JPH01242972A - パターンの短絡、断線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 この発明は、電子機器の回路配線で、多数平行する微細
な導電パターンの検査に関するもので、例えばＬＣＤパ
ネル用ガラスなどのパターンの短絡及び断線検査装置に
関するものである。

〔発明の概要〕

この発明はＬＣＤパネル用ガラスや、ＬＳＩのアウター
リードの引出しパターンなどのパターン短絡及び断線検
査装置において、パターン接続端子を交換することによ
り同一回路で多様なパターンに対応でき、しがも信頼性
よく断ｖＡ検査ができるようにしたもので詳しくは、平
行に複数列の導電パターンの短絡と断線を検査するに際
し、一方の開放端をショートするショートバーを、他の
開放端部に３端子よりなる測定端子ユニットを設け、シ
ョートバーをショート状態で断線を検知し、開放状態で
短絡を検知するもので、これらは測定端子ユニットの順
次駆動の制御により行うものである。

〔従来の技術〕

従来、例えば第３図に示すような平行した複数の導電パ
ターン２の基板の検査には、第４図に概略を示すように
パターンの短絡の検査用に（Ａ。

Ｂ）の２本の測定端子を、また断線検査用には、前記２
本の内の１本（Ａ）を兼用にした３本（Ａ。

Ｃ，Ｄ）の合計４本の測定端子を可動取付バー５に配置
し、駆動モータ３と駆動軸４によって可動取付バー５を
対象導電パターンの上に掃引させ触針して検査する方式
が用いられている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来のパターン検査装置では、近年微細化の進
展に対してパターン幅が狭いものや、パターンが長くな
った場合不具合が生しる、つまり、断線検査に際し、パ
ターンが長くなったとき、可動取付バーの先端のＤ点の
位置出しが困難となり機械的な位置合わせか、むずかし
くなり更に可動取付バー上の振動などが悪影響を与え、
極端な場合には測定ができなくなることがある。

さらに、第３図のように被測定物がストレートな導電パ
ターンと違い、第１図に示すようなストレートでない導
電パターン２の場合は、断線検査用測定端子どうしＡ点
とＤ点の順次測定のための移動距離が異なる為、同一の
可動取付バー５に配置されている構造上、測定が不可能
となる。

そこで、この発明は従来のこのような欠点を解決するた
め被測定パターンの長さや、パターン幅、及びストレー
トでない導電パターンにも対応できるパターン測定装置
を得ることを、目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記、問題点を解決するためにこの発明は、被測定パタ
ーンの一方の開放端を相互にショーテイングするための
ショートバーと、およびこれを解放する機構を設けるこ
とにより、一つの装置でパターンの短絡検査および断線
検査を行えるようにしたものである。

Ｃ作用〕 上記のように構成されたパターン検査装置にすると、短
絡検査ではショートバーを被測定物から離脱して導電パ
ターンの一方の端部を開放させ、掃引方向に隣りあった
２本の測定端子の、導通検査で判定することができる。

又、断線検査ではショートバーを被測定物に接触させて
全開放端をショートし、一方測定端子ユニットにあって
は、掃引方向に直角に隣りあった２木の測定端子（Ａと
Ｃ）の閉状態を感知して測定タイミングを得る。このタ
イミングに合わせて、掃引方向に隣りあった２本の測定
端子（ＡとＢ）の導通検査をすることにより、判定する
ことができるのである。

〔実施例〕

以下に、この発明の実施例を液晶表示（ＬＣＤ）パネル
のガラスの導電パターンの検査を引用して説明する。

第１図は被測定物であるＬＣＤパネルのガラス面の導電
パターン２を示す、又、Ａ、Ｂ、Ｃはそれぞれ第１．第
２．第３の測定端子であり、図示はその触針点を示すも
ので、それぞれ矢示の方向に順次移動する。

ここで、ガラス１に生成された複数の導電パターン２の
中で、Ｐ４のパターンには断線不良Ｐ４’があり、Ｐ５
〜Ｐ６の点のパターンには短絡不良Ｐ５’があるものと
する。

次に第２図は本発明のブロック図を示すもので、図示の
Ａ、Ｂ、Ｃは第１図触針Ａ、Ｂ、Ｃと同一であり、この
３本の測定端子よりなる測定端子ユニット６を取付けた
可動取付バー５は、駆動軸４上を駆動モータ３により紙
面の左右の方向に移動する。測定端子ユニット６からの
電気信号は、ＣＰＵを内蔵する制御回路７に送られ、内
蔵する測定回路で判定される。

又、前記ＣＰＵは駆動モータ３　（例えばパルスモータ
）の現在位置も制御している為、測定回路からの情報を
もとに不良が発生した位置座標を認識することができる
。

次に動作の説明をすると、まず短絡検査を行うにはンヨ
ートバー９を開閉させるアクチエエータ８により、ショ
ートバー９を被測定パターン２から離脱させ全てを開放
端とする。

そして可動取付バー５に取付けられた測定端子ユニット
６を、被測定の導電パターン２に接触させ、駆動モータ
３により右方向に掃引させる。

そこで、掃引方向に隣り合った２本の測定端子Ａ、　　
Ｂの間のＲ通検査により例えば図示の２５パターンにＡ
点、Ｐ６パターンに８点に到達すれば、短絡部Ｐ５’を
検知しその位置座標をＣＰＵが記憶しておく。

次に断線検査では、アクチュエータ８により、ショート
バー９を測定端子ユニット６の反対の側の一方の開放端
の全てに接触させる。先述の短絡検査で右端まで掃引さ
れた可動取付バー５は、今度は逆に駆動モータ３により
、左方向に掃引される。

掃引方向に直角に隣り合った２本の測定端子Ａ。

Ｃの閉信号により、測定すべき位置とタイミングを得て
、掃引方向に隣り合った２本の測定端子Ａ。

Ｂによる導通検査により、不良の有無を判定する。

即ち、測定端子Ａ、Ｃが被測定パターンＰ４’に乗って
いる瞬間をＡ、Ｃ間の閉信号で認識し、そのタイミング
における測定端子Ａ、Ｂ間の導通検査で、断線部Ｐ４’
により導通の無いことが刊断できるのである。

この発明により、第３図のＤ測定点に起因する位置合わ
せのむずかしさや、検査の不安定さ、特に被測定パター
ンの形状により測定ができない、などの欠点も解消され
、測定端子数も削減することができる。

また、３本の測定端子からなる測定端子ユニ。

トロと、ショートパー９を複数個、取付けることにより
、複数枚の被測定ガラスを同時に測定することもできる
し、異なるピッチのパターンの基板にも容易に対応でき
る。

さらに、制御回路７に内蔵のｃＰＵに記憶されている位
置座標情輯をプリントアウトすることや可動取付バーに
、マーカ及びマーカ位置移動用モータを取付けることに
より、直接被測定パターン２の不良箇所にマーキングす
ることは、容易に実現できる。

〔発明の効果〕

この発明は、以上説明したように被測定の導体パターン
の一端に、ショートバーを設け、それを開閉することに
より簡単な構成で、パターンの短絡、及び断線の検査を
被測定パターンの形状に影響されずに測定でき、また測
定の信顛性向上や、操作の容易性にも効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に適合する被測定物のパターン例１、第
２図は本発明にかかるパターン測定装置のブロック図、
第３図は一般的な被測定物のパターン例２、第４図は従
来のパターン測定装置例のブロック図である。 １・・・被測定物 ２・・・被測定導電パターン ３・・・駆動モータ ４・・・駆動軸 ５・・・可動取付はバー ６・・・測定端子ユニット ７・・・制御回路 ８・・・アクチュエータ ９・・・ショートバー 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 平行に複数列の導電パターンの短絡と断線を検査する装
   置において、前記導電パターンの一方の開放端をショー
   トするショートバーと、他の開放端の近傍に、各々隣接
   するパターンに接触する第１と第２の測定端子と、この
   いずれかの端子と同じパターンに接触する第３の測定端
   子を設け、第１、第２、第３の端子は、一体的に測定端
   子ユニットとして前記導電パターンの延長方向に直行し
   て移動し、前記ショートバーは前記一方の開放端をショ
   ートと開放を選択し、ショート状態で前記導電パターン
   の断線を検知し開放状態で前記導電パターンの短絡を検
   知することを特徴とするパターンの短絡、断線の検査装
   置。