JPH0326455B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0326455B2 JPH0326455B2 JP58164442A JP16444283A JPH0326455B2 JP H0326455 B2 JPH0326455 B2 JP H0326455B2 JP 58164442 A JP58164442 A JP 58164442A JP 16444283 A JP16444283 A JP 16444283A JP H0326455 B2 JPH0326455 B2 JP H0326455B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic metal
- magnetic recording
- metal film
- medium substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気記録媒体の製造方法に関するもの
である。さらに詳しくはアモルフアス磁気記録媒
体の製造方法および磁性超微粒子を媒体基体の表
面より一定深さまで注入する方法において、高密
度磁気記録が可能で高信頼性の磁気記録媒体を高
能率に製造する方法を提供するものである。
である。さらに詳しくはアモルフアス磁気記録媒
体の製造方法および磁性超微粒子を媒体基体の表
面より一定深さまで注入する方法において、高密
度磁気記録が可能で高信頼性の磁気記録媒体を高
能率に製造する方法を提供するものである。
従来例の構成とその問題点
従来より、磁気記録媒体には、大きく別けて途
布型と蒸着型がある。
布型と蒸着型がある。
塗布型の磁気記録媒体では、一般にFe2O3やCo
を添加したγ−Fe2O3等の磁性粉末をポリビニー
ル、ブチラール、トリエン、メチルイソブチルケ
トン等に混合分散して塗料化し、媒体基体表面４
〜5μｍの厚みで塗布する方法であるが、この方
法では製造が容易な半面、磁性粉末を小さくする
ことに限界があり、高密度記録用としては性能が
不十分であつた。
を添加したγ−Fe2O3等の磁性粉末をポリビニー
ル、ブチラール、トリエン、メチルイソブチルケ
トン等に混合分散して塗料化し、媒体基体表面４
〜5μｍの厚みで塗布する方法であるが、この方
法では製造が容易な半面、磁性粉末を小さくする
ことに限界があり、高密度記録用としては性能が
不十分であつた。
一方、蒸着型の磁気記録媒体では、記録密度は
塗布型に比べ良くなるが、磁性金属層が表面に出
ているため耐久性に問題がある。そこで、1000〜
2000Åの金属を電子ビームやスパツタ法で蒸着し
た上へ、オーバーコートを行い、さらに磁気記録
媒体表面に潤滑性を与えるために滑剤を塗布して
いるが、まだ十分な耐久性が得られていない現状
である。さらに、オーバーコートや滑剤が塗布さ
れているため、記録用の磁気ヘツドの磁界を相当
大きくする必要があつた。
塗布型に比べ良くなるが、磁性金属層が表面に出
ているため耐久性に問題がある。そこで、1000〜
2000Åの金属を電子ビームやスパツタ法で蒸着し
た上へ、オーバーコートを行い、さらに磁気記録
媒体表面に潤滑性を与えるために滑剤を塗布して
いるが、まだ十分な耐久性が得られていない現状
である。さらに、オーバーコートや滑剤が塗布さ
れているため、記録用の磁気ヘツドの磁界を相当
大きくする必要があつた。
発明の目的
以上述べてきた従来法の欠点に鑑み、本発明の
目的は、従来の塗布法や蒸着法によらない、第３
の磁気記録媒体の製造方法を提供することにあ
る。さらに詳しくは、従来の塗布型や蒸着型の磁
気記録媒体に比べ、より高密度記録が可能なアモ
ルフアス磁性層、あるいは磁性超微粒子よりなる
磁気記録層をより高能率に製造する方法を提供す
ることにある。
目的は、従来の塗布法や蒸着法によらない、第３
の磁気記録媒体の製造方法を提供することにあ
る。さらに詳しくは、従来の塗布型や蒸着型の磁
気記録媒体に比べ、より高密度記録が可能なアモ
ルフアス磁性層、あるいは磁性超微粒子よりなる
磁気記録層をより高能率に製造する方法を提供す
ることにある。
発明の構成
本発明は、媒体基体表面に磁性金属膜を形成
し、さらに前記磁性金属膜の方向より、前記金属
膜中へ、望ましくは前記磁性金属よりも原子量又
は分子量が大きな物質のイオン化した粒子を所定
のエネルギーで持つて注入し、このときの物質の
ノツクオン効果等により、前記磁性金属の超微粒
子を媒体基体表面中に注入し、磁気記録層を形成
し、最後に、前記磁性金属膜をエツチング除去す
ることにより、高密度磁気記録が可能な磁気記録
媒体を製造することを特徴とする。
し、さらに前記磁性金属膜の方向より、前記金属
膜中へ、望ましくは前記磁性金属よりも原子量又
は分子量が大きな物質のイオン化した粒子を所定
のエネルギーで持つて注入し、このときの物質の
ノツクオン効果等により、前記磁性金属の超微粒
子を媒体基体表面中に注入し、磁気記録層を形成
し、最後に、前記磁性金属膜をエツチング除去す
ることにより、高密度磁気記録が可能な磁気記録
媒体を製造することを特徴とする。
実施例の説明
第１図に示すように、例えば、円板状の媒体基
体１（有機高分子膜を用いる場合にはポリエステ
ルやポリイミドフイルム等、金属を用いる場合に
は非磁性金属であるAl、Cu板等）に磁性金属膜
２（例えば、Fe、Ni、Co、Mn、あるいはそれ
らの合金や酸化物等）を全面に蒸着形成し、さら
に、前記磁性金属より原子量が大きな物質（例え
ばAs、Sb、In、あるいは、それらの化合物…等）
をイオン化した状態で一定の加速電圧でもつて前
記磁性金属膜２へ全面に注入する。図中、矢印３
は、注入イオンビームを示す。また、矢印Ａは基
体の回転を表す。このとき、前もつて形成してお
いた磁性金属膜の一部原子が注入イオン原子によ
りたゝき出され、いわゆるノツクオン効果により
媒体基体１の表面に打込まれる。一方このとき、
注入された磁性金属膜はアモルフアス状態とな
る。次に磁性金属膜２をエツチング除去してやれ
ば、媒体基体１表面に磁性金属の超微粒子が打込
まれた磁気記録媒体を製造できる。
体１（有機高分子膜を用いる場合にはポリエステ
ルやポリイミドフイルム等、金属を用いる場合に
は非磁性金属であるAl、Cu板等）に磁性金属膜
２（例えば、Fe、Ni、Co、Mn、あるいはそれ
らの合金や酸化物等）を全面に蒸着形成し、さら
に、前記磁性金属より原子量が大きな物質（例え
ばAs、Sb、In、あるいは、それらの化合物…等）
をイオン化した状態で一定の加速電圧でもつて前
記磁性金属膜２へ全面に注入する。図中、矢印３
は、注入イオンビームを示す。また、矢印Ａは基
体の回転を表す。このとき、前もつて形成してお
いた磁性金属膜の一部原子が注入イオン原子によ
りたゝき出され、いわゆるノツクオン効果により
媒体基体１の表面に打込まれる。一方このとき、
注入された磁性金属膜はアモルフアス状態とな
る。次に磁性金属膜２をエツチング除去してやれ
ば、媒体基体１表面に磁性金属の超微粒子が打込
まれた磁気記録媒体を製造できる。
例えば、第２図に示すように、磁気基体１の表
面に磁性金属膜（Fe、Ni、Co、Cr、あるいは、
それらの合金等）２を厚さ0.1μｍ程度に蒸着形成
する。次に、イオン化した重原子（Asイオン、
等）のイオンビーム３を、加速電圧200KV程度
で、磁性金属２の表面より1016コ／cm2程度注入し
てやる。このときあらかじめ形成された磁性金属
膜２からイオンビーム３によりたゝき出された磁
性金属原子は、媒体基体の表面に打込まれて、前
記媒体基体の表面から1000Å程度まで入り込み、
1022コ／cm3程度の磁性金属超微粒子層（磁気記録
層）４を形成する。
面に磁性金属膜（Fe、Ni、Co、Cr、あるいは、
それらの合金等）２を厚さ0.1μｍ程度に蒸着形成
する。次に、イオン化した重原子（Asイオン、
等）のイオンビーム３を、加速電圧200KV程度
で、磁性金属２の表面より1016コ／cm2程度注入し
てやる。このときあらかじめ形成された磁性金属
膜２からイオンビーム３によりたゝき出された磁
性金属原子は、媒体基体の表面に打込まれて、前
記媒体基体の表面から1000Å程度まで入り込み、
1022コ／cm3程度の磁性金属超微粒子層（磁気記録
層）４を形成する。
一方、より高密度記録を実現するためには、磁
性金属膜２中へイオンビームを注入する際、さら
に媒体基体１裏面より磁場を印加しておくことに
より、磁化容易軸をそろえる。すなわち、ノツク
オンにより注入された磁性金属粒子の磁気モーメ
ントを一定に配向させることが可能である。
性金属膜２中へイオンビームを注入する際、さら
に媒体基体１裏面より磁場を印加しておくことに
より、磁化容易軸をそろえる。すなわち、ノツク
オンにより注入された磁性金属粒子の磁気モーメ
ントを一定に配向させることが可能である。
例えば、第３図に示すように、磁気モーメント
６を媒体基体面に対して垂直に配向させる場合に
は、媒体基体１裏面より垂直成分の優勢な磁場７
を媒体基体表面に対し略垂直に印加しておけばよ
い。また、磁気モーメントの方向を交互に変えた
い場合には、前記磁場として交流磁場８を用い、
媒体基体の送り（第４図中矢印Ｂにて記載）に同
期させて磁場を変えながらイオン注入を行つてや
ればよい。
６を媒体基体面に対して垂直に配向させる場合に
は、媒体基体１裏面より垂直成分の優勢な磁場７
を媒体基体表面に対し略垂直に印加しておけばよ
い。また、磁気モーメントの方向を交互に変えた
い場合には、前記磁場として交流磁場８を用い、
媒体基体の送り（第４図中矢印Ｂにて記載）に同
期させて磁場を変えながらイオン注入を行つてや
ればよい。
一方、磁気記録層を均一に製造するためには、
イオンビームをランダムに走査してやれば良い
が、さらにより均一に行うためには、媒体基体が
円板状の場合には、イオン注入時第１図矢印Ａに
て示したように媒体基体を回転させておけばよい
し、媒体基体がテープ状であれば第４図の如く、
送り方向に対して垂直にイオンビームを高速走査
してやれば良い。
イオンビームをランダムに走査してやれば良い
が、さらにより均一に行うためには、媒体基体が
円板状の場合には、イオン注入時第１図矢印Ａに
て示したように媒体基体を回転させておけばよい
し、媒体基体がテープ状であれば第４図の如く、
送り方向に対して垂直にイオンビームを高速走査
してやれば良い。
なお、磁界を印加するための電磁石内部に冷却
液を通じておけば、媒体基体の昇温を防止するこ
とができる。最後に磁性金属膜をエツチング等に
より除去してやると、高密度磁気記録媒体５が得
られる。
液を通じておけば、媒体基体の昇温を防止するこ
とができる。最後に磁性金属膜をエツチング等に
より除去してやると、高密度磁気記録媒体５が得
られる。
発明の効果
本発明により、磁気記録層が、高密度磁気記
録に適した磁気特性の良い磁性超微粒子で形成さ
れた磁気記録媒体を提供できる。磁性層の磁気
モーメントが媒体基体表面に垂直に並んだ垂直磁
気記録用の高密度磁気記録媒体を提供できる。
磁気記録媒体表面は、媒体基体が露出しているだ
けなので、従来のようなオーバーコートは必要と
しない。
録に適した磁気特性の良い磁性超微粒子で形成さ
れた磁気記録媒体を提供できる。磁性層の磁気
モーメントが媒体基体表面に垂直に並んだ垂直磁
気記録用の高密度磁気記録媒体を提供できる。
磁気記録媒体表面は、媒体基体が露出しているだ
けなので、従来のようなオーバーコートは必要と
しない。
第１図は本発明の概念を説明するための概略
図、第２図は本発明の方法により製造される磁気
記録媒体の断面図、第３図は本発明の磁気記録媒
体の製造方法における磁気記録層の磁化容易軸を
媒体基体表面に垂直にそろえる場合の製造方法を
説明するための概念図を示す。 １……媒体基体、２……磁性金属膜、３……イ
オン化ビーム、４……磁気記録層。
図、第２図は本発明の方法により製造される磁気
記録媒体の断面図、第３図は本発明の磁気記録媒
体の製造方法における磁気記録層の磁化容易軸を
媒体基体表面に垂直にそろえる場合の製造方法を
説明するための概念図を示す。 １……媒体基体、２……磁性金属膜、３……イ
オン化ビーム、４……磁気記録層。
Claims (1)
- １ 媒体基体表面に磁性金属膜またはその酸化膜
を形成する工程と、前記磁性金属膜またはその酸
化膜に、イオン化するとともに原子量または分子
量が磁性金属膜の原子量あるいは磁性酸化金属膜
分子量より大きな物質を電界により加速して注入
し、前記磁性金属を前記基体に注入する工程と、
前記磁性金属膜またはその酸化膜を除去する工程
とを含むことを特徴とした磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164442A JPS6055517A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US07/021,594 US4751100A (en) | 1983-06-20 | 1987-03-02 | Magnetic recording medium and method for making the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164442A JPS6055517A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055517A JPS6055517A (ja) | 1985-03-30 |
| JPH0326455B2 true JPH0326455B2 (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=15793241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164442A Granted JPS6055517A (ja) | 1983-06-20 | 1983-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055517A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54140505A (en) * | 1978-04-24 | 1979-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-09-06 JP JP58164442A patent/JPS6055517A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6055517A (ja) | 1985-03-30 |
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