JPH0324436A

JPH0324436A - 電子顕微鏡用試料調整装置

Info

Publication number: JPH0324436A
Application number: JP16004789A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Ayukawa; 鮎川　保弘
Original assignee: Tonen Corp
Current assignee: Tonen General Sekiyu KK
Priority date: 1989-06-22
Filing date: 1989-06-22
Publication date: 1991-02-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、電子顕微鏡とくに透過型電子顕微鏡用の試料
調整装置に関する。

［従来の技術］第４図（ａ）は、基板ｌの表面に蒸着層２を形成した部
材３を示している。この部材３の基板１と蒸着Ｊｉｆｌ
２の境界を観察する場合、部材３を切削、研磨し電子線
が透過可能なＩＯＯＯＡ以下の厚さの試料を作成して透
過型電子顕微鏡により観察するが、単一の部材３を切削
、研磨すると、基板ｌと蒸着層２の境界にひびわれが生
じたり、観察したい蒸着層断面が破壊されてしまう。そ
′こで、従来、第４図（ｂ）に示すように複数の部材３
、３をエボキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で接着しクリップ
等で加圧固定した後、恒温槽内で加熱固化させ、固化し
た試料４を切削、研磨して試料を作製している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来の方式においては、複数の部材
３、３をクリップ等で加圧固定する場合、試料の方向性
を整えてからクリップで固定する作業に時間を要し、固
定した試料を恒温槽内に押入する作業に時間を要してい
た。また、この際に試料の方向性をこわす原因ともなる
。さらには、クリップにより一定の圧力しかかけられな
いため、熱硬化性樹脂の量によって硬化時間及び接着速
度が異なり、試料作製時の再現精度が低下するという問
題を有していた。

本発明は上記問題を解決するものであって、作業時間を
短縮させると共に試料作製時の再現精度を向上させるこ
とができる電子顕微鏡用試料調整装置を提供することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

そのために本発明の電子顕微鏡用試料調整装置は、両支
持璧１７、１８間に支持ロッドｌ９、２０を固定してな
る試料載置台１１と、支持ロッド１９、２０内に摺動自
在に嵌押される加圧板１２と、加圧板１２に固定され一
方の支持壁１８を貫通して配設される加圧用ロッド１３
とを有し、加圧用ロッド１３の両端には、加圧板１２側
に加圧調整用ネジ１５が嵌合し、一方の支持壁１８の外
側にストッパー用ネジ１６が嵌合し、加圧調整用ネジ１
５と一方の支持壁１８との間にスプリング１４が配設さ
れることを特徴とする。

また、このスプリング１４は、試料に応じてスプリング
を交換してスプリングの作動範囲及び加圧圧力を任意に
選択できる。また、加圧圧力調整は、スプリングを用い
る以外に油圧を用いるようにしてもよい。

なお、上記構成に付加した番号は、理解を容易にするた
めに図面と対比させるためのもので、これにより本発明
の構成が何ら限定されるものではない。

〔作用〕

本発明においては、例えば、第１図に示すように、先ず
、ストッパー用ネジ１６を反時計方向に回転させると、
加圧板１２がスプリング１４に坑して試料載置空間２１
を広げる方向に移動し、所望の位置でストッパー用ネジ
１６の回転を停止させると加圧板１２はその位置で固定
される。そして、２個の部材を貼合わせた試料４の方向
性を整えながらストッパー用ネジ■６を時計方向に回転
させると、加圧板１２が試料４の方向に移動し、加圧板
１２が試料４に完全に当接すると、スプリング１４の圧
力が試料４に作用する。そして、ヒータ２５、サーモス
タット２６および温度制御装置２７により試料４を任意
の温度で加熱し、試料４を固定するものである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。第
１図は本発明の電子顕微鏡用試料調整装置の１実施例を
示す平面図、第２図は第１図の■一ｎ線に沿う断面図、
第３図は第１図のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である
。

本発明の試料調整装置１０は、概略、試料載置台Ｉ　Ｌ
　加圧板１２、加圧用ロッド１３、スプリング１４、加
圧調整用ネジ１５およびストッパー用ネジ１６から構成
される。

試料載置台１１は、断面凹型形状をなし両側に支持壁１
７、１８を有し、両支持壁１　７、１　８　１ｉｊｌに
２本の支持ロッド１９、２０を固定している。

加圧板１２は、支持ロッドｌ９、２０内に摺動自在に嵌
押されると共に、加圧板１２には、支持壁１８を貫通し
て加圧用ロンド１３が固定されている。

加圧用ロッド１３の両端には、それぞれ雄ネジが切られ
ており、加圧板１２側に加圧調整用ネジ１５が嵌合し、
支持ｕ．１８の外側にストッパー用ネジ１６が嵌合し、
加圧調整用ネジ１５と支持壁１８との間にスプリング１
４が配設されている。

このスプリング１４は、加圧用ロッド１３を取り外すこ
とにより、使用圧力に応じたスプリングを選択すること
ができる。前記加圧調整用ネジ１５により、スプリング
１４の付勢力を調整することができ、また、ストッパー
用ネジ１６により加圧板１２を所定の位置に固定するこ
とができる。

また、試料戦置空間２１の周囲すなわち加圧板１２の前
面および試料載置台１１の底面から支持壁１７の前面に
わたって、テフロン部材２２、２３が設けられ、接着用
樹脂が試料＠置台１１に付着した場合でもその固着を防
止できる。

また、第３図に示すように、テフロン部材２３の外周に
は、ヒータ２５わよびサーモスタット２６が配設され、
温度制御装置２７により試料を任意温度で加熱可能に構
成されている。

上記構成からなる本発明の作用について説明する。

先ず、ストッパー用ネジ１６を反時計方向に回転させる
と、加圧板１２がスプリング１４に坑して試料載置空間
２１を広げる方向に移動し、所望の位置でストッパー用
ネジ１６の回転を停止させると加圧板１２はその位置で
固定される。この状態で第４図（ｂ）で説明した試料４
を載置し、試料４の方向性を整えながらストッパー用ネ
ジ１６を時計方向に回転させると、加圧板１２が試料４
の方向に移動し、加圧板１２が試料４に完全に当接する
と、スプリング１４の圧力が試料４に作用する。そして
、ヒータ２５、サーモスタット２６および温度制御装置
２７により試料４を任意温度で加熱し、試料４を作製す
るものである。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、加圧板を所望の位置で固
定することが可能なため、試料の方向性を整えながらス
プリングにより加圧することができる。

また、スプリングの圧力が可変可能なため、試料の物性
に応じた圧力及び熱硬化性樹脂の種類等を選択すること
ができる。

また、試料調整装置自体を任意温度で加熱可能なため、
従来のように恒温槽での作業が不要となる。

従って、作業時間を短縮させると共に試料作製時の再現
精度を向上させることができる

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の電子顕微鏡用試料調整装置の１実施例
を示す平面図、第２図は第１図の■−■線に沿う断面図
、第３図は第１図のＩ［［−ＩＩＩ線に沿う断面図、第
４図は試料の作成方法を説明するための断面図である。４・・・試料、１ｌ・・・試料載置台、ｌ２・・・加圧
板、１３・・・加圧用ロンド、ｌ５・・・加圧調整用ネ
ジ、１６・・・ストッパー用ネジ、１７、１８・・・支
持壁、１９、２０・・・支持ロッド、２５・・・ヒータ
。第１図出　願　人　　東亜燃料工業株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）両支持壁間に支持ロッドを固定してなる試料載置
台と、該支持ロッド内に摺動自在に嵌挿される加圧板と
、該加圧板に固定され一方の支持壁を貫通して配設され
る加圧用ロッドとを有し、該加圧用ロッドは、加圧圧力
を任意に選択できる機構を有することを特徴とする電子
顕微鏡用試料調整装置。
（２）前記加圧圧力を任意に選択できる機構として加圧
ロッドの両端には、前記加圧板側に加圧調整用ネジが嵌
合し、前記一方の支持壁の外側にストッパー用ネジが嵌
合し、前記加圧調整用ネジと前記一方の支持壁との間に
スプリングが配設されることを特徴とする請求項１に記
載の電子顕微鏡用試料調整装置。
（３）前記加圧板と試料載置台の表面にテフロン部材を
設けたことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用
試料調整装置。
（４）試料載置台にヒータを設けることを特徴とする請
求項１に記載の電子顕微鏡用試料調整装置。