JPH03251338A - 試料移送装置 - Google Patents
試料移送装置Info
- Publication number
- JPH03251338A JPH03251338A JP4785090A JP4785090A JPH03251338A JP H03251338 A JPH03251338 A JP H03251338A JP 4785090 A JP4785090 A JP 4785090A JP 4785090 A JP4785090 A JP 4785090A JP H03251338 A JPH03251338 A JP H03251338A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- parallel
- transfer device
- sample transfer
- moving table
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、測定器、半導体焼料装置、精密工作機械等て
使用される試料移送装置に関するものである。
使用される試料移送装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、精密試料移動装置は、送りねじの回転時の振れま
わりを吸収させるために、例えば特開昭５９−１４５５
２７号公報に開示されているように、平行板ばねを介し
て、送りねじのナツトと、移動台を結合している。
わりを吸収させるために、例えば特開昭５９−１４５５
２７号公報に開示されているように、平行板ばねを介し
て、送りねじのナツトと、移動台を結合している。
［発明が解決しようとしている課題］
しかしなから、上記従来例ては、送りねじのナツトか振
動した際の振動減衰か悪いという不都合があった。この
ため、従来例ては、（１）高速位置決めを行なうと、送
りねじのふれまわりによりナツトか振動し、この振動か
試料台に伝達して位置決め時間、位置決め精度を悪化さ
せる。
動した際の振動減衰か悪いという不都合があった。この
ため、従来例ては、（１）高速位置決めを行なうと、送
りねじのふれまわりによりナツトか振動し、この振動か
試料台に伝達して位置決め時間、位置決め精度を悪化さ
せる。
（２）試料台に外力が加わった場合に送りねじとナツト
が振動し、この振動か試料台に伝達して位置決め時間、
位置決め精度を悪化させる。
が振動し、この振動か試料台に伝達して位置決め時間、
位置決め精度を悪化させる。
等の欠点かあった。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、その
目的は、高速で且つ高精度な試料移送装置を提供するこ
とにある。
目的は、高速で且つ高精度な試料移送装置を提供するこ
とにある。
［課題を解決するための手段コ
本発明は、この目的を達成するために、送りねじと試料
台を連結する平行板ばねの間に制振材料をはさみ込むこ
とを特徴としている。
台を連結する平行板ばねの間に制振材料をはさみ込むこ
とを特徴としている。
［実施例］
以下、本発明を図に示した実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明の−・実施例の縦断面図の形態を、第２
図はそのＡ−Ａ断面の形態を示している。これらの図に
おいて、１は平行移動テーブル、２は一組みのガイドて
、平行移動テーブル、１の下面は潤滑層を介してガイド
、２によりＸ方向に移動自在に指示されている。また３
はポールナツトあるいは送りナツトで、４のボールネジ
あるいは送りネジと螺合する。５は一組の軸受はハウジ
ンつて、ホールネジあるいは送りネジ４の両端部をそれ
ぞれ保持する軸受けを収容する一方、それ自体は基＠６
に固設される。
図はそのＡ−Ａ断面の形態を示している。これらの図に
おいて、１は平行移動テーブル、２は一組みのガイドて
、平行移動テーブル、１の下面は潤滑層を介してガイド
、２によりＸ方向に移動自在に指示されている。また３
はポールナツトあるいは送りナツトで、４のボールネジ
あるいは送りネジと螺合する。５は一組の軸受はハウジ
ンつて、ホールネジあるいは送りネジ４の両端部をそれ
ぞれ保持する軸受けを収容する一方、それ自体は基＠６
に固設される。
次に、７は夫々板ばねて、両者て平行板ばねを構成する
。この板ばね７の間には粘弾性ゴム８かはさみこまれて
いる。これらの板ばね７は、移動テーブル１及びそこに
載置される装置を含めた付加が、鉛直（Ｚ方向）に付加
された場合ても、座屈することかない様に長さ、板圧、
板幅、平行に設置する枚数を決定するものとし、殊にね
しり剛性を高めるために板圧（Ｚ方向）に比べて充分幅
（Ｙ方向）を広くしておくのが良い。なお、ばね形状は
種々変形可能である。
。この板ばね７の間には粘弾性ゴム８かはさみこまれて
いる。これらの板ばね７は、移動テーブル１及びそこに
載置される装置を含めた付加が、鉛直（Ｚ方向）に付加
された場合ても、座屈することかない様に長さ、板圧、
板幅、平行に設置する枚数を決定するものとし、殊にね
しり剛性を高めるために板圧（Ｚ方向）に比べて充分幅
（Ｙ方向）を広くしておくのが良い。なお、ばね形状は
種々変形可能である。
９は、各板ばね７を略平行に保った状態で水平（Ｘ方向
）に把持すると共に、これらを平行移動テーブル１の下
面に固設するための第１固定具である。またｌＯは各板
ばね７の他端を把持すると共に、これらをナツト３の側
部に固設するための第２固定具である。尚、ボールネジ
あるいは送りネジ４の一端は、手動もしくは電動機て回
転駆動される回転軸１２に連結あるいは一体化されてい
る。
）に把持すると共に、これらを平行移動テーブル１の下
面に固設するための第１固定具である。またｌＯは各板
ばね７の他端を把持すると共に、これらをナツト３の側
部に固設するための第２固定具である。尚、ボールネジ
あるいは送りネジ４の一端は、手動もしくは電動機て回
転駆動される回転軸１２に連結あるいは一体化されてい
る。
以上の構成で、ボールネジあるいは送りネジ４を回転さ
せると、ナツト３はねし４に送られて水平方向に移動し
、平行移動テーブル１は板ばね７に牽引あるいは押圧さ
れて移動する。その際、回転運動から直線運動に変換さ
れる時に生じるビツチンクは、平行板ばね７で吸収され
ることになる。また板ばね７の間には粘弾性ゴム８かは
さみこまれているため、板はね７てナツト３の変位を吸
収する際に、粘弾性ゴム８にせん断力か働く。ここて粘
弾性ゴム８の内部摩擦と粘性抵抗により、ナツトの振動
の減衰効果が得られ、平行移動テーブル１はナツト３か
らの振動を受けることなく位置決めされる。以」二の例
はピッチング特性の改善を図った例である。
せると、ナツト３はねし４に送られて水平方向に移動し
、平行移動テーブル１は板ばね７に牽引あるいは押圧さ
れて移動する。その際、回転運動から直線運動に変換さ
れる時に生じるビツチンクは、平行板ばね７で吸収され
ることになる。また板ばね７の間には粘弾性ゴム８かは
さみこまれているため、板はね７てナツト３の変位を吸
収する際に、粘弾性ゴム８にせん断力か働く。ここて粘
弾性ゴム８の内部摩擦と粘性抵抗により、ナツトの振動
の減衰効果が得られ、平行移動テーブル１はナツト３か
らの振動を受けることなく位置決めされる。以」二の例
はピッチング特性の改善を図った例である。
［他の実施例］
第３図の実施例はヨーイング特性を改善した例である。
第４図は第３図のＢ−Ｂ断面を示す。また前例と同一番
号は実質的に同一機能の部材である。これらの図におい
て、３はポールナツトまたは送りナツトて、Ｙ方向の両
側面に平行板はね取付部を具える。７は」二連と同様の
板ばねて、２枚づつ２組の平行板ばねを構成する。各組
の板ばね７の間には不図示のスペーサーと共に、粘弾性
ゴム８かはさみこまれている。
号は実質的に同一機能の部材である。これらの図におい
て、３はポールナツトまたは送りナツトて、Ｙ方向の両
側面に平行板はね取付部を具える。７は」二連と同様の
板ばねて、２枚づつ２組の平行板ばねを構成する。各組
の板ばね７の間には不図示のスペーサーと共に、粘弾性
ゴム８かはさみこまれている。
次に、１３は鞘状部材て、ボールネジ又は送りネジ４を
跨ぐ切欠きを具え、平行移動テーブル１の下面に固設さ
れる一方、各平行板ばね７は水平面に垂直なＸ２面内で
伸びる様に両側面に固定される。
跨ぐ切欠きを具え、平行移動テーブル１の下面に固設さ
れる一方、各平行板ばね７は水平面に垂直なＸ２面内で
伸びる様に両側面に固定される。
以−Ｉ−の構成で、ボールネジまたは送りネジ４を回転
すると、両平行板ばね７，７に押し又は引かれて平行移
動テーブルｌは前後に移動する。この場合、平行板ばね
によってヨーインクは吸収され、この際に、粘弾性ゴム
８によって振動の減衰効果か得られ、平行移動テーブル
ｌはナツト３からの振動を受けることなく位置決めされ
る。
すると、両平行板ばね７，７に押し又は引かれて平行移
動テーブルｌは前後に移動する。この場合、平行板ばね
によってヨーインクは吸収され、この際に、粘弾性ゴム
８によって振動の減衰効果か得られ、平行移動テーブル
ｌはナツト３からの振動を受けることなく位置決めされ
る。
第５図、６図に示す第３の実施例は、ピッチングとヨー
インクの両特性を改善した例である。図中、前例と実質
量−機能の部材には同一番号を付した。
インクの両特性を改善した例である。図中、前例と実質
量−機能の部材には同一番号を付した。
これらの図において、１５は中経ブロワつて、上下（Ｚ
方向）左右（Ｙ方向）の面には平行に保持された板ばね
。７がそれぞれ固定される一方、中央にはホールネジ又
は送りネジ４が自由に通過てきる円形開口を備える。１
６は平行板ばね取付ブロワつて、中央にはボールネジ又
は送りネジ４が自由に通過てきる円形開口を備える一方
、このツロツクは平行移動テーブル１の下面に固設され
る。
方向）左右（Ｙ方向）の面には平行に保持された板ばね
。７がそれぞれ固定される一方、中央にはホールネジ又
は送りネジ４が自由に通過てきる円形開口を備える。１
６は平行板ばね取付ブロワつて、中央にはボールネジ又
は送りネジ４が自由に通過てきる円形開口を備える一方
、このツロツクは平行移動テーブル１の下面に固設され
る。
そして水平面（ＸＹ面）内に伸びて、送りねし４を上下
（２方向）から挾む形の平行板ばね７．７の一端は取付
ブロック１６の上下の面に固定され、他端は前述の様に
中経ブロック１５の」−下の面に固定される。平行板ば
ね７の間には粘弾性ゴム８かはさみこまれている。
（２方向）から挾む形の平行板ばね７．７の一端は取付
ブロック１６の上下の面に固定され、他端は前述の様に
中経ブロック１５の」−下の面に固定される。平行板ば
ね７の間には粘弾性ゴム８かはさみこまれている。
また、水平面に垂直な面（ＡＸＺ面）内に伸び、送りね
し４を左右（Ｙ方向）から挾む形の平行板ばね７，７の
一端はナツト３の左右の面に固定され、他端は中経ブロ
ック１５の左右の面に固定される。この平行板ばね７の
間には、粘弾性ゴム８かはさみこまれている。
し４を左右（Ｙ方向）から挾む形の平行板ばね７，７の
一端はナツト３の左右の面に固定され、他端は中経ブロ
ック１５の左右の面に固定される。この平行板ばね７の
間には、粘弾性ゴム８かはさみこまれている。
そして、これら粘弾性ゴム８をはさみこんた複合平行板
はねの作用は、ボールネジあるいは、送りねし４と、ナ
ツト３のふれ回りの水平方向成分を左右の平行板ばねて
、垂直方向成分を上下の平行板はねて吸収し、粘弾性ゴ
ムて、この振動を減衰させ、軸方向の送り力のみを平行
移動テーブル１に伝えることである。
はねの作用は、ボールネジあるいは、送りねし４と、ナ
ツト３のふれ回りの水平方向成分を左右の平行板ばねて
、垂直方向成分を上下の平行板はねて吸収し、粘弾性ゴ
ムて、この振動を減衰させ、軸方向の送り力のみを平行
移動テーブル１に伝えることである。
尚、上記の例は一方向移動テーブルで示したか、これら
テーブルを２層に重ね、送りねじの方向か直交する様に
構成すればＸ−Ｙ移動テーブルとなる。Ｘ−Ｙ移動テー
ブルにおいては、下側に載置されたテーブルを移動する
と、上側に載置されたテーブルの送りねし及びナツトを
加振する力を発生ずるか、本実施例によれは、この振動
についても減衰されるため、Ｘ−Ｙ移動テーブルにおい
ても、高速・高精度な位置決めが可能となる。
テーブルを２層に重ね、送りねじの方向か直交する様に
構成すればＸ−Ｙ移動テーブルとなる。Ｘ−Ｙ移動テー
ブルにおいては、下側に載置されたテーブルを移動する
と、上側に載置されたテーブルの送りねし及びナツトを
加振する力を発生ずるか、本実施例によれは、この振動
についても減衰されるため、Ｘ−Ｙ移動テーブルにおい
ても、高速・高精度な位置決めが可能となる。
上記実施例で述べた粘弾性ゴムの他に、−組の平行板ば
ねのすき間を、液体か表面張力てつりあう様な間隔にし
て、粘性オイルを用いることも可能である。さらに、平
行板ばねを磁性体て構成して、粘弾性ゴムの代りに、磁
性流体を用いることもてきる。これら粘性流体を用いる
ことにより、平行板はねを組立て後に、粘性流体を注入
することにより、組立てが容易になるメリットを有する
。
ねのすき間を、液体か表面張力てつりあう様な間隔にし
て、粘性オイルを用いることも可能である。さらに、平
行板ばねを磁性体て構成して、粘弾性ゴムの代りに、磁
性流体を用いることもてきる。これら粘性流体を用いる
ことにより、平行板はねを組立て後に、粘性流体を注入
することにより、組立てが容易になるメリットを有する
。
また、伝達機構を回転連動を直進運動に変換する送りね
じとして述へたか、この部分はりニアモータ、エアシリ
ンダ、油圧シリンダ、ソレノイド等の駆動機構と伝達機
構が１つになった直進送り機構でもかまわない。
じとして述へたか、この部分はりニアモータ、エアシリ
ンダ、油圧シリンダ、ソレノイド等の駆動機構と伝達機
構が１つになった直進送り機構でもかまわない。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明は、送りねじのナツトの移
動方向以外の変位を吸収する平行板ばねを設けると共に
、その振動を減衰する制振材料をその平行板ばね間には
さみこむようにしたのて、送りねしのふれ回りから生し
る平行移動テーブルの位置ずれやヨーインク又はピッチ
ングもしくは両者の特性を改善てき、位置決め精度と位
置決め時間の向上をはかることかてきる。さらに、この
平行移送テーブルに加振力か加わった場合にも、変位の
少ない装首とすることがてきる。
動方向以外の変位を吸収する平行板ばねを設けると共に
、その振動を減衰する制振材料をその平行板ばね間には
さみこむようにしたのて、送りねしのふれ回りから生し
る平行移動テーブルの位置ずれやヨーインク又はピッチ
ングもしくは両者の特性を改善てき、位置決め精度と位
置決め時間の向上をはかることかてきる。さらに、この
平行移送テーブルに加振力か加わった場合にも、変位の
少ない装首とすることがてきる。
第１図は本発明の第１実施例の縦断面、第２図は第１図
のＡ−Ａ断面図、 第３図は第２実施例の縦断面図、 第４図は第３図のＢ−Ｂ断面図、 第５図は第３実施例の斜視図、 第６図は、第５図の要部を示す図である。 １は平行移動テーブル、２はガイド、３は送りナツト、
４は送りねじ、５は軸受ハウシング、６は基盤、７は板
ばね、８は粘弾性ゴム、９は第１固定具、ｌＯは板はね
７の第２固定具、１１はナツトハウジンク、１２は回転
軸、１３は鞘状部材、１４はナツトハウジンク、１５は
中経ブロック、１６は取付ツロツつてある。
のＡ−Ａ断面図、 第３図は第２実施例の縦断面図、 第４図は第３図のＢ−Ｂ断面図、 第５図は第３実施例の斜視図、 第６図は、第５図の要部を示す図である。 １は平行移動テーブル、２はガイド、３は送りナツト、
４は送りねじ、５は軸受ハウシング、６は基盤、７は板
ばね、８は粘弾性ゴム、９は第１固定具、ｌＯは板はね
７の第２固定具、１１はナツトハウジンク、１２は回転
軸、１３は鞘状部材、１４はナツトハウジンク、１５は
中経ブロック、１６は取付ツロツつてある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、物体を載置して移動させるための移動テーブルと、
前記移動テーブルの移動を規制する案内機構と、前記移
動テーブルを移動させる力を発生する駆動機構と、駆動
力を前記移動テーブルに伝達するための伝達機構を有す
る試料移送装置において、前記移動テーブルと前記伝達
機構を、制振材料をはさみこんだ複数枚の平行板ばねを
介して連結したことを特徴とする試料移送装置。 ２、前記制振材料は、粘弾性ゴム、オイル、または高分
子樹脂である請求項１記載の試料移送装置。 ３、前記平行板ばねは磁性体で、前記制振材料は磁性流
体である請求項１記載の試料移送装置。 ４、前記伝達機構は、回転運動を直進運動に変換する構
造をもつ請求項１記載の試料移送装置。 ５、前記伝達機構は、前記駆動機構と１体となった直進
送り機構である請求項１記載の試料移送装置。 ６、前記平行板ばねと、その間にはさみ込む制振材料を
制振鋼板で構成した請求項１記載の試料移送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4785090A JPH03251338A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 試料移送装置 |
| US08/071,225 US5301933A (en) | 1990-02-27 | 1993-06-02 | Sample moving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4785090A JPH03251338A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 試料移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03251338A true JPH03251338A (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=12786846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4785090A Pending JPH03251338A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | 試料移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03251338A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5882644A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 精密送りねじ用ナツトの取付構造 |
| JPS59145527A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Canon Inc | 移送装置 |
| JPS6017930A (ja) * | 1983-07-09 | 1985-01-29 | Fujitsu Ltd | マスタ・スライス方式に於ける基本セル |
| JPS61211550A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-19 | Canon Inc | ステ−ジステツプ駆動装置 |
-
1990
- 1990-02-27 JP JP4785090A patent/JPH03251338A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5882644A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 精密送りねじ用ナツトの取付構造 |
| JPS59145527A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Canon Inc | 移送装置 |
| JPS6017930A (ja) * | 1983-07-09 | 1985-01-29 | Fujitsu Ltd | マスタ・スライス方式に於ける基本セル |
| JPS61211550A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-19 | Canon Inc | ステ−ジステツプ駆動装置 |
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