JPH03246474A - Ic試験装置 - Google Patents

Ic試験装置

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JPH03246474A
JPH03246474A JP2043897A JP4389790A JPH03246474A JP H03246474 A JPH03246474 A JP H03246474A JP 2043897 A JP2043897 A JP 2043897A JP 4389790 A JP4389790 A JP 4389790A JP H03246474 A JPH03246474 A JP H03246474A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野」 この発明は平面実装形のICを試験するIC試験装置に
関する。
「従来の技術」 第4回に従来の平面実装形ICを試験するIC試験装置
の構造を示す。回申10はIC搬送へ。
ド、20はこのIC搬送ヘンド10に吸着されて搬送さ
れる被試験IC130はテスト部を構成するICソケッ
トを示す。
ICソケット30はパフォーマンスポート31の上面に
実装されており、パフォーマンスポード31の下側にI
Cソケット30に装着される被試験IC20を試験装置
(特に図示しない)に電気的に接続するための接続回路
が収納される。この接続回路部分とICソケット30、
パフオマンスポード31を含めて一般にテストヘットと
呼んでいる。一方IC搬送ヘッド10はICソケット3
0に近接、離間する方向をZ軸、このZ軸と直行する二
軸をX−Y軸とし、これらχ−Y−Z方向に移動自在番
ご支持されて駆動される。
IC搬送ヘッド10は下面に空気吸引孔11を有し、こ
の空気吸引孔11を通じて空気を吸引し、この吸引力に
よって被試験IC20を吸着し、被試験IC20をX−
Y−Zの任意の方向に搬送できる構造とされる。
IC搬送ヘッド10を支持して移動させる機械部分と、
テストヘッドとは第5図に示すように別々に作られ上で
位置合せして合体される。つまり第5図に示す501は
テストへ・ノドを示し、502はハンドラと呼ばれる機
械部分を示す。このようにテストヘッド501と機械部
分502を一体化して駆動させる構造のため、ICi送
装置10と、ICソケット30との位置合せが面倒な欠
点がある。つまり重量が重い二つの要素501と502
を被試験IC20のり一トの配列ピンチの精度(ミクロ
ンオーダ)で位置合せしなくてはならないから、その位
置合せのために多くの手間と、費用が掛る欠点がある。
このため従来はパフォーマンスポート31上にピン32
を植設すると共に、IC搬送ヘッド10には鍔12を形
成し、この鍔12にピン32と係合するガイド孔13を
形成し、このガイド孔13をピン32に係合させてIC
搬送ヘッド10とICソケソ)30との間の位置合せを
行なっている。
従ってICII送ヘッド10は支持体14に対してスプ
リング15等によってX−Y方向に自由度が与えられ機
械部分502とテストヘッド501との間の位置関係が
多少ずれていたとしてもガイド孔13とガイドピン31
との係合が達せられるように構成している。
尚第4図に示すIOAはコンタクトプレスを示す。この
コンタクトプレスIOAが被試験■C20のリード2I
を押してICソケット30の端子に接触させる動作を行
なう。
「発明が解決しようとする課題」 従来は上述したようにパフォーマンスポード31に植設
したピン32にIC搬送ベント10に形成したガイド孔
13との係合によってIC搬送ヘッド10とICソケッ
ト30との位置合せを行なっている。
然し乍らIC搬送ヘッド10はハネ15によってX−Y
方向に自由度が与えられているとは言ってもバネ15は
ICvfi送ヘッド10の重量を支えるだけの剛性を必
要とするため、ガイドビン32とガイド孔13との係合
にはガイドビン32とガイド孔13とには相互にバネ1
5の剛性に比例した力が働く、然も試験するICの数は
多量であるため、ピン32及びガイド孔13の摩耗によ
る変形が著るしく、しばしば交換しなければならない欠
点がある。
この発明の目的は位置合せ機構の摩耗がなく、従って部
品の交換が必要のないIC搬送装置を提供しようとする
ものである。
「課題を解決するための手段」 この発明ではI C’ソケットとして上部から自然落下
されたICを所定位置にガイドして位置決めすることが
できるガイド付ICソケットを用いると共に、IC搬送
ヘットはICを吸着する面と、ICのリードを押すため
に設けたコンタクトプレスを吸着する面とを具備し、I
Cとコンタクトプレスとをガイド付ICソケット上にお
いて別々に自然落下させることができるように構成し、
自然落下によってICとコンタクトプレスとをICソケ
ットの所定位置に位置決してセットし、このセット状態
においてICvI送ヘッドをコンタクトプレスに圧接さ
せ、コンタクトプレスによってICのリードをICソケ
ットの端子に接触させるように構成したものである。
このようにこの発明によればガイド付ICソケノドにI
Cとコンタクトプレスとを別々に自然落下させるからI
Cにコンタクトプレスはカイト付ICソケットのガイド
によってソケットの所定位置に案内され位置決めされる
。
よってこの位置決めされた状態でIC搬送ヘットをコン
タクトプレスに圧接させることによりコンタクトプレス
によってfcのり一トをICソケットの端子に接触させ
ることができる。
このようにこの発明によれば比較的剛性が大きいICm
送ヘッドをICソケットに対して位置決めしなくてよい
から、ICIII送ヘッドをICソケットの位置に合致
させるための位置決機構を必要としない。従ってこの位
置決機構の摩耗による変形等を考慮しなくて済むため、
保守が容易なIC試験装置を提供することができる。
「実施例」 第1図にこの発明の一実施例を示す。回申第4図と対応
する部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する
が、この発明においてはパフォーマンスポート31上に
実装するICソケットとしてカイト付ICソケット40
を用いる。
このガイド付ICソケット40は第1図及び第2図に示
すように被試験IC20が装着される位置の四隅にガイ
ドとなる柱41が設けられ、この柱41にテーパ面41
Aと、41Bを形成し、このテーパ面41Aと41Bに
よって被試験1c20と、後述するコンタクトプレス5
0を所定位置に案内する。つまり被試験IC20とコン
タクトプレス50をガイド付ICソケット40の上部位
置において落下させることによって被試験IC20とコ
ンタクトプレス50は柱41に形成したテーパ面41A
、41Bによって案内されて所定位置に着地する。
一方この発明ではIC搬送ヘット l Oの下面に被試
験IC20を吸着するIC吸着面14と、コンタクトプ
レス50を吸着するコンタクトプレス吸着面15とを設
ける。この例ではIC1il送ヘンド10の下面中央に
突部16を形成し、この突部16の下面に空気吸引孔1
7を形成してIC吸着面S1を形成する。
突部16の周縁に空気吸引孔18を形成し、この空気吸
引孔18の形成面をコンタクトプレス50の吸着面S2
とする。
コンタクトプレス50は第3図に示すように下向の箱状
とされ、箱の四隅に切欠51が形成され、この切欠51
によってガイドを構成する柱41を逃げると共に、切欠
51の縁が柱41に形成したテーパ面41A、41Bに
係合して案内され、所定位置に着地する構造とされる。
箱の天井面には中央に孔52が形成され、この孔52に
IC搬送ヘンド10の下面に形成した突部16が挿入さ
れIC吸着面SIが天井面の裏側に露出する構造とされ
、空気吸引孔18によって吸引される空気によってコン
タクトプレス50は吸着される。
空気吸引孔17と18は電磁弁60に接続される。この
電磁弁60はIC吸着面S、に形成した空気吸引孔17
の空気の吸引を閉止する状態と、この空気吸引孔17と
コンタクトプレス50の吸着面S2に形成した空気吸引
孔18の双方の空気の吸引を閉止する状態に切替ること
かできる電磁弁が用いられる。このように空気吸引孔1
7と18を別々に閉止することができる構造とすること
によって被試験IC20とコンタクトプレス50を別々
に放出することができる。
つまりIC搬送ヘッド10はコンタクトプレス50をコ
ンタクトプレス吸着面S2に吸着している状態でIC供
給シフタ70Aに搭載されている被試験IC20をIC
吸着面S、に吸着する。
被試験IC20とコンタクトプレス50とを吸着した状
態でICm送ヘッド10はガイド付ICソケット40の
上部に移動し、下降してガイド付ICソケット40に近
ずく、被試験IC20がガイド付ICソケット40に接
近した状態で電磁弁60を作動させ、空気吸引孔17を
閉止し、被試験IC20を放出する。
放出された被試験IC20は柱41に形成したテーパ面
41Aと41Bに案内されて所定の位置にセットされる
。被試験IC20が所定の位置にセットされるタイミン
グだけ遅れて空気吸引孔18を閉止させコンタクトプレ
ス50を放出する。
コンタクトプレス50は・その四隅5二形成した切欠5
1が柱41に係合し、テーパ面41A、41Bに案内さ
れて所定位置にセットされる。
被試験IC20とコンタクトプレス50がICソケット
40の所定位置にセントされた状態でIC搬送ヘッド1
0は再び下降し、コンタクトプレス10を押下する。
この押下刃によってコンタクトプレス50の下向に突出
した突条53が被試験IC20のり一ド21を押し、被
試験IC20のり一ド21をICソケット40の端子4
2に接触させ、試験を実行する。
試験が終了した段階で電磁弁60は空気吸引孔17と1
8を開に制御し、空気吸引孔17と18から空気の吸引
を開始する。
従ってこの空気の吸引力によって被試験IC20とコン
タクトプレス50はそれぞれの吸着面S1と82にそれ
ぞれ吸着されIC搬送ヘッド10の動きに従って搬送さ
れ、排出側シフタ70Bの上部に運ばれる。排出側シフ
タ7DBの上部二こ達すると、電磁弁60が作動し、空
気吸引孔I7を閉止させる。
空気吸引孔17が閉止されることによって試験済IC2
0は排出側シフタ70Bに搭載される。
「発明の効果」 上述したようにこの発明ではIC搬送ヘッド10は単に
コンタクトブレス50を押下する押圧力を与えるだけで
よいから、IC搬送ヘソl” ] 0の位置をガイド付
ICソケット40に対して位置合せしなくてよい。
従って耐久性の高い位置合せ機構を必要としないから、
部品の交換を必要としないIC試験装置を提供すること
ができる。
つまりこの発明では被試験IC20及びコンタクトプレ
ス50のように重量が軽い物体だけを所定の位置に案内
する構造としたから、これら重量が軽い物体を案内する
ガイドが摩耗する率は少ない 従って従来より部品の交換が少なくて済むIC:大騒装
置を従I共することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図ユよこの発明の一実施例を示す断面図、第2回は
この発明に用いたガイド付ICソケットの構造の一例を
説明するための斜視図、第3図はこの発明の実施例に用
いたコンタクトプレス50の一例を示す斜視図、第4図
は従来のIC試験装置の構造を説明するための断面図、
第5図はIC試験装置のハンドラとテストヘッドの関係
を説明するための斜視図である。 10:IC搬送ヘッド、14:IC吸着面、15:コン
タクトプレス吸着面、20:被試験IC121:リード
、40ニガイド付ICソケツト、50:コンタクトプレ
ス、60:を磁弁。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)A、IC搬送ヘッドの下面に形成した空気吸引孔
    に被試験ICを吸着させ、この吸着状態でIC搬送ヘッ
    ドがテストヘッド上に設けたICソケットの上部位置に
    被試験ICを搬送し、被試験ICをICソケットに装着
    すると共にIC搬送ヘッドから下向に突出して形成した
    コンタクトプレス部がICソケットに装着されたICの
    リードを押してICソケットの端子に接触させて試験を
    行なう構造のIC試験装置において、 B、上記IC搬送ヘッドに形成したコンタクトプレス部
    をIC搬送ヘッドから分離して設けると共に、このコン
    タクトプレスと被試験ICを独立して開閉制御される空
    気吸引孔に吸着させて搬送すると共に、 C、上記ICソケットはガイド付ICソケットを用い、
    このガイド付ICソケットの上部位置で被試験ICを自
    然落下させて被試験ICをガイド付ICソケットの所定
    位置にセットし、続いて、コンタクトプレスを自然落下
    させ、このコンタクトプレスをガイド付ICソケットの
    ガイドに案内させて所定位置にセットし、そのセット状
    態においてIC搬送ヘッドがコンタクトプレスに押圧力
    を与えて被試験ICのリードを上記ガイド付ICソケッ
    トの端子に接触させるように構成したIC試験装置。
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