JPH03245547A - 薄膜製品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、薄膜製品、例えば半導体装置、薄膜回路基板
、磁気ディスク、薄膜トランジスタ等の製造時における
異物、欠陥または膜不良等の９Ｉ観不良に対する検査方
式に係り、特に前記外観不良の画像を検索する画像ファ
イリングシステムに関する。

（従来の技術） 半導体装置等の製造時における異物または欠陥の検査は
、製品不良の低減及び歩留り向上のために極めて重要な
意味を有するものであり、従来、外観不良数の計測や外
観不良の種類の判断などは作業者の目視検査に依存して
いたが、ウェハ上の異物が検出された位置を容易に目視
観察する自動異物検査装置としては、特開昭６２＝７５
３３６号、特開昭６２−７６７３２号公報に開示されて
いるものがある。これらの異物検査装置により、作業者
は検出した異物を容易に目視光学系またはテレビカメラ
受像機からなる系により、！！察することが可能となっ
た。

しかし、これら自動異物検査装置は、例えば、テレビカ
メラを用いて撮影した画像を登録、保管したり再生する
手段を有するものではない。従って、作業者は目視光学
系を用いて異物を写真撮影したり、テレビカメラにより
撮影した異物画像をビデオテープレコーダ（以下ＶＴＲ
と記す）に録画していた。

（発明が解決しようとする課題） 上記従来技術は、画像情報とこの画像記録時のデータと
を照合する手段を有しないから、作業者の記憶あるいは
メモにより、前記照合を行なったり、所望のＶＴＲ画像
を検索し再生していた。このため、過去の画像を有効に
活用する手段の容易化に関しては配慮されていなかった
。

本発明の目的は、異物を記録した画像をワークステーシ
ョンを利用して管理し、過去に記録した画像とこれに付
随するデータを同時に検索することにより、処理を容易
にし管理を効率化するのに好適な画像ファイリングシス
テムを提供することにある。

（課題を解決するための手段） 上記の目的は、異物検査装置によって検出し撮影した画
像を画像データベースに記録し、１つの画像に対して１
つの画像インデックスを対応させ、かつ、ワークステー
ション上にデータベースを構築し、画像インデックスと
ウェハ上の異物の座標と撮影日付とウェハ処理工程等の
付随データを記録させておき、検索を所望する画像に対
してサンプリング工程、撮影日付等を指定することによ
りウェハを確定し、ワークステーションのＣＲＴ上に、
前記ウェハに付随する情報と該ウェハの形状及び記録し
た異物の位置を表示させ、所望の異物の位置をマウスで
指定することにより、ワークステーションが異物の画像
インデックスを画像データベースに送り、該画像を検索
し表示するように構成した画像ファイリングシステムに
よって達成される。

（作用） 上記の構成により、ワークステーションにおいて、観察
した異物の付着したウェハを撮影日付と工程名を指定す
ることにより検索し、さらにウェハ上の位置で観察を所
望する異物を指定することにより、異物画像の検索と表
示が容易になされ、またウェハ毎に付随する情報が表示
され、異物がどのような状況下で観察されたかを判別す
ることができる。

（実施例） 本発明の実施例を図面と共に説明する。

〈実施例１〉 本実施例は半導体ウェハ上の異物を検査し、検査と並行
して異物を観察する方式に関するもので、第１図はウェ
ハ３上の異物の分布を示すＣＲＴ画面、第２図は異物の
画像を示すモニタテレビ画面を示す。

作業者はまずワークステーション７に品名、工程名、設
備名、検査日付、ロット番号、ウェハ番号の一部または
全部を入力することにより、ウェハ３を指定する。ワー
クステーション７は、指定された条件と一致するウェハ
３に付着した異物の画像インデックスと特徴コード４と
ウェハ３上のＸ座標とＹ座標を検索する。座標系の設定
は一定の系を常時継続して使用する場合には、Ｘ−Ｙ座
標系に限定する必要はない。

特徴コードとは、異物の形状、色調、材質等の特徴をコ
ード化したもので１例えば、白色球状異物をａ、シリコ
ン片をｂ、黒色粉末状異物をＣというように指定して分
類しておく。ワークステーション７には、第１図に示す
ように検索結果をもとにＣＲＴｌ上にウェハ３の形状と
、ウェハ３上に異物が分布する位置とを異物の特徴コー
ドａ、ｌ〕、Ｃのように表示される。作業者が所望する
異物例えばＣをマウス１５を用いて矢印４のように指定
するとワークステーション７はＣＲＴ　ｌ上の異物の座
標毎に、画像インデックスを画像データベースに移送し
、第２図に示すように、異物画像５を画像表示装置（以
下モニタテレビと記す）２上に再生する。これにより、
作業者は画像インデックスを意識することなく異物画像
を検索することができる。

〈実施例２〉 第１図、第２図に示した本発明の実現方法を第３図によ
り説明する。第３図は基本のハードウェアの構成を示す
ブロック図である。異物検査装置６はウェハ３上に検出
した異物の座標を測定することができ、作業員が検査し
た工程名、日付、ウェハ３の品種が記録できるものを使
用することが好ましい。このような異物検査装置６とし
て日立電子エンジニアリング製Ｉ　Ｓ−１０１０かある
。

ワークステーション７は作業者によるデータ処理内容の
指示とデータ処理、保管、処理結果等の表示を行なう機
能を有する。画像データベース８は１つ１つの画像にイ
ンデックスを付与する機能と、画像と該画像のインデッ
クスを対応させて保管する機能と、インデックスを入力
すると該インデックスに対応する画像を検索し表示する
機能があればよい。異物検査装置６とワークステーショ
ン７の間は通信回線９で、異物検査装置６と画像データ
ベース８との間は信号線１０で、ワークステーション７
と画像データベース８との間は通信回線１１でそれぞれ
接続されている。

ワークステーション７の構成を第４図に示しており、デ
ータ処理部（以下ＣＰＵと記す）１２とＣＲ’ＴＩとデ
ータ入力部（以下に／Ｂと記す）１３とデータ記憶部（
以下ＨＤと記す）１４とマウス１５とからなるものであ
ればよく、例えば日立製作新製２０５０／３２の使用が
適当である。

ここでＣＰＵ１２は単にデータを処理するだけでなく、
処理に伴うデータの一時的な保管すなわちメモリ機能を
も有している。

第５図は画像データベース８の構成を示すブロック図で
ある。画像データベース８は、モニタテレビ２と、例え
ば、日立製作新製○ＶＤＲのように画像記録部１６と制
御部１７とからなるものが使用されるが、外見的には同
一の筐体内に収容されていてもよい。本発明の画像記録
媒体は、特種のものに限定する必要はないが、検索速度
の点で光ディスクの使用が好ましく、例えば、日立製作
新製○Ｖ　Ｉ）　Ｒ使用の場合には、１件当りの平均検
索時間は０．５秒内外で一般のビデオテープレコーダの
略２ｏ倍以上の高速検索が可能な点で有利である。

画像記録部１６は異物検査装置６から画像信号を受信し
そのままモニタテレビ２に出力する。制御部１７は記録
した画像のインデックスをワークステーション７に送り
、検索する画像のインデックスをワークステーション７
から受信し画像記録部１６から呼び出してモニタテレビ
２に表示させる。

次にウェハ３を検査し、異物画像を記録するまでの作業
の流れを第６図のフロー図を用いて祝用する。

ステップ１００１では異物検査装置６に検査ロットを設
定し、品名、工程名、日付、作業者名、ロット番号、ウ
ェハ番号を入力する。

ステップ１００２では異物検査装置６かウェハ３を１枚
負荷し、ウェハ３１の異物を自動的に検出する。

異物の検出が終了したとき、ステップ１００３で異物検
査装置６はワークステーション７に検査データを送信し
、 ステップ１００４でワークステーション７のＣＲＴＩ上
にデーター覧１００を表示する。

次にステップ１．　ＯＯ５て異物検査装置６は異物を、
検査した順に１画面づつモニタテレビ２に表示する。ワ
ークステーション７上に表示されているデーター覧１０
ｏには表示されている異物に関するデータの位置に異物
マーク］０１が表示される。

次いで、ステップ１００６で作業者はモニタテレビ２に
表示された異物を観察する。

観察の結果によりステップ１００７では画像を記録する
必要のある異物と判断されたときにワークステーション
７に対して記録するか、記録しないかを入力する。

ステップ１００８で、異物の特徴をコード化してワーク
ステーション７に入力する。

次にステップｌ　００９では、異物検査装置６は観察す
べき異物がまだ存在するか否かを判断する。

異物が存在すれば、ステップ１００５に戻り、異物が存
在しなければ、ステップ１０１０でウェハ３を負荷状態
から解放する。次に観察すべき異物がないときは、異物
検査装置６は次のウェハ３があるかどうかを判断し、ウ
ェハ３があるときにはステップ１００２に戻り、ウェハ
３がなければ作業は終了となる。

ここでステップ１００１．１００２．１００３．１００
９．１０１０，１０１１は異物検査装置６が行なう作業
、ステップ１００４．１００５は画像データベース８が
行なう作業、ステップ＋００６．１００７．１００８は
作業者が行なう作業である。

ステップ１００３で転送される検査データの構成を第７
図に示す。データの先頭には先頭を意味するヘッダ例え
ばＳＩＯが、次に品名、工程名、ロット番号、日付、ウ
ェハ枚数、作業者名が表示される。

次にウェハ単位のデータのヘッダ、例えばＳ２０が表示
され、続いてウェハ番号、検出された異物数が表示され
る。

次に異物毎のデータのヘッダ例えばＳ３０が表示される
。

次に異物のＸ座標、Ｙ座標、サイズが表示され、検出さ
れた異物数だけ異物毎のデータが繰返し表示される。

最後に転送されるデータの終了を示すヘッダ例えばＳ４
０が記される。各データの終端は［：」で表示する。

次に、第８図にワークステーション７のＣＲＴ　ｌに表
示されるデーター覧１００を示す。

データー覧１００はロット番号、ウェハ番号、工程名、
日付を示す欄が上部にあり、その下に異物のＸ座標、Ｙ
座標、サイズ、特徴コード、表示マーク、画像インデッ
クス等の各欄がある。

第６図のステップ１００７において、画像を記録する必
要があると判断したとき、以下に示す手順で画像インデ
ックスを計算し、該画像インデックスの欄に表示する。

また、ステップ１００８において、異物の特徴コードを
入力したとき特徴コード欄に表示する。異物の数が多く
１画面で表示しきれないときは、Ｘ座標、Ｙ座標、サイ
ズ、特徴コード、表示マーク、画像インデックスの各欄
をスクロールする。作業者は上スクロールアイコン１０
３または下スクロールアイコン１０４を指定することに
より、画面を上下にスクロールさせることができる。

次に、画像を記録しデータベースで画像インデックスを
管理するまでの流れを第９図のフロー図に示す。

ワークステーション７では、ステップ１０１２でカウン
タを設け、該カウンタの初期設定値をゼロとする。第６
図に示したステップｌ　００６において、作業者は観察
した画像を保存する必要があるか否かを判断し、判断の
結果をワークステーション７に入力する。

作業者の入力に対してワークステーション７では、ステ
ップ１００６における入ツノ結果を受けて画像を保存す
るならば、ステップｌ○１３でカウンタの値に１を加算
する。

次にステップ１０１４でカウンタの値を画像インデック
スとしてデータベースに登録する。

ステップ１０１５でカウンタが記録媒体の容量の上限を
超えたときは、ステップ１０１６でカウンタの値をゼロ
にリセットする。カウンタが記憶媒体の容量の上限を超
えていないときは、１０１７で作業終了か否かを判断し
、終了しているときは作業を中止し、終了していないと
きはステップ１００６に戻る。

前述のＯＶ　Ｄ　Ｈのような記録媒体に光ディスクを使
用した場合は、記録媒体の上限値は２４０００である。

画像データベース８では、１つの記録媒体の一番始めに
記録する画像のインデックスを１とする。そして、次に
記録する画像のインデックスはその前に記録した画像の
インデックスに１を加算する。この方法により、画像デ
ータベース８で発番した画像インデックスと、ワークス
テーション７で発番した画像インデックスとは一致する
。

第１○図、第１１図、第１２図はＨＤの内部でのデータ
形式を示す図であって、第１０図はロット単位のデータ
の保持形式を示す。これはテーブル形式のロットデータ
でロットデータテーブルと称する。このロットデータテ
ーブルはロットＩＤ、ロット番号、工程名、設備名、品
名、日付、作業者名からなる。ロットＩＤはロット番号
と工程または日付からなる。従って同一ロット番号であ
っても検査した工程または日付が異なればロットＩＤは
異なる。

第１１図はウェハ３単位のデータの保持形式を示す。こ
れはテーブル形式のデータであって、ウェハ３データテ
ーブルと称する。このウェハ３データテーブルはウェハ
ＩＤ、ロットＩＤ、ウェハ番号、異物数からなる。ウェ
ハ番号は同一ロット内につけられた番号で、異なるロッ
ト間では同じウェハ番号がある。

ウェハＩＤは、ロットＩＤとウェハ番号の何れか一方が
異なるウェハ３に対して通し番号を付す。

第１２図は異物単位のデータの保持形式を示す。

これはテーブル形式のデータであって、異物データテー
ブルと称する。この異物データテーブルは異物ＩＤ、ウ
ェハＩＤ、Ｘ座標、Ｘ座標、サイズ、特徴コード、画像
インデックスからなる。異物ＩＤはウェハＩＤ％Ｘ座標
、Ｘ座標の何れが１つでも異なる異物に対しては通し番
号を付す。

上記実施例において、異物を指定する手段としてマウス
１５を使用する例を示したが、マウス１５に限定するこ
となく、ＣＲＴＩ上で位置指定が可能であればライトペ
ンを用いてもよい。

第１３図に、ＣＲＴｌ上でマウス１５により異物を指定
してから、モニタテレビ２に異物画像５を表示するまで
のフロー図を示す。

作業者は、ステップ１０１８でマウスＩ５を用いて、画
像を所望する異物に対する特徴コード４を指定する。

ステップ１０１９で、ワークステーション７はマウスに
より指定された画面上の位置を読み込み、この位置にあ
る異物のＩＤを認識する。

ステップ１０１９は、マウス１５の−・船釣な使用方法
により実現可能であるから、詳細な説明は割愛する。

ステップ］０２０で、ワークステーション７は異物ＩＤ
から第１２図に示した異物データテーブルを使用して該
異物の画像インデック）、ヲ読み取る。

ステップ１０２１で、前記画像インデックスを画像デー
タベース制御部１７に送る。

ステップｌ　０２２で、画像データベース制外部１７は
前記画像インデックスに基づいて、画像記録部１６から
記録画像を呼出しモニタテレビ２に該画像を表示させる
。

（発明の効果） 本発明の実施により、ウェハを検索するための情報と異
物の画像を同時に見ることができるようになり、異物の
付着した状況と異物の形状を互いに対照しながら検査す
ることができ、異物の画像検索に際して、異物の画像イ
ンデックス等を指定する必要かないから、検索に要する
手間を簡略化することかでき、従って製造ラインてとの
誹っな異物か発生しでいるかを容易１こ知ることにより
、異物低減に有効な対策を構することが容易になり、製
品歩留りの向」二に顕著な効果を捷する。

【図面の簡単な説明】

第１図はウェハ上の異物分布のＣ，ＲＴ画面を示す図、
第２図は異物の画像のモニタテレビ画面を示す園、第３
図は、＊発明の基本のハ・−ドウボアの構成を示すブロ
ック図、第４図はワークステーションの構成を示す図、
第５図は画像データベースの内部構成を示すブロック図
、第６図は異物画像を記録するまでの作業の流れを示す
フロー図、第７図は異物検査装置から転送される検査デ
ータの構成を示す図、第８図はワークステーションのＣ
ＲＴに表示されるデーター覧を示す図、第９図は画像を
記録しデータベースで画像インデックスを管理するまで
の流れを示すフロー図、第１○図はロット単位のデータ
の保持形式を示す図、第１１図はウェハ単位のデータの
保持形式を示す図、第１２図は異物単位のデータの保持
形式を示す図、第１３図は異物の指定から画像表示まで
の流れを示すフロー図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、薄膜製品の検査試料上の観察対象画像を検索する画
   像ファイリングシステムにおいて、 前記観察対象の前記試料上の座標と、該観察対象の画像
   に対応する画像インデックスとを照合する手段と、 前記座標と前記画像インデックス及び前記画像を保存す
   る手段と、 前記試料の形状と、画像を記録した観察対象の前記試料
   上の位置とを指定する手段とを有し、前記位置の指定に
   より前記保存された観察対象の画像を検索表示すること
   を特徴とする画像ファイリングシステム。 ２、前記観察対象の画像観察作業毎に、観察日付、前記
   試料のロット番号、前記試料のサンプリング工程とを、
   前記画像と前記画像インデックスと共に記録することを
   特徴とする請求項１記載の画像ファイリングシステム。 ３、検査日付、前記試料のロット番号、前記試料のサン
   プリング工程の少なくとも１つを指定することにより、
   検査データの検索表示が可能であることを特徴とする請
   求項１記載の画像ファイリングシステム。 ４、前記観察対象の形状若しくは位置を、記号または色
   で表示することを特徴とする請求項１記載の画像ファイ
   リングシステム。