JPH07111287A - ロット編成方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ロット編成作業ミスによるロット混入防止す
る。 【構成】 ロット編成以前に編成元および編成先のデー
タが入力され、その入力終了後、入力された編成元のデ
ータと、入力された編成先のデータとが一致しているか
否かが照合され、不一致である場合には編成シーケンス
が停止される。また、ロット編成以前に編成元および編
成先のデータが入力され、識別コードの読み取りに際し
て、実際に読み取られた識別コードと、先に入力された
編成元のワークのデータとが一致しているか否かを照合
し、不一致である場合には編成シーケンスが停止され
る。 【効果】 データ入力に際しての入力ミスや、編成元ワ
ークのセッティングミスによるロット編成作業の不適正
を回避できる。編成元ワークのセッティングミスや、編
成元ワーク群におけるロット相違ワークの混入によるロ
ット編成作業の不適正を回避できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロット編成技術、特
に、複数のワークが所定の条件毎のロットに編成される
技術に関し、例えば、半導体製造工程において、半導体
ウエハを同一の処理条件毎のロットに編成するのに利用
して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造工程において、ワー
クとしての半導体ウエハ（以下、ウエハという。）は複
数枚（例えば、２５枚）を１ロットに編成されて取り扱
われている。このようにワークとしてのウエハがロット
編成される際、ウエハのロット編成装置やウエハの並び
替え装置が使用されることがある。

【０００３】従来、このようなウエハのロット形成およ
び並び替え装置として、特開昭６２−２５２１４８号公
報に記載されているものがある。すなわち、このウエハ
のロット形成および並び替え装置は、ウエハのウエハ識
別番号が認識カメラによって認識され、その番号に応じ
てウエハが移動されるとともに、ロータリステージが回
転されることにより、ウエハは所定のカセットの所定の
位置に収容されるように構成されており、ウエハに与え
る影響を少なくしつつ、ロット形成作業を自動的に実施
するようになっている。

【０００４】なお、前記以外のウエハ並び替え装置を述
べてある例としては、特開昭６０−２０１６４１号公
報、がある。

【０００５】ところで、例えば、ＲＡＭ（ランダム ア
クセス メモリー）等の半導体記憶装置（メモリー）の
ような少品種大量生産向きの製品については、ワークと
してのウエハのライン投入時にロット編成が実施された
後に、そのロットを再編成する必要が殆どない。

【０００６】しかしながら、マスクＲＯＭ（リード オ
ンリー メモリー）や、特別注文の半導体集積回路装置
（以下、ＡＳＩＣという。）等のような多品種少量生産
が要求される製品については、ワークとしてのウエハの
ライン投入時に編成されたロットをそのまま維持し続け
たのでは、生産性がきわめて低下してしまう。すなわ
ち、マスクＲＯＭやＡＳＩＣでは１品種のウエハが通常
の１ロット当たりの枚数（２５枚）に至らない品種が多
々生じるため、１ロット２５枚単位で取り扱う生産ライ
ンが充分に活用されない状況が発生する。

【０００７】そこで、ウエハ投入後、次のようなロット
編成方法を実行することにより、生産性を高めることが
考えられる。例えば、マスクＲＯＭやＡＳＩＣ製品のウ
エハがマスタ工程を通過した後のカスタム工程への投入
時に、カスタム工程の処理条件にそれぞれ応じて、マス
タ工程における１ロット分のウエハを複数グループに分
割するとともに、処理条件が同一のグループを１ロット
にそれぞれ合成することにより、カスタム工程での取り
扱いを可及的に１ロット２５枚単位で行う。カスタム工
程通過後、前記合成された各ロットを再分割するととも
に、同一処理が施された各ウエハを合成し直して可及的
に１ロット２５枚に編成し直す。

【０００８】そして、このようなウエハ投入後のロット
編成を、ウエハの識別コードの認識装置を有するととも
に、この認識情報をデータ処理するデータ処理装置を有
するロット編成装置を使用して実行することが考えられ
る。例えば、ロット分割方法の実施に際しては、次のよ
うな作業が実施されることになると、考えられる。

【０００９】（１） まず、分割元のウエハが収容され
たカセットがローディング側にセッティングされ、アン
ローディング側に分割先としての空カセットがセッティ
ングされる。

【００１０】（２） セッティングされた分割元のロッ
トに関する情報がロット編成装置のコンピュータに入力
されるとともに、分割によって編成される分割先のロッ
トに関する情報がコンピュータに入力される。

【００１１】（３） その後、起動スイッチによって、
分割編成シーケンスが開始されると、分割元のカセット
からウエハが１枚宛、ウエハ識別コード認識装置にハン
ドリングされてウエハ識別コードが認識される。この認
識されたウエハ識別コードがコンピュータに入力され
る。

【００１２】（４） 入力されたウエハ識別コードに基
づいて、分割先のカセットがコンピュータによって指定
される。そのウエハは指定された分割先のカセットにハ
ンドリング装置によって収容される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記したロッ
ト編成方法においては、ロット編成作業によって発生す
る混入を検出することができないため、不良製品を作り
込む危険性がある。

【００１４】例えば、編成条件として、同一品種以外の
条件が禁止されている場合において、誤って別品種がカ
セットにセッティングされても、そのまま編成シーケン
スが進行してしまう。

【００１５】また、ロット編成に関する情報の入力が適
正に実行されているが、セッティングされたカセットが
誤っている場合にも、誤りを検出することができないた
め、そのまま編成シーケンスが進行してしまう。

【００１６】ロット編成に関する情報の入力が適正に実
行され、かつ、カセットのセッティングも適正に実行さ
れている場合であっても、既にカセット内に異種のウエ
ハが混入している場合には、混入を検出することができ
ないため、やはり、そのまま編成シーケンスが進行して
しまう。

【００１７】本発明の目的は、ロット編成作業における
ロット編成ミスによるロット混入を検出し、ロット混入
による製品不良を未然に防止することができるロット編
成技術を提供することにある。

【００１８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００２０】すなわち、複数のワークが所定の条件毎の
ロットに編成されるロット編成方法であって、各ワーク
に光学的に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ
付され、その後、ロット編成時に、各ワークに付された
識別コードがそれぞれ読み取られ、その読み取られた識
別コードに基づいて予め設定された条件毎にワーク群が
各ロットにそれぞれ編成されるロット編成方法におい
て、前記ロット編成以前に編成元および編成先のデータ
が入力され、その入力終了後、入力された編成元のデー
タと、入力された編成先のデータとが一致しているか否
かが照合され、不一致である場合には編成シーケンスが
停止されることを特徴とする。

【００２１】また、前記ロット編成以前に編成元および
編成先のデータが入力され、前記識別コードの読み取り
に際して、実際に読み取られた識別コードと、先に入力
された編成元のワークのデータとが一致しているか否か
を照合し、不一致である場合には編成シーケンスが停止
されることを特徴とする。

【００２２】

【作用】前記した第１の手段によれば、ロット編成以前
に編成元および編成先のデータが入力され、その入力終
了後、入力された編成元のデータと、入力された編成先
のデータとが一致しているか否かが照合され、不一致で
ある場合には編成シーケンスを停止されるため、先のデ
ータ入力に際しての入力ミスや、編成元ワークのセッテ
ィングミスによるロット編成作業の不適正を回避するこ
とができる。

【００２３】また、前記した第２の手段によれば、ロッ
ト編成以前に編成元および編成先のデータが入力され、
ワークに付された識別コードの読み取りに際して、実際
に読み取られた識別コードと、先に入力された編成元の
ワークのデータとが一致しているか否かが照合され、不
一致である場合にはシーケンスを停止されるため、編成
元ワークのセッティングミスや、編成元ワーク群にロッ
トが相違するワークが混入していることによるロット編
成作業の不適正を回避することができる。

【００２４】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハのロッ
ト編成装置を示す模式図、図２はその斜視図である。図
３はウエハを示す模式的平面図である。図４はカセット
を示す斜視図である。図５以降は本発明の一実施例であ
るウエハのロット編成方法を示す各説明図である。

【００２５】本実施例において、本発明に係るウエハの
ロット編成装置１１はワークとしてのウエハ１の表面に
図３に示されているように付された識別コードを光学的
手段により順次読み取り、原則として２５枚のウエハ１
を１ロットに編成するように構成されている。

【００２６】図３に示されているように、識別コード４
はウエハ１の第１主面２におけるオリエンテーションフ
ラット３と反対側の位置に配されており、エッチング加
工法やレーザ刻印法等のような手段が用いられて数字お
よび英文字により描画されている。

【００２７】本実施例において、識別コード４は、ウエ
ハ１のロット番号を表示する識別コード（以下、ロット
コードという。）５と、当該ロット中の個々のウエハ番
号を表示する識別コード（以下、ウエハコードとい
う。）６と、このウエハによって製造されるべき製品の
名称を表示する品名識別コード（以下、品名コードとい
う。）７とにより構成されている。

【００２８】本実施例に係るウエハのロット編成装置１
１は大略箱形状に形成されている機枠１２を備えてお
り、この機枠１２上には４台のローディングおよびアン
ローディング兼用形のステーション１３、１４、１５、
１６と、搬送装置としての多関節ロボット（以下、ロボ
ットという。）２１と、識別コード読み取り装置３０と
がそれぞれ設備されている。

【００２９】第１ステーション１３は機枠１２上の中央
部分における片側位置に配設されている。第２ステーシ
ョン１４、第３ステーション１５および第４ステーショ
ン１６は機枠１２上の片側位置に横並びに配設されてい
る。図１において、第１ステーション１３により代表的
に示されているように、各ステーション１３、１４、１
５、１６はコントローラ１９により制御されるエレベー
タ１８を備えており、エレベータ１８上に乗せられる空
カセット２０に対してエレベータ１８の制御により、ウ
エハ１を１枚宛受け渡して行くことができるように構成
されている。

【００３０】ちなみに、図４に示されているように、各
カセット２０には多数条の保持溝（スロット）Ｓ１〜Ｓ
２５が、多数段（本実施例においては、２５段）列設さ
れており、この保持溝内にウエハがそれぞれ挿入される
ことにより、複数枚（本実施例においては、１ロット
分）のウエハが規則的に整列された状態で収納されるよ
うになっている。

【００３１】搬送装置としてのロボット２１は機枠１２
上の中央部分における片側位置に配設されている。ロボ
ット２１はコントローラ２２により制御されるアーム２
３を備えており、アーム２３の先端部にはウエハ１を保
持するためのグリップ２４が装置されている。ロボット
２１はコントローラ２２により制御されるアーム２３の
操作により、グリップ２４において所定のステーション
における実カセットからウエハ１を１枚宛取り出して識
別コード読み取り装置３０に搬送し、さらに、当該ウエ
ハ１を識別コード読み取り装置３０から他のステーショ
ンへ搬送して、そのステーションに保持された空カセッ
トのスロットに収納するように構成されている。

【００３２】識別コード読み取り装置３０は、機枠１２
上の後側部分における略中央位置に配設されている。識
別コード読み取り装置３０にはアライメント装置３１が
それぞれ設備されており、このアライメント装置３１は
ウエハ１を保持するとともに、コントローラ３２を介し
て位置合わせ作業や、ヨーイング補正作業を実行するよ
うに構成されている。

【００３３】アライメント装置３１の上にはスタンドが
機枠１２上に立設されており、スタンドには照明装置３
３および画像取り込み装置としてのテレビカメラ３５が
支持されている。照明装置３３には光源３４が光学的に
接続されており、この照明装置３３により光源３４から
の光がアライメント装置３１のステージに向けて調光さ
れて照射されるようになっている。テレビカメラ３５は
アライメント装置３１のステージ上において照明された
ウエハ１の識別コード４を撮映するように構成されてい
る。

【００３４】テレビカメラ３５には識別コード認識装置
３６が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置３６は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ３
５からの撮像信号に基づいてウエハ１に付された識別コ
ード４を認識し得るように構成されている。また、識別
コード認識装置３６にはモニタ３７が接続されており、
このモニタ３７によりテレビカメラ３５の撮映状況がモ
ニタリングされるようになっている。

【００３５】さらに、識別コード認識装置３６には識別
コードを逐次記録するための記録手段としてのメモリー
３８が接続されており、このメモリー３８は識別コード
認識装置３６により認識された識別コード４を逐次記録
するように構成されている。このメモリー３８はコンピ
ュータ等から構築されているデータ処理装置４０に接続
されており、データ処理装置４０によりメモリー３８に
記録されたデータが随時読み出されるようになってい
る。なお、メモリー３８はデータ処理装置４０側に装備
してもよい。

【００３６】そして、本実施例において、データ処理装
置４０はメモリー３８から読み出したデータに基づいて
後述するような各種の演算並びに照合および指令作業を
それぞれ実行するように構成されている。

【００３７】ここで、前記構成に係るロット編成装置１
１の識別コード読み取り作用を、予め、説明する。ウエ
ハのロット編成装置１１において、マスタ工程を通過し
たウエハ１が収納された実カセット１７は４基のステー
ション１３〜１６のうち、例えば、第１ステーション１
３のエレベータ１８上に供給される。第１ステーション
１３のエレベータ１８上に実カセット１７が供給される
と、ロボット２１はアーム２３の操作によって実カセッ
ト１７内のウエハ１を１枚宛、グリップ２４により保持
して実カセット１７内から取り出し、第１識別コード読
み取り装置３０のステージ３１に順次供給して行く。

【００３８】アライメント装置３１のステージにおい
て、ウエハ１は水平に支持されるとともに、識別コード
読み取り装置３０の照明装置３３およびテレビカメラ３
５に正対される。ウエハ１がテレビカメラ３５に正対さ
れると、図５に示されているようなフローチャートによ
り、識別コード読み取り装置３０において識別コード４
の読み取り作業が実行される。

【００３９】このようにして読み取られた識別コード４
は、識別コード認識装置３６に接続されているメモリー
３８に記録される。そして、この記録データにより、後
述する通りウエハの編成作業が実施される。なお、テレ
ビカメラ３５による映像はモニタ３７に映し出され、作
業者によって必要に応じて監視される。

【００４０】そして、識別コード４が読み取られると、
ウエハ１は第１〜第４ステーション１３〜１６のうちコ
ントローラ２２に指定された例えば第２ステーション１
４にロボット２１により搬送されて、図４に示されてい
るように、そのステーション１４のエレベータ１８上に
供給されている空カセット２０における所定のスロット
Ｓｎに挿入される。

【００４１】今、例えば、識別コード読み取り装置３０
によって読み取られた識別コード４のウエハコード６の
番号が、Ｎ０．１、であった場合、搬送された第２ステ
ーション１４のコントローラ１９の指令によりエレベー
タ１８が１ピッチ送られ、空カセット２０における第１
スロットＳ１が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。そし
て、第１スロットＳ１が挿入作動位置にセットされる
と、ロボット２１により搬送されて来たウエハコードＮ
Ｏ．１のウエハ１がこの第１スロットＳ１に挿入され
る。

【００４２】次に、識別コード読み取り装置３０によっ
て読み取られた識別コード４のウエハコード６の番号
が、Ｎ０．３、であった場合には、第２ステーション１
４のコントローラ１９の指令によってエレベータ１８が
さらに２ピッチ送られ、空カセット２０における第３ス
ロットＳ３が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。続い
て、ロボット２１により搬送されて来たウエハコードＮ
０．３のウエハ１が、この第３スロットＳ３に挿入され
る。

【００４３】次に、識別コード読み取り装置３０によっ
て読み取られた識別コード４のウエハコード６の番号
が、ＮＯ．２、であった場合、第２ステーション１４の
コントローラ１９の指令によりエレベータ１８が１ピッ
チ戻されるように送られ、空カセット２０における第２
スロットＳ２が挿入作動位置Ｓ０にセットされる。続い
て、ロボット２１により搬送されて来たウエハコードＮ
０．２のウエハ１が、この第２スロットＳ２に挿入され
る。

【００４４】このような作動が繰り返されることによ
り、指定されたウエハコード６のウエハ１群が第２ステ
ーション１４の空カセット２０内へ、各ウエハコード６
による順番に従ってスロット番号通りに並べられて収容
させることも可能になる。つまり、このような場合、第
１スロットＳ１にはウエハコードＮ０．１のウエハが、
第２スロットＳ２にはウエハコードＮ０．２のウエハ
が、第ＮスロットＳｎにはウエハコードＮ０．ｎのウエ
ハがそれぞれ挿入されていることになる。

【００４５】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびロット編成作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、識別コード読み取り装置３０の読み
取りデータに基づき、メモリー３８において各ウエハの
処理およびロット来歴ファイルが仮想的に作成される
（図示せず）。

【００４６】次に、前記の構成に係るウエハのロット編
成装置１１の作用を説明することにより、本発明の一実
施例であるウエハのロット編成方法を、このウエハのロ
ット編成装置が使用される場合について、図６および図
８の各フローチャート図を参照にして説明する。

【００４７】また、ここでは、製品であるマスクＲＯＭ
（読み出し専用メモリー）が製造されるウエハ群に対し
て、前記構成に係るウエハのロット編成装置１１が使用
されてウエハのロット編成方法が実施される場合につい
て説明する。前述した通り、マスクＲＯＭは多品種少量
生産される場合があり、しかも、その所謂前工程におい
て、前段階がマスタ工程またはベース工程として共通化
が図られ、後段階がカスタス工程として個別化ないしは
専用化されている。

【００４８】図６および図８には図示されていないが、
生産ラインのマスタ工程に投入される前に、識別コード
付けおよびカセットへのロット詰め工程において、各ウ
エハ１にはロットコード５、ウエハコード６および品名
コード７から成る識別コード４が、エッチング加工法や
レーザ刻印法等のような適当な手段が用いられてそれぞ
れ付けられる。そして、１ロット当たり２５枚のウエハ
１がロットコード５毎にカセットにそれぞれ収納され
る。通常のウエハ生産の場合、この１ロット当たり２５
枚のウエハにより一貫生産されることになるが、例え
ば、マスクＲＯＭの生産においてはカスタム工程におい
てロットを編成し直すことが望ましい。

【００４９】そこで、マスクＲＯＭの生産ラインにおい
ては、ロット毎に所定枚数（２５枚）のウエハ１が収納
されたカセット群は、マスタ工程を通過後、カスタム工
程の第１工程に投入される際、前記ウエハのロット編成
装置１１により処理条件に対応してロットを編成し直さ
れる。

【００５０】ここでは、まず、図７に示されているよう
に、ＮＯ．１マスタロットのウエハ群が収容された実カ
セット（以下、第１実カセットＭ１とする。）のウエハ
群が、第１空カセットＡと第２空カセットＢと第３空カ
セットＣとに分割される場合について説明する。そし
て、第１実カセットＭ１には第１品種を製造すべきウエ
ハが２５枚収容されており、そのロットコードはＮＯ．
１である。第１空カセットＡには第１品種のウエハが１
０枚収容され、第２空カセットＢには第１品種のウエハ
が１０枚収容され、第３空カセットＣには第１品種のウ
エハが５枚収容されるものと、仮定する。

【００５１】まず、図６に示されているフローチャート
に沿って、図７に示されているように、ＮＯ．１マスタ
ロットＭ１のウエハ群が収容された実カセットＭ１がロ
ット編成装置１１における第１ステーション１３にセッ
ティングされる。また、第１空カセットＡが第２ステー
ション１４にセッティングされ、第２空カセットＢが第
３ステーション１５にセッティングされ、第３空カセッ
トＣが第４ステーション１６にセッティングされる。

【００５２】この際、データ処理装置４０には分割元の
第１実カセットＭ１に表示された品名コードおよびウエ
ハ枚数が、分割元のロットに関するデータとして入力さ
れる。本実施例において、分割元の第１実カセットＭ１
におけるウエハの品名は第１品種で、枚数は２５枚であ
る。

【００５３】ちなみに、第１実カセットＭ１には収容さ
れたウエハの履歴を表示した所謂コントロールカードが
付与されており、このカードには実カセットＭ１に現在
収容されているウエハの枚数および品名コードが、生産
情報の一部として表示されている。したがって、このコ
ントロールカードに表示された情報を入力することによ
り、実カセットＭ１に収納されたロットに関する品名コ
ードおよびウエハ枚数をデータ処理装置４０に入力する
ことができる。そして、データ処理装置４０への情報の
入力は、作業者がコントロールカードを読みながらキー
ボードを操作することによって実行することができる。
また、バーコードリーダーや光学的文字読取装置（ＯＣ
Ｒ）等のパターン読み取り装置を用いて、コントロール
カードの情報を読み取ることによって自動的に入力する
こともできる。

【００５４】また、データ処理装置４０には分割先の第
１空カセットＡ、第２空カセットＢおよび第３空カセッ
トＣにそれぞれ分割して収容すべきウエハの品名コード
および枚数が、分割先のロットに関するデータとして入
力される。本実施例において、第１空カセットＡに収容
すべきウエハの品名は第１品種で、枚数は１０枚であ
る。また、第２空カセットＢに収容すべきウエハの品名
は第１品種で、枚数は１０枚である。さらに、第３空カ
セットＣに収容すべきウエハの品名は第１品種で、枚数
は５枚である。

【００５５】ちなみに、この分割先のウエハに関するデ
ータは、データ処理装置４０が接続されているホストコ
ンピュータ（図示せず）からのデータに基づいて、自動
的に入力されることになる。すなわち、ホストコンピュ
ータには生産計画等が予め設定されており、この生産計
画等に基づいたロット編成計画に関するデータがデータ
処理装置４０に送信されて来る。そして、データ処理装
置４０は送信されて来たロット編成計画に関するデータ
に基づいて、分割先の第１空カセットＡ、第２空カセッ
トＢまたは第３空カセットＣを適宜指定するとともに、
各空カセットＡ、ＢおよびＣにそれぞれ収容すべきウエ
ハの品名および枚数を指定する。

【００５６】以上のデータ入力終了後、データ処理装置
４０は入力された分割元のウエハの品名および枚数と、
入力された分割先のウエハの品名および総枚数とが一致
しているか否かを照合する。そして、分割元のウエハの
品名および枚数と、分割先のウエハの品名および総枚数
とが一致している場合には、データ処理装置４０によっ
て図６に示されている分割作業シーケンスが進行され
る。

【００５７】しかし、不一致である場合には、データ処
理装置４０によって分割作業シーケンスが停止される。
すなわち、分割元のウエハの品名および枚数と、分割先
のウエハの品名および総数とが不一致である場合には、
データ処理装置４０に対する先のデータ入力に際して、
入力ミスがあるか、または、第１実カセットＭ１のセッ
ティングに誤りがあると、推定されるため、それ以降の
シーケンスの進行は停止されることになる。つまり、誤
りがあるままで分割作業シーケンスが進行されると、適
正なロット編成が確保されず、所期の生産が確保されな
いので、この事態の発生を未然に回避するのである。

【００５８】本実施例においては、分割元の第１実カセ
ットＭ１におけるウエハの品名が第１品種で、ウエハ枚
数は２５枚である。また、第１の分割先の第１空カセッ
トＡにおけるウエハの品名が第１品種で、ウエハ枚数は
１０枚であり、第２の分割先の第２空カセットＢにおけ
るウエハの品名が第１品種で、ウエハ枚数は１０枚であ
り、第３の分割先の第３空カセットＣにおけるウエハの
品名が第１品種で、ウエハ枚数は１０枚である。したが
って、分割元および分割先の品名が第１品種で一致して
おり、分割元の枚数と、分割先の総枚数とが２５枚で一
致している場合には、分割作業シーケンスは進行される
ことになる。しかし、不一致である場合には、分割作業
シーケンスは停止されることになる。

【００５９】次いで、図６に示されているフローチャー
トに沿って第１ステーション１３にセッティングされた
第１実カセットＭ１からウエハが１枚宛払い出されて、
前述したコード読み取り装置３０によって識別コード４
が順次読み取られながら、データ処理装置４０によって
指定された分割先の第１、第２、第３空カセットＡ、
Ｂ、Ｃにそれぞれ替えられて行く。

【００６０】例えば、第１実カセットＭ１におけるＮ
Ｏ．１〜ＮＯ．１０の１０枚のウエハが識別コード４を
読み取り装置３０によって読み取られた後、第１空カセ
ットＡに移し替えられる。また、第１実カセットＭ１に
おけるＮＯ．１１〜ＮＯ．２０の１０枚のウエハが識別
コード４を読み取り装置３０によって読み取られた後、
第２空カセットＢに移し替えられる。さらに、第１実カ
セットＭ１におけるＮＯ．２１〜ＮＯ．２５の５枚のウ
エハが識別コード４を読み取り装置３０によって読み取
られた後、第３空カセットＣに移し替えられる。

【００６１】ここで、各ウエハの識別コード４の読み取
りに際して、データ処理装置４０は読み取られた識別コ
ード４のうち品名コード７およびロットコード５と、先
に入力された分割元のウエハの品名コードおよびロット
コードとが一致しているか否かを照合する。そして、読
み取られた品名コード７およびロットコード５と、入力
された分割元の品名コードおよびロットコードとが一致
している場合には、データ処理装置４０によって図６に
示されている分割作業シーケンスが進行される。

【００６２】しかし、不一致である場合には、データ処
理装置４０によって分割作業シーケンスが停止される。
すなわち、読み取られた品名コード７およびロットコー
ド５と、入力された分割元の品名コードおよびロットコ
ードとが不一致である場合には、第１実カセットＭ１の
セッティングに誤りがあるか、または、第１実カセット
Ｍ１にロットが相違するウエハが混入していると、推定
されるため、それ以降の分割作業シーケンスの進行は停
止されることになる。つまり、誤りがあるままで分割作
業シーケンスが進行されると、適正なロット編成が確保
されず、所期の生産が確保されないので、この事態の発
生を未然に回避するのである。

【００６３】本実施例においては、分割元の第１実カセ
ットＭ１におけるウエハの品名が第１品種で、ロットコ
ードはＮ０．１である。したがって、コード読み取り装
置３０によって読み取られるべきウエハは全て、品名コ
ード７が第１品種で、ロットコードがＮ０．１になる筈
である。つまり、コード読み取り装置３０によって読み
取られたウエハの品名コード７が第１品種で、ロットコ
ードがＮ０．１である場合には、分割作業シーケンスは
進行されることになる。しかし、コード読み取り装置３
０によって読み取られたウエハの品名コード７が第１品
種でなかったり、または、ロットコードがＮ０．１でな
かった場合には、分割作業シーケンスは停止されること
になる。

【００６４】次に、ウエハの合成作業について、図８お
よび図９を参照にして説明する。ここでは、図９に示さ
れているように、ＮＯ．２マスタロットのウエハ群が収
容された実カセット（以下、第２実カセットＭ２とす
る。）のウエハ群、ＮＯ．３マスタロットのウエハ群が
収容された実カセット（以下、第３実カセットＭ３とす
る。）のウエハ群、および、ＮＯ．４マスタロットのウ
エハ群が収容された実カセット（以下、第４実カセット
Ｍ４とする。）のウエハ群が、第４空カセットＤに移し
替えられて合成される場合について説明する。

【００６５】そして、第２実カセットＭ２には第２品種
を製造すべきウエハが２５枚収容されており、第３実カ
セットＭ３には第３品種を製造すべきウエハが２５枚収
容されており、第４実カセットＭ４には第３品種を製造
すべきウエハが２５枚収容されていると仮定する。ま
た、第４空カセットＤには第２品種のウエハが１０枚、
第３品種のウエハが１０枚、第４品種のウエハが５枚収
容されるべきものと、仮定する。

【００６６】まず、図８に示されている合成作業シーケ
ンスにより、図９に示されているように、第４空カセッ
トＤがロット編成装置１１における第１ステーション１
３にセッティングされる。また、第２実カセットＭ２が
第２ステーション１４にセッティングされ、第３実カセ
ットＭ３が第３ステーション１５にセッティングされ、
第４実カセットＭ４が第４ステーション１６にセッティ
ングされる。

【００６７】この際、データ処理装置４０には合成先の
第４空カセットＤに収容すべきウエハの品名コードおよ
びウエハ枚数が、合成先のロットに関するデータとして
入力される。本実施例において、合成先の第４空カセッ
トＤには第２品種のウエハが１０枚、第３品種のウエハ
が１０枚、第４品種のウエハが５枚収容される。

【００６８】また、データ処理装置４０には合成元の第
２実カセットＭ２、第３実カセットＭ３および第４実カ
セットＭ４から第４空カセットＤへそれぞれに移し替え
るべきウエハの品名コードおよび枚数が、分割元のロッ
トに関するデータとして入力される。本実施例におい
て、第２実カセットＭ２から第４空カセットＤに移し替
えるべきウエハの品名は第２品種で、枚数は１０枚であ
る。また、第３実カセットＭ３から第４空カセットＤに
移し替えるべきウエハの品名は第３品種で、枚数は１０
枚である。さらに、第４実カセットＭ４から第４空カセ
ットＤに移し替えるべきウエハの品名は第４品種で、枚
数は５枚である。

【００６９】ちなみに、これらの合成元および合成先の
ウエハに関するデータは、データ処理装置４０が接続さ
れているホストコンピュータ（図示せず）からのデータ
に基づいて、自動的に入力されることになる。すなわ
ち、ホストコンピュータには生産計画等が予め設定され
ており、この生産計画等に基づいたロット編成計画に関
するデータがデータ処理装置４０に送信されて来る。そ
して、データ処理装置４０は送信されて来たロット編成
計画に関するデータに基づいて、合成元の実カセットＭ
２、Ｍ３またはＭ４を適宜指定するとともに、第４空カ
セットＤにそれぞれ収容すべきウエハの品名および枚数
を指定する。

【００７０】以上のデータ入力終了後、データ処理装置
４０は入力された合成先のウエハの品名および枚数と、
入力された合成元のウエハの品名および総数とが一致し
ているか否かを照合する。そして、合成先のウエハの品
名および枚数と、合成元のウエハの品名および総数とが
一致している場合には、データ処理装置４０によって図
８に示されている合成作業シーケンスが進行される。

【００７１】しかし、不一致である場合には、データ処
理装置４０によって合成作業シーケンスが停止される。
すなわち、合成先のウエハの品名および枚数と、合成元
のウエハの品名および総数とが不一致である場合には、
データ処理装置４０に対する先のデータ入力に際して、
入力ミスがあるか、または、合成元の実カセットＭ２、
Ｍ３またはＭ４のセッティングに誤りがあると、推定さ
れるため、それ以降の合成作業シーケンスの進行は停止
されることになる。つまり、誤りがあるままで合成作業
シーケンスが進行されると、適正なロット編成が確保さ
れず、所期の生産が確保されないので、この事態の発生
を未然に回避するのである。

【００７２】次いで、第２〜第４ステーション１４、１
５、１６にそれぞれセッティングされた実カセットＭ
２、Ｍ３、Ｍ４からウエハが１枚宛払い出されて、前述
したコード読み取り装置３０によって識別コード４が順
次読み取られながら、データ処理装置４０によって指定
された枚数のウエハが合成先の第４空カセットＤにそれ
ぞれ移し替えられて行く。

【００７３】例えば、第２ステーション１４にセッティ
ングされた第２実カセットＭ２におけるＮＯ．１〜Ｎ
Ｏ．１０の１０枚のウエハが識別コード４を読み取り装
置３０によって読み取られた後、第１ステーションにセ
ッティングされた第４空カセットＤに移し替えられる。
また、第３ステーションにセッティングされた第３実カ
セットＭ３におけるＮＯ．１〜ＮＯ．１０の１０枚のウ
エハが識別コード４を読み取り装置３０によって読み取
られた後、第４空カセットＤに移し替えられる。さら
に、第４ステーションにセッティングされた第４実カセ
ットＭ４におけるＮＯ．１〜ＮＯ．５の５枚のウエハが
識別コード４を読み取り装置３０によって読み取られた
後、第４空カセットＤに移し替えられる。

【００７４】ここで、各ウエハの識別コード４の読み取
りに際して、データ処理装置４０は読み取られた識別コ
ード４のうち品名コード７およびロットコード５と、先
に入力された合成元のウエハの品名コードおよびロット
コードとが一致しているか否かを照合する。そして、読
み取られた品名コード７およびロットコード５と、合成
元の品名コードおよびロットコードとが一致している場
合には、データ処理装置４０によって図８に示されてい
る合成作業シーケンスが進行される。

【００７５】しかし、不一致である場合には、データ処
理装置４０によって合成作業シーケンスが停止される。
すなわち、読み取られた品名コード７およびロットコー
ド５と、合成元の品名コードおよびロットコードとが不
一致である場合には、実カセットＭ２、Ｍ３およびＭ４
のセッティングに誤りがあるか、または、実カセットＭ
２、Ｍ３およびＭ４にロットが相違するウエハが混入し
ていると、推定されるため、それ以降の合成作業シーケ
ンスの進行は停止されることになる。つまり、誤りがあ
るままで合成作業シーケンスが進行されると、適正なロ
ット編成が確保されず、所期の生産が確保されないの
で、この事態の発生を未然に回避するのである。

【００７６】本実施例においては、第１合成元の第２実
カセットＭ２におけるウエハの品名が第１品種で、ロッ
トコードはＮ０．２である。したがって、この第２実カ
セットＭ２から払い出されたウエハは、コード読み取り
装置３０によって読み取られるべき品名コード７が第２
品種で、ロットコードがＮ０．２になる筈である。つま
り、コード読み取り装置３０によって読み取られたウエ
ハの品名コード７が第２品種で、ロットコードがＮ０．
２である場合には、合成作業シーケンスは進行されるこ
とになる。しかし、コード読み取り装置３０によって読
み取られたウエハの品名コード７が第２品種でなかった
り、または、ロットコードがＮ０．２でなかった場合に
は、合成作業シーケンスは停止されることになる。

【００７７】第２の合成元の第３実カセットＭ３および
第３の合成元の第４実カセットＭ４についても、第１の
合成元の第２実カセットＭ２と同様のことが言える。

【００７８】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 （１） 編成元および編成先のデータ入力終了後、入力
された編成元のウエハの品名および枚数と、入力された
編成先のウエハの品名および総枚数とが一致しているか
否かを照合し、不一致である場合には編成シーケンスを
停止させることにより、先のデータ入力に際しての入力
ミス、または、実カセットのセッティングミスによるロ
ット編成作業の不適正を回避することができる。

【００７９】（２） 編成作業の実行時における各ウエ
ハの識別コードの読み取りに際して、読み取られた識別
コードのうち品名コードおよびロットコードと、先に入
力された編成元のウエハの品名コードおよびロットコー
ドとが一致しているか否かを照合し、不一致である場合
には編成シーケンスを停止させることにより、実カセッ
トのセッティングミス、または、実カセットにロットが
相違するウエハが混入していることによるロット編成作
業の不適正を回避することができる。

【００８０】（３） 前記（１）および（２）によるロ
ット編成作業ミスの防止により、ワークとしてのウエハ
の品種相互の混入等を未然に回避することができるた
め、結果的に歩留りや生産性を向上させることができ
る。

【００８１】（４） ワークとしてのウエハのそれぞれ
に固有の識別コードを付することにより、１ロットに編
成されたウエハ同士についても識別可能であるため、１
ロット内のウエハ群を複数のグループに分割して、ロッ
トの構成を編成し直すことができる。

【００８２】（５） 各ロットに編成されたウエハのそ
れぞれの識別コードを記録手段に記憶することにより、
分割されたグループが別のロットに合成されても、合成
後のロット内に含まれている各ウエハ同士を識別するこ
とができるため、ロットの再分割および再合成が可能で
ある。

【００８３】（６） ロットの再編成を実現することに
より、多品種少量生産のマスクＲＯＭやＡＳＩＣ等のウ
エハにおいて、最適のロットを編成することができるた
め、多品種少量生産における生産性の低下を防止するこ
とができる。

【００８４】（７） また、ロット数を低減することに
より、段取り時間の低減、工完短縮、仕掛ロット保管場
所の低減等を実現することができる。

【００８５】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００８６】例えば、ウエハのロット編成装置の具体的
構造、並びに、ウエハのロット編成方法の具体的構成
は、前記実施例に限らず、使用条件や環境等に対応して
適宜選定することができる。

【００８７】ウエハに付された識別コードを読み取る識
別コード読み取り装置は、１台設備するに限らず、２台
以上設備してもよい。

【００８８】また、ウエハをローディングおよびアンロ
ーディングするステーションは、４基設備するに限ら
ず、２基以上設備すればよい。

【００８９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のロット編成技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、フロッピディスク、ハ
ードディスク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体
や、液晶パネル、その他、ロットで生産され、かつ、識
別コードを付することが可能なワーク全般のロット編成
技術に適用することができる。

【００９０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００９１】ロット編成以前に編成元および編成先のデ
ータが入力され、その入力終了後、入力された編成元の
データと、入力された編成先のデータとが一致している
か否かを照合し、不一致である場合には編成シーケンス
を停止させることにより、先のデータ入力に際しての入
力ミス、または、編成元ワークのセッティングミスによ
るロット編成作業の不適正を回避することができる。

【００９２】ロット編成以前に編成元および編成先のデ
ータが入力され、ワークに付された識別コードの読み取
りに際して、実際に読み取られた識別コードと、先に入
力された編成元のワークのデータとが一致しているか否
かを照合し、不一致である場合には編成シーケンスを停
止させることにより、編成元ワークのセッティングミ
ス、または、編成元ワーク群にロットが相違するワーク
が混入していることによるロット編成作業の不適正を回
避することができる。

【００９３】前記したロット編成作業ミスの防止によ
り、ワークの品種相互の混入等を未然に回避することが
できるため、結果的に歩留りや生産性を向上させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウエハのロット編成装
置を示す模式図である。

【図２】その斜視図である。

【図３】ウエハを示す模式的平面図である。

【図４】カセットを示す斜視図である。

【図５】識別コード読み取り作用を示すフローチャート
図である。

【図６】本発明の一実施例であるロット編成装置が使用
された場合のロット分割方法を示すフローチャート図で
ある。

【図７】その模式図である。

【図８】本発明の一実施例であるロット編成装置が使用
された場合のロット合成方法を示すフローチャート図で
ある。

【図９】その模式図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…第１主面、３…オリエンテーションフ
ラット、４…識別コード、５…ロットコード、６…ウエ
ハコード、７…品名コード、１１…ウエハのロット編成
装置、１２…機枠、１３…第１ステーション、１４…第
２ステーション、１５…第３ステーション、１６…第４
ステーション、１７…実カセット、１８…コンベア、１
９…コントローラ、２０…空カセット、２１…ロボッ
ト、２２…コントローラ、２３…アーム、２４…グリッ
プ、３０…第１識別コード読み取り装置、３１…アライ
メント装置、３２…コントローラ、３３…照明装置、３
４…光源、３５…テレビカメラ、３６…識別コード認識
装置、３７…モニタ、３８…メモリー、４０…データ処
理装置、Ｍ１…第１実カセット、Ｍ２…第２実カセッ
ト、Ｍ３…第３実カセット、Ｍ４…第４実カセット、Ａ
…第１空カセット、Ｂ…第２空カセット、Ｃ…第３空カ
セット、Ｄ…第4 空カセット。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のワークが所定の条件毎のロットに
   編成されるロット編成方法であって、各ワークに光学的
   に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ付され、
   その後、ロット編成時に、各ワークに付された識別コー
   ドがそれぞれ読み取られ、その読み取られた識別コード
   に基づいて予め設定された条件毎にワーク群が各ロット
   にそれぞれ編成されるロット編成方法において、 前記ロット編成以前に編成元および編成先のデータが入
   力され、その入力終了後、入力された編成元のデータ
   と、入力された編成先のデータとが一致しているか否か
   が照合され、不一致である場合には編成シーケンスが停
   止されることを特徴とするロット編成方法。
2. 【請求項２】 複数のワークが所定の条件毎のロットに
   編成されるロット編成方法であって、各ワークに光学的
   に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ付され、
   その後、ロット編成時に、各ワークに付された識別コー
   ドがそれぞれ読み取られ、その読み取られた識別コード
   に基づいて予め設定された条件毎にワーク群が各ロット
   にそれぞれ編成されるロット編成方法において、 前記ロット編成以前に編成元および編成先のデータが入
   力され、 前記識別コードの読み取りに際して、実際に読み取られ
   た識別コードと、先に入力された編成元のデータとが一
   致しているか否かが照合され、不一致である場合には編
   成シーケンスが停止されることを特徴とするロット編成
   方法。
3. 【請求項３】 複数のワークが所定の条件毎のロットに
   編成されるロット編成装置において、 光学的に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ付
   されているワークが複数収納された実カセットが供給さ
   れるローダと、ローダとは別にカセットが供給されるア
   ンローダと、各ワークに付されている識別コードを光学
   的にそれぞれ読み取る読み取り装置と、前記ローダの実
   カセットからワークをそれぞれ取り出して、前記識別コ
   ード読み取り装置に搬送するとともに、識別コードが読
   み取られたワークを前記アンローダのカセットに受け渡
   す搬送装置と、前記識別コード読み取り装置に接続され
   ており、ロット編成データが入力されるデータ処理装置
   とを備えており、 前記データ処理装置は、ロット編成以前に編成元および
   編成先のデータが入力され、その入力終了後、入力され
   た編成元のデータと、入力された編成先のデータとが一
   致しているか否かを照合し、不一致である場合には編成
   シーケンスを停止させるように構成されていることを特
   徴とするロット編成装置。
4. 【請求項４】 複数のワークが所定の条件毎のロットに
   編成されるロット編成装置において、 光学的に読み取り可能な固有の識別コードがそれぞれ付
   されているワークが複数収納された実カセットが供給さ
   れるローダと、ローダとは別にカセットが供給されるア
   ンローダと、各ワークに付されている識別コードを光学
   的にそれぞれ読み取る読み取り装置と、前記ローダの実
   カセットからワークをそれぞれ取り出して、前記識別コ
   ード読み取り装置に搬送するとともに、識別コードが読
   み取られたワークを前記アンローダのカセットに受け渡
   す搬送装置と、前記識別コード読み取り装置に接続され
   ており、ロット編成データが入力されるデータ処理装置
   とを備えており、 前記データ処理装置は、前記識別コードの読み取りに際
   して、実際に読み取られた識別コードと、先に入力され
   た編成元のワークのデータとが一致しているか否かを照
   合し、不一致である場合には編成シーケンスを停止させ
   るように構成されていることを特徴とするロット編成装
   置。