置３０は機枠１２上の後側部分に
おける他の片側位置に配設されており、当該箇所に読み
取りステージ３１が設定されている。この読み取りステ
ージ３１の片部にはスタンド３２が機枠１２上に立設さ
れており、スタンド３２には照明装置３３および画像取
り込み装置としてのテレビカメラ３５が支持されている
。照明装置３３には光源３４が光学的に接続されており
、この照明装置３３により光源３４からの光がステージ
３１に向けて調光されて照射されるようになっている。

テレビカメラ３５はステージ３１上において照明された
ウェハ１の識別コード４を撮映するように構成されてい
る。

テレビカメラ３５には識別コード認識装置３６が電気的
に接続されており、この識別コード認識装置３６は画像
処理装置等から構成され、テレビカメラ３５からの撮像
信号に基づいてウェハ１に付された識別コード４を認識
し得るように構成されている。識別コード認識装置３６
は前記ロボット２１のコントローラ２２に、後述するよ
うなヨーイング補正信号を送給し得るように構成されて
おり、コントローラ２２はこの信号に基づいてアーム２
３を操作することにより、ヨーイング補正を実行するよ
うになっている。また、識別コード認ｌｌ装置３６には
モニタ３７が接続されており、このモニタ３７によりテ
レビカメラ３５の撮映状況がモニタリングされるように
なっている。

さらに、識別コード認識装置３６には識別コードを逐次
記録するための記録部としてのメモリー３８が接続され
ており、このメモリー３８は職別コード認識装置３６に
より認識された識別コード４を逐次記録するように構成
されている。このメモリー３８はコンピュータ等から構
築されているデータ処理装置４０に接続されており、デ
ータ処理装置４０によりメモリー３８に記録されたデー
タが随時読み出されるようになっている。なお、メモリ
ー３８はデータ処理装置４０側に装備してもよい。

前記構成に係るウェハの識別装置１１が使用されて本発
明の一実施例であるウェハのデータ管理方法が実施され
る場合、前記構成に係るウェハの識別装置１１は複数台
が用意され、第６図に示されているように、ウェハ生産
ラインにおける各工程の検査装置に適宜配置される。

第６図において、実線はウェハ１の流れを、破線はデー
タの送信をそれぞれ示している。また、Ａ１．Ａ２・・
・Ａｎは、表面酸化工程、リソグラフィー工程、デボジ
ンシラン工程等々のような半導体装置の所謂前工程にお
ける第１工程、第２工程・・・第Ｎ工程を示している。

さらに、ＩＢ−１、ＩＢ−２、ＩＢ−３は第１工程Ａ１
における同一種類の第１、第２、第３製造装置、２Ｂ−
１，２Ｂ−２，２Ｂ−３は第２王程Ａ２における同一種
類の第１、第２、第３製造装置、ＮＢ−１〜ＮＢ−４は
第Ｎ工程における同一種類の製造装置、ＩＣ−１は第１
工程Ａｔにおける検査装置、２Ｃ−１，２Ｃ−２は第２
王程Ａ２における同一種類の第１、第２検査装置、ＮＣ
−１〜Ｎ（，３は第Ｎ工程における同一種類の検査装置
をそれぞれ示している。

また、ＩＤ−１は第１工程Ａ１に、２Ｄ−１，２Ｄ−２
は第２工程に、Ｎｒｌ−１、ＮＤ−２、ＮＤ−３、は第
Ｎ工程にそれぞれ配設されている各ウェハの識別装置１
１を示しており、各ウェハの識別装置は各検査装置にそ
れぞれ組み合わされ、各検査装置ヘウエハ１が投入され
る直前にウェハｌの識別コード４を読み取って、個々の
ウェハ１を識別するとともに、メモリー３８に識別コー
ド４を逐次記録し、当該記録した識別コード４をデータ
処理装置４０に随時送信し得るようになっている。

次に、前記構成に係るウェハの識別装置１Ｆ１１の作用
、およびこのウェハの識別装置が使用される場合の本発
明の一実施例であるウェハのデータ管理方法を説明する
。

第６図に示されているように、生産ラインに投入される
前に、識別コード付およびカセットへのロフト詰め工程
ＡＯにおいて、各ウェハｌにはロットコード５およびウ
ェハコード６から戒る識別コード４がエツチング加工や
レーザ加工等のような適当な手段によりそれぞれ付けら
れる。そして、各ウェハ１はロットコード５毎にカセッ
トにそれぞれ収納される。

ロント毎に所定枚数のウェハ１が収納されたカセット群
は第１工程Ａ１に投入され、第１〜第３製造装置ＩＢ−
１〜ｌ　Ｂ−３に適宜分配される。

そして、同種の作業を同時進行的に実施する同一種類の
製造装置が複数台使用されることにより、他の工程Ａ２
〜Ａｎに対し作業時間が適宜調和されることになる。

各製造装置ＩＢ−１、ＩＢ〜２、ＩＢ−３においてウェ
ハ１は各カセットから取り出される。各製造装置による
第１工程Ａｌにおける処理が各ウハ１に施されると、各
ウェハ１は当該ロット毎に所定のカセットに再び収納さ
れる。

処理済みのウェハ１群が収納された実カセット１６は、
各製造装置ＩＢ−１，１Ｂ−２、ＩＢ−３から第１工程
ＡＩにおけるウェハの識別装置ＩＤ−１へ順次送られる
。このウェハの識別装ＷＩＤ−１において、次に述べる
作用により、各ウェハ１は識別コード４をそれぞれ読み
取られてメモリー３８に記録されるとともに、このウェ
ハの識別装置ＩＤ−１に組み合わせられている検査装置
に１枚宛供給されて所定の検査を実施される。

すなわち、ウェハの識別装置１１において、実カセット
１６はローダ部１３のエレベータＩ４上に順次供給され
る。エレベータ１４上に実カセット１６が供給されると
、ロボット２１はアーム２３の操作によって実カセット
１６内のウェハ１を１枚宛、グリップ２４により保持し
て実カセット１６内から取り出し、読み取り装置３０の
ステージ３１に順次供給する。

読み取りステージ３１において、第３図に示されている
ように、ウェハｌはロボット２１のアーム２３およびグ
リップ２４により水平に支持されるとともに、婢み取り
装置３０の照明装置３３およびテレビカメラ３５に正対
される。

ウェハ１がテレビカメラ３５に正対されると、第４図に
示されているようなフローチャートにより、読み取り装
置３０において識別コード４の読み取り作業が実行され
る。

ここで、識別コード認識装置３６における認識が不能で
あった場合、ヨーイング補正信号がロボット２１のコン
トローラ２２に送られる。ロボットのコントローラ２２
はこの補正信号に基づいて、アーム２３を操作すＺ、こ
とにより、ウェハ１のテレビカメラ３５に対する傾斜角
θを所定の方向へ変更調整する。このヨーイング補正作
動が識別コード認識装置３６による識別コード４の認識
が実行されるまで繰り返されることにより、識別コード
４についての適正な認識が確保される。

このようにして読み取られた識別コード４は、識別コー
ド認識装置３６に接続されているメモリー３８に記録さ
れる。なお、テレビカメラ３５による映像はモニタ３７
に映し出され、作業者によって必要に応して監視される
。

そして、識別コード４を読み取られると、ウェハ１はロ
ボット２１によりアンローダ部１７に敷設されているコ
ンベア１８上に搬送されて移載される。コンベア１８に
移載されたウェハ１はこのコンベアエ８により、これに
接続されている検査装置ＩＣ−１に搬送される。

検査装置１０−１において、各ウェハ１は製造装置ＩＢ
−１〜ＩＢ−３によって施された処理について、例えば
、膜厚測定等のような検査を実施される。この検査装置
による検査結果データはデータ処理装置４０に逐次送信
される。

第１工程ＡＩにおける検査を終えたウェハ１は不良品を
除き、ロフト毎に実カセットに収納さ札第２工程Ａ２へ
送られる。

以降、前述した手順により、ウェハｌは第２工程Ａ２、
第３工程・・・第Ｎ工程Ａｎにおいて、所定の処理、識
別コード読み取り作業および検査をそれぞれ実施される
ことにより、工程が完了される。

そして、本実施例に係るウェハのデータ管理方法におい
ては、各工程におけるウェハの識別装置ＩＤ−１，２Ｄ
−１，２Ｄ−２およびＮＤ−１゜ＮＤ−２、ＮＤ−３に
よって識別された各ウェハ１毎の識別コード４と、各工
程における検査装置ＩＣ−１，２Ｃ−１，２Ｃ−２、お
よびＮＣ−１゜ＮＣ−２、ＮＣ−３によって得られた各
ウェハｌ毎の検査結果データとによって、第７図に示さ
れているようなデータファイルがデータ処理装置４０に
おいて仮想的に作成される。

次に、このデータファイルの作成手順を簡単に説明する
。

第１工程ＡＩにおけるウェハの識別装置ＬＤ−１によっ
てウェハ１の識別コード４が読み取られて、メモリー３
８に逐次記録されると、データ処理装置４０は当該メモ
リー３８から当該ウェハｌのロットコード５およびウェ
ハコード６を読み出し、データファイルに記録する。

ウェハの識別装置ＩＤ−１によって識別コード４を読み
取られたウェハ１は直ちに検査装置ＩＣ−１に送られる
ため、データ処理装置４０は検査装置ＩＣ−１から送信
されて来る検査結果データを、今、ウェハの識別装置ｆ
ＬＤ−１から読み出したウェハ１のロットコード５およ
びウェハコード６に突き合わせて、データファイルにお
ける検査結果の欄に記録する。

そして、第１工程Ａ１について各ウェハおよび、各ロフ
ト毎に前記作動が繰り返されることにより、第１工程Ａ
ｌについてのデータファイルが作成される。

以降、第２工程Ａ２、第３工程・・・第Ｎ工程Ａｎにつ
いてのデータファイルが順次作成されて行き、全ロフト
および全ウェハについてのデータが各ウェハ毎に整理さ
れてファイルされることになる。但し、ある工程で不良
品ウェハが発生してロフトから除かれた場合には、当該
ウェハについての当該工程以降のデータは、当然のこと
ながら作成されないことになる。

このようにして、全ロットおよび全ウェハについて識別
コード４が全て読み出されてデータファイルに記録され
るため、この識別コード４に関する記録を利用すること
により、前述したウェハの識別装置１１における識別コ
ード読み取り装置３０による読み取り精度を高めること
ができる。

例えば、第２工程Ａ２のウェハの識別装置１２Ｄｌにお
ける識別コード読み取り装置３ｏが現在読み取った識別
コード４は、第１工程ＡＩのデータファイルの中に存在
するか否かを、データ処理装置４０が照合することによ
り、現在読み取り中の識別コード４の正誤は判定するこ
とができる。

すなわち、現在読み取り中の識別コード４がデータフア
イル中に存在すれば、当該読み取りは正しく、存在しな
ければ、当該読み取りは誤りである。

誤りである場合には、前述したヨーイング補正機能が作
動されることになる。もしくは、単純に再認識処理を実
行する。また、オペレータによる目視認識結果を、人力
することになる。

以上のようにして作成されたデータファイル広ウェハの
特性解析、不良解析および異物解析や、生産管理等に適
宜利用される。この場合、このデータファイルには各ウ
ェハ毎にデータが整理されているため、ウェハ毎の解析
が可能になり、解析の精度はきわめて高められることに
なる。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１）　　各ウェハに識別コードをそれぞれ付しておき
、ウェハに処理が施される前または以後に、各ウェハの
識別コードを読み取って記録部に記録するとともに、各
ウェハについての処理後の検査結果データを前記記録部
に記録された識別コードにそれぞれ突き合わせて記録す
ることにより、各ウェハ毎に検査結果データを整理した
データファイルを仮想的に作成することができるため、
ウェハの特性解析、不良解析、異物解析およびデータ管
理等を各ウェハ毎に実行することができ、その解析およ
び管理等についての精度を高めることができる。

（２）　　各ウェハに識別コードをそれぞれ付しておき
、各ウェハの識別コードを光学的に読み取って記録部に
記録することにより、この識別コードと各ウェハに関す
る検査結果データを突き合わせて記録することができる
ため、各ウェハ毎に検査結果データをファイリングする
のを実現することができる。

（３）　　ウェハの識別装置にヨーイング機能を設ける
ことにより、識別コードの読み取り精度を大幅に高める
ことができるため、読み取りの誤りによるデータファイ
ルの不備の発生を未然に防止することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、ヨーイング補正機構部は、第８図、第９図およ
び第１Ｏ図に示されているように槽底してもよい。

まず、第８図に示されているヨーイング補正機構部５０
は、読み取りステージ３１にそれぞれ設備されているス
トッパ５Ｉおよびウェハ支持具５２と、ウェハ支持具５
２を上下動させる送りねじ機ｆ１１Ｉ５３と、この送り
ねじ機構５３を操作するサーボモータ５４と、ヨーイン
グ補正コントローラ５５とを備えている。

そして、ウェハｌはストッパ５１に一端辺を突き当てら
れた状態で、支持具５２の上に支持される。ヨーイング
補正が実行される際、コントローラ５５０指令によって
サーボモータ５４が作動されて、送りねじ機構５３によ
り支持具５２が適宜上昇または下降される。この支持具
５２の動きにより、ウェハ１がストッパ５Ｉを中心にし
て上下方向に回動されるため、テレビカメラに対する傾
斜角度が変更調整されることになる。

また、第９図に示されているヨーイング補正機構部６０
は、読み取り装置１３０における照明装置３３およびテ
レビカメラ３５がスタンド３２の代わりに、ロボット６
１のアーム６２により支持されており、このロボット６
１がヨーイング補正コントローラ６３により制御される
ようになっている。

そして、ウェハｌは搬送用ロボット２１のアーム２３に
より読み取りステージ３１に供給されて水平に保持され
る。この状態で、ヨーイング補正が実行される際、コン
トローラ６３の指令によってロボット６１のアーム６２
が動かされることにより、テレビカメラ３５が傾斜角度
が変更調整される。この傾斜角度の変更調整により、テ
レビカメラ３５とウェハｌとの関係が相対的にヨーイン
グ補正されることになる。

第１０図（ａ）、（ｂ）に示されているヨーイング補正
機構部７０は、スタンド３２に傾斜可能に支持されてい
るとともに、照明装置３３およびテレビカメラ３５を支
持しているヨーイング補正具７１と、この補正具７１を
傾斜させる傾斜機＄１１７２と、この傾斜機構７２を操
作するサーボモータ７３と、サーボモータ７３を制御す
るヨーイング補正コントローラ７４とを備えている。

そして、ウェハ１は搬送用ロボット２１のアーム２３に
より読み取りステージ３１に供給されて水平に保持され
る。ヨーイング補正が実行される際、コントローラ７４
の指令によってサーボモータ７３が作動されて傾斜機構
７３が操作され、もって、ヨーイング補正具７１が傾斜
される。この傾斜により、これに支持されているテレビ
カメラ３５がｆ頃斜され、テレビカメラ３５とウェハ１
との関係が相対的にヨーイング補正されることになる。

〔実施例２〕 第１１図は本発明の一実施例であるウェハの並べ換え装
置を示す模式図、第１２図はその斜＃ｉ＠第１３図はそ
の要部を示す斜視図、第１４図はその作用を説明するた
めのフローチャート図である。

第１５図は本発明の実施例２であるウェハのデータ管理
方法を示す工程図、第１６図はその作用を説明するため
の説明図である。

本実施例において、本発明に係るウェハの並べ換え装置
４１はウェハ１の表面に付された識別コードを光学的手
段により読み取り、当該ウェハ１を個々に識別するとと
もに、空カセットにおける所定のスロットにそれぞれ収
納し得るように構成されている。

前記実施例１と同様、識別コード４はウェハｌの第１主
面２におけるオリエンチーシランフラット３と反対側の
位置に配されて、エツチング加工法やレーザ刻印法等の
ような手段を用いられて数字および文字により描画され
ている６本実施例においても、識別コード４は、ウェハ
ｌのロット番号を表示する識別コード（以下、ロットコ
ードという、）５と、当該ロフト中の個々のウェハ番号
を表示する識別コード（以下、ウェハコード）６とによ
り構成されている。

本実施例に係るウェハの並べ換え装置４１も前記実施例
に係るウェハの識別装２１１と同様に、箱形状に形成さ
れている機枠１２を備えており、機枠１２上にはローダ
部１３と、アンローダ部２５と、搬送装置としての多関
節ロボット（以下、ロボットという、）２１と、識別コ
ード読み取り装置１１ｔ３０とがそれぞれ装置されてい
る。

そして、このウェハの並べ換え装置４１が前記ウェハの
識別装置１１と異なる点は、アンローダ部２５の構造に
ある。すなわち、アンローダ部２５はコントローラ２７
により制御されるエレベータ２６を備えており、エレベ
ータ２６上に載置される空カセット２８へエレベータ１
４の制御により、ウェハ１を１枚宛所定位置のスロット
に収納させて行けるように構成されている。

ちなみに、第１３図に示されているように、空カセット
２８には多数条の保持溝（以下、スロットという、）Ｓ
１〜Ｓｎが多数段（本実施例で広２５段）列設されてお
り、この各スロットｓ１〜Ｓｎ内にウェハＩがそれぞれ
挿入されることにより、複数枚（本実施例では、１０ッ
ト分）のウェハを規則的に整孔させた状態で収納し得る
ようになっている。

なお、このウェハの並べ換え装置４１におけるローダ部
１３、ロボット２１および識別コード読み取り装置３０
の構成は、前記ウェハの識別装置１１におけるそれらと
同様であるので、説明は省略する。

前記構成に係るウェハの並べ換え装置４１が使用されて
本発明の実施例２であるウェハのデータ管理方法が実施
される場合、前記構成に係るウェハの並べ換え装置４１
は１台または複数台が用意されるが、ここでは複数台が
用意される場合につき説明する。そして、複数台のウェ
ハの並べ換え装置４１は、第１５図に示されているよう
に、ウェハ生産ラインにおける各工程に適宜配置される
。

第１５図において、実線矢印はウェハ１の流れを、破線
矢印はデータの送信をそれぞれ示している。また、Ａ１
、Ａ２・・・Ａｎは、表面酸化工程、リソグラフィー工
程、デボジッシぢン工程等々のような半導体装置の所謂
前工程における第１工程、第２工程・・・第Ｎ工程を示
している。さらに、ＩＢ−１、Ｉ　Ｂ−２、ＩＢ−３は
第１工程ＡＩにおける同一種類の第１、第２、第３製造
装ｆ、２Ｂ−１，２Ｂ−２，２Ｂ−３は第２工程Ａ２に
おける同一種類の第１、第２、第３製造装買、ＮＢ−１
−ＮＢ−４は第Ｎ工程における同一種類の製造装置、Ｉ
Ｃ−１は第１工程ＡＩにおける検査装置、２Ｃ−１，２
Ｃ−２は第２工程Ａ２における同一種類の第１、第２検
査装置、ＮＣ−１〜ＮＣ−３は第Ｎ工程における同一種
類の検査装Ｘをそれぞれ示している。

また、ＩＥは第１工程Ａ１に、２Ｅは第２工程に、ＮＥ
は第Ｎ工程にそれぞれ配設されている各ウェハの並べ換
え装置４１を示しており、各ウェハの並べ換え装置ＩＥ
−ＮＥは各工程ヘウエハ１が投入される直前にウェハ１
の識別コード４を読み取って、個々のウェハ１を識別す
るとともに、メモリー３８に識別コード４を逐次記録し
、当該記録した識別コード４をデータ処理装置４２に随
時送信し得るようになっている。

次に、前記の槽底に係るウェハの並べ換え装置４１の作
用、および、このウェハの並べ換え装置が使用される場
合の本発明の実施例２であるウェハのデータ管理方法を
説明する。

第１５図に示されているように、生産ラインに投入され
る前に、識別コード付およびカセットへのロント詰め工
程ＡＯにおいて、各ウェハ１にはロットコード５および
ウェハコード６から成る識別コード４がエンチング加工
法やレーザ刻印法等のような適当な手段を用いられてそ
れぞれ付けられる。そして、各ウェハ１はロットコード
５毎にカセットにそれぞれ収納される。

ロント毎に所定枚数のウェハｌが収納されたカセット群
は第１工程ＡＩに投入され、第１〜第３製造装置ＩＢ−
１〜ＩＢ−３に適宜分配される。

そして、同種の作業を同時進行的に実施する同一種類の
製造装置が複数台使用されることにより、他の工程Ａ２
〜Ａｎ相互間で作業時間が適宜調和されることになる。

各製造装置ＩＢ−１、ＩＢ−２、ＩＢ−３においてウェ
ハ１は各カセットから取り出される。各製造装置による
第１工程Ａ１における処理が各ウェハ１に施されると、
各ウェハｌは当該ロフト毎に所定のカセットに再び収納
される。

処理済みのウェハ１群が収納された実カセット１６は、
各製造装置ＩＢ−１，１Ｂ−２、ＩＢ−３から第１工程
Ａ１におけるウェハの並べ換え装ＷＩＥへ順次送られる
。このウェハの並べ換え装ｆｌＥにおいて、次に述べる
作用により、各ウェハ１は識別コード４をそれぞれ読み
取られてメモリー３８に記録されるとともに、このウェ
ハの並べ換え装置ＩＢに供給されている空カセット２８
に、そのウェハコード６の番号順に並べられて所定のス
ロット５１〜Ｓｎに挿入されることにより並べ換えられ
る。

すなわち、ウェハの並べ換え装Ｗ４１において、実カセ
ット１６はローダ部１３のエレベータ１４上に順次供給
される。エレベータ１４上に実カセット１６が供給され
ると、ロボット２１はアーム２３の操作によって実カセ
ット１６内のウェハ１を１枚宛、グリップ２４により保
持して実カセット１６内から取り出し、読み取り装置３
０のステージ３１に順次供給する。

読み取りステージ３１において、第１１図に示されてい
るように、ウェハ１はロボット２１のアーム２３および
グリップ２４により水平に支持されるとともに、読み取
り装置３０の照明装置３３およびテレビカメラ３５に正
対される。

ウェハｌがテレビカメラ３５に正対されると、第１４図
に示されているようなフローチャートにより、読み取り
装置３０において識別コード４の読み取り作業が実行さ
れる。

ここで、識別コード認識装置１３６における認識が不能
であった場合、ヨーイング補正信号がロボット２１のコ
ントローラ２２に送られる。ロボットのコントローラ２
２はこの補正信号に基づいて、アーム２３を操作するこ
とにより、ウェハ１のテレビカメラ３５に対する傾斜角
θを所定の方向へ変更調整する。このヨーイング補正作
動が識別コード認識装置３６による識別コード４の認識
が実行されるまで繰り返されることにより、識別コード
４適正な認識が確保される。

このようにして読み取られた識別コード４は、識別コー
ド認識装置３６に接続されているメモリー３８に記録さ
れる。なお、テレビカメラ３５による映像はモニタ３７
に映し出され、作業者によって必要に応じて監視される
。

そして、識別コード４が読み取られると、ウェハ１はロ
ボット２１によりアンローダ部２５に搬送されて、第１
３図に示されているように、アンローダ部２５のエレベ
ータ２６上に供給されている空カセット２８における所
定のスロットＳｌ〜Ｓｎに挿入される。

今、例えば、識別コード読み取り装Ｗ、３ｏによって読
み取られた識別コード４のウェハコード６の番号が、Ｎ
１１ｌ、であった場合、アンローダ部２５のコントロー
ラ２７の指令によりエレベータ２６が１ピンチ送られ、
空カセット２８における第１スロツトＳｌが挿入作動位
置２９にセットされる。そして、第１スロツトｓ１が挿
入作動位置にセントされると、ロボット２１により搬送
されて来たウェハコードＮＣＬＩのウェハＩがこの第１
スロツトＳ１に挿入される。

次に、識別コード読み取り装Ｗ３ｏによって読み取られ
た識別コード４のウェハコード６の番号が、阻３、であ
った場合、アンローダ部２５のコントローラ２７の指令
によりエレベータ２６がさらに２ピッチ送られ、空カセ
ット２Ｂにおける第３スロ・ントＳ３が挿入作動位置２
９にセットされる。続いて、ロボッ１−２１により搬送
されて来たウェハコードＮ１１３のウェハ１が、この第
３スロツトＳ３に挿入される。

次に、識別コード読み取り装置３ｏによって読み取られ
た識別コード４のウェハコード６の番号が、弘２であっ
た場合、アンローダ部２５のコントローラ２７の指令に
よりエレベータ２６が１ピンチ戻されるように送られ、
空カセット２８における第２スロツトＳ２が挿入作動位
２２９にセントされる。続いて、ロボット２１により搬
送されて来たウェハコード隘２のウェハ１が、この第２
スロツトＳ２に挿入される。

このような作動が繰り返されることにより、ロフトコー
ド５の番号が共通のウェハ１＃がアンロード部２５の空
カセット２８内へ、各ウェハコード６による順番に従っ
て、スロット番号通りに並べられて収容されることにな
る。つまり、第１スロツトＳｌにはウェハコード５ｉｌ
ｌのウェハが、第２スロントＳ２にはウェハコードＮ１
１２のウェハカ匁第ＮスロントＳｎにはウェハコードｋ
ｎのウェハがそれぞれ挿入されている。

このようにして、ウェハコード番号とスロット番号とが
揃えられている状態で、１０ット分のウェハが収納され
た実カセットは、第１工程Ａ１における検査装置ＩＣ−
１に搬送される。

検査装置ＩＣ−１において、各ウェハ１は製造装置ＩＢ
−１〜ＩＢ−３によって施された処理について、例えば
、膜厚測定等のような検査を実施される。この検査装置
による検査結果データはデータ処理装置Ｉ！４２に逐次
送信される。このとき、カセット２８内の各ウニハエは
カセット２８におけるスロットＳ１〜Ｓｎの番号順に従
って順次取り出されて、検査を逐次実施される。

第１工程Ａ１における検査を終えたウェハｌは不良品を
除き、ロフト毎に実カセットに収納さ札第２工程Ａ２へ
送られる。

以降、前述した手順により、ウェハ１は第２工程Ａ２、
第３工程・・・第１工程Ａ１において、所定の処理、識
別コード読み取り作業および検査をそれぞれ実施される
ことにより、工程が完了される。

そして、本実施例に係るウェハのデータ管理方法におい
ては、各工程におけるウェハの並べ換え装置ＩＥ、２Ｂ
およびＮＥによって識別された各ウェハ１毎の識別コー
ド４と、各工程における検査装置１Ｃ−１，２Ｃ−１，
２Ｃ−２、およびＮＣ−１Ｎｃ−２、ＮＣ−３によって
得られた各ウェハｌ毎の検査結果データとによって、第
１６図に示されているようなデータファイルがデータ処
理装置４２において仮想的に作成される。

次に、このデータファイルの作成手順を簡単に説明する
。

第１工程ＡＩにおけるウェハの識別装置ＩＥによってウ
ェハｌの識別コード４が読み取られて、メモリー３Ｂに
逐次記録されると、データ処理装置４２は当該メモリー
３８から当該ウェハ１のロットコード５およびウェハコ
ード６を読み出し、データファイルに記録する。

ウェハの並べ換え装置ＩＥによって識別コード４を読み
取られたウェハ１は、ウェハコード番号とカセット２８
のスロット番号とが揃えられた状態で、検査装置ＩＣ−
１に送られるため、データ処理装置４２は検査装ｆｌｃ
−１から送信されて来る検査結果データを、その検査装
置ｆＩＣ−１においてウェハが取り出される順番である
カセット２８のスロット番号順に突き合わせて、データ
ファイルにおける検査結果の欄に逐次記録する。

そして、第１工程Ａ１について各ウェハ、および、各ロ
フト毎に前記作動が繰り返されることにより、第１工程
ＡＩについての全ウェハのデータファイルが作成される
。

以降、第２工程Ａ２、第３工程・・・第１工程Ａ１につ
いてのデータファイルが順次作成されて行き、全ロット
および全ウェハについてのデータが各ウェハ毎に整理さ
れてファイルされることになる。但し、ある工程で不良
品ウェハが発生してロットから除かれた場合には、当該
ウェハについての当該工程以降のデータは、当然のこと
ながら作成されないことになる。

このようにして、全ロフトおよび全ウェハについて識別
コード４が全て読み出されてデータファイルに記録され
るため、この識別コート′４に間する記録を利用するこ
とにより、前述したウェハの識別装置１１と同様、この
ウェハの並べ換え装置４１における識別コード読み取り
装置３０による読み取り精度を高めることができる。

例えば、第２工程Ａ２のウェハの並べ換え装置２Ｅにお
ける識別コード読み取り装置３０が現在読み取った識別
コード４は、第１工程ＡＩのデータファイルの中に存在
するか否かを、データ処理装置４２が照合することによ
り、現在読み取り中の識別コード４の正誤は判定するこ
とができる。

すなわち、現在読み取り中の識別コード４がデータファ
イル中に存在すれば、当該読み取りは正しく、存在しな
ければ、当該読み取りは誤りである。

誤りである場合には、前記実施例Ｉと同様に、ヨーイン
グ補正機能が作動されることになる。もしくは、単純に
再認識処理を実行する。また、オペレータによる目視認
識結果を、入力することになる。

以上のようにして作成されたデータファイルは、ウェハ
の特性解析、不良解析および異物解析や、生産管理等に
適宜利用される。この場合、このデータファイルは各ウ
ェハ毎にデータが整理されているため、ウェハ毎の解析
が可能になり、解析の精度はきわめて高められることに
なる。

本実施例２によれば、前記実施例１の効果に加えて、次
のような効果が得られる。

（１）　　ウェハ群の空カセットへの収納時に、ウェハ
コード番号とカセットのスロット番号とが揃うように並
べ換えられることにより、各ウェハと、各ウェハの検査
結果データとがカセットのスロット番号を介して突き合
わされることになるため、各検査装置毎にウェハの識別
装置をそれぞれ組み合わせなくて済み、ウェハの並べ換
え装置の共用により設備費の増大化を抑制することがで
きる。

（２）　　ウェハの並べ換え装置におけるカセットの設
置箇所は２箇所であるため、カセット数を低減すること
ができ、スペース効率およびカセット管理効率を向上さ
せることができる。

（３）　　このウェハの並べ換え装置は汎用性に富み、
ウェハの並べ換え作業をフレキシブルに実行することが
できる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例２に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例２に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。

例えば、ウェハの並べ換え装置は、前記ウェハのデータ
管理方法に使用するに限らず、ロフト内におけるウェハ
群にいての分割作業や、異なるロフトのウェハ同士の混
合作業等にも使用することができる。

今、１０ツト内のウェハ群をＮＱＩ〜Ｎａ１２と、弘１
３〜漱２５とに２分割する方法につき、第１１図を利用
して簡単に説明する。

ロボット２１により実カセット１６から取り出されたウ
ェハ１のウェハコード６の番号が、識別コード読み取り
装置３０によって、隘１、と読み取られた場合、この弘
１のウェハ１はロボット２１によりアンローダ部２５に
搬送されて、そこの空カセット２８における所定のスロ
ットに挿入される。

続くウェハｌにおけるウェハコード６の番号力匁隘１３
と読み取られた場合、この隘１３のウェハ１はロボット
２１によりローダ部１３に搬送されて、そこのカセット
１６における所定のスロットに挿入される。

以降、前記作動が繰り換えされることにより、１０ツト
内のウェハ群が８１１１〜Ｎ１１２と、Ｎｃｔ１３〜Ｎ
ｔ１２５との２グループに、アンローダ部２５のカセッ
ト２８と、ローダ部１３のカセット１６とによって分割
されることになる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

各ウェハに識別コードをそれぞれ付しておき、ウェハに
処理が施される前または以後に、各ウェハの識別コード
を読み取って記録部に記録するとともに、各ウェハにつ
いての処理後の検査結果データを前記記録部に記録され
た識別コードにそれぞれ突き合わせて記録することによ
り、各ウェハ毎に検査結果データを整理したデータファ
イルを仮想的に作成することができるため、ウェハの特
性解析、不良解析、異物解析およびデータ管理等を各ウ
ェハ毎に実行することができ、その解析および管理等に
ついての精度を高めることができる。

ウェハ群の空カセットへの収納時に、ウェハコード番号
とカセットのスロット番号とが揃うように並べ換えるこ
とにより、各ウェハと、各ウェハの検査結果データとを
カセットのスロット番号を介して突き合わせることがで
きるため、各検査装置毎にウェハの識別装置をそれぞれ
組み合わせなくて済み、ウェハの並べ換え装置を共用化
することにより、設備費の増大化を抑制することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウェハの識別装置を示
す模式図、 第２図はその斜視図、 第３図はその要部を示す斜視図、 第４図はその作用を説明するためのフローチャート図、 第５図はウェハの平面図である。 第６図は本発明の一実施例であるウェハのデータ管理方
法を示す工程図、 第７図はその作用を説明するための説明図である。 第８図はヨーイング補正機構部の第２実施例を示す斜視
図、 第９図はヨーイング補正機構部の第３実施例を示す斜視
図、 第１０図（ａ）、中）はヨーイング補正機構部の第４実
施例を示す側面図および背面図である。 第１１図は本発明の一実施例であるウェハの並べ換え装
置を示す模式図、 第１２図はその斜視図、 第１３図はその要部を示す斜視図、 第１４図はその作用を説明するためのフローチャート図
である。 第１５図は本発明の実施例２であるウエノ＼のデータ管
理方法を示す工程図、 第１６図はその作用を説明するための説明図である。 １・・・ウェハ、２・・・第１主面、３・・・オリエン
チーシランフラット、４・・・識別コード、５・・・ロ
ットコード、６・・・ウェハコード、１１・・・ウェハ
の識別装置、１２・・・機枠、１３・・・ローダ部、１
４・・、エレベータ、１５・・・コントローラ、１６・
・・実カセット、１７・・・アンローダ部、１８・・・
コンベア、１９・・・コントローラ、２１・・・ロボッ
ト、２２・・・コントローラ、２３・・・アーム、２４
・・・グリップ、２５・・・アンローメ部、２６・・・
エレベータ、２７・・・コントローラ、２８・・・空カ
セット、２９・・・挿入作動位置、３０・・・識別コー
ド読み取り装置、３１・・・読み取りステージ、３２・
・・スタンド、３３・・・照明製度、３４・・・光源、
３５・・・テレビカメラ、３６・・・識別コード認識装
置、３７・・・モニタ、３８・・・メモリー、４０・・
・データ処理装置、４１・・・ウェハの並べ換え装置、
４２・・・データ処理装置、Ａ１・・・第１工程、Ａ２
・・・第２工程、Ａ　ｎ　”−第Ｎ工程、ＩＢ−１〜Ｎ
Ｄ−３・・・製造装置、ＩＣ−１〜ＮＣ−３・・・検査
装置、■Ｄ−１〜ＮＤ−３・・・ウェハの識別装置、Ｉ
Ｅ−ＮＥ・・・ウェハの並べ換え装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、それぞれに識別コードが付されているウェハが複数
   枚収納されている実カセットが供給されるローダ部と、 ウェハに付されている識別コードを光学的に読み取る読
   み取り装置と、 前記ローダ部の実カセットからウェハを１枚宛取り出し
   て、前記読み取り装置に搬送する搬送装置と、 前記読み取り装置によりそれぞれ読み取られた各ウェハ
   の識別コードを逐次記録する記録部と、 を備えていることを特徴とするウェハの識別装置。 ２、前記識別コード読み取り装置が、光学系に対するウ
   ェハの傾斜を補正することにより読み取りを修正するヨ
   ーイング機能を備えていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のウェハの識別装置。 ３、それぞれに識別コードが付されているウェハが複数
   枚収納されている実カセットが供給されるローダ部と、 ウェハを１枚宛各位置に収納可能な空カセットが供給さ
   れるアンローダ部と、 ウェハに付されている識別コードを光学的に読み取る読
   み取り装置と、 前記ローダ部の実カセットからウェハを１枚宛取り出し
   て、前記読み取り装置に搬送し、さらに、ウェハを読み
   取り装置から前記アンローダ部の空カセットに搬送する
   搬送装置と、 前記読み取り装置によって読み取られたウェハの識別コ
   ードに基づいて前記搬送装置を操作することにより、各
   ウェハを空カセットにおける識別コードに対応した所定
   の位置に収納させるコントローラと、 を備えていることを特徴とするウェハの並べ換え装置。 ４、各ウェハに光学的に読み取り可能な識別コードをそ
   れぞれ付しておき、ウェハに処理が施される前または以
   後に、各ウェハの識別コードを読み取って記録部に記録
   するとともに、データ処理装置において、各ウェハにつ
   いての処理後の検査結果データを前記記録部に記録され
   た識別コードにそれぞれ突き合わせて記録することを特
   徴とするウェハのデータ管理方法。 ５、識別コードを読み取る際、データ処理装置において
   、過去に記録されている識別コードと、現在読み取って
   いる識別コードとを照合することにより、読み取り精度
   を高めることを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
   ウェハのデータ管理方法。 ６、各ウェハに光学的に読み取り可能な識別コードが付
   される工程と、 各ウェハに付された識別コードを読み取って、各ウェハ
   を空カセットの識別コードに対応した所定の位置に収納
   して規則的に並べる工程と、ウェハに処理が施された後
   、カセットにおけるウェハ収納位置を認識して記録部に
   記録するとともに、データ処理装置において、各ウェハ
   についての処理データが前記記録部に記録されたウェハ
   収納位置にそれぞれ突き合わされて記録される工程と、 を備えていることを特徴とするウェハのデータ管理方法
   。