JPH03252571A - 基板の検査装置 - Google Patents
基板の検査装置Info
- Publication number
- JPH03252571A JPH03252571A JP2050464A JP5046490A JPH03252571A JP H03252571 A JPH03252571 A JP H03252571A JP 2050464 A JP2050464 A JP 2050464A JP 5046490 A JP5046490 A JP 5046490A JP H03252571 A JPH03252571 A JP H03252571A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- substrate
- inspected
- heads
- moving mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
見豆勿且血
（産業上の利用分野）
本発明は、大型基板、例えば、ＬＣＤ （液晶デイスプ
レー）基板上の各液晶駆動素子の検査を行うための基板
の検査装置に関する。
レー）基板上の各液晶駆動素子の検査を行うための基板
の検査装置に関する。
（従来の技術）
デバイスの側縁に沿って電極が配列されたＩＣチップ、
ＬＣＤ基板、プリント基板のうち例えばＬＣＤ基板の電
気的特性を検査する場合は、基板に形成されたＬＣＤ基
板の駆動回路であるＴＰＴのゲート及びソースとプロー
ブ針との電気的接続を行うため、基板端部に存在するソ
ースリード電極とゲートリード電極にそれぞれ検査用電
極を接触させて検査を実行している。
ＬＣＤ基板、プリント基板のうち例えばＬＣＤ基板の電
気的特性を検査する場合は、基板に形成されたＬＣＤ基
板の駆動回路であるＴＰＴのゲート及びソースとプロー
ブ針との電気的接続を行うため、基板端部に存在するソ
ースリード電極とゲートリード電極にそれぞれ検査用電
極を接触させて検査を実行している。
この種の検査装置として従来より特開昭６１−７０５７
９号、特開昭６２−２０４２９１号公報等で提案されて
いる。
９号、特開昭６２−２０４２９１号公報等で提案されて
いる。
これらの装置は、ＬＣＤ基板を載置する載置台の各辺に
移動可能な３つのプローブヘッドを設け、これらを載置
台上で移動させることにより液晶駆動素子の機能検査を
行うようにしている。
移動可能な３つのプローブヘッドを設け、これらを載置
台上で移動させることにより液晶駆動素子の機能検査を
行うようにしている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記した従来の検査装置によれば、各プ
ローブヘッドの移動範囲が大きく、微少ピッチで形成さ
れた各電極に順次移動によりコンタクトすると、累積位
置誤差が大きくなり、正常な検査に支障が生じ大型の基
板には対応することが困難である等の課題が存在してい
た。
ローブヘッドの移動範囲が大きく、微少ピッチで形成さ
れた各電極に順次移動によりコンタクトすると、累積位
置誤差が大きくなり、正常な検査に支障が生じ大型の基
板には対応することが困難である等の課題が存在してい
た。
本発明は、上記の実情に鑑みなされたもので、大型基板
の検査にも対応することができる検査装置を提供するこ
とを目的としたものである。
の検査にも対応することができる検査装置を提供するこ
とを目的としたものである。
月Ｊ［欠姓栽。
（課題を解決するための手段）
上記の目的を達成するため、本発明は、ステージに設け
られた被検査体の電極列にプローブ針列を接触させて検
査を行なう基板の検査装置において、上記被検査体に設
けられた電極列の第１の方向に沿って移動する如く設け
られた第１の移動機構と、上記電極列の第２の方向に沿
って移動する如く設けられた第２の移動機構とを配設し
、上記第１及び第２の移動機構に夫々設けられた第１及
び第２のプローブ針列とこの第１及び第２のプローブ針
列を予め定められたテストプログラムに基づいて移動さ
せることにより上記被検査体を検査する手段とを具備し
てなる基板の検査装置である。
られた被検査体の電極列にプローブ針列を接触させて検
査を行なう基板の検査装置において、上記被検査体に設
けられた電極列の第１の方向に沿って移動する如く設け
られた第１の移動機構と、上記電極列の第２の方向に沿
って移動する如く設けられた第２の移動機構とを配設し
、上記第１及び第２の移動機構に夫々設けられた第１及
び第２のプローブ針列とこの第１及び第２のプローブ針
列を予め定められたテストプログラムに基づいて移動さ
せることにより上記被検査体を検査する手段とを具備し
てなる基板の検査装置である。
（作 用）
従って、本発明によると、基板内に形成された各ＬＣＤ
の検査を行う場合、先ず、ＬＣＤ基板を設けたステージ
をｘ、ｙ、ｚ方向に移動させてＬＣＤの移動範囲に設定
させ、次いで、ＬＣＤ基板のＸ軸とＹ軸に沿って移動す
る移動機構を移動させると共に、各移動機構に搭載した
一対のプローブヘッドを移動調整させてＬＣＤ内の各電
極へのプローブ針のコンタクトを行うことにより、ＬＣ
Ｄ基板上の各液晶駆動素子の検査をすることができる。
の検査を行う場合、先ず、ＬＣＤ基板を設けたステージ
をｘ、ｙ、ｚ方向に移動させてＬＣＤの移動範囲に設定
させ、次いで、ＬＣＤ基板のＸ軸とＹ軸に沿って移動す
る移動機構を移動させると共に、各移動機構に搭載した
一対のプローブヘッドを移動調整させてＬＣＤ内の各電
極へのプローブ針のコンタクトを行うことにより、ＬＣ
Ｄ基板上の各液晶駆動素子の検査をすることができる。
（実施例）
以下、本発明を大型基板、例えばＬＣＤ基板の検査装置
に適用した一実施例を図面に従って説明する。
に適用した一実施例を図面に従って説明する。
ｘ、ｙ、ｚ、並びにθ移動可能なステージ１上に吸引固
定等の手段により被検査体であるＬＣＤ基板２を載置し
、このステージ１は、その載置面の直交２軸方向である
Ｘ、Ｙ軸、このＸ、Ｙ軸に直交する高さの方向の２軸、
更に、このＺ軸の回りの回転方向であるθ方向に夫々移
動できるように構成されている。
定等の手段により被検査体であるＬＣＤ基板２を載置し
、このステージ１は、その載置面の直交２軸方向である
Ｘ、Ｙ軸、このＸ、Ｙ軸に直交する高さの方向の２軸、
更に、このＺ軸の回りの回転方向であるθ方向に夫々移
動できるように構成されている。
一方、プローブヘッドを有する移動機構の構成は次のと
おりである。
おりである。
基板２の一辺であるＸ軸方向に移動する移動機構３は、
ステージ１の対向する両側のＸ軸方向にガイドレール４
を配設し、このガイドレール４に案内されて移動するＸ
ブリッジ５を設け、このＸブリッジ５は、モータ６の駆
動源で駆動するスクリューボルト８によりＸ軸方向に移
動可能に設けられている。更に、Ｘブリッジ５には、複
数本のプローブ針８ａ、８ｂを有する一対のプローブヘ
ッド９ａ、９ｂを対向して搭載している。このプローブ
ヘッド９ａ、９ｂは、Ｘ軸と直交する方向に移動可能で
、Ｘブリッジ５の案内部材１０．１０に沿って移動でき
るように構成され、一対のプローブヘッド９ａ、９ｂの
プローブ針８ａ、８ｂはＸブリッジ５の開口部１１より
下方の基板２上に臨むように設けられ、このプローブ針
８ａ、８ｂは基板２のソースリード電極にコンタクする
ように設けられている０例えば、基板２の一辺上のソー
スリード電極の数を２４０とした場合、走査ライン用の
プローブヘッド９ａ、９ｂの電極数は、６０本であるす
ると、走査ライン用のプローブヘッド９ａ、９ｂは、ソ
ースリード電極に一度に６０箇所コンタクト可能であり
、基板２の一辺の長さ分の全ソースリード電極にコンタ
クトするためには、プローブヘッド９ａ、９ｂを搭載し
た移動機構３をＸ軸方向に移動することによって検査す
ることができる。 一方、基板２の他辺であるＹ軸方向
に移動する移動機構１２は、上記した移動機構３の下方
に位置して移動するように設けられており、具体的には
、ステージ１の両側のＹ軸方向にガイドレール１３を配
設し、このガイドレール１３に案内されて移動するＹブ
リッジ１４を設け、このＹブリッジ１４は、モータ１５
の駆動源で駆動するスクリューボルト１６によりＹ軸方
向に移動可能に設けられ、更に、Ｙブリッジ１４には、
複数本のプローブ針１７ａ、１７ｂを有する一対のプロ
ーブヘッド１８ａ、１８ｂを対向して搭載している。こ
のプローブヘッド１８ａ、１８ｂは、Ｙ軸と直交する方
向に移動可能で、Ｙブリッジ１４の案内部材１９に沿っ
て移動できるように構成され、一対のプローブヘッド１
８ａ、１８ｂのプローブ針１７ａ、１７ｂはＹブリッジ
１４の開口部２ｏより臨むように設けられ、このプロー
ブ針１７ａ、１７ｂは基板２のソースリード電極にコン
タクとするように設けられている。
ステージ１の対向する両側のＸ軸方向にガイドレール４
を配設し、このガイドレール４に案内されて移動するＸ
ブリッジ５を設け、このＸブリッジ５は、モータ６の駆
動源で駆動するスクリューボルト８によりＸ軸方向に移
動可能に設けられている。更に、Ｘブリッジ５には、複
数本のプローブ針８ａ、８ｂを有する一対のプローブヘ
ッド９ａ、９ｂを対向して搭載している。このプローブ
ヘッド９ａ、９ｂは、Ｘ軸と直交する方向に移動可能で
、Ｘブリッジ５の案内部材１０．１０に沿って移動でき
るように構成され、一対のプローブヘッド９ａ、９ｂの
プローブ針８ａ、８ｂはＸブリッジ５の開口部１１より
下方の基板２上に臨むように設けられ、このプローブ針
８ａ、８ｂは基板２のソースリード電極にコンタクする
ように設けられている０例えば、基板２の一辺上のソー
スリード電極の数を２４０とした場合、走査ライン用の
プローブヘッド９ａ、９ｂの電極数は、６０本であるす
ると、走査ライン用のプローブヘッド９ａ、９ｂは、ソ
ースリード電極に一度に６０箇所コンタクト可能であり
、基板２の一辺の長さ分の全ソースリード電極にコンタ
クトするためには、プローブヘッド９ａ、９ｂを搭載し
た移動機構３をＸ軸方向に移動することによって検査す
ることができる。 一方、基板２の他辺であるＹ軸方向
に移動する移動機構１２は、上記した移動機構３の下方
に位置して移動するように設けられており、具体的には
、ステージ１の両側のＹ軸方向にガイドレール１３を配
設し、このガイドレール１３に案内されて移動するＹブ
リッジ１４を設け、このＹブリッジ１４は、モータ１５
の駆動源で駆動するスクリューボルト１６によりＹ軸方
向に移動可能に設けられ、更に、Ｙブリッジ１４には、
複数本のプローブ針１７ａ、１７ｂを有する一対のプロ
ーブヘッド１８ａ、１８ｂを対向して搭載している。こ
のプローブヘッド１８ａ、１８ｂは、Ｙ軸と直交する方
向に移動可能で、Ｙブリッジ１４の案内部材１９に沿っ
て移動できるように構成され、一対のプローブヘッド１
８ａ、１８ｂのプローブ針１７ａ、１７ｂはＹブリッジ
１４の開口部２ｏより臨むように設けられ、このプロー
ブ針１７ａ、１７ｂは基板２のソースリード電極にコン
タクとするように設けられている。
上記のＸ軸と同様に例えば、基板２の一辺上のソースリ
ード電極の数を２４０とした場合、信号ライン用のプロ
ーブヘッド１８ａ、１８ｂの電極数は、６０本であると
、走査ライン用のプローブヘッド１８ａ、１８ｂは、ソ
ースリード電極に一度に６０箇所コンタクト可能であり
、基板２の一辺の長さ分の全ソースリード電極にコンタ
クトするためには、プローブヘッド１８ａ、１８ｂｔｉ
−Ｙ軸方向に移動することによって検査することができ
る。
ード電極の数を２４０とした場合、信号ライン用のプロ
ーブヘッド１８ａ、１８ｂの電極数は、６０本であると
、走査ライン用のプローブヘッド１８ａ、１８ｂは、ソ
ースリード電極に一度に６０箇所コンタクト可能であり
、基板２の一辺の長さ分の全ソースリード電極にコンタ
クトするためには、プローブヘッド１８ａ、１８ｂｔｉ
−Ｙ軸方向に移動することによって検査することができ
る。
上記した移動機構３と移動機構１２は、予め定められた
テストプログラムにより移動させて各プローブ針列でＬ
ＣＤ基板２を検査するようにしている。
テストプログラムにより移動させて各プローブ針列でＬ
ＣＤ基板２を検査するようにしている。
なお、各プローブヘッド９ａ、９ｂ、１８ａ、１８ｂは
それぞれ各リード電極との接触、非接触が独立して行え
るように、ＵＰ／ＤＯＵＷＮ機能を設けている。
それぞれ各リード電極との接触、非接触が独立して行え
るように、ＵＰ／ＤＯＵＷＮ機能を設けている。
次に、上記の実施例を作用を説明する。
基板２を載置したステージ１をＸ、Ｙ方向に移動させ、
移動機構３．１２の移動範囲に設定するように位置決め
され、この状態でステージ１をＺ方向に移動し、更に移
動機構に設けたプローブヘッドを移動調整することによ
り、基板２のインチサイズがロット毎に変わった場合で
も、容易に対応できるので、プローブヘッドのプローブ
針と基板２のゲートリード電極およびソースリード電極
とはコンタクトできる。
移動機構３．１２の移動範囲に設定するように位置決め
され、この状態でステージ１をＺ方向に移動し、更に移
動機構に設けたプローブヘッドを移動調整することによ
り、基板２のインチサイズがロット毎に変わった場合で
も、容易に対応できるので、プローブヘッドのプローブ
針と基板２のゲートリード電極およびソースリード電極
とはコンタクトできる。
走査ライン用プローブヘッド９ａ、９ｂにより、テスタ
からの測定信号を供給し、各ソースラインの断線の有無
、隣接するソースライン間の短絡の有無を検査する。一
方、信号ライン用プローブヘッド１８ａ、１８ｂにより
、テスタからの測定信号を供給し、各ソースラインの断
線の有無、隣接するソースライン間の短絡の有無を検査
する。更に、走査ライン用プローブヘッド９ａ及び信号
ライン用プローブヘッド１８ａの使用によりテスタから
の選択的な通電によりゲートライン、ソースラインの交
点における絶縁抵抗の値の検査を実行することができる
。
からの測定信号を供給し、各ソースラインの断線の有無
、隣接するソースライン間の短絡の有無を検査する。一
方、信号ライン用プローブヘッド１８ａ、１８ｂにより
、テスタからの測定信号を供給し、各ソースラインの断
線の有無、隣接するソースライン間の短絡の有無を検査
する。更に、走査ライン用プローブヘッド９ａ及び信号
ライン用プローブヘッド１８ａの使用によりテスタから
の選択的な通電によりゲートライン、ソースラインの交
点における絶縁抵抗の値の検査を実行することができる
。
また、基板２のインチサイズが変わった場合でも、即座
に移動機構と一対のプローブヘッドを移動するのみで最
小限のスペースで対応でき、スループットにも貢献する
ことができる。
に移動機構と一対のプローブヘッドを移動するのみで最
小限のスペースで対応でき、スループットにも貢献する
ことができる。
なお、上記実施例ではＬＣＤ基板の検査について説明し
たが、基板が大型の被検査体であれば他の基板にも適用
が可能であり、例えばプリンターのサーマルヘッドの検
査、セラミック基板などに適用できる。
たが、基板が大型の被検査体であれば他の基板にも適用
が可能であり、例えばプリンターのサーマルヘッドの検
査、セラミック基板などに適用できる。
充１戸針勿逮−
以上のことから明らかなように２本発明によると次のよ
うな優れた効果がある。
うな優れた効果がある。
即ち、ＬＣＤのＸ軸とＹ軸に沿って移動する移動機構を
配設し、各移動機構には一対のプローブヘッドを搭載し
、このプローブヘッドは、移動機構と直交する方向にそ
れぞれ移動調整自在に設け、上記の基板を載置したステ
ージも移動調整できるようにしたので、従来の装置に比
較して省スペース間において大型基板の検査に容易に対
応することができると共に、低コストでハイスループツ
トを可能とした検査装置を提供することができる。
配設し、各移動機構には一対のプローブヘッドを搭載し
、このプローブヘッドは、移動機構と直交する方向にそ
れぞれ移動調整自在に設け、上記の基板を載置したステ
ージも移動調整できるようにしたので、従来の装置に比
較して省スペース間において大型基板の検査に容易に対
応することができると共に、低コストでハイスループツ
トを可能とした検査装置を提供することができる。
第１図は本発明における検査装置の一実施例を示した平
面図、第２図は同上の側面図である。 １・・・ステージ ２・・・基板 ３．１２・・・移動機構 ９ａ、９ｂ・・・プローブヘッド １８ａ、１８ｂ・・・プローブヘッド
面図、第２図は同上の側面図である。 １・・・ステージ ２・・・基板 ３．１２・・・移動機構 ９ａ、９ｂ・・・プローブヘッド １８ａ、１８ｂ・・・プローブヘッド
Claims (1)
- （１）ステージに設けられた被検査体の電極列にプロー
ブ針列を接触させて検査を行なう基板の検査装置におい
て、上記被検査体に設けられた電極列の第１の方向に沿
って移動する如く設けられた第１の移動機構と、上記電
極列の第２の方向に沿って移動する如く設けられた第２
の移動機構とを配設し、上記第１及び第２の移動機構に
夫々設けられた第１及び第２のプローブ針列とこの第１
及び第２のプローブ針列を予め定められたテストプログ
ラムに基づいて移動させることにより上記被検査体を検
査する手段とを具備してなることを特徴とする基板の検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050464A JPH03252571A (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050464A JPH03252571A (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03252571A true JPH03252571A (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=12859602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2050464A Pending JPH03252571A (ja) | 1990-03-01 | 1990-03-01 | 基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03252571A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020091691A (ko) * | 2001-05-31 | 2002-12-06 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 액정표시장치 테스트 프레임 |
| JP2014081234A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Micronics Japan Co Ltd | 検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143983A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
-
1990
- 1990-03-01 JP JP2050464A patent/JPH03252571A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143983A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020091691A (ko) * | 2001-05-31 | 2002-12-06 | 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 | 액정표시장치 테스트 프레임 |
| JP2014081234A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Micronics Japan Co Ltd | 検査装置 |
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