JPH03246809A - 高周波用誘電体磁器組成物 - Google Patents
高周波用誘電体磁器組成物Info
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- JPH03246809A JPH03246809A JP2042507A JP4250790A JPH03246809A JP H03246809 A JPH03246809 A JP H03246809A JP 2042507 A JP2042507 A JP 2042507A JP 4250790 A JP4250790 A JP 4250790A JP H03246809 A JPH03246809 A JP H03246809A
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- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title abstract description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 12
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
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Landscapes
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- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、高周波用誘電体磁器組成物に関し、更に詳細
には、例えば誘電体共振器等の誘電体の材料として使用
される高周波用誘電体磁器組成物に関するものである。
には、例えば誘電体共振器等の誘電体の材料として使用
される高周波用誘電体磁器組成物に関するものである。
(従来の技術)
例えば、マイクロ波回路用の誘電体共振器に使用される
誘電体磁器すなわち高周波用誘電体磁器は、低周波用の
誘電体磁器と比べて基本的電気特性への次のような厳し
い要求がされている。
誘電体磁器すなわち高周波用誘電体磁器は、低周波用の
誘電体磁器と比べて基本的電気特性への次のような厳し
い要求がされている。
すなわち、第一に、素子の小型化のため、適度に大きな
比誘電率ε、を備えていること、第二に、高周波(マイ
クロ波)周波数領域における誘電損失が小さく、品質係
数Qが高いこと、第三に、比誘電率の温度係数が小さく
(温度高安定性)、シかもNPO(誘電率の温度変化率
が0%であるという意味)付近で任意の値が選択できる
こと等が挙げられる。ここで、本明細書における温度係
数は直接測定できて一般的に用いられている共振周波数
の温度係数を用いることとする。
比誘電率ε、を備えていること、第二に、高周波(マイ
クロ波)周波数領域における誘電損失が小さく、品質係
数Qが高いこと、第三に、比誘電率の温度係数が小さく
(温度高安定性)、シかもNPO(誘電率の温度変化率
が0%であるという意味)付近で任意の値が選択できる
こと等が挙げられる。ここで、本明細書における温度係
数は直接測定できて一般的に用いられている共振周波数
の温度係数を用いることとする。
従来、このような高周波用誘電体磁器の材料として使用
される組成物としては、高周波領域において、高いQの
得られるBa (Zn+、z3Ta2y3)03のよう
な複合ペロブスカイト系酸化物や、高い比誘電率の得ら
れるZrO2−SnO2− TiO2系(特公昭54−
35678号公報参照) 、ZrO2−La2O3−T
s02系(特公昭81−17081号公報参照)および
Z「02CeO2−TiO2系(特公昭61−1708
5号公報参照)等が知られている。
される組成物としては、高周波領域において、高いQの
得られるBa (Zn+、z3Ta2y3)03のよう
な複合ペロブスカイト系酸化物や、高い比誘電率の得ら
れるZrO2−SnO2− TiO2系(特公昭54−
35678号公報参照) 、ZrO2−La2O3−T
s02系(特公昭81−17081号公報参照)および
Z「02CeO2−TiO2系(特公昭61−1708
5号公報参照)等が知られている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記のBa(znl/3Ta273)o
3のような複合ペロブスカイト系酸化物でできた磁器は
、Qが10,000〜20,000と極めて高く、Qの
点では満足のゆくものであるが、比誘電率ε、かいずれ
も35以下と小さく、これを用いて誘電体共振器を製造
した場合、装置が大型化してしまう。更に、Nb204
やTa205等の高価な物質を主成分の一部として用い
ており、またこれらの物質は難焼結性で焼成温度が15
00〜1700’cと高いことから、製造コストが極め
て高くなるという問題がある。
3のような複合ペロブスカイト系酸化物でできた磁器は
、Qが10,000〜20,000と極めて高く、Qの
点では満足のゆくものであるが、比誘電率ε、かいずれ
も35以下と小さく、これを用いて誘電体共振器を製造
した場合、装置が大型化してしまう。更に、Nb204
やTa205等の高価な物質を主成分の一部として用い
ており、またこれらの物質は難焼結性で焼成温度が15
00〜1700’cと高いことから、製造コストが極め
て高くなるという問題がある。
一方、上記ZrO2−SnO2− TiO2系、ZrO
2−La2o3− TlO2系およびZrO2−CeO
2−TlO2系磁器組成物でできた磁器は、用いられて
いる物質それ自体が安価であり、焼成温度も低いため、
該磁器を用いて製造した装置も安価になるとともに、比
誘電率ε、が35〜4oと比較的高く、これらの点では
満足のゆくものであるが、Q値が7,000以下のもの
も多く、Q値の点では改良が望まれていた。
2−La2o3− TlO2系およびZrO2−CeO
2−TlO2系磁器組成物でできた磁器は、用いられて
いる物質それ自体が安価であり、焼成温度も低いため、
該磁器を用いて製造した装置も安価になるとともに、比
誘電率ε、が35〜4oと比較的高く、これらの点では
満足のゆくものであるが、Q値が7,000以下のもの
も多く、Q値の点では改良が望まれていた。
すなわち、従来の磁器組成物でできた磁器は、比誘電率
ε、とQのうちいずれか一方が上がると、他方が下がる
という傾向があり、双方を満足するものはなかった。
ε、とQのうちいずれか一方が上がると、他方が下がる
という傾向があり、双方を満足するものはなかった。
そこで、本発明は、新たな主成分系により、安価に製造
することができ、比誘電率ε、およびQを向上させるこ
とができ、そして共振周波数の温度係数τfが小さく、
しかもこのτfをNPOを中心に自由に変化させること
ができる高周波用誘電体磁器組成物を提供することを目
的とするものである。
することができ、比誘電率ε、およびQを向上させるこ
とができ、そして共振周波数の温度係数τfが小さく、
しかもこのτfをNPOを中心に自由に変化させること
ができる高周波用誘電体磁器組成物を提供することを目
的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明の高周波用誘電体磁器組成物は、Ti0246〜
58mol%、ZrO234〜44mof%、La03
720.5〜9.5mol%、SnO20.5〜9.5
mol%からなる主成分に対し、副成分として、Cr2
O3、Al2O3,5i02の少なくとも1種を前記主
成分に対して総量で0.0I〜1.0重量%添加したこ
とを特徴とするものである。
58mol%、ZrO234〜44mof%、La03
720.5〜9.5mol%、SnO20.5〜9.5
mol%からなる主成分に対し、副成分として、Cr2
O3、Al2O3,5i02の少なくとも1種を前記主
成分に対して総量で0.0I〜1.0重量%添加したこ
とを特徴とするものである。
(作 用)
磁器組成物の成分およびその組成比をそれぞれ上記のよ
うに選択した理由は、TlO2、ZrO2、CeO2、
La2O3,SnO2が安価であり、該組成の材料を用
いて形成された誘電体磁器のいずれにおいても、比誘電
率ε、が35以上、Qが7,000以上、また、共振周
波数の温度係数τfが−30〜+ 30ppm/’Cの
範囲内であって小さく、しかもこの範囲内で任意に変化
させることができるようにするためである。換言すると
、上記各成分の組成比が本発明の範囲以外になると、こ
れらの目標値が達成できないからである。
うに選択した理由は、TlO2、ZrO2、CeO2、
La2O3,SnO2が安価であり、該組成の材料を用
いて形成された誘電体磁器のいずれにおいても、比誘電
率ε、が35以上、Qが7,000以上、また、共振周
波数の温度係数τfが−30〜+ 30ppm/’Cの
範囲内であって小さく、しかもこの範囲内で任意に変化
させることができるようにするためである。換言すると
、上記各成分の組成比が本発明の範囲以外になると、こ
れらの目標値が達成できないからである。
(実施例)
以下、本発明の好ましい実施例による高周波用誘電体磁
器組成物について説明する。
器組成物について説明する。
試料の作製にあたって、原料として高純度のTlO2、
ZrO2、La2O3,SnO2、c「203、Al□
o、、5102を第1表の組成比率となるようにそれぞ
れ秤量し、それらを20時時間式混合した。次いで、脱
水、乾燥し、得られた混合物を空気中に1100℃で2
時間仮焼した後、粉砕し、これにバインダを加えて、よ
く混合した。こうして得られた混合物を3ton/cシ
の圧力で直径12 mm s厚さ6 +auの円板形に
加圧成型し、この成型物を温度1360℃の空気雰囲気
中で4時間焼成し、磁器試料を得た。
ZrO2、La2O3,SnO2、c「203、Al□
o、、5102を第1表の組成比率となるようにそれぞ
れ秤量し、それらを20時時間式混合した。次いで、脱
水、乾燥し、得られた混合物を空気中に1100℃で2
時間仮焼した後、粉砕し、これにバインダを加えて、よ
く混合した。こうして得られた混合物を3ton/cシ
の圧力で直径12 mm s厚さ6 +auの円板形に
加圧成型し、この成型物を温度1360℃の空気雰囲気
中で4時間焼成し、磁器試料を得た。
このようにして作製した磁器試料のそれぞれについて、
25℃、7GHzにおける比誘電率ε1、Qおよび共振
周波数の温度係数τfの各電気的特性を測定し、その結
果を第1表に示した。ここで、共振周波数の温度係数τ
fは、25℃〜85℃の温度範囲における共振周波数を
測定し、1℃当りに換算して求めた。
25℃、7GHzにおける比誘電率ε1、Qおよび共振
周波数の温度係数τfの各電気的特性を測定し、その結
果を第1表に示した。ここで、共振周波数の温度係数τ
fは、25℃〜85℃の温度範囲における共振周波数を
測定し、1℃当りに換算して求めた。
(以下余白)
第
1
表
なお、第1表中、*印を付したものは本発明の範囲外の
ものであり、それ以外の全てのものが本発明の範囲内の
ものである。
ものであり、それ以外の全てのものが本発明の範囲内の
ものである。
第1表から明らかなように、本発明の高周波用誘電体磁
器組成物における組成の限定理由は次の通りである。
器組成物における組成の限定理由は次の通りである。
TiO2が、試料4のように4[in+o1%未満であ
ると、Qが小さくなり、一方、試料49のように58m
ol%を超えると、温度係数τfがプラス側に大きくな
り過ぎる。
ると、Qが小さくなり、一方、試料49のように58m
ol%を超えると、温度係数τfがプラス側に大きくな
り過ぎる。
ZrO2が、試料51.8のように84mol%未満ま
たは44mol%を越えると、Qが小さくなるとともに
、温度係数τfがプラス側に大きくなり過ぎる。
たは44mol%を越えると、Qが小さくなるとともに
、温度係数τfがプラス側に大きくなり過ぎる。
LaO3,z2が、試料15.1B、 23.24.4
1.44のように、0.5mol%未満または9.51
11o1%を超えると、Qが小さくなる。
1.44のように、0.5mol%未満または9.51
11o1%を超えると、Qが小さくなる。
SnO2が、試料15.16.23.24.42.43
のように、0.5111o1%未満または9.5Ill
o1%を超えると、Qが小さくなる。
のように、0.5111o1%未満または9.5Ill
o1%を超えると、Qが小さくなる。
Cr2O3、Al2O3,5i02のうち少なくとも一
種以上からなる成分の総量が、試料31.32.33の
ように0.01重量%未満であると、添加効率がみられ
ず、すなわちQが向上せず、一方、試料34.35.3
Bのように1.0重量%を超えると、Qおよび比誘電率
ε、が小さくなる。
種以上からなる成分の総量が、試料31.32.33の
ように0.01重量%未満であると、添加効率がみられ
ず、すなわちQが向上せず、一方、試料34.35.3
Bのように1.0重量%を超えると、Qおよび比誘電率
ε、が小さくなる。
(発明の効果)
以上のように、本発明の高周波用誘電体磁器組成物は、
これを用いて誘電体磁器を製造したとき、高い誘電率に
おいて温度特性が安定で大きなQを示す優れた効果を持
つ。したがって、本発明の高周波用誘電体磁器組成物を
用いることにより、高周波領域で使用する誘電体共振器
や誘電体フィルタなどのマイクロ波回路素子を良好な状
態で製造することかできる。
これを用いて誘電体磁器を製造したとき、高い誘電率に
おいて温度特性が安定で大きなQを示す優れた効果を持
つ。したがって、本発明の高周波用誘電体磁器組成物を
用いることにより、高周波領域で使用する誘電体共振器
や誘電体フィルタなどのマイクロ波回路素子を良好な状
態で製造することかできる。
手
続
打n
正
書
平成
2.4.5
年 月 日
Claims (1)
- TiO_246〜58mol%、ZrO_234〜4
4mol%、LaO_3_/_20.5〜9.5mol
%、SnO_20.5〜9.5mol%からなる主成分
に対し、副成分として、Cr_2O_3、Al_2O_
3、SiO_2の少なくとも1種を前記主成分に対して
総量で0.01〜1.0重量%添加したことを特徴とす
る高周波用誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2042507A JPH0766692B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2042507A JPH0766692B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03246809A true JPH03246809A (ja) | 1991-11-05 |
| JPH0766692B2 JPH0766692B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=12637980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2042507A Expired - Fee Related JPH0766692B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0766692B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2791974A1 (fr) * | 1999-04-08 | 2000-10-13 | Murata Manufacturing Co | Composition ceramique piezo-electrique et vibreur et actuateur l'utilisant |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217700A (en) * | 1975-07-31 | 1977-02-09 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectric porcelain composite to the high frequency purpose |
| JPS6119005A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-27 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体磁器組成物 |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP2042507A patent/JPH0766692B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217700A (en) * | 1975-07-31 | 1977-02-09 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectric porcelain composite to the high frequency purpose |
| JPS6119005A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-27 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体磁器組成物 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2791974A1 (fr) * | 1999-04-08 | 2000-10-13 | Murata Manufacturing Co | Composition ceramique piezo-electrique et vibreur et actuateur l'utilisant |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0766692B2 (ja) | 1995-07-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |