JPH03251457A - 記録装置及び記録ヘッド - Google Patents
記録装置及び記録ヘッドInfo
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- JPH03251457A JPH03251457A JP4987390A JP4987390A JPH03251457A JP H03251457 A JPH03251457 A JP H03251457A JP 4987390 A JP4987390 A JP 4987390A JP 4987390 A JP4987390 A JP 4987390A JP H03251457 A JPH03251457 A JP H03251457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- conductive layer
- recording
- recording head
- connection hole
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複写機、ファクシミリ、ワープロ、コンピュ
ータの出力用プリンタ等に適用可能な記録用インクを吐
出口より吐出して記録を行なう記録装置に関し、特に該
記録装置に用いられる記録ヘッドに関する。
ータの出力用プリンタ等に適用可能な記録用インクを吐
出口より吐出して記録を行なう記録装置に関し、特に該
記録装置に用いられる記録ヘッドに関する。
〔従来の技術）
従来のインクジェット記録ヘラ゛この例を第７図（ａ）
、（ｂ）に示す。第７図（ａ）は模式的平面図であり、
第７図（ｂ）は第７図（ａ）のＢ−Ｂ′線による模式的
断面図である。
、（ｂ）に示す。第７図（ａ）は模式的平面図であり、
第７図（ｂ）は第７図（ａ）のＢ−Ｂ′線による模式的
断面図である。
従来の記録ヘッドには、シリコン等の半導体やガラス等
の絶縁体からなる基体としての基板１１上にＨｆ８２等
からなる発熱抵抗層１と所定の間隔をおいて配設された
、Ａｌ１等からなる、電極を形成する為の導電層２とを
形成することにより、例えは液体状のインクの吐出に利
用される熱エネルギーを発生する電極熱変換体が構成さ
れている、電気熱変換体の発熱部１ａ上には吐出口に連
通ずるインク路が形成されインク吐出部を構成している
。そして高解像度記録の為に吐出口は実質的に１ｍｍあ
たり８本以上の割合て複数段りられ、これに対応するよ
うに電気熱変換体も高密度で配設されている。
の絶縁体からなる基体としての基板１１上にＨｆ８２等
からなる発熱抵抗層１と所定の間隔をおいて配設された
、Ａｌ１等からなる、電極を形成する為の導電層２とを
形成することにより、例えは液体状のインクの吐出に利
用される熱エネルギーを発生する電極熱変換体が構成さ
れている、電気熱変換体の発熱部１ａ上には吐出口に連
通ずるインク路が形成されインク吐出部を構成している
。そして高解像度記録の為に吐出口は実質的に１ｍｍあ
たり８本以上の割合て複数段りられ、これに対応するよ
うに電気熱変換体も高密度で配設されている。
ここで３．４．５は保護層である。
記録ヘッドの使用にあたっては、不図示の液体容器より
供給された液体状のインクはインク液路の一部としての
共通液室に供給され、更には波路に連通ずる吐出口にメ
ニスカスを形成し、吐出口に対応する発熱部を液体で満
たしている。
供給された液体状のインクはインク液路の一部としての
共通液室に供給され、更には波路に連通ずる吐出口にメ
ニスカスを形成し、吐出口に対応する発熱部を液体で満
たしている。
液体噴射による記録は、装置本体側の信号発生手段によ
り発生した記録信号を電極に印加することで流れる電流
によフて発熱部１ａより発生した熱エネルギーにより発
熱部ｌａ上の液体に状態変化を生起させることで気泡を
発生させ、この気泡の体積膨張による圧力により液体を
吐出させて、飛ｎ−を的液滴を形成するものである。
り発生した記録信号を電極に印加することで流れる電流
によフて発熱部１ａより発生した熱エネルギーにより発
熱部ｌａ上の液体に状態変化を生起させることで気泡を
発生させ、この気泡の体積膨張による圧力により液体を
吐出させて、飛ｎ−を的液滴を形成するものである。
次に従来の記録ヘッドの製造方法について説明する。
まず、電気熱変換体を形成する為、発熱抵抗層としての
ＨｆＢ２膜１及び電極２としてのＡρをスパッタリング
等により成膜し、バターニングを行なう。
ＨｆＢ２膜１及び電極２としてのＡρをスパッタリング
等により成膜し、バターニングを行なう。
次に、電気熱変換体の耐酸化膜３としての５ｉｎ２及び
耐キヤビテーシヨン膜４としてのＴａをスパッタリング
等により成膜し、バターニングを行なう。
耐キヤビテーシヨン膜４としてのＴａをスパッタリング
等により成膜し、バターニングを行なう。
そして、耐インク液性の保護膜５として感光性ポリミド
を塗布し、バターニングを行なう。
を塗布し、バターニングを行なう。
更に第２層のＡ℃を成膜バターニングし、更に伝導率を
かせぐ為Ｃｕを１０μｍはどメツキをし、共通電極１０
を作る。ここて共通型ＦｉｌＯの下の層である符号３で
示す５ｉｎ２及び符号５て示す感光性ポリミドは層間絶
縁層としての役目をしている。
かせぐ為Ｃｕを１０μｍはどメツキをし、共通電極１０
を作る。ここて共通型ＦｉｌＯの下の層である符号３で
示す５ｉｎ２及び符号５て示す感光性ポリミドは層間絶
縁層としての役目をしている。
その後、記録液体の液路として共通液室１２及び個別液
路１３の形成する為の凹部を有する天板１４をはりつけ
電気熱変換体を駆動する駆動信号を発生ずる駆動回路に
接続される配線を電気的に接続して（不図示）液体噴射
記録ヘッドを製造する。
路１３の形成する為の凹部を有する天板１４をはりつけ
電気熱変換体を駆動する駆動信号を発生ずる駆動回路に
接続される配線を電気的に接続して（不図示）液体噴射
記録ヘッドを製造する。
しかしながら、上記従来例では共通電極１０か天板１４
の外部（つまり記録ヘラ１−の液路外）にある為、電極
２の共通電極側の長さが第７図（ａ）に示すようにＭま
たり必要となり、電極においてかなり長い高密度配線が
必要とされる。そのため短絡や断線等により歩留りか低
くなる等の製造上の短所かより一層問題になる。即ち、
液体を吐出できる程の熱エネルギーを発生させる大電流
を流して繰り返し駆動すると短絡や断線が生じやすくな
り記録ヘッドの耐久性が低下することがあった。
の外部（つまり記録ヘラ１−の液路外）にある為、電極
２の共通電極側の長さが第７図（ａ）に示すようにＭま
たり必要となり、電極においてかなり長い高密度配線が
必要とされる。そのため短絡や断線等により歩留りか低
くなる等の製造上の短所かより一層問題になる。即ち、
液体を吐出できる程の熱エネルギーを発生させる大電流
を流して繰り返し駆動すると短絡や断線が生じやすくな
り記録ヘッドの耐久性が低下することがあった。
そこで木発明者は、電極に接続する配線部の部が該配線
部の保護層としての導電層の上下に有機材料を用いるこ
とにより、共通電極に接続する配線を（共通）液室内に
いれると配線部の共通電極の長さを大幅に短かくできる
ことを見い出した。こうすると、短絡及び断線の発生が
減少し導電層と保護層との密着性が長期間良好に保れる
のである。
部の保護層としての導電層の上下に有機材料を用いるこ
とにより、共通電極に接続する配線を（共通）液室内に
いれると配線部の共通電極の長さを大幅に短かくできる
ことを見い出した。こうすると、短絡及び断線の発生が
減少し導電層と保護層との密着性が長期間良好に保れる
のである。
第８図（ａ）は、上述した本発明者の知見に基づく記録
ヘッドの基板の模式的平面図であり、第８図（ｂ）は第
８図（ａ）のｃ−ｃ′線による模式的断面図である。
ヘッドの基板の模式的平面図であり、第８図（ｂ）は第
８図（ａ）のｃ−ｃ′線による模式的断面図である。
まず基板１１上には電気熱変換体を形成する発熱抵抗層
１としてのＨｆＢ２及び電極２としてのＡｌ１が設けら
れて第１層が形成されている。電気熱変換体の耐酸化Ｉ
ｔ！ ２としての５ｉｎ２及び耐キヤビテーシヨン膜４
としてのＴａが形成されている。耐インク膜５として感
光性ポリミド５が塗布されている。第２層として八ρか
らなる配線７が設けられている。
１としてのＨｆＢ２及び電極２としてのＡｌ１が設けら
れて第１層が形成されている。電気熱変換体の耐酸化Ｉ
ｔ！ ２としての５ｉｎ２及び耐キヤビテーシヨン膜４
としてのＴａが形成されている。耐インク膜５として感
光性ポリミド５が塗布されている。第２層として八ρか
らなる配線７が設けられている。
上記第２層７の保護層９として有機材料、例えば感光性
ポリミドが塗布されている。また、共通電極ｌＯとして
高伝導率のＣｕによりメツキで形成されている。上述し
た記録ヘッド同様この基板上に天板をはりつけ、配線を
電気的に接続し液体噴射記録ヘッドが構成されている。
ポリミドが塗布されている。また、共通電極ｌＯとして
高伝導率のＣｕによりメツキで形成されている。上述し
た記録ヘッド同様この基板上に天板をはりつけ、配線を
電気的に接続し液体噴射記録ヘッドが構成されている。
１６゛は吐出口、１７は液路壁であり、１８は記録液体
の供給口である。
の供給口である。
ここで、多層配線構造の接続孔（スルーホール）構造は
、第８図（Ｃ）のようになっている。
、第８図（Ｃ）のようになっている。
層間絶縁層である５ｉ０２ＷＡ３及び感光性ポリミド膜
５の開口部の長さは、それぞれρ、及びλ２であり、Ｊ
２．＞Ｊ２２となっており、第２の導電層は感光性ポリ
ミド５及び第１の導電層２とのみ密着している。
５の開口部の長さは、それぞれρ、及びλ２であり、Ｊ
２．＞Ｊ２２となっており、第２の導電層は感光性ポリ
ミド５及び第１の導電層２とのみ密着している。
しかしながら、上記例とはいえ第２導電層７は下の層間
絶縁層のうち有機材料である感光性ポリミド５とのみ密
着している。−船釣に有機材料と金属の密着力はさほど
強いものではないが、初期段階では問題なかった。しか
し、液体を吐出可能な程大きな熱エネルギーを発生する
ような大電流を記録データに基づき繰り返し電気熱変換
体に通電するように記録を続けると、絶縁層及びＡｊ２
電極が破損したり耐インク液性の低下によるＡ！電極の
腐食などが生じてくる恐れがある。
絶縁層のうち有機材料である感光性ポリミド５とのみ密
着している。−船釣に有機材料と金属の密着力はさほど
強いものではないが、初期段階では問題なかった。しか
し、液体を吐出可能な程大きな熱エネルギーを発生する
ような大電流を記録データに基づき繰り返し電気熱変換
体に通電するように記録を続けると、絶縁層及びＡｊ２
電極が破損したり耐インク液性の低下によるＡ！電極の
腐食などが生じてくる恐れがある。
（目的〕
本発明は上述した技術課題に鑑み成されたものてあり、
高解像度記録を安定して行なうことのできる記録装置及
び記録ヘッドを提供することを目的とする。
高解像度記録を安定して行なうことのできる記録装置及
び記録ヘッドを提供することを目的とする。
本発明の別の目的は、耐久性に優れ、信頼性の高い記録
装置及び記録ヘッドを提供することである。
装置及び記録ヘッドを提供することである。
本発明の他の目的は、製造上の歩留りを向上させ、小型
で廉価な記録装置及び記録ヘッドを提供することである
。
で廉価な記録装置及び記録ヘッドを提供することである
。
本発明の目的は、インクを吐出する為の吐出口を備えた
吐出部と、該吐出部の液体に熱による状態変化を生起さ
せ該吐出口よりインクを吐出する為の熱エネルギーを発
生する電気熱変換体を備えた基体と、該電気熱変換体を
駆動する為の信号を発生する信号発生手段と、を有する
記録装置において、該信号を伝達する為の配線部が、該
基体上に設けられた第１の導電層と、該第１の導電層上
に設けられ無機材料からなる第１の層と該第１の層上に
設けられ有機材料からなる第２の層とを有する層間絶縁
層と、該層間絶縁層上に設けられ該第１の導電層と接続
孔を介して電気的に接続する第２の導電層と、を有する
多層構成であり、該第２の導電層は該接続孔において該
第１の層と接触していることを特徴とする記録装置によ
り達成される。
吐出部と、該吐出部の液体に熱による状態変化を生起さ
せ該吐出口よりインクを吐出する為の熱エネルギーを発
生する電気熱変換体を備えた基体と、該電気熱変換体を
駆動する為の信号を発生する信号発生手段と、を有する
記録装置において、該信号を伝達する為の配線部が、該
基体上に設けられた第１の導電層と、該第１の導電層上
に設けられ無機材料からなる第１の層と該第１の層上に
設けられ有機材料からなる第２の層とを有する層間絶縁
層と、該層間絶縁層上に設けられ該第１の導電層と接続
孔を介して電気的に接続する第２の導電層と、を有する
多層構成であり、該第２の導電層は該接続孔において該
第１の層と接触していることを特徴とする記録装置によ
り達成される。
本発明の目的は、インクを吐出する為の吐出口を備えた
吐出部と、該吐出部の液体に熱による状態変化を生起さ
せ該吐出口よりインクを吐出する為の熱エネルギーを発
生する電気熱変換体を備えた基体と、を有する記録ヘッ
ドにおいて、該電気熱変換体に信号を伝達する為の配線
部が、該基体上に設けられた第１の導電層と、該第１の
導電層上に設けられ無機材料からなる第１の層と該第１
の層上に設けられ有機材料からなる第２の層とを有する
層間絶縁層と、該層間絶縁層上に設けられ該第１の導電
層と接続孔を介して電気的に接続する第２の導電層と、
を有する多層構成であり、該第２の導電層は該接続孔に
おいて該第１の層と接触し−Ｃいることを特徴とする記
録ヘッドにより達成さ４］る。
吐出部と、該吐出部の液体に熱による状態変化を生起さ
せ該吐出口よりインクを吐出する為の熱エネルギーを発
生する電気熱変換体を備えた基体と、を有する記録ヘッ
ドにおいて、該電気熱変換体に信号を伝達する為の配線
部が、該基体上に設けられた第１の導電層と、該第１の
導電層上に設けられ無機材料からなる第１の層と該第１
の層上に設けられ有機材料からなる第２の層とを有する
層間絶縁層と、該層間絶縁層上に設けられ該第１の導電
層と接続孔を介して電気的に接続する第２の導電層と、
を有する多層構成であり、該第２の導電層は該接続孔に
おいて該第１の層と接触し−Ｃいることを特徴とする記
録ヘッドにより達成さ４］る。
（実７＋ｆ：ｉ例）
以ト実施例を挙げて本発明を説明するか、本発明は以１
・の実ｂＮ例に限定さＪすることなく本発明の１−１的
か達成さ、ｔｌｊする構成てあＪｌはＪ：い。
・の実ｂＮ例に限定さＪすることなく本発明の１−１的
か達成さ、ｔｌｊする構成てあＪｌはＪ：い。
本発明の々ｆＩｇｉな実／ｌｉ！ｉ態打は、少なくとも
２つの導電層間の層間絶縁層どして耐インク液性を考１
．％して無機材料からなる第１の絶１イ層と１１機４４
料から／Ｊる第２の絶縁層とを有する層構成を用いた場
合に第２の絶縁層のスルーポールの開口部を第１の絶縁
層のスルーポールの開１１部より少なくとも部を大ぎく
することにより、導電層と直接接触し密６する部分を設
（、−Ｊるものである。こうすることにより外層間の産
着性を、）：１め、配線部の耐久性、信頼性を向上させ
るものである。ここで用いられる第１、第２の導電層を
形成する利料としては八１．ｃｕ、か用いらＪ］、第１
の絶縁層としては５１０２ＳｉＮ、ＳｉＣ，Ｔａ２０５
、八ＩＮ、Ａｌ２Ｏ３、第２の絶縁層としては感光性ポ
リイミド、エポキシ樹脂、アクリル樹脂シリコーン樹脂
等か用いら、ｉする。
２つの導電層間の層間絶縁層どして耐インク液性を考１
．％して無機材料からなる第１の絶１イ層と１１機４４
料から／Ｊる第２の絶縁層とを有する層構成を用いた場
合に第２の絶縁層のスルーポールの開口部を第１の絶縁
層のスルーポールの開１１部より少なくとも部を大ぎく
することにより、導電層と直接接触し密６する部分を設
（、−Ｊるものである。こうすることにより外層間の産
着性を、）：１め、配線部の耐久性、信頼性を向上させ
るものである。ここで用いられる第１、第２の導電層を
形成する利料としては八１．ｃｕ、か用いらＪ］、第１
の絶縁層としては５１０２ＳｉＮ、ＳｉＣ，Ｔａ２０５
、八ＩＮ、Ａｌ２Ｏ３、第２の絶縁層としては感光性ポ
リイミド、エポキシ樹脂、アクリル樹脂シリコーン樹脂
等か用いら、ｉする。
第１図は本発明の一実施例による記録ヘラＩ・の発熱体
基板を示す模式的・Ｖ面図である。
基板を示す模式的・Ｖ面図である。
第２図は第１図のＡ−Ａ′線による模式的断面図である
。そして、第２図の配線のコンタクＩ・部分Ｂを一部拡
大したものか第３図てあり、本発明の特徴点を最も良く
表していることかわかる。
。そして、第２図の配線のコンタクＩ・部分Ｂを一部拡
大したものか第３図てあり、本発明の特徴点を最も良く
表していることかわかる。
まず記録ヘラ）・１５の製造法について説明する。
シリコンの単結晶基板１１１のトに電気熱変換体を構成
するための発熱抵抗層としてＨｆ８２層１０１及びＡρ
層１０２をスパッタリング及び蒸着により成膜し、エツ
チングにＪ：リバターニングして第１の導電層を形成し
た。
するための発熱抵抗層としてＨｆ８２層１０１及びＡρ
層１０２をスパッタリング及び蒸着により成膜し、エツ
チングにＪ：リバターニングして第１の導電層を形成し
た。
次に、電気熱変換体の耐酸化＋’ｌ保護層としてスパッ
タリング法或はＣＶＤ法にＪ：す５ｉ０２層を成膜し、
更に耐キヤビテーシヨン性の保護層としてＴａ層１０４
をスパッタリングにより成服しパターニングした。この
時Ｔａ層１０４は気泡の発生ずる発熱部に設けられてい
ればよい。
タリング法或はＣＶＤ法にＪ：す５ｉ０２層を成膜し、
更に耐キヤビテーシヨン性の保護層としてＴａ層１０４
をスパッタリングにより成服しパターニングした。この
時Ｔａ層１０４は気泡の発生ずる発熱部に設けられてい
ればよい。
そして、耐インク性の保護層として感光性ポリイミド１
０５を塗布しパターニングを行なった。
０５を塗布しパターニングを行なった。
その上に第２の導電層としてＡｎ層＋０７を蒸着により
成膜した後パターニングした。その上に更に感光性ボリ
イミｉ−からｔ２る保護層１０９を塗布した後パターニ
ングした。
成膜した後パターニングした。その上に更に感光性ボリ
イミｉ−からｔ２る保護層１０９を塗布した後パターニ
ングした。
また、大電流を流すための伝導率を上げるためにＣｕを
ｌＯμｍ稈度メツキ加工し、共通電極１１０を形成した
。このＪ：うにして記録ヘッド１５の発熱体ノ、（板を
作成した。
ｌＯμｍ稈度メツキ加工し、共通電極１１０を形成した
。このＪ：うにして記録ヘッド１５の発熱体ノ、（板を
作成した。
ここで第２の導電層（ここでは１０７）の下部に設けら
れた無機保護層としての５ｉｎ２層１０３．１０３′
と有機保護層としての感光性ボリイミｌ”１０５．１０
５′とは第１の導電層１０２との間の層間絶縁層として
の役割を果たしている。
れた無機保護層としての５ｉｎ２層１０３．１０３′
と有機保護層としての感光性ボリイミｌ”１０５．１０
５′とは第１の導電層１０２との間の層間絶縁層として
の役割を果たしている。
その後前述したように共通液室１１２、液路１１３を形
成するための天板１１４を接着剤等によりはりつけて記
録ヘッドとした。
成するための天板１１４を接着剤等によりはりつけて記
録ヘッドとした。
ここて、多層配線のスルーホール部分の構造は第３図に
示す通りである。し、は５ｉ０２層１０３．１０３′の
開口部の一辺の長さてあり、Ｌ２は感光性ポリイミド１
０５，１０５′の開口部の一辺の長さである。ここては
開口部はそれぞれ長方形の形状であり、ここては長い方
の辺をり、、Ｌ２とする。勿論短辺も同様な関係を満た
ずことか望ましい。
示す通りである。し、は５ｉ０２層１０３．１０３′の
開口部の一辺の長さてあり、Ｌ２は感光性ポリイミド１
０５，１０５′の開口部の一辺の長さである。ここては
開口部はそれぞれ長方形の形状であり、ここては長い方
の辺をり、、Ｌ２とする。勿論短辺も同様な関係を満た
ずことか望ましい。
本実施例によれば−に記Ｌ１とＬ２との関係か、Ｌｌ
＜Ｌ２の関係を満足しており、このような関係をとるこ
とにより第２の導電層１０７はその少なくとも一部が感
光性ポリイミド層たけてなく、８１０２層１０３．１０
３′ とも直接接触し密着している。
＜Ｌ２の関係を満足しており、このような関係をとるこ
とにより第２の導電層１０７はその少なくとも一部が感
光性ポリイミド層たけてなく、８１０２層１０３．１０
３′ とも直接接触し密着している。
このような構成をとることにより、熱エネルギーを利用
した記録ヘッドに用いたとしても長期的な耐久性及び吐
出安定性が向上し信頼性が極めて向上する。
した記録ヘッドに用いたとしても長期的な耐久性及び吐
出安定性が向上し信頼性が極めて向上する。
本発明名は更にＬｌとＬ２との関係について検３１シた
。その結果より好ましくはＬ２−Ｌ、を２ミクロン以上
、より好ましくは４ミクロン以十とすることか望ましい
。
。その結果より好ましくはＬ２−Ｌ、を２ミクロン以上
、より好ましくは４ミクロン以十とすることか望ましい
。
更には第２の導電層の段差被覆（ステップカバレッジ）
刊の問題を考慮すると無機絶縁層の厚さを０１〜１０ミ
クロン、より々了ましくは０５〜３ミクロン、有機絶縁
層の厚さを０５〜３ミクロン、より好ましくは１〜５ミ
クロンとすることか望ましい。
刊の問題を考慮すると無機絶縁層の厚さを０１〜１０ミ
クロン、より々了ましくは０５〜３ミクロン、有機絶縁
層の厚さを０５〜３ミクロン、より好ましくは１〜５ミ
クロンとすることか望ましい。
第４図はこのようにして形成された記録ヘラＩ〜の模式
的な外観斜視図であり、第５図に模式的に示すような記
録ヘッド１５は液体噴射記録装置に記録手段として、移
動手段としてのキャリッジ１９に搭載され、記録媒体と
しての記録紙２２の搬送方向（副走査方向）と交差する
方向（主走査方向）に不図示のモーターからの駆動力を
伝達するワイヤによりシャフト２１に沿って走査され記
録を行っていく。
的な外観斜視図であり、第５図に模式的に示すような記
録ヘッド１５は液体噴射記録装置に記録手段として、移
動手段としてのキャリッジ１９に搭載され、記録媒体と
しての記録紙２２の搬送方向（副走査方向）と交差する
方向（主走査方向）に不図示のモーターからの駆動力を
伝達するワイヤによりシャフト２１に沿って走査され記
録を行っていく。
２３はプラテン、２４は紙送りローラーであり、記録紙
２２はプラテン２３に接触しなからローラー２４で搬送
される６ ２５はインクの吐出を良好に保つための吐出
回復手段である。
２２はプラテン２３に接触しなからローラー２４で搬送
される６ ２５はインクの吐出を良好に保つための吐出
回復手段である。
電気熱変換体の発熱部表面に対して、はぼ水平方向に吐
出する記録ヘッド以外にも第６図に示すように発熱部表
面に対して交差する方向に吐出するようなタイプにも使
用可能である。
出する記録ヘッド以外にも第６図に示すように発熱部表
面に対して交差する方向に吐出するようなタイプにも使
用可能である。
これは、ヒータ基板１１に吐出口１６と液路壁１７を合
わせ持ったオリフィスプレート２６をはりつけたもので
あり、１８は記録液体の供給口を示す。
わせ持ったオリフィスプレート２６をはりつけたもので
あり、１８は記録液体の供給口を示す。
以上本発明による記録ヘッドは小型化、高密度化が達成
されるために液体容器を一体的に具え、キャリッジに対
して着脱可能とされた型式の液体噴射記録装置の記録ヘ
ッドとして好適に用いられる。
されるために液体容器を一体的に具え、キャリッジに対
して着脱可能とされた型式の液体噴射記録装置の記録ヘ
ッドとして好適に用いられる。
以上説明したように、多層配線の層間絶縁層に少なくと
も一種の無機材料を用い、スルーホール部構造で第２層
配線か少なくとも、一部無機材料と密着している構造に
することにより、製造プロセス及び製造コストを変化さ
せることなく、信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを提供
することがで５ ６ きる。
も一種の無機材料を用い、スルーホール部構造で第２層
配線か少なくとも、一部無機材料と密着している構造に
することにより、製造プロセス及び製造コストを変化さ
せることなく、信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを提供
することがで５ ６ きる。
第１図は本発明の一実施例による記録ヘッドの発熱体基
板を示す模式的平面図、 第２図は第１図のＡＡ’線による断面図、第３図は第２
図におりる配線のコンタクト部分Ｂの一部拡大図、 第４図は本発明の一実施例による記録ヘッドの模式的な
外観斜視図、 第５図は本発明の一実施例による液体噴射記録装置の模
式図、 第６図は本発明の一実施例による記録ヘッドの模式図、 第７図（ａ）は従来の記録ヘッドを示す模式的平面図、 第７図（ｂ）は第７図（ａ）のＢＢ’線による断面図、 第８図（ａ）は記録ヘッドの基板の模式的平面図、 第８図（ｂ）は第８図（ａ）のｃｃ’線による断面図、 第８図（ｅ）は第８図（ｂ）の一部拡大図である。 特開平３ ２５１４５７ （６）
板を示す模式的平面図、 第２図は第１図のＡＡ’線による断面図、第３図は第２
図におりる配線のコンタクト部分Ｂの一部拡大図、 第４図は本発明の一実施例による記録ヘッドの模式的な
外観斜視図、 第５図は本発明の一実施例による液体噴射記録装置の模
式図、 第６図は本発明の一実施例による記録ヘッドの模式図、 第７図（ａ）は従来の記録ヘッドを示す模式的平面図、 第７図（ｂ）は第７図（ａ）のＢＢ’線による断面図、 第８図（ａ）は記録ヘッドの基板の模式的平面図、 第８図（ｂ）は第８図（ａ）のｃｃ’線による断面図、 第８図（ｅ）は第８図（ｂ）の一部拡大図である。 特開平３ ２５１４５７ （６）
Claims (4)
- （１）インクを吐出する為の吐出口を備えた吐出部と、
該吐出部の液体に熱による状態変化を生起させ該吐出口
よりインクを吐出する為の熱エネルギーを発生する電気
熱変換体を備えた基体と、該電気熱変換体を駆動する為
の信号を発生する信号発生手段と、を有する記録装置に
おいて、 該信号を伝達する為の配線部が、該基体上に設けられた
第１の導電層と、該第１の導電層上に設けられ無機材料
からなる第１の層と該第１の層上に設けられ有機材料か
らなる第２の層とを有する層間絶縁層と、該層間絶縁層
上に設けられ該第１の導電層と接続孔を介して電気的に
接続する第２の導電層と、を有する多層構成であり、該
第２の導電層は該接続孔において該第１の層と接触して
いることを特徴とする記録装置。 - （２）前記接続孔における前記第２の層の開孔が前記第
１の層の開孔より大きいことを特徴とする請求項（１）
に記載の記録装置。 - （３）インクを吐出する為の吐出口を備えた吐出部と、
該吐出部の液体に熱による状態変化を生起させ該吐出口
よりインクを吐出する為の熱エネルギーを発生する電気
熱変換体を備えた基体と、を有する記録ヘッドにおいて
、 該電気熱変換体に信号を伝達する為の配線部が、該基体
上に設けられた第１の導電層と、該第１の導電層上に設
けられ無機材料からなる第１の層と該第１の層上に設け
られ有機材料からなる第２の層とを有する層間絶縁層と
、該層間絶縁層上に設けられ該第１の導電層と接続孔を
介して電気的に接続する第２の導電層と、を有する多層
構成であり、該第２の導電層は該接続孔において該第１
の層と接触していることを特徴とする記録ヘッド。 - （４）前記接続孔における前記第２の層の開孔が前記第
１の層の開孔より大きいことを特徴とする請求項（３）
に記載の記録ヘッド。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2049873A JP2771008B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 記録装置及び記録ヘッド |
| AT91301490T ATE133111T1 (de) | 1990-02-26 | 1991-02-25 | Aufzeichnungsvorrichtung wobei der aufzeichnungskopf mit einem verdrahtungssubstrat versehen ist |
| EP91301490A EP0451939B1 (en) | 1990-02-26 | 1991-02-25 | Recording apparatus with a recording head having a wiring substrate |
| ES91301490T ES2082129T3 (es) | 1990-02-26 | 1991-02-25 | Aparato de impresion con cabezal magnetico que tiene un substrato de cableado. |
| DE69116414T DE69116414T2 (de) | 1990-02-26 | 1991-02-25 | Aufzeichnungsvorrichtung wobei der Aufzeichnungskopf mit einem Verdrahtungssubstrat versehen ist |
| US07/961,035 US5227812A (en) | 1990-02-26 | 1992-10-14 | Liquid jet recording head with bump connector wiring |
| US08/063,683 US5576748A (en) | 1990-02-26 | 1993-05-20 | Recording head with through-hole wiring connection which is disposed within the liquid chamber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2049873A JP2771008B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 記録装置及び記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03251457A true JPH03251457A (ja) | 1991-11-08 |
| JP2771008B2 JP2771008B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=12843170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2049873A Expired - Fee Related JP2771008B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-28 | 記録装置及び記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2771008B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62118446U (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-28 | ||
| JPS6359541A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-15 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | インクジェット・プリントヘッド |
| JPS63121447U (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-05 | ||
| JPS63149536U (ja) * | 1987-03-20 | 1988-10-03 | ||
| JPS6442894A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Multilayered wiring board |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP2049873A patent/JP2771008B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62118446U (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-28 | ||
| JPS6359541A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-15 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | インクジェット・プリントヘッド |
| JPS63121447U (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-05 | ||
| JPS63149536U (ja) * | 1987-03-20 | 1988-10-03 | ||
| JPS6442894A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Multilayered wiring board |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2771008B2 (ja) | 1998-07-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |