JPH03263745A - イオントラップアノードシステム - Google Patents
イオントラップアノードシステムInfo
- Publication number
- JPH03263745A JPH03263745A JP2062144A JP6214490A JPH03263745A JP H03263745 A JPH03263745 A JP H03263745A JP 2062144 A JP2062144 A JP 2062144A JP 6214490 A JP6214490 A JP 6214490A JP H03263745 A JPH03263745 A JP H03263745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- ion trap
- pin
- electrode
- pedestal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005040 ion trap Methods 0.000 title claims abstract description 22
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
「産業上の利用分野〕
本発明は電子銃の一部としてのイオントラップアノード
システムに関し、特に着脱容易でシンプルな構造のイオ
ントラップアノードに関する。 ［従来の技術〕 従来、この種のイオントラップアノードは、イオントラ
ップアノードと電位供給源とを配線等で結合していた。
システムに関し、特に着脱容易でシンプルな構造のイオ
ントラップアノードに関する。 ［従来の技術〕 従来、この種のイオントラップアノードは、イオントラ
ップアノードと電位供給源とを配線等で結合していた。
上述した従来のイオントラップは、イオントラップアノ
ードと電位供給源とを配線等で結合していたので、例え
ばフィラメント交換などでイオントラップアノードの着
脱の際には、配線等の着脱も伴い、取り扱い上不便であ
るという欠点がある。 また、配線その他の突起物がイオントラップアノード外
壁面上で出ているため、電子銃が高圧に印加された場合
に、アーキングが発生し易いという欠点がある。 本発明的目的は前記課題を解決し、たイオントラップア
ノードシステムを提供することにある。 〔課題を解決するため両手段］ 前記目的を達成するため、本発明に係るイオントラップ
アノードシステム番；おいては、電子ビーム中心軸に対
して同心円状に配置きれる■筒電彬Ｌ、 前記電極に接触し電位を供給オるピンと、電子ビーム中
心軸と同心円状に配置され電子−ビーム形状を作成する
デツプε、 前記ピンに接触ｔ、、 ｉ％；ｊ記ピンへ電位を与λる
電極板ヒ、 前記電極板をｎ；ｊ記ピンに弥接さセるばねと、前記電
極板に電位を供給する配線どな少なくともイｉし、 前記円筒電極，ピン，チップは位置関係を・保持してア
ノード本体に一体に組込まれており、前記電極板、ばね
、配線は位置関係を保持してアノード台座に−・体に組
込まれており。 前記アノード本体は、前記アノード台座に着脱１１目π
えに装着されたも山である。 （実施例１ 次に、本発明に−）いて図面を参照して説明４る。 第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。 ｒｉ＋ ｃ＝おいで、電子ビー八は矢視１方向（、゛進
行する。この電子ビーム中心軸に同心円状（１，アノー
ド・デツプ２及びイオントラップ電極３が配♂Ｚされる
。 アノードチップ２はアノード台座・スｎに内定され、さ
らにアノードベース４は、アノードベース１）（７固定
きれる。アノードベース５はＭ！、縁体ｊ３，１．８に
よって絶縁され、たイ寸ンｈラップ′ｒｉ極３を１１ｑ
定する１、また、イオントラップ？！１神１３（二は絶
縁円筒ｉ：＋ｉ：四ま才またピンが結合（２ており、こ
のピン１０は電棒板ｌ目こ接触する。 アノードベース５はネジ部をイ１しでおり、これがアノ
ード台座１２Ｌ結合し、着脱可能となっている。電極板
！１は絶縁板１３と絶縁性ばね台座１４によって電気的
に外部から遮断されてアノード台座１２に取付けられて
おり、配線１５と結合することによっで電位が）ｊλら
れている。さらに、ばね１６１Ｔよって、ピンＩＯと常
に電気的に強固な接触が可能となっている。 以上のように、アノ−・トチツブ２．アノ−・ドベース
５．アノードベース４．イオントラップ電極３、絶縁体
６，７，８．ピン１０．絶縁Ｆ］筒９を含むアノード本
体は、ネジ部によってアノード台Ｐｖ：＋２より退官着
脱ＩＩｆ能りなっている。しかも、イオントラップ電極
３への電位供給は、可動式ｆｆｉ極板１１によって常時
行われ゛（いる。 なお、本発明の各構造部はその機能を損なオ）ない限り
、その変更は可能である。 （発明の効果） 以上説明したように本発明は、イオンＩ・ラップアノー
ドへの電位供給方式を接点方式とすることにより、イオ
ントラップアノードのｎ山な着脱が可能となり、着脱時
間の大幅短縮及び着脱作業の容易化を促進する効果があ
る。 また、本発明により、イオンＩ・ラップアノード周囲の
突起物がなくなり、高電圧印加時のアーキング等を峠減
する効果がある。
ードと電位供給源とを配線等で結合していたので、例え
ばフィラメント交換などでイオントラップアノードの着
脱の際には、配線等の着脱も伴い、取り扱い上不便であ
るという欠点がある。 また、配線その他の突起物がイオントラップアノード外
壁面上で出ているため、電子銃が高圧に印加された場合
に、アーキングが発生し易いという欠点がある。 本発明的目的は前記課題を解決し、たイオントラップア
ノードシステムを提供することにある。 〔課題を解決するため両手段］ 前記目的を達成するため、本発明に係るイオントラップ
アノードシステム番；おいては、電子ビーム中心軸に対
して同心円状に配置きれる■筒電彬Ｌ、 前記電極に接触し電位を供給オるピンと、電子ビーム中
心軸と同心円状に配置され電子−ビーム形状を作成する
デツプε、 前記ピンに接触ｔ、、 ｉ％；ｊ記ピンへ電位を与λる
電極板ヒ、 前記電極板をｎ；ｊ記ピンに弥接さセるばねと、前記電
極板に電位を供給する配線どな少なくともイｉし、 前記円筒電極，ピン，チップは位置関係を・保持してア
ノード本体に一体に組込まれており、前記電極板、ばね
、配線は位置関係を保持してアノード台座に−・体に組
込まれており。 前記アノード本体は、前記アノード台座に着脱１１目π
えに装着されたも山である。 （実施例１ 次に、本発明に−）いて図面を参照して説明４る。 第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。 ｒｉ＋ ｃ＝おいで、電子ビー八は矢視１方向（、゛進
行する。この電子ビーム中心軸に同心円状（１，アノー
ド・デツプ２及びイオントラップ電極３が配♂Ｚされる
。 アノードチップ２はアノード台座・スｎに内定され、さ
らにアノードベース４は、アノードベース１）（７固定
きれる。アノードベース５はＭ！、縁体ｊ３，１．８に
よって絶縁され、たイ寸ンｈラップ′ｒｉ極３を１１ｑ
定する１、また、イオントラップ？！１神１３（二は絶
縁円筒ｉ：＋ｉ：四ま才またピンが結合（２ており、こ
のピン１０は電棒板ｌ目こ接触する。 アノードベース５はネジ部をイ１しでおり、これがアノ
ード台座１２Ｌ結合し、着脱可能となっている。電極板
！１は絶縁板１３と絶縁性ばね台座１４によって電気的
に外部から遮断されてアノード台座１２に取付けられて
おり、配線１５と結合することによっで電位が）ｊλら
れている。さらに、ばね１６１Ｔよって、ピンＩＯと常
に電気的に強固な接触が可能となっている。 以上のように、アノ−・トチツブ２．アノ−・ドベース
５．アノードベース４．イオントラップ電極３、絶縁体
６，７，８．ピン１０．絶縁Ｆ］筒９を含むアノード本
体は、ネジ部によってアノード台Ｐｖ：＋２より退官着
脱ＩＩｆ能りなっている。しかも、イオントラップ電極
３への電位供給は、可動式ｆｆｉ極板１１によって常時
行われ゛（いる。 なお、本発明の各構造部はその機能を損なオ）ない限り
、その変更は可能である。 （発明の効果） 以上説明したように本発明は、イオンＩ・ラップアノー
ドへの電位供給方式を接点方式とすることにより、イオ
ントラップアノードのｎ山な着脱が可能となり、着脱時
間の大幅短縮及び着脱作業の容易化を促進する効果があ
る。 また、本発明により、イオンＩ・ラップアノード周囲の
突起物がなくなり、高電圧印加時のアーキング等を峠減
する効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
１、・電ｆ・ビーム進行方Ｆｌ′り矢視２・・アノード
チップ ３・・・イオントラップ電］々１４、（ｒ・
・・アノ・−ドベース ６，７．８・・・絶縁体９−＝
４（’！ ！＆ 円筒 ＋ｏ−＝ヒン１１・
・・電極板 １２・・・アノード？を座１
３・・・絶縁板 １４・・・ばね６厘Ｉ５・
・・配線 １６・・・ばね特Ｊ１・出願人
１１本電気株式２社
チップ ３・・・イオントラップ電］々１４、（ｒ・
・・アノ・−ドベース ６，７．８・・・絶縁体９−＝
４（’！ ！＆ 円筒 ＋ｏ−＝ヒン１１・
・・電極板 １２・・・アノード？を座１
３・・・絶縁板 １４・・・ばね６厘Ｉ５・
・・配線 １６・・・ばね特Ｊ１・出願人
１１本電気株式２社
Claims (1)
- （１）電子ビーム中心軸に対して同心円状に配置される
円筒電極と、 前記電極に接触し電位を供給するピンと、 電子ビーム中心軸と同心円状に配置され電子ビーム形状
を作成するチップと、 前記ピンに接触し前記ピンへ電位を与える電極板と、 前記電極板を前記ピンに弾接させるばねと、前記電極板
に電位を供給する配線とを少なくとも有し、 前記円筒電極，ピン，チップは位置関係を保持してアノ
ード本体に一体に組込まれており、前記電極板，ばね，
配線は位置関係を保持してアノード台座に一体に組込ま
れており、 前記アノード本体は、前記アノード台座に着脱可能に装
着されたものであることを特徴とするイオントラップア
ノードシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062144A JPH03263745A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | イオントラップアノードシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062144A JPH03263745A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | イオントラップアノードシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03263745A true JPH03263745A (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=13191610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062144A Pending JPH03263745A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | イオントラップアノードシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03263745A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019537816A (ja) * | 2016-11-11 | 2019-12-26 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源 |
| EP4607571A1 (en) * | 2024-02-22 | 2025-08-27 | Alpine Quantum Technologies GmbH | Monolithic spring contact for a trap for charged particles |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2062144A patent/JPH03263745A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019537816A (ja) * | 2016-11-11 | 2019-12-26 | 日新イオン機器株式会社 | イオン源 |
| EP4607571A1 (en) * | 2024-02-22 | 2025-08-27 | Alpine Quantum Technologies GmbH | Monolithic spring contact for a trap for charged particles |
| JP2025129033A (ja) * | 2024-02-22 | 2025-09-03 | アルパイン クオンタム テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 荷電粒子用トラップのためのモノリシックばね接点 |
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