JPH03263824A - ウエハ処理ボート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体ウェハの製造プロセスで使用して好適
なウェハ処理ボートに関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェハ処理ボートは第４図に示すように
構成されている。これを同図に基づいて説明すると、同
図において、符号１で示すものは一例に開口するガス導
入口２を有する石英管、３はこの石英管１内に設けられ
所定の間隔をもって並列する多数のウェハ４を保持する
保持体、５はこの保持体３が載置される脚体である。な
お、図中符号Ａはウェハ処理用のガスが流れる方向を示
す。また、前記石英管１は、ボート挿抜時にカバー（図
示せず）によって開閉される。

このように構成されたウェハ処理ボートによるウェハ処
理は、予めウェハ４が保持された保持体３を石英管１内
に挿入した後、この石英管１内にウェハ処理用のガスを
ガス導入口２から導入することにより行う。

一方、ウェハ処理用のガスは、第４図に示すように石英
管１内を螺旋状に流れる。

ところで、この種のウェハ処理ボートにおいては、多数
のウェハ４を保持体３上に保持する場合にウェハ並列間
隔をできるだけ小さい寸法に設定する必要ある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかるに、この種のウェハ処理ボートにおいては、ウェ
ハ処理用のガスを遮断するようにウエハ４を保持体３上
に保持する構造であるため、ウェハ４の並列間隔を小さ
い寸法に設定すると、相互に隣接する２つのウェハ４間
のガス流れが悪くなり、ウェハ処理時の拡散にばらつき
が発生していた。この結果、各ウェハの全面にガスによ
る処理が均一に施されず、ウェハ処理上の信頼性が低下
するという問題があった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、各ウ
ェハの全面に均一な処理を施すことができ、もってウェ
ハ処理上の信頼性を向上させることができるウェハ処理
ボートを提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係るウェハ処理ボートは、所定の間隔をもって
並列する多数のウェハを保持する保持体を、ウェハの並
列方向に延在しかつ各々が互いに平行する２つのガス導
入管によって形威し、これら両ガス導入管にウェハの径
方向にガスが流出する流出口を設けたものである。

〔作　用］ 本発明においては、ガス導入管内に導入されるウェハ処
理用のガスをウェハ面に沿って流出口から流出させるこ
とができる。

〔実施例〕

以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。

第１図および第２図は本発明に係るウェハ処理ボートを
示す斜視図、第３図は同じく本発明におけるウェハ処理
ボートの使用状態を示す断面図で、同図において第４図
と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明
は省略する。同図において、符号１１で示すものは所定
の間隔をもって水平方向に並列するウェハ４を保持する
保持体で、一方の開口部から他方の開口部に向かって漸
次波がる寸法をもつ第１の管体ａと、この第１の管体ａ
に連設されガス注入管１２の先端部がその内部に臨むラ
ッパ状の第２の管体すとからなるガス導入管１３．１４
によって形威されている。これら両ガス導入管１３．１
４はウェハ並列方向に延在させかつ各々が互いに平行さ
せて前記石英管１内に前記脚体５を介して設けられてお
り、管壁にはウェハ４の径方向にガスが流出する流出口
１５１６が設けられている。なお、図中符号Ｂはウェハ
処理用のガスの流れを示す。

このように構成されたウェハ処理ボートにおいては、ウ
ェハ４の並列間隔を小さい寸法に設定しても、ガス導入
管１３．１４内に導入されるウェハ処理用のガスをウェ
ハ面に沿って流出口１５１６から流出させることができ
る。このとき、ガスは、第３図に示すように流れてウェ
ハ４の表裏両面を下方から上方に向かって拡散する。

したがって、本実施例においては、相互に隣接する２つ
のウェハ４間のガス流れが悪くならず、ウェハ処理時の
ばらつき拡散を防止することができ、各ウェハ４の全面
にガスによる均一な処理を施すことができる。

なお、本実施例においては、ガス導入管１３゜１４とガ
ス注入管１２が別体である場合を示したが、本発明はこ
れに限定されず、一体に形威しても何等差し支えない。

因に、本発明のウェハ処理ボートによるウェハ処理は、
予めウェハ４が保持された保持体１１を石英管１内に挿
入した後、ガス導入管１３，１．４内にウェハ処理用の
ガスを導入することにより行つ。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、所定の間隔をもっ
て並列する多数のウェハを保持する保持体を、ウェハの
並列方向に延在しかつ各々が互いに平行する２つのガス
導入管によって形威し、これら両ガス導入管にウェハの
径方向にガスが流出する流出口を設けたので、ウェハの
並列間隔を小さい寸法に設定しても、ガス導入管内に導
入されるウェハ処理用のガスをウェハ面に沿って流出口
から流出させることができる。したがって、相互に隣接
する２つのウェハ間のガス流れが悪くならず、ウェハ処
理時のばらつき拡散を防止することができるから、各ウ
ェハの全面にガスによる均一な処理を施すことができ、
ウェハ処理上の信頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明に係るウェハ処理ボートを
示す斜視図、第３図は同しく本発明におけるウェハ処理
ボートの使用状態を示す断面図、第４図は従来のウェハ
処理ボートの使用状態を示す断面図である。 １・・・・石英管、４・・・・ウェハ、１１・・・保持
体、１２・・・・ガス注入管、１３゜１４・・・・ガス
導入管、１５．１６・・・・流出口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定の間隔をもって並列する多数のウェハを保持する保
   持体を備えたウェハ処理ボートにおいて、前記保持体を
   、前記ウェハの並列方向に延在しかつ各々が互いに平行
   する２つのガス導入管によって形成し、これら両ガス導
   入管に前記ウェハの径方向にガスが流出する流出口を設
   けたことを特徴とするウェハ処理ボート。