JPH03258653A - 処理物搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば、半導体ウェハを収納したウェハカ
セットを工場建屋内の所定位置ごとに配置された半導体
製造装置に搬送する際に用いられるウェハカセット搬送
装置などのような処理物搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図は、従来の処理物搬送装置の一例としてのウェハ
カセット搬送装置の概略構成を示す斜視図である。そし
て、この図における符号３ｏは工場建屋（図示していな
い）内の天井付近に配設された搬送用軌道体、３１は搬
送用軌道体３ｏ上を走行する複数台の搬送台車であり、
搬送台車３１のそれぞれには処理物としての半導体ウェ
ハ（図示していない）を収納した複数個（図では、４個
）のウェハカセット３２が搭載されている。

また、図における符号３３はウェハカセット３２の受渡
しステーション、３４は受渡しステーション３３と搬送
用軌道体３０との間に配設されたウェハカセット昇降装
置であり、３５は工場建屋内の床面上に配設された処理
装置としての半導体製造装置である。そして、このウェ
ハカセット昇降装置３４には、ウェハカセット３２を把
持するためのグリップハンド３６と、これを保持して昇
降操作される移送リフタ３７とが設けられている。

そこで、搬送台車３１に搭載されて前工程から搬送され
てきたウェハカセット３２は搬送台車３１を残したまま
グリップハンド３６及び移送リフタ３７によって受渡し
ステーション３３上に移送されたのち、床面上を移動す
る搬送ロボフト３８によって半導体製造装置３５に移送
して供給される。

さらに、この半導体製造装置３５で処理された半導体ウ
ェハを収納したウェハカセット３２は、上記同様、搬送
ロボット３８によって受渡しステーション３３にまで戻
されたのち、ウェハカセット昇降装置３４のグリップハ
ンド３６及び移送リック３７によって搬送用軌道体３０
上の搬送台車３１に再び搭載されて次工程へ搬送されて
いくことになる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前記従来のウェハカセット搬送装置では、搬
送台車３１と半導体製造装置１ｆ３５との間におけるウ
ェハカセット３２の移送が一連の処理物移送装置を構成
する受渡しステーション３３、ウェハカセット昇降装置
３４及び移送ロボット３８などを乗り継ぐことによって
行われるため、多大な時間を要するという不都合があっ
た。また、搬送用軌道体３０上を走行してきた搬送台車
３１からウニバカセント昇降装置３４へのウェハカセッ
ト３２の移載に際しては、この搬送台車３１の停止や位
置決め、さらにはグリップハンド３６がウェハカセット
３２を把持したことなどを確認したうえで移送リフタ３
７の下降操作を開始しなければならないが、これらを確
認中、すなわち、ウェハカセット３２移送中の搬送台車
３１は搬送用軌道体３０上に載置されたままとなってい
ることから、この搬送台車３１を追い越して他の搬送台
車３１を先行させることはできず、他の搬送台車３１の
走行までもを停止せざるを得なくなる結果、搬送効率の
低下を招くことになっていた。

この発明は、このような不都合に鑑みて創案されたもの
であって、搬送台車と処理装置との間における処理物の
搬送に要する時間の短縮化を図るとともに、処理物移送
中の搬送台車があったとしてもこれを追い越して他の搬
送台車を先行させることができ、搬送効率の大幅な向上
を図ることが可能な構成の処理物搬送装置を提供するこ
とを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る処理物搬送装置は、このような目的を達成
するため、工場建屋内の天井付近に配設された搬送用軌
道体と、処理物を搭載して搬送用軌道体上を走行する複
数台の搬送台車と、工場建屋内の床面上に配設された処
理物移送装置と、この処理物移送装置と搬送用軌道体と
の間に配設された台車昇降装置とを備え、搬送用軌道体
には、搬送台車の１台を載置しうる長さの昇降用軌道体
が搬送用軌道体の延長方向と直交する昇降方向に沿って
嵌入される切離部を形成する一方、台車昇降装置には、
互いに所定間隔だり離間して並列状に連結された複数本
の昇降用軌道体と、そのうちの１本を処理物移送装置と
対応する位置に位置決め固定すると同時に、他の１本を
切離部に嵌入して搬送台車の連続搬送経路を構成する昇
降操作機構とを設けたことを特徴とするものである。

〔作用〕

上記構成によれば、搬送用軌道体上を走行してきた搬送
台車は処理物ごと搬送用軌道体の切離部に嵌入された昇
降用軌道体上に載置され、この昇降用軌道体は搬送台車
を載置したまま昇降操作機構によって処理物移送装置と
対応する位置まで下降操作される。そして、下降した昇
降用軌道体が処理物移送装置と対応する位置に位置決め
固定されると、この搬送台車に搭載されていた処理物は
処理物移送装置によって処理装置に搬送される。

また、下降した昇降用軌道体が処理物移送装置と対応す
る位置に位置決め固定されたときには、他の昇降用軌道
体が新たに搬送用軌道体の切離部に嵌入されて搬送台車
の連続搬送経路を構成している。そこで、他の搬送台車
は処理物移送中の搬送台車の有無に関わらず、搬送用軌
道体及びその切離部に嵌入された昇降用軌道体を通って
先行しうろことになる。

〔実施例〕

以下、この発明に係る処理物搬送装置の一実施例をウェ
ハカセット搬送装置に適用し、図面に基づいて説明する
。

第１図は処理物搬送装置としてのウエハカセ・ノド搬送
装置の概略構成を示す斜視図であり、このウェハカセッ
ト搬送装置は、工場建屋（図示していない）内の天井付
近に配設された搬送用軌道体１と、この搬送用軌道体１
上を走行する複数台の搬送台車２と、工場建屋内の床面
上に配設された処理物移送装置としての搬送ロボット３
と、この搬送ロボット３と搬送用軌道体１との間に配設
された台車昇降装置４とを備えている。そして、搬送台
車２のそれぞれには、処理物としての半導体ウェハ（図
示していない）を収納した単一もしくは複数個（図では
、４個）のウェハカセット５が搭載されており、これら
のウェハカセット５は工場建屋内床面上の所定位置ごと
に配置された処理装置としての半導体製造装置６に供給
されるようになっている。

また、搬送用軌道体１の中途部位には、その延長方向に
沿う所定長さの切離部７が形成されており、この切離部
７には後述する昇降用軌道体８のうちの１本のみが前記
延長方向と直交する昇降方向、すなわち、上下方向に沿
って嵌入されるようになっている。

一方、台車昇降装置４には、１本ごとが搬送台車２の１
台のみを載置しうる長さとされた複数本の昇降用軌道体
８と、昇降方向に沿う環状に架は渡されて昇降用軌道体
８を互いに離間した並列状で連結する一対のチェーン９
とが設けられている。

そして、昇降用軌道体８のそれぞれは、そのうちの１本
を搬送ロボット３と対応する位置に位置決めすると、他
の１本が搬送用軌道体１の切離部７に嵌入される所定間
隔だけ離間させられている。

また、各昇降用軌道体８の両端寄り部位それぞれの裏側
から下側にかけては、略ｒＬＪ字状に形成された支持枠
１０が取り付けられており、その上端それぞれは回動自
在なビンを介してチェーン９に接続されている。さらに
、各昇降用軌道体８の裏側には、支持枠１０同士を位置
決めして拘束する連結棒１１が取り付けられている。

そして、昇降方向に沿って架は渡されたチェーン９の上
端及び下端それぞれの所定位置にはスプロケット１２が
配設されており、その一方のスプロケット１２には昇降
用軌道体８を昇降操作するための駆動モータのような昇
降操作機構１３が連結されている。なお、この昇降操作
機構１３は、昇降用軌道体８の１本が搬送ロボット３と
対応する位置に位置決め固定すると同時に、他の１木を
切離部７に嵌入させるように制御されている。また、こ
れらのチェーン９間の上端及び下端近くには、各昇降用
軌道体８の連結棒１１が嵌入しうる凹部１４が形成され
、かつ、チェーン９と同期駆動される円板カム１５を具
備した周知の姿勢制御機構が設けられており、チェーン
９の走行に伴って各昇降用軌道体８が反転するのを防止
するようになっている。なお、図中の符号１６は、チェ
ーン９の直線走行時における昇降用軌道体８の揺れを防
止するための案内板（ガイド）である。

ところで、以上の説明においては、昇降用軌道体８が環
状に架は渡されたチェーン９を介して昇降操作されるも
のとしているが、これに限定されるものではなく、例え
ば、工場建屋内における天井までのスペースに余裕があ
る場合には、互いに並列配置された複数本の昇降用軌道
体８を昇降方向に沿って直線状に昇降操作することも可
能である。

つぎに、本実施例に係るウェハカセット搬送装置の動作
について説明する。

まず、搬送用軌道体１上を走行してきた搬送台車２はこ
れに搭載されたウェハカセット５ごと搬送用軌道体１の
切離部７に嵌入された昇降用軌道体８上に載置され、こ
の昇降用軌道体８は搬送台車２を載置したまま昇降操作
機構１３によるチェ−ン９の駆動によって搬送ロボット
３と対応する位置まで下降操作される。そして、下降し
た昇降用軌道体８が搬送ロボット３と対応する位置に位
置決め固定されると、この搬送台車２に搭載されていた
ウェハカセット５は床面上を走行する搬送ロポ・７ト３
によって半導体製造装置６に移送される。

また、下降した昇降用軌道体８が搬送ロボット３と対応
する位置に位置決め固定されたときには、空のままの昇
降用軌道体８が新たに搬送用軌道体１の切離部７に嵌入
されて搬送台車２の連続搬送経路を構成することになる
。そこで、他の搬送台車２はウェハカセット５移送中の
１般送台車２があるか否かに拘わらず、搬送用軌道体１
及び昇降用軌道体８によって構成された連続搬送経路を
通って先行しうろことになる。なお、このようにして下
降操作される昇降用軌道体８に載置された搬送台車２を
必ずしも搬送ロボット３で移送しなければならないもの
ではなく、例えば、昇降用軌道体８に載置された搬送台
車２を一時的に退避させてストックしておき、後から走
行してきた搬送台車２の方を先行させることもできる。

また、半導体製造装置６で処理された半導体ウェハを収
納したウェハカセット５は搬送ロボット３を介して下降
位置にある昇降用軌道体８上の搬送台車２まで戻して搭
載されたのち、この昇降用軌道体８が再び上昇操作され
て搬送用軌道体１の切離部７に嵌入されること２こよっ
て次工程へ搬送されることになる。

ところで、以上説明した実施例においては、本発明に係
る処理物搬送装置がウェハカセット搬送装置であるもの
としているが、本発明を他の処理物を搬送する際に用い
られる処理物搬送装置に対して適用可能であることはい
うまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明に係る処理物搬送装置に
よれば、搬送用軌道体上を走行してきた搬送台車は処理
物ごと搬送用軌道体の切離部に嵌入された昇降用軌道体
上に載置され、この昇降用軌道体は搬送台車を載置した
まま昇降操作機構に１ ２ よって処理物移送装置と対応する位置まで下降操作され
ることになる。そして、下降して位置決め固定された昇
降用軌道体上の搬送台車に搭載されていた処理物は、処
理物移送装置によって処理装置に移送される。すなわち
、本発明構成では、搬送台車と処理装置との間における
処理物の移送が、従来例のような多くの中間装置を介す
ることなく、単一の処理物移送装置のみによって行われ
ることになる結果、処理物の移送に要する時間が大幅に
短縮されるという優れた効果が得られる。

また、下降した昇降用軌道体が処理物移送装置と対応す
る位置に位置決め固定されたときには、他の昇降用軌道
体が新たに搬送用軌道体の切離部に嵌入されて搬送台車
の連続搬送経路を構成している。したがって、他の搬送
台車は処理物移送中の搬送台車の有無に関わらず、搬送
用軌道体及びその切離部に嵌入された昇降用軌道体を通
って先行させることが可能となる結果、搬送効率の大幅
な向上を図ることができるという効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る処理物搬送装置としてのウェハカ
セット搬送装置の概略構成を示す斜視図であり、第２図
は従来例に係るウェハカセット搬送装置の概略構成を示
す斜視図である。 図における符号ｌは搬送用軌道体、２は搬送台車、３は
搬送ロボット（処理物移送装置）、４は台車昇降装置、
５はウェハカセット（処理物）、７は切離部、８は昇降
用切離部、１３は昇降操作機構である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）工場建屋内の天井付近に配設された搬送用軌道体
   と、処理物を搭載して搬送用軌道体上を走行する複数台
   の搬送台車と、工場建屋内の床面上に配設された処理物
   移送装置と、この処理物移送装置と搬送用軌道体との間
   に配設された台車昇降装置とを備え、 搬送用軌道体には、搬送台車の１台を載置しうる長さの
   昇降用軌道体が搬送用軌道体の延長方向と直交する昇降
   方向に沿って嵌入される切離部を形成する一方、 台車昇降装置には、互いに所定間隔だけ離間して並列状
   に連結された複数本の昇降用軌道体と、そのうちの１本
   を処理物移送装置と対応する位置に位置決め固定すると
   同時に、他の１本を切離部に嵌入して搬送台車の連続搬
   送経路を構成する昇降操作機構とを設けたことを特徴と
   する処理物搬送装置。