JPH03255927A - ポリゴンミラーの変形測定方法 - Google Patents

ポリゴンミラーの変形測定方法

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Publication number
JPH03255927A
JPH03255927A JP5370790A JP5370790A JPH03255927A JP H03255927 A JPH03255927 A JP H03255927A JP 5370790 A JP5370790 A JP 5370790A JP 5370790 A JP5370790 A JP 5370790A JP H03255927 A JPH03255927 A JP H03255927A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polygon mirror
groove patterns
mirror
deformation
light beams
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5370790A
Other languages
English (en)
Inventor
Rie Wakashima
若島　理絵
Iwao Sugizaki
杉崎　巌
Katsu Tashiro
克 田代
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Copal Electronics Corp
Original Assignee
Copal Electronics Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Copal Electronics Co Ltd filed Critical Copal Electronics Co Ltd
Priority to JP5370790A priority Critical patent/JPH03255927A/ja
Publication of JPH03255927A publication Critical patent/JPH03255927A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １はポリゴンミラー、２は固定した光源、Ｂｌ。
Ｂ２．・・・、Ｂｎは固定したビームスプリッタ、Ｓｌ
。
Ｓ２．−、Ｓｎは固定したセンサ、Ｌｌｌ、Ｌ１２゜・
・・、Ｌｌｎは光源２から出射してそれぞれビームスプ
リッタＢｌ、Ｂ２．・・・、Ｂｎによって回転軸に平行
方向へ分割された光ビーム、ＰＬ、Ｐ２゜・・・、Ｐｎ
はポリゴンミラー１の上面に、測定時に比べて十分遅い
回転速度で削成し削成時の回転速度においては周縁が真
円、且つ互いに同心円とみなせるくさび状の溝パターン
、Ｌ２１．□Ｌ２２゜・・・、Ｌ２ｎはそれぞれ光ビー
ムＬｌｌ、Ｌ工２゜−−−、Ｌｌｎが溝パターンＰＬ、
Ｐ２．−．Ｐｎの周縁の角部ｔｌ、ｔ２．・・・ｔｎに
おいて反射した後該ビームスプリッタＢｌ、Ｂ２．・・
・、Ｂｎを透過した光ビームである。
光源２から出射した光ビームはビームスプリッタＢｌ、
Ｂ２．・・・、Ｂｎによって回転軸に平行方向へ分割さ
れて光ビームＬ　１１．Ｌ　１２．−、　Ｌ　１　ｎと
なり、図２のようにそれぞれパターンＰ１゜Ｐ２．−、
Ｐｎの周縁の角部ｔｌ、ｔ２．　°　ｔｎにおいて回転
軸に垂直な面で反射したものだけがビームスプリッタＢ
ｌ、Ｂ２．・・・、Ｂｎを透過し、センサＳｌ、８２．
・・・、Ｓｎに入射してパワーが測定される。
ここでパターンＰｉ、Ｐ２．・・・、Ｐｎの周縁は削成
時よりも高速な回転では遠心力により回転軸Ｏから外へ
向かう力を受けているが、ポリゴンミラー１は、上面か
らみると多角形をしているために円周方向の質量分布が
均一ではないのでパターンＰＬ、Ｐ２．・・・、Ｐｎの
周縁は位置によって受ける力の大きさが異なり、真円で
はなくなる。したがって回転軸Ｏに平行な方向へ反射す
る光ビームのパワーも位置によって変化するので、この
パワーをセンサＳｌ、Ｓ２．・・・、Ｓｎで測定するこ
とによってパターンＰＬ、Ｐ２．・・・、Ｐｎの周縁変
形の様子がわかり、ポリゴンミラー内の円周方向及び半
径方向の変形量分布が測定できる。
（発明の効果） 以上のように本発明によれば、ポリゴンミラーの回転中
心から外へ向かう変形の傾向を円周方向及び半径方向の
各箇所において検出することができる。したがって１回
転によるポリゴンミラー表面の形状変化を精度良く、詳
細に推察することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本発明の実施例を示し、第１図はポ
リゴンミラー測定装置の斜視図、第２図は第１図におけ
るパターンＰＬ、Ｐ２．・・・、Ｐｎの周縁付近の拡大
図、第３図は従来例を示す。 １．１１・・・・・・ポリゴンミラー ２・・・・・・光源 ３・・・・・・センサ Ｂｌ、Ｂ２．・・・、Ｂｎ・・・・・・ビームスプリッ
タＰＬ、Ｐ２．・・・、Ｐｎ・・・・・・ポリゴンミラ
ー１上に設けた溝パターン Ｓｌ、Ｓ２．・・・、Ｓｎ・・・・・・センサＬｌｌ、
ＬＬ２．−．Ｌｌｎ、Ｌ２１．Ｌ２２゜、Ｌ２ｎ・・・
・・・光ビーム Ｌｌ、Ｌ２・・・・・・光ビーム Ｔ１・・・・・・ポリゴンミラー１の上面に設けた円板
状の凸部 ｔ、ｔｌ、ｔ２．・・・ｔｎ・・・・・・角部○・・・
・・・回転軸

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ポリゴンミラー（１）の上面に、測定時に比べて十分遅
    い回転速度で削成し、削成時の回転速度においては周縁
    が真円、且つ互いに同心円とみなせる複数のくさび状の
    溝パターン（Ｐ１）、（Ｐ２）、・・・、（Ｐｎ）を設
    け、ポリゴンミラー（１）を高速度回転した状態で固定
    した光源（２）から出射して該溝パターンのそれぞれに
    対応した複数のビームスプリッタ（Ｂ１）、（Ｂ２）、
    ・・・、（Ｂｎ）によって回転軸に平行に分割された光
    ビーム（Ｌ１１）、（Ｌ１２）、・・・、（Ｌ１ｎ）を
    それぞれ溝パターン（Ｐ１）、（Ｐ２）、・・・、（Ｐ
    ｎ）の周縁の角部（ｔ１）、（ｔ２）、・・・（ｔｎ）
    に入射させ、反射した後該ビームスプリッタ（Ｂ１）、
    （Ｂ２）、・・・、（Ｂｎ）を透過した光ビーム（Ｌ２
    １）、（Ｌ２２）、・・・、（Ｌ２ｎ）をそれぞれを固
    定した複数のセンサ（Ｓ１）、（Ｓ２）、・・・、（Ｓ
    ｎ）に入射させて光ビーム（Ｌ２１）、（Ｌ２２）、・
    ・・、（Ｌ２ｎ）のパワーを測定し、高速回転中のポリ
    ゴンミラー１上の溝パターン（Ｐ１）、（Ｐ２）、・・
    ・、（Ｐｎ）の周縁変形の様子を検出し、ポリゴンミラ
    ーの円周方向及び径方向の遠心力による変形量分布を測
    定することを特徴とするポリゴンミラーの変形測定方法
    。
JP5370790A 1990-03-07 1990-03-07 ポリゴンミラーの変形測定方法 Pending JPH03255927A (ja)

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JPH03255927A true JPH03255927A (ja) 1991-11-14

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004085529A (ja) * 2002-06-25 2004-03-18 Matsushita Electric Works Ltd レーザー測距装置及び方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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