JPH032644U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032644U JPH032644U JP6266289U JP6266289U JPH032644U JP H032644 U JPH032644 U JP H032644U JP 6266289 U JP6266289 U JP 6266289U JP 6266289 U JP6266289 U JP 6266289U JP H032644 U JPH032644 U JP H032644U
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- JP
- Japan
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- semiconductor
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- diagram
- semiconductor element
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- Pending
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例の半導体測定装置
の一部回路図、第２図は、本実施例の半導体素子
にかかる時間による電圧変化図、第３図は、従来
の半導体ウエーハの一部拡大図を含む平面図、第
４図は、半導体素子の特性測定時の状態を示す一
部断面平面図、第５図は、従来の半導体素子にか
かる時間による電圧変化図である。 １……半導体素子、２……半導体ウエーハ、３
……可動ステージ、４……ニードル、５……導線
、６……プローバ、７……テスタ、８……過渡電
圧吸収回路、９……抵抗、１０……コンデンサ。
の一部回路図、第２図は、本実施例の半導体素子
にかかる時間による電圧変化図、第３図は、従来
の半導体ウエーハの一部拡大図を含む平面図、第
４図は、半導体素子の特性測定時の状態を示す一
部断面平面図、第５図は、従来の半導体素子にか
かる時間による電圧変化図である。 １……半導体素子、２……半導体ウエーハ、３
……可動ステージ、４……ニードル、５……導線
、６……プローバ、７……テスタ、８……過渡電
圧吸収回路、９……抵抗、１０……コンデンサ。
Claims (1)
- 半導体ウエーハの特性測定用プローバにおいて
、一対のニールドとテスタ間に過渡電圧吸収回路
を介装したことを、特徴とする半導体特性測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6266289U JPH032644U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6266289U JPH032644U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032644U true JPH032644U (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=31592018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6266289U Pending JPH032644U (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032644U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037135U (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-14 | 株式会社東海理化電機製作所 | ロ−タリスイツチ |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP6266289U patent/JPH032644U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037135U (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-14 | 株式会社東海理化電機製作所 | ロ−タリスイツチ |