JPH0325421Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325421Y2 JPH0325421Y2 JP1986036641U JP3664186U JPH0325421Y2 JP H0325421 Y2 JPH0325421 Y2 JP H0325421Y2 JP 1986036641 U JP1986036641 U JP 1986036641U JP 3664186 U JP3664186 U JP 3664186U JP H0325421 Y2 JPH0325421 Y2 JP H0325421Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- lever
- force
- support member
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
Landscapes
- Impact Printers (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この考案は例えばエンジンに燃料を間欠的に噴
射供給するインジエクタ等において、その噴射孔
を開閉する弁子の移動等を行わせるために特に好
適に用いることのできる圧電式アクチユエータに
関するものである。
射供給するインジエクタ等において、その噴射孔
を開閉する弁子の移動等を行わせるために特に好
適に用いることのできる圧電式アクチユエータに
関するものである。
[従来の技術]
圧電素子、すなわちピエゾ素子は電圧が印加さ
れると変形する(すなわち歪む)特性を有してい
る。圧電素子の場合、この変形量と発生する力と
の積が比較的大きく、かつ応答性が非常に良いた
め、各方面で、例えば前記インジエクタにおいて
弁個を動かすための高応答アクチユエータとして
使用されている。しかしながら、圧電素子の変形
量そのものは小さいので、これを積層してもなお
被作動体(例えば弁子)を充分なストロークで変
位させることができない。
れると変形する(すなわち歪む)特性を有してい
る。圧電素子の場合、この変形量と発生する力と
の積が比較的大きく、かつ応答性が非常に良いた
め、各方面で、例えば前記インジエクタにおいて
弁個を動かすための高応答アクチユエータとして
使用されている。しかしながら、圧電素子の変形
量そのものは小さいので、これを積層してもなお
被作動体(例えば弁子)を充分なストロークで変
位させることができない。
このため変位増幅装置と組み合わせてアクチユ
エータを構成する技術の開発が進められている。
こような圧電式アクチユエータの従来技術とし
て、例えば、特開昭60−81568号公報に開示され
たものがある。これは第3図に示すように、横方
向(図中上下方向)には容易に撓むが、縦方向
(長さ方向で図示左右方向)には伸びない帯状弾
性体等からなる引張部材1を水平に延ばした状態
でレバー・アーム2の作用点部2cに結合してあ
る。レバー・アーム2の支点部2bは、端部にヒ
ンジ部3aを有する支持部材3を介して基板4の
端部4aに連結されている。支持部材3は、長手
方向にはほとんど伸縮しない材質の薄板からな
り、さらに、この支持部材3とレバー・アーム2
の支点部2bとの接続箇所は回動が可能なヒンジ
部3aとなつている。この従来例では支持部材3
はレバー・アーム2及び基板4と一体構成になつ
ている。5は積層圧電セラミツクスで、基部5a
は基板4に固定され、自由端部5bは連結部材6
を介してレバー・アーム2の力点部2aに接合さ
れている。連結部材6も支持部材3と同様の薄板
からなる。積層圧電セラミツクス5に電圧を印加
すると、自由端部5bが図示下方に変位してレバ
ー・アーム2を支持部材3のヒンジ部3aの回り
に回動させ、作用点部2cが引張部材1を両側か
ら挟み込むように変位する。これにより引張部材
1の中央部は図中上方向に大きく変位して、積層
圧電セラミツクスの変位量が増幅される。これに
より被作動体7、例えば弁子とか印字用のピンが
基板4に対して積層圧電セラミツクスの変形量以
上変位させられる。
エータを構成する技術の開発が進められている。
こような圧電式アクチユエータの従来技術とし
て、例えば、特開昭60−81568号公報に開示され
たものがある。これは第3図に示すように、横方
向(図中上下方向)には容易に撓むが、縦方向
(長さ方向で図示左右方向)には伸びない帯状弾
性体等からなる引張部材1を水平に延ばした状態
でレバー・アーム2の作用点部2cに結合してあ
る。レバー・アーム2の支点部2bは、端部にヒ
ンジ部3aを有する支持部材3を介して基板4の
端部4aに連結されている。支持部材3は、長手
方向にはほとんど伸縮しない材質の薄板からな
り、さらに、この支持部材3とレバー・アーム2
の支点部2bとの接続箇所は回動が可能なヒンジ
部3aとなつている。この従来例では支持部材3
はレバー・アーム2及び基板4と一体構成になつ
ている。5は積層圧電セラミツクスで、基部5a
は基板4に固定され、自由端部5bは連結部材6
を介してレバー・アーム2の力点部2aに接合さ
れている。連結部材6も支持部材3と同様の薄板
からなる。積層圧電セラミツクス5に電圧を印加
すると、自由端部5bが図示下方に変位してレバ
ー・アーム2を支持部材3のヒンジ部3aの回り
に回動させ、作用点部2cが引張部材1を両側か
ら挟み込むように変位する。これにより引張部材
1の中央部は図中上方向に大きく変位して、積層
圧電セラミツクスの変位量が増幅される。これに
より被作動体7、例えば弁子とか印字用のピンが
基板4に対して積層圧電セラミツクスの変形量以
上変位させられる。
[考案が解決しようとする問題点]
上記従来技術において、第3図のレバー・アー
ム2の力点部2a、作用点部2cに作用する力
は、ベクトルで表す矢印A′,C′のようになる。
これらの力A′,C′の合力は、第4図に示すよう
にベクトルB′で表される。この合力B′が支持部
材3及びレバー・アーム2の支点部2bに作用す
る。しかしながら、基板4の端部4aに固定され
ている板状の支持部材3の軸方向は、ベクトル
B′の方向と平行ではなく、支持部材3には引張
り力のほかに曲げ力が作用する。従つて圧電セラ
ミツクス5に電圧が印加され、力点部2aに力
A′が作用すると、支持部材3は第5図の点線に
示すように曲がつてしまい、レバー・アーム2の
支点部2bがズレることによつてレバー・アーム
自身も点線に示すように変位して作用点部2cの
間隔が広くなり、前記引張部材1を両側から挟み
込む強度が低下する。このため、圧電セラミツク
ス5の変位を充分に増幅できなくなるという問題
があつた。
ム2の力点部2a、作用点部2cに作用する力
は、ベクトルで表す矢印A′,C′のようになる。
これらの力A′,C′の合力は、第4図に示すよう
にベクトルB′で表される。この合力B′が支持部
材3及びレバー・アーム2の支点部2bに作用す
る。しかしながら、基板4の端部4aに固定され
ている板状の支持部材3の軸方向は、ベクトル
B′の方向と平行ではなく、支持部材3には引張
り力のほかに曲げ力が作用する。従つて圧電セラ
ミツクス5に電圧が印加され、力点部2aに力
A′が作用すると、支持部材3は第5図の点線に
示すように曲がつてしまい、レバー・アーム2の
支点部2bがズレることによつてレバー・アーム
自身も点線に示すように変位して作用点部2cの
間隔が広くなり、前記引張部材1を両側から挟み
込む強度が低下する。このため、圧電セラミツク
ス5の変位を充分に増幅できなくなるという問題
があつた。
この考案は、レバー・アーム2の支点部2bと
基板4の端部4aとを連結する支持部材3に曲げ
力が作用せず、完全な増幅機能を発揮できる圧電
アクチユエータの提供を目的とする。
基板4の端部4aとを連結する支持部材3に曲げ
力が作用せず、完全な増幅機能を発揮できる圧電
アクチユエータの提供を目的とする。
[問題点を解決するための手段]
上記問題は、基板に対して被作動体を圧電素子
の変形量以上変位させる圧電式アクチユエータで
あり、 一端が該基板に固定され、電圧が印加されると
伸長する圧電素子と、 該圧電素子の他端に当接する接続部材と、 該圧電素子を挟んで対向する一対のレバー部材
と、 該レバー部材間に張り渡され、その中央部が該
被作動体に接続される引張部材とを有し、 該レバー部材は該圧電素子側の端部において該
接続部材に接続され、かつ該レバー部材と該接続
部材の接続点(力点部)と該レバー部材と該引張
部材の接続点(作用点部)の中間部(支点部)に
おいて支持部材を介して該基板に接続され、さら
に該支持部材の方向が前記圧電素子が伸長した状
態で前記接続部材から力点部に作用する力と前記
引張部材から作用点部に作用する力の合力の方向
に一致することを特徴とする圧電式アクチユエー
タによつて解決される。
の変形量以上変位させる圧電式アクチユエータで
あり、 一端が該基板に固定され、電圧が印加されると
伸長する圧電素子と、 該圧電素子の他端に当接する接続部材と、 該圧電素子を挟んで対向する一対のレバー部材
と、 該レバー部材間に張り渡され、その中央部が該
被作動体に接続される引張部材とを有し、 該レバー部材は該圧電素子側の端部において該
接続部材に接続され、かつ該レバー部材と該接続
部材の接続点(力点部)と該レバー部材と該引張
部材の接続点(作用点部)の中間部(支点部)に
おいて支持部材を介して該基板に接続され、さら
に該支持部材の方向が前記圧電素子が伸長した状
態で前記接続部材から力点部に作用する力と前記
引張部材から作用点部に作用する力の合力の方向
に一致することを特徴とする圧電式アクチユエー
タによつて解決される。
[作用]
本考案に係る圧電式アクチユエータによると、
圧電素子に電圧が印加されて伸長することにより
接続部材は基板から遠ざけられる。ここでレバー
部材は圧電素子側の端部で接続部材に接続されて
いるために、基板に対して支持部材を介して接続
されている支点部を中心として外側に揺動し、一
対のレバーの作用点部間の距離が拡大する。これ
により引張部材は引張られその中央部は大きく変
位する。そのため、この引張部材の中央部に被作
動体(例えば弁子や印字ピン)を接続しておく
と、この被作動体は大きく変位する。
圧電素子に電圧が印加されて伸長することにより
接続部材は基板から遠ざけられる。ここでレバー
部材は圧電素子側の端部で接続部材に接続されて
いるために、基板に対して支持部材を介して接続
されている支点部を中心として外側に揺動し、一
対のレバーの作用点部間の距離が拡大する。これ
により引張部材は引張られその中央部は大きく変
位する。そのため、この引張部材の中央部に被作
動体(例えば弁子や印字ピン)を接続しておく
と、この被作動体は大きく変位する。
ここで、支持部材はレバー部材の力点部と作用
点部にそれぞれ作用する力の合力の方向に沿つた
方向を指向しているため、支持部材自体は撓まな
い。即ち、支点部は移動せず、レバー部材はこの
動かない支点部のまわりに揺動することになる。
これにより、変位拡大作用は最大限に発揮され、
増幅倍率を高く保持することができる。
点部にそれぞれ作用する力の合力の方向に沿つた
方向を指向しているため、支持部材自体は撓まな
い。即ち、支点部は移動せず、レバー部材はこの
動かない支点部のまわりに揺動することになる。
これにより、変位拡大作用は最大限に発揮され、
増幅倍率を高く保持することができる。
[実施例]
以下、図面に基づいて、この考案の一実施例を
説明する。この実施例に係る圧電アクチユエータ
は圧電素子として積層された圧電セラミツクス1
6を用いている。
説明する。この実施例に係る圧電アクチユエータ
は圧電素子として積層された圧電セラミツクス1
6を用いている。
第1図に示すように、基板11の両側に1対の
レバー部材12が積層圧電アクチユエータ16を
挟んで対向するように配置されている。基板11
と1対のレバー部材12はそれぞれ支持部材13
によつて接続され、これらは全部一体形成されて
いる。図中、12aはレバー部材12の力点部、
12bは同じく支点部、12cは同じく作用点部
である。左右対称に位置する1対のレバー部材の
間には、接続部材14が配置され、その両端部は
一体成形されたヒンジ部15を介してレバー部材
の力点部12aにそれぞれ接続されている。基板
11と接続部材14の間には空間が設けられ、積
層圧電セラミツクス16が嵌合されている。17
は引張部材で、中央部17aが撓ませた状態で、
両端17bをレバー部材12の両作用点部12c
に結合されている。引張部材17は、細長い弾性
体からなり、この実施例では薄い鋼板を用いてい
る。この引張部材17の中央部17aには第1図
の仮想線で示す弁子17cが接続されて用いられ
る。
レバー部材12が積層圧電アクチユエータ16を
挟んで対向するように配置されている。基板11
と1対のレバー部材12はそれぞれ支持部材13
によつて接続され、これらは全部一体形成されて
いる。図中、12aはレバー部材12の力点部、
12bは同じく支点部、12cは同じく作用点部
である。左右対称に位置する1対のレバー部材の
間には、接続部材14が配置され、その両端部は
一体成形されたヒンジ部15を介してレバー部材
の力点部12aにそれぞれ接続されている。基板
11と接続部材14の間には空間が設けられ、積
層圧電セラミツクス16が嵌合されている。17
は引張部材で、中央部17aが撓ませた状態で、
両端17bをレバー部材12の両作用点部12c
に結合されている。引張部材17は、細長い弾性
体からなり、この実施例では薄い鋼板を用いてい
る。この引張部材17の中央部17aには第1図
の仮想線で示す弁子17cが接続されて用いられ
る。
支持部材13は、長手方向にはほとんど伸縮し
ない材質の薄板からなり、レバー部材12の支点
部12bとこの支持部材13の接続部は回動可能
なヒンジ部13aとなつている。この実施例では
支持部材13は基板11及びレバー部材12と一
体成形になつている。ここで、この考案による支
持部材13の取付けについて説明する。すなわち
積層圧電セラミツクス16に電圧が印加される
と、積層圧電セラミツクス16の自由端部16a
が図示上方に変位し、レバー部材12は支点部1
2bを中心に外側へ揺動し、引張部材17はレバ
ー部材12の作用点部12cに両側から引つ張ら
れて水平となる。このときレバー部材12の力点
部12a、作用点部12cに働く力は、ベクトル
で表すとそれぞれ矢印A,Cのようになる。これ
らの力A,Cの合力は、第2図に示すようにベク
トルBで表され、この合力Bが支点部12b及び
支持部材13に作用する。支持部材13の軸方向
は、合力Bの曲げ成分が作用しないように、ベク
トルBの方向とほぼ平行に取付けられている。
ない材質の薄板からなり、レバー部材12の支点
部12bとこの支持部材13の接続部は回動可能
なヒンジ部13aとなつている。この実施例では
支持部材13は基板11及びレバー部材12と一
体成形になつている。ここで、この考案による支
持部材13の取付けについて説明する。すなわち
積層圧電セラミツクス16に電圧が印加される
と、積層圧電セラミツクス16の自由端部16a
が図示上方に変位し、レバー部材12は支点部1
2bを中心に外側へ揺動し、引張部材17はレバ
ー部材12の作用点部12cに両側から引つ張ら
れて水平となる。このときレバー部材12の力点
部12a、作用点部12cに働く力は、ベクトル
で表すとそれぞれ矢印A,Cのようになる。これ
らの力A,Cの合力は、第2図に示すようにベク
トルBで表され、この合力Bが支点部12b及び
支持部材13に作用する。支持部材13の軸方向
は、合力Bの曲げ成分が作用しないように、ベク
トルBの方向とほぼ平行に取付けられている。
上記のように構成された圧電アクチユエータ
は、積層圧電セラミツクス16に電界が作用して
いないときは、引張部材17が前方に撓んだ状態
となつて中央部17aは図示実線の位置にある。
次に積層圧電セラミツクス16に電界が加えられ
ると、レバー部材12は支点部12bが支持部材
13のヒンジ部13aを中心に回動して、作用点
部12cが外側に開き、引張部材17の両端17
bも外側へ変位し、中央部17aは図示一点鎖線
の位置に移動する。このとき中央部17aに結合
された被作動体17cは所定の機能を発揮する
(例えばインジエクタの噴射孔を開ける)。次に通
電を停止すると、圧電セラミツクス16は収縮
し、上記とは逆の動作でレバー部材12の作用点
部12cは内側の位置に戻り、引張部材17は上
記と反対方向に進んで図示実線の位置に移動す
る。
は、積層圧電セラミツクス16に電界が作用して
いないときは、引張部材17が前方に撓んだ状態
となつて中央部17aは図示実線の位置にある。
次に積層圧電セラミツクス16に電界が加えられ
ると、レバー部材12は支点部12bが支持部材
13のヒンジ部13aを中心に回動して、作用点
部12cが外側に開き、引張部材17の両端17
bも外側へ変位し、中央部17aは図示一点鎖線
の位置に移動する。このとき中央部17aに結合
された被作動体17cは所定の機能を発揮する
(例えばインジエクタの噴射孔を開ける)。次に通
電を停止すると、圧電セラミツクス16は収縮
し、上記とは逆の動作でレバー部材12の作用点
部12cは内側の位置に戻り、引張部材17は上
記と反対方向に進んで図示実線の位置に移動す
る。
上記において積層圧電セラミツクス16に電界
が加えられたとき、支点部12bすなわち支持部
材13は、力点部12aに加わる力Aと作用点部
12cに加わる力Cの合力Bにほぼ平行な角度を
与えられているため、支持部材13には引張方向
の力だけが作用する。支持部材13は長手方向に
はほとんど伸縮しない材質からなつているため、
形状は全く変化しない。従つてレバー部材12の
支点部12bが変位することなく、圧電セラミツ
クス16の変位を正確に増幅することができる。
が加えられたとき、支点部12bすなわち支持部
材13は、力点部12aに加わる力Aと作用点部
12cに加わる力Cの合力Bにほぼ平行な角度を
与えられているため、支持部材13には引張方向
の力だけが作用する。支持部材13は長手方向に
はほとんど伸縮しない材質からなつているため、
形状は全く変化しない。従つてレバー部材12の
支点部12bが変位することなく、圧電セラミツ
クス16の変位を正確に増幅することができる。
[考案の効果]
本考案によると、圧電素子の変形量が効率的に
引張部材にまで伝達されるために、圧電素子の変
位増幅が正確に行われる。
引張部材にまで伝達されるために、圧電素子の変
位増幅が正確に行われる。
第1図は、この考案による圧電式アクチユエー
タの実施例の断面図、第2図は第1図のレバー部
材に作用する力のベクトル説明図、第3図は従来
の圧電式アクチユエータの断面図、第4図は第3
図のレバー・アームに作用する力のベクトル説明
図、第5図は第3図の要部拡大図である。 11……基板、12……レバー部材、12a…
…力点部、12b……支点部、12c……作用点
部、13……支持部材、13a……ヒンジ部、1
4……接続部材、16……積層圧電セラミツク
ス、16a……自由端部、17……引張部材、1
7a……中央部、17b……端部、B……合力。
タの実施例の断面図、第2図は第1図のレバー部
材に作用する力のベクトル説明図、第3図は従来
の圧電式アクチユエータの断面図、第4図は第3
図のレバー・アームに作用する力のベクトル説明
図、第5図は第3図の要部拡大図である。 11……基板、12……レバー部材、12a…
…力点部、12b……支点部、12c……作用点
部、13……支持部材、13a……ヒンジ部、1
4……接続部材、16……積層圧電セラミツク
ス、16a……自由端部、17……引張部材、1
7a……中央部、17b……端部、B……合力。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板に対して被作動体を圧電素子の変形量以上
変位させる圧電式アクチユエータであり、 一端が該基板に固定され、電圧が印加されると
伸長する圧電素子と、 該圧電素子の他端に当接する接続部材と、 該圧電素子を挟んで対向する一対のレバー部材
と、 該レバー部材間に張り渡され、その中央部が該
被作動体に接続される引張部材とを有し、 該レバー部材は該圧電素子側の端部において該
接続部材に接続され、かつ該レバー部材と該接続
部材の接続点(力点部)と該レバー部材と該引張
部材の接続点(作用点部)の中間部(支点部)に
おいて支持部材を介して該基板に接続され、さら
に該支持部材の方向が前記圧電素子が伸長した状
態で前記接続部材から力点部に作用する力と前記
引張部材から作用点部に作用する力の合力の方向
に一致することを特徴とする圧電式アクチユエー
タ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986036641U JPH0325421Y2 (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | |
| US07/010,737 US4703215A (en) | 1986-03-13 | 1987-02-04 | Stacked piezoelectric ceramics displacement magnifying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986036641U JPH0325421Y2 (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62149859U JPS62149859U (ja) | 1987-09-22 |
| JPH0325421Y2 true JPH0325421Y2 (ja) | 1991-06-03 |
Family
ID=12475471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986036641U Expired JPH0325421Y2 (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4703215A (ja) |
| JP (1) | JPH0325421Y2 (ja) |
Families Citing this family (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0410704Y2 (ja) * | 1987-04-20 | 1992-03-17 | ||
| JP2592615B2 (ja) * | 1987-09-16 | 1997-03-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 電歪駆動装置 |
| US4929859A (en) * | 1987-12-25 | 1990-05-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator having parallel arrangement of a single piezoelectric element and a pair of displacement magnification arms |
| US4933591A (en) * | 1988-01-06 | 1990-06-12 | Ford Aerospace Corporation | Double saggital pull stroke amplifier |
| US4808874A (en) * | 1988-01-06 | 1989-02-28 | Ford Aerospace Corporation | Double saggital stroke amplifier |
| US5046872A (en) * | 1988-10-31 | 1991-09-10 | Ibm Corporation | Printer actuated by piezoelectrically generated shock wave |
| US5327038A (en) * | 1991-05-09 | 1994-07-05 | Rockwell International Corporation | Walking expansion actuator |
| US6050679A (en) * | 1992-08-27 | 2000-04-18 | Hitachi Koki Imaging Solutions, Inc. | Ink jet printer transducer array with stacked or single flat plate element |
| JPH06281813A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-10-07 | Nec Corp | 透過波長可変装置 |
| JP2616683B2 (ja) * | 1993-12-28 | 1997-06-04 | 日本電気株式会社 | 変位拡大機構付圧電アクチュエータ |
| JP3525313B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2004-05-10 | 太平洋セメント株式会社 | レバー変位拡大機構付位置決め装置 |
| DE19739594C2 (de) * | 1997-09-10 | 2001-09-06 | Daimler Chrysler Ag | Elektrostriktiver Stellantrieb |
| US6291928B1 (en) * | 1998-12-16 | 2001-09-18 | Active Control Experts, Inc. | High bandwidth, large stroke actuator |
| CA2379936A1 (en) * | 1999-07-20 | 2001-02-08 | Memlink Ltd. | Opto-mechanical valve and valve array for fiber-optic communication |
| US6535663B1 (en) | 1999-07-20 | 2003-03-18 | Memlink Ltd. | Microelectromechanical device with moving element |
| US6658177B1 (en) | 1999-12-13 | 2003-12-02 | Memlink Ltd. | Switching device and method of fabricating the same |
| DE19961068C1 (de) | 1999-12-17 | 2001-01-25 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrisches Aktorsystem |
| US6548938B2 (en) | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
| US6717332B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-04-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a support structure and actuator |
| US6879087B2 (en) | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| US6759790B1 (en) * | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| US7132781B2 (en) * | 2002-07-03 | 2006-11-07 | Viking Technologies, L.C. | Temperature compensating insert for a mechanically leveraged smart material actuator |
| USD493416S1 (en) | 2002-06-19 | 2004-07-27 | Viking Technologies, L.C. | Integral actuator with force transfer member |
| USD494923S1 (en) | 2002-06-19 | 2004-08-24 | Viking Technologies, L.C. | Integral force transfer member |
| USD483335S1 (en) | 2002-06-19 | 2003-12-09 | Viking Technologies, L.C. | Integral actuator with folded-back arms |
| USD493417S1 (en) | 2002-12-10 | 2004-07-27 | Viking Technologies, L.C. | Folded back arm actuator |
| USD496330S1 (en) | 2002-12-10 | 2004-09-21 | Viking Technologies, L.C. | Integral actuator with hollowed out force transfer member |
| USD493135S1 (en) | 2002-12-10 | 2004-07-20 | Viking Technologies, L.C. | Integral actuator with folded back arms and hollowed out force transfer member |
| US7368856B2 (en) | 2003-04-04 | 2008-05-06 | Parker-Hannifin Corporation | Apparatus and process for optimizing work from a smart material actuator product |
| USD512085S1 (en) | 2003-06-06 | 2005-11-29 | Viking Technologies, L.C. | Folded back arm actuator with enlarged central anvil |
| JP4085936B2 (ja) * | 2003-09-05 | 2008-05-14 | ソニー株式会社 | レバーアーム変位拡大装置 |
| CN100340378C (zh) * | 2005-03-10 | 2007-10-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 六自由度精密定位工作台 |
| DE102005023767A1 (de) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg | Stellantrieb |
| US8714005B2 (en) * | 2010-02-09 | 2014-05-06 | Baker Hughes Incorporated | Piezoelectric actuator for downhole applications |
| US8573056B1 (en) * | 2010-06-04 | 2013-11-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Guided projectile with motion restricting piezoelectric actuator |
| DE102014009025B4 (de) | 2014-06-24 | 2016-02-18 | Airbus Ds Gmbh | Biegerahmen zur Velängerung des Stellwegs eines Aktors für ein mechanisch betätigtes Bauteil |
| EP3181295A1 (de) * | 2015-12-18 | 2017-06-21 | HILTI Aktiengesellschaft | Brenngasbetriebenes eintreibgerät |
| US10816026B2 (en) * | 2017-08-09 | 2020-10-27 | Raytheon Company | Separable physical coupler using piezoelectric forces for decoupling |
| CN107968597B (zh) * | 2017-12-10 | 2024-09-24 | 绍兴康健精密不锈钢有限公司 | 一种基于多级放大原理的作动器定子 |
| DE102018114309B4 (de) * | 2018-06-14 | 2021-07-22 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Bremsvorrichtung sowie Antriebseinheit und Positioniervorrichtung |
| CN110323964B (zh) * | 2019-07-02 | 2024-07-12 | 西安工程大学 | 一种基于杠杆原理的压电陶瓷位移放大装置及其驱动方法 |
| JP7522595B2 (ja) * | 2020-07-07 | 2024-07-25 | セーレン株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
| CN113219649B (zh) * | 2021-04-30 | 2022-11-22 | 哈尔滨芯明天科技有限公司 | 一种航天应用的高可靠压电偏摆镜 |
| WO2026083162A1 (en) * | 2024-10-17 | 2026-04-23 | Phi Drive S.R.L. | Micro-gripper |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4435666A (en) * | 1981-05-26 | 1984-03-06 | Nippon Electric Co., Ltd. | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
| US4547086A (en) * | 1982-12-06 | 1985-10-15 | Nec Corporation | Piezoelectrically driven printing mechanism for dot matrix printers |
| CA1218561A (en) * | 1983-02-25 | 1987-03-03 | Takeshi Yano | Differential lever actuator including differentially force-transmitting members which are not liable to break |
| JPS6081568A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-09 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
| US4613782A (en) * | 1984-03-23 | 1986-09-23 | Hitachi, Ltd. | Actuator |
| JPS60251701A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-12 | Nec Corp | マイクロ波スイツチ |
-
1986
- 1986-03-13 JP JP1986036641U patent/JPH0325421Y2/ja not_active Expired
-
1987
- 1987-02-04 US US07/010,737 patent/US4703215A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4703215A (en) | 1987-10-27 |
| JPS62149859U (ja) | 1987-09-22 |
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