JPH032633U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032633U JPH032633U JP6355589U JP6355589U JPH032633U JP H032633 U JPH032633 U JP H032633U JP 6355589 U JP6355589 U JP 6355589U JP 6355589 U JP6355589 U JP 6355589U JP H032633 U JPH032633 U JP H032633U
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- JP
- Japan
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- cross
- determining
- utility
- teg pattern
- used during
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図は、この考案の十字型専用ＴＥＧパター
ンの上面図、第２図は、オーバーエツチングした
時の上面図であり、第３図は、第１図に寸法線を
設けた実施例２の上面図である。第４図は、素子
でのエツチング見極め部分の上面図、第５図はそ
の断面図である。第６図は、素子で、オーバーエ
ツチングした時の上面図、第７図はその断面図で
ある。 １……アルミ、２……アルミナ、２ａ……アル
ミナ端部、３……オーバーエツチ部分、４……寸
法線。
ンの上面図、第２図は、オーバーエツチングした
時の上面図であり、第３図は、第１図に寸法線を
設けた実施例２の上面図である。第４図は、素子
でのエツチング見極め部分の上面図、第５図はそ
の断面図である。第６図は、素子で、オーバーエ
ツチングした時の上面図、第７図はその断面図で
ある。 １……アルミ、２……アルミナ、２ａ……アル
ミナ端部、３……オーバーエツチ部分、４……寸
法線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 パターンニングを行なう際に用いるエツチング
状態の見極め用ＴＥＧパターンにおいて、 形状を十字型にした事を特徴とするエツチング
見極め用ＴＥＧパターン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6355589U JPH032633U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6355589U JPH032633U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032633U true JPH032633U (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=31593712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6355589U Pending JPH032633U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032633U (ja) |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6355589U patent/JPH032633U/ja active Pending