JPH03250527A - 含浸形陰極構体の製造方法 - Google Patents

含浸形陰極構体の製造方法

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JPH03250527A
JPH03250527A JP4537690A JP4537690A JPH03250527A JP H03250527 A JPH03250527 A JP H03250527A JP 4537690 A JP4537690 A JP 4537690A JP 4537690 A JP4537690 A JP 4537690A JP H03250527 A JPH03250527 A JP H03250527A
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JP
Japan
Prior art keywords
pellet
electron
emitting substance
electron emitting
manufacturing
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Application number
JP4537690A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Takakura
博 高倉
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は電子管用含浸形陰極構体の製造方法に係り、特
に、多孔質体への電子放出物質の溶融含浸後溶解洗浄そ
の他の特別な処理を施すことなく、安価で信頼性の高い
陰極を得ることのできる含浸形陰極構体の製造方法に関
する。
[従来の技術] 含浸形陰極構体の製造において、高融点金属多孔質体に
電子放出物質を溶融含浸させた後ペレット表面に残留す
る余剰の電子放出物質を除去する方法としては、これま
で、特開昭63−62127号、特公昭63−4933
2号等に記載のように、電子放出物質が溶解する液体で
洗浄除去する方法、超音波洗浄によって除去する方法が
行われてきている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記従来技術による場合、上記公報記載
に見られるように、洗浄処理を行った後さらに水素処理
を施す必要があり、さらに、これらの処理により表面か
ら厚さ20〜60−にわたって電子放出物質が消失する
ため該層を研摩により除去する必要があった。
本発明の目的は、上記従来技術の有していた課題を解決
して、電子放出物質の溶融含浸操作後特別な後処理工程
を必要とすることなく、安価で信頼性の高い陰極を容易
に得ることのできる含浸形陰棲構体の製造方法を提供す
ることにある。
[課順を解決するための手段] 上記目的は、高融点金属多孔質焼結体への電子放出物質
の溶融含浸操作後ペレットを大気条件に放置し、酸化物
から水酸化物への変化に伴う体積膨張によって、ペレッ
ト表面に残存する余剰の電子放出物質を除去することに
よって達成することができる。
[作用] 溶融含浸操作後ペレットを上記条件下に保持することに
よって、ペレット表面に残留した酸化物を主体とする電
子放出物質(BaO−CaO・Al、 O,)が水酸化
物(Ba(OH)、、Ca(OH)、Al(O)!八な
ど)に変化し、このときの比重の変化(低下)したがっ
て体積の変化(増大)すなわち膨張により亀裂が生じ、
余剰の電子放出物質がペレット表面から自然剥離する状
態になる。
これによって、ペレットに軽い振動を与えることあるい
は、必要により、アルコール中に浸漬して超音波振動を
与えることによってペレット表面から電子放出物質をほ
ぼ完全に取り除くことができる。
[実施例コ 以下、本発明の含浸形陰極構体の製造方法について実施
例によって具体的に説明する。
第1図は本発明の方法により製造した含浸形陰極構体の
概略構成を示す図で、高融点金属例えばタングステンの
多孔質焼結体に電子数、出物質を含浸させたペレット状
の陰極基体l、該陰極基体1を収容した高融点金属例え
ばモリブデン製のカップ2、該カップ2を頂部に付設し
た高融点金属例えばモリブデン製の一端開放のスリーブ
3、該スリーブ3に押入したヒータ4およびこれらを吊
り上げ支持する高融点金属細線例えばレニウム・タング
ステン線5により構成されてなることを示す。
次に、電子放出物質含浸ペレット製造の手順について説
明する。まず、予めタングステン粉末をプレス成形、焼
結して作成した多孔質焼結体を高融点金属製円筒中に収
め、その両端に炭酸バリウム(BaCO,)、炭酸カル
シウム(CaCO,)、酸化アルミニウム(AI、0.
)の粉末をモル比で4:1:1の割合で混合し上記多孔
質焼結体と同一径にプレス成形した成形体を挿入した後
、真空中あるいは還元性雰囲気巾約1200℃に加熱し
た。これによって、上記炭酸塩が分解して酸化物(Ba
d、 Cab)となる。
次いで、温度をさらに上げ約1800℃とし2〜3分間
保持することによって上記酸化物が溶融してBa−Ca
アルミネート(4BaO−CaO−Al、O,)となり
、多孔質焼結体中に含浸し、一部は多孔質焼結体上に残
留した。この状態で金属製円筒から取り出したペレット
の断面形状は第2図(a)に示す通りで、Ba−Caア
ルミネートはペレット周辺側面上には殆ど残留せず、ペ
レット上下両面上に周縁がやや盛り上がった形で残留し
た。
続いて、上記で得られたペレットを温度20〜30℃、
相対湿度50〜60%の雰囲気中に2〜5時間放置した
ところ、ペレットの上下両表面上のアルミン酸塩層が顕
著な膨張を示し、それに伴って亀裂を生じ、軽い振動を
与えることによって殆ど完全にペレット表面から取り除
くことができた。
場合によってはペレット表面にわずかに残留するものも
あるが、この場合もアルコール中に浸漬し数分間の超音
波振動を与えることによって完全に除去することができ
た。
また、上記によって得られたペレットを用いて通常の工
程に従って陰極構体の組立てを行い、何ら支障なく製造
を行い得、また、優れた電子放出特性を得ることができ
た。
なお、第2図(b)、(C)は従来技術によりペレット
を平板上に置いてペレット上に電子放出物質を載せ加熱
溶融を行った場合の状態を示した図で、電子放出物質搭
載量が多い場合には、(b)および(C)に示すように
、電子放出物質がペレット周辺側面にまで溶融流下した
状態あるいはペレット表面上に電子放出物質が残留する
状態となり、電子放出物質搭載量が少なすぎる場合には
、含浸量が不十分となる。
C発明の効果] 以上述べてきたように、含浸形陰極構体の製造方法を本
発明の製造方法とすることによって、従来技術の有して
いた課題を解決して、電子放出物質の溶融含浸操作後特
別な後処理工程を必要とすることなく、安価で信頼性の
高い含浸形陰極を容易に得ることができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法により製造した含浸形陰極構体の
概略構成を示す図、第2図は溶融含浸操作後ペレット上
に残留する電子放出物質の状態を示す図で(a)は本発
明の方法による場合、(b)および(c)は従来技術の
方法による場合の状態を示す図である。 1・・・陰極基体、   2・・・カップ、3・・・ス
リーブ、   4・・・ヒータ、5・・・レニウム・タ
ングステン線、 6・・・余剰電子放呂物質 第1 図 第2 図 149−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、加熱用ヒータを内包し、陰極支持体に固定した陰極
    スリーブの頂部に高融点金属からなるカップの底面を取
    付け、該カップ内に高融点金属多孔質焼結体に電子放出
    物質を溶融含浸させたペレットを取付け固定してなる電
    子管用含浸形陰極構体の製造において、多孔質体への電
    子放出物質の溶融含浸操作後ペレットを大気条件に放置
    し、酸化物から水酸化物への変化に伴う体積膨張によっ
    て、ペレット表面に残存する余剰の電子放出物質を除去
    することを特徴とする含浸形陰極構体の製造方法。
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