JPH03266006A - 位置決めテーブルの駆動制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、位置決めテーブルに物体を載置してその位置
決めを行なう場合の位置決めテーブルの駆動制御方法に
関する。

（従来の技術〕 位置決めテーブルに物体を載置し、当該位置決めテーブ
ルを移動させて物体の位置決めを行なう装置は、例えば
半導体製造装置、電子顕微鏡装置等の多くの分野に使用
されている。

このような位置決めを行なう装置は、通常、比較的大き
な単位ストロークで駆動される粗動テーブルと、この粗
動テーブル上に載置されて微小な単位ストロークで駆動
される微動テーブルとを備えている。位置決め対象とな
る物体は微動チーフル上に載置される。以下、上記のよ
うな位置決め装置の一例を第４図および第５図により説
明する。

第４図は位置決め装置の斜視図、第５図は第４図に示す
微動機構の斜視図である。第４図で、Ｘ。

Ｙは座標軸を示す。５Ｙは図示しない空気定盤上に支持
されたステージ、５Ｘはステージ５Ｙ上においてＹ軸方
向に移動可能に設置されたステージである。６はステー
ジ５Ｘ上においてＸ軸方向に移動可能に設置された移動
台である。７Ｘは移動台６をＸ軸方向に移動させるモー
タ、７Ｙはステージ５ＸをＹ軸方向に移動させるモータ
である。

モータ７Ｙとステージ５Ｘ、およびモータ７Ｘと移動台
６とは適切な機構、例えばねし駆動機構や摩擦駆動機構
により連結されている。８は移動台６に固定された微動
機構、９は微動機構８によりＸ軸方向、Ｙ軸方向に微小
変位せしめられるテーブル、１０はテーブル９上にｌ！
！置された位置決め対象物体である。

１１Ｘ、１１Ｙは移動台６の各側面に配列されたリニア
エンコーダのスケールであり、反射膜で構成されている
。これら反射膜は、例えば５μｍの幅を有し、５μｍ間
隔で配置されている。これら各スケールＩＩＸ、ＩＩＹ
と対向して、リニアエンコーダのセンサが配置されるが
、これらセンサの図示は省略されている。当該センサは
、発光素子、スリット板および受光素子より成り、スケ
ールｌｌＸ１１Ｙを構成する反射膜で反射された発光素
子からの光を、スリット板を介して受光素子で受光する
構成となっている。このようなリニアエンコーダにより
移動台６の移動距離がμｍオーダの精度で測定できる。

このようなリニアエンコーダは周知である。

１６はレーザヘッドであり、例えば２周波レーザヘッド
が用いられる。このレーザヘッド１６は僅かに異なる周
波数ｆ、、ｆｔのレーザ光を出力する。

１７はレーザヘッド１６からのレーザ光を直線方向およ
びこれと直角方向に分割するビームスプリッタである。

１８Ｘ、１８Ｙはレーザ光のうち周波数ｆのレーザ光の
みを出力するインターフェロメータである。１９はテー
プ９に固定されたＬ型ミラーであり、Ｘ軸方向の反射を
行なう部分１９ＸおよびＹ軸方向の反射を行なう部分１
９’ｙ’を有する。２０Ｘ２０ＹはそれぞれＹ軸、Ｙ軸
のレシーバであり、インタフェロメータ１８Ｘ、１８Ｙ
から送られてくるレーザ光の周波数に基づいて所定の信
号を出力する。

２１はパルスコンパレータであり、レーザヘッド１６か
らの信号とレシーバ２０Ｘ、２０Ｙからの信号とに基づ
いてＸ軸方向およびＹ軸方向の変位量を演算し、これを
制御装置に出力する。２２ａ〜２２Ｃは台である。レー
ザヘッド１６、ビームスプリッタ１７、インタフェロメ
ータ１８Ｘ、１８Ｙ、Ｌ型ミラー１９、レシーバ２０Ｘ
、２０Ｙ、およびパルスコンパレータ２１によりレーザ
測長器が構成される。このようなレーザ測長器は周知で
あり、これによりテーブル９の微小な変位がサブμｍオ
ーダの精度で検出される。

２３は微動機構８の駆動を制御する微動コントローラ、
２４は制御装置である。制御装置２４はモータ７Ｘ、７
Ｙに速度指令を出力してこれらを駆動し、かつ、微動コ
ントローラ２３に変位指令を出力して微動機構８に変位
を発生させ、これにより位置決め対象物体１０に対して
目標位置への位１決めを行なう。

ここで、微動機構８の構成を第５図により説明する。第
５図で、２５は剛性の高い部材より成る中心Ｐｊ体部、
２６ａは中心剛体部２５からＹ軸方向に張出した張出し
部、２６ｂは中心剛体部２５から張出し部２６ａと反対
向きに張出した張出し部、２７ａは中心剛体部２５から
Ｘ軸方向に張出した張出し部、２７ｂは中心剛体部２５
から張出し部２７ａと反対向きに張出した張出し部であ
る。２８ａ、２８ｂはそれぞれ張出し部２６ａ、２６ｂ
の端部下端に設けられ移動台６に固定される固定部、２
９ａ、２９ｂはそれぞれ張出し部２７ａ、２７ｂの端部
上端に設けられテーブル９を連結するテーブル連結部で
ある。

張出し部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂ、４定部２８
ａ２８ｂ、およびテーブル連結部２９ａ、２９ｂはそれ
ぞれ中心剛体部２５と同じ部材で構成され、中心剛体部
２５とともに１つのブロックから加工成形される。

２６Ｆ、、、２６Ｆ、ｂはそれぞね張出し部２６ａ、２
６ｂに構成された平行たわみ梁変位機構（平行たわみ梁
変位機構については後述する。）であり、互いに中心剛
体部２５に対して対称的に構成されている。

平行たわみ梁変位機構２６Ｆ、、、２６Ｆ、ｔ、は共働
してＸ軸方向の並進変位（中心剛体部２５のＸ軸方向の
変位）を発生する。２７Ｆ、、、２７Ｆ、ｂはそれぞれ
張出し部２７ａ、２７ｂに構成された平行たわみ梁変位
機構であり、互いに中心剛体部２５に対して対称的に構
成されている。平行たわみ梁変位機構２７Ｆ、、。

２７ＦＶｂは共働してＹ軸方向の並進変位（中心剛体部
２５のＹ軸方向の変位）を発生する。上記平行たわみ梁
変位機構２６Ｆ、、、２６Ｆ、、２７Ｆ、、、２７Ｆ、
ｂ。

は各張出し部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂの所定個
所に所定の貫通孔を形成することにより構成される。

平行たわみ梁変位機構２６Ｆ、、は、貫通孔３０を形成
することにより構成される２つの互いに平行な平板状の
たわみ梁３１、および貫通孔３０内に中心剛体部２５と
張出部２６ａから突出した突起間に装架された圧電アク
チュエータ３２、ならびにたわみ梁３１の所定個所に粘
着されたひずみゲージＧで構成される。他の平行たわみ
梁変位機構２６Ｆ、ｂ、２７Ｆ、、。

２７　Ｆ　、ｂも同様な構成を有する。なお、平行たわ
み梁変位機構の構成および動作については、例えば特開
昭６１−２０９８４６号公報に提示されている。

次に、この微動機構８の動作を説明する。今、平行たわ
み梁変位機構２６Ｆ、、、２６Ｆ、あの各圧電アクチュ
エータ３２に等しい電圧を印加すると、その平行たわみ
梁３１が印加電圧に応じて変形し、微動機構８はＸ軸方
向に並進変位する。この変位は中心剛体部２５、平行た
わみ梁変位機構２７Ｆ、、、２１Ｆ、ｂ、および固定部
２９ａ、２９ｂを介してテーブル９に伝達され、テーブ
ル９は同量だけＸ軸方向に並進変位する。同様に、平行
たわみ梁変位機構２７　Ｆ　、、。

２６Ｆｙｂの圧電アクチュエータに同一電圧を印加した
場合、テーブル９はＹ軸方向に並進変位する。

なお、これら各平行たわみ梁変位機構を同時−に駆動す
ると、合成された並進変位を得ることができる。上記の
変位作動中、各ひずみゲージＧはたわみ梁３１のたわみ
を検出することにより微動機構の実際の変位量を検出す
る。

以上の位置決め装置において、モータ７Ｘ、７Ｙおよび
これらとステージ５Ｘ、移動台６とを連結する連結機構
は単位ストロークの比較的大きな駆動機構、即ち粗動駆
動機構を構成し、したがって移動台６は粗動テーブルと
なる。又、微動機構８は単位ストロークの微小な駆動機
構を構成し、テーブル９は微動テーブルとなる。この位
置決め装置において、従来の方法では、まず制御装置２
４により粗動駆動機構が駆動されて位置決め対象物体１
０を迅速に目標位置に近付け、これにより微動機構８に
よる変位が可能となる変位量範囲に達すると粗動駆動機
構を停止させ、次いで微動機構８を微小変位させて位置
決め対象物体１０を目標位置へ停止させる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述のように、位置決め装置では、粗動駆動機構により
粗動テーブル６（その上に載置される微動テーブル９）
を移動させた後、制御装置２４から粗動駆動機構への指
令を０として粗動テーブル６を停止させ、この状態で微
動機構８による微動テーブル９の変位が実行される。

ところで、粗動駆動機構への指令を０として粗動テーブ
ル６を停止させた状態では、粗動チーフルロを停止状態
に保持しておくことは国難であり、粗動機構が動いて微
動テーブル９の位置が微動機構８による調整可能な範囲
外に移動して位置決めができなくなるという事態が生じ
ていた。さらに、粗動機構自体は動かない場合でも、外
乱、例えば振動や電気的７ノイズ等により粗動機構が動
いて上記と同様の事態が生じることもある。

このような事態の発生を避けるため、従来、粗動機構を
停止させた後、これを何等かの手段でロック（例えば真
空ロック）する方法が徒案されている。ところが、この
ようなロック手段は当然ながら粗動駆動機構や粗動テー
ブルに力を作用させることとなるので、そのロック時に
粗動駆動機構が動いてしまい、上記の事態を解決するこ
とかできないばかりでなく、ロック手段によるロックに
相当の時間を要し、迅速な位置決めの障害になるという
問題もあった。

本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
確実な位置決めを行なうことができる位置決めテーブル
の駆動！］御方法を従供するにある。

りｖＲ題を解決するための手段〕 上記の目的を達成するため、本発明は、粗動機構で駆動
される粗動テーブル上に微動テーブルが設けられた位置
決めテーブルにおいて、前記粗動テーブルの粗動位置を
検出しこれに応じて前記粗動機構の駆動指令を出力する
粗動側面の１期間内に、前記微動テーブルが微動制御の
範囲内に入ったか否かを判断し、かつ、当該範囲内に入
っているとき前記微動テーブルを駆動する微動機構の駆
動指令を出力する微動制御を複数回実行することを特徴
とする。

〔作　　用〕

粗動機構を駆動させる指令は、一定期間毎に出力される
が、この期間内において複数回の微動制御が行なわれる
。この微動制御において、微動テーブルが微動制御の可
調整範囲内にあると判断されると微動機構へ指令が出力
されて微動機構による位置決めが行なわれ、可調整範囲
外にあると判断されると、微動機構への指令がなされず
（指令値をＯとし）、粗動機構による位置決め動作がな
される。

〔実施例〕

以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例に係る位置決め
テーブルの駆動制御方法を説明するフローチャートであ
る。第１図（ａ）は主たる処理を示すフローチャート、
第１図（ｂ）は割り込み処理を示すフローチャートであ
る。本実施例においては、予め設定された時間毎に第１
図（ａ）に示す主たる処理に割り込みが行なわれ、この
割り込みにより、主たる処理では、その割り込み時点で
の処理を一旦中止して第１図（ｂ）に示す割り込み処理
を実行し、この割り込み処理が終了すると、割り込みに
より一旦中止していた時点の処理から再び主たる処理が
開始されるように定められている。

さらに、本実施例では、粗動駆動機構に対して１回の駆
動制御を行なう間に（１サンプリング中に）、微動機構
に対しては予め設定された回数（ｎ回）の駆動制御を行
なう（ｎサンプリングを行なう）構成となっている。

まず、位置決めテーブル９の位置が目標位置に対して微
動ｉ構８による調整可能な範囲（微動範囲）にない場合
の制御について説明する。マイクロコンピュータより成
る制御装置（図示されていない）では、第１図（ａ）に
示す割り込み処理の割り込み回数ｉを０とする（第１図
（ａ）に示す千〇ｉ　ｓ　＋。）。次に、割り込みがな
されているときはその割り込みを承認する処理が行なわ
れ（手順５ｌｌ）、割り込みがないときは位置決めのた
めの制御が終了したか否か判断しく手順Ｓｌり、終了し
ていない場合には、割り込み回数ｉがｎ回であるか否か
判断する（手順５Ｉ３）。この回数ｍは前述の回数ｎよ
りも小さい任意の回数である。後述する割り込みかｎ回
に達するまでは、以後の処理はなされず、手順ＳＩ３の
処理が繰り返されることとなる。割り込みがｍ回行なわ
れると、手順ＳＩ３ではこれが判断され、処理は手順５
１４９手１１１Ｎ　Ｓ　＋　ｓに移行する。手＊Ｓ１４
では、リニアエンコーダにより粗動テーブル６の位置を
検出する処理か行なわれ、手順ＳＩ５では、手順Ｓ１４
で検出された位置に基づいて、又は制御開始からの時間
に基づいて粗動駆動機構に出力すべき粗動指令値（例え
ば速度指令Ｍ）を演算する処理を行なう。手順Ｓ＋ｓに
おける処理が終了すると、処理は手順ＳＩ２へ戻る。

上記のように主たる処理の実行中、予め設定された時間
が経過すると第１図（ｂ）に示す割り込み処理が行なわ
れる。手順Ｓ、、により割り込みが承認されると、まず
、割り込み回数ｉに１が加算される（手ＸＩ　ｓ　ｔ。

）。次に微動テーブル９が微動範囲にあるか否かが、さ
きの手順Ｓ１４における処理より得られた値から判断し
、微動範囲にないと判断されると、微動機構８に対する
指令値を０としく手＊５ｔＺ）、その指令ＵＯを出力し
く手順５２３）　、割り込み回数がｎ回に達しているか
否か判断する（手順Ｓ　ｔ４）。割り込み回数ｎ回に達
していないとき、即ち、粗動駆動機構に対する制御の１
サンプリング期間内である場合には、手順Ｓ２４の処理
によって割り込み処理が終了する。

上記のような割り込み処理が終了すると、主たる処理で
は再び割り込み時において中断された処理が継続される
。このような割り込み処理が上記１サンプリング期間内
で設定時間毎に繰り返され、その回数がｍ回になると前
述の手順ＳＩ４＋　　Ｓｌ！Ａの処理が行なわれること
となる。そして、最後の割り込み、即ち０回の割り込み
時の処理において、手順３２ｇで　ｉ＝ｎ　　と判断さ
れることとなり、これによりさきに手）ｌ　Ｓ　Ｉｓで
演算されていた粗動指令値が出力される（手順Ｓ２．）
。次いで、次の１サンプリング期間の割り込みに入るた
め、割り込み回数ｉを０に戻しておく　（手順Ｓ　ｔｈ
）。　以上の処理によりｌサンプリング時間毎に手順Ｓ
ｔＳの処理で粗動駆動機構に対して指令値が出力されて
ゆくと、粗動テーブル６および微動テーブル９が目標位
置に向って近付いてゆき、やがて、微動テーブル９が微
動範囲に入る位置に達する。この状態に入った最初の割
り込みにおいて、手ｗｌ　ｓ　ｔ　。

でこれが判断され、処理は手順Ｓ　ｚ　？へ移行し、レ
ーザ測長器により微動テーブル９の位置が検出される。

次いで、検出された値に基づいて微動機構８に対する微
動指令値が演算され（手［５ｚｓ）、演算された指令値
が出力される（手順Ｓ２．）。これにより微動機構８が
変位せしめられ、微動テーブル９が目標位置に達したと
き、手順Ｓ、における演算値が０となる。この状態にお
いても、第１図（ａ）に示す主たる処理、および第１図
＜ｂ）に示す割り込み処理は継続して実行され、微動テ
ーブル９が目標位置にある限り、手１１＠　Ｓ　ｔ　３
において出力される微動指令値はＯのままである。

上記の処理において、手ｊｌｊ　ｓ　ｔ　ｌ　？微動範
囲内と判断された後、何等かの原因で微動チーフル９が
微動範囲外に変位したときには、手順Ｓ　ｔ　ｒでこれ
が判断されて前述の粗動の制御、次いで微動の制御が実
行されることになる。又、微動チーフル９が目標位置に
位置決めされた後、何等かの原因で微動テーブル９が変
位したときは、これに応じて直ちに上記の制御が実行さ
れることになる。そして、位置決めを行なう必要がなく
なったときは、制御終了指令を出力する等の手段により
手順Ｓ１□においてこれを判断し、割り込み禁止の処置
（手順５１６）を行なった後、制御動作を終了する。

なお、上記の制御方法から明らかなように、微動機構８
は粗動駆動機構より迄かに速い応答速度（応答周波数）
をもつ構造のものでなければならず、第５図に示す構造
のものはこの条件を充分に満足する構造である。

このように、本実施例では、粗動駆動機構と微動機構と
を常時複合した状態で制御するようにしたので、粗動テ
ーブルに対するロック手段を用いなくても確実に位置決
めを行なうことができる。

又、ロック手段を用いないので、ロック手段を駆動した
とき生じる変位により位置決めが不可能になる事態を避
けることができ、この面からも確実な位置決めを行なう
ことができる。さらに、ロック手段を用いないので、構
造を簡素化することができる。

ここで、第１図（ｂ）に示す手Ｍｉ［Ｓｉｓ、　　Ｓｚ
ｓにおいて各指令が出力されたときの微動機構８および
粗動駆動機構に対する制御の一例を第２図および第３図
を用いて簡単に説明する。

第２図は粗動駆動機構に対する速度指令曲線、第３図は
制御の機能を示すブロック図である。ところで、さきの
実施例の説明で述べた制御は、粗動駆動機構および微動
機構の両者を備えた位置決め装置であればすべて適用可
能である。しかしながら、位置決めにおいては振動の少
ない安定した制御が望ましいのは当然であり、この要望
を満足するには粗動駆動機構に対する速度指令パターン
が第２図に示すように加減速かゆるやかであるような特
性曲線となることが望ましい。このような特性曲線は、
粗動駆動機構の機械的特性により定まる最大加速度およ
び最大速度に基づく時間の３次関数により作成すること
ができる。

第２図に示す速度指令パターンの場合、３つの領域１〜
■に分けて制御を行なう。領域Ｉは加速領域、領域■は
定速および減速領域、領域■は積分補償領域である。以
下、まず粗動駆動機構に対する上記各領域の制御を、次
いで微動機構に対する制御を第３図により説明する。

第３図で、４０は粗動駆動機構に対する制御に用いられ
るスイッチング手段、４０１は切換端子、４０１１．４
０１［［は切換端子およびこれに接続された加算手段を
示す。粗動駆動機構の制御において、制御開始時、まず
スイッチング手段４０が端子４０１に切換えられて領域
■の制御が行なわれる。即ち、ｅｆは目標位Ｗ（又は目
標変位量）であるが、領域Ｉでは目標位置θ、に関係な
く速度指令値発生手段４１から時間に応じて第２図に示
す領域Ｉの３次関数曲線にしたがう速度指令価Ω、が出
力される。この指令値Ω、は加算手段４２により実際の
速度Ω１と比較され、その差の速度が増幅手段４３４４
に入力されてモータ４５（第４図のモータ７Ｘ７Ｙに相
当する）に対して印加すべき電圧を出力する。この結果
、粗動テーブル６が駆動され、粗動位置検出器４６（リ
ニアエンコーダ）によりその位置θ、が検出される。こ
の位置ｅ１は微分手段４７で微分されて実際の速度Ω１
が演算出力され、加算手段４２により速度指令値Ω、と
比較される。

速度指令値Ω、が予め定められた前述の最大速度に達す
ると、スイッチング手段４０は切換端子兼加算手段４０
Ｉ［に切換えられて領域■の制御に入る。

領域■の制御では、まず、粗動テーブル６の移動量が演
算により得られるある移動量に達するまで、速度指令値
発生手段４８から前記最大速度指令値が連続して出力さ
れる。そして、当該移動量に達すると、速度指令値発生
手段４８は次の演算を行なって減速の速度指令値を発生
する。即ち、速度指令値発生手段４８は、まず実際の位
置θ、と目標位置θ、との差Δθを演算し、さらに、領
域Ｉにおける変位開始からの前記３次関数にしたがった
場合の変位量が差Δｅと等しくなる時間を演算し、その
時間における当該３次関数の速度指令値を求め、この速
度指令値を差Δθの場合の速度指令価Ω。

として出力する。以後の処理は領域Ｉにおける処理と同
じである。このようにして差Δｅが小さくなってゆき、
これに伴い速度指令値も減少してゆくが、この速度指令
値の変化は速度指令値発生手段４８の上記演算処理によ
り、はぼ３次関数にしたがう変化となり、なだらかな減
速が行なわれる。

粗動テーブル６の速度が、予め定められた速度に達する
と、スイッチング手段４０は切換端子兼加算手段４０１
１１に切換えられて領域■の制御に入る。

領域■における積分補償制御は次の理由により実施され
る。即ち、差Δｅが小さくなると速度指令値も小さくな
るが、粗動駆動機構系に存在する摩擦力のため、速度指
令値がある小さな価に達するとその指令値では粗動テー
ブル６の駆動が不可能となり、粗動テーブル６は差Δθ
を残したまま停止してしまい、微動テーブル９を微動範
囲内に入れることができなくなる場合が生じる。このた
め、積分補償制御が実施されるものであり、小さくなっ
た速度指令値を積分してゆくことにより粗動テーブル６
を移動させるに充分な指令値とする制御が行なわれる。

まず、加算手段４０ｍにより差Δθが演算され、この差
Δｅは積分手段４９により積分ゲインＧ８を氏 乗じて積分し号ものと、比例ゲインｃｒを乗したものと
を加算し出力する。この値と実際の位置θ１を微分し、
た値とを比較し、差の速度が演算される。

この差の速度は増幅手段５１．４４によりこれに応じた
電圧に変換されでモータ４５に印加される。

以上の粗動駆動機構の制御により、粗動チーフルロ　（
即ちこれとともに動く微動テーブル９）は円滑に微動範
囲内に移行せしめられる。

次に、微動機構に対する制御を説明する。加算手段５３
では微動位置検出器５９（レーザ測長器）で検出された
実際の位置θ１との差Δθが演算され、積分ゲインＰ、
を有する積分手段５４により積分された値と比例ゲイン
Ｐ、を道った値とを加算し出力する。この位置指令は、
ひずみゲージ５８（第５図に示すひずみゲージＧ）の出
力ｅ、とともに圧電素子増幅手段５６に入力され、両者
の差に応した値に比例した電圧が微動アクチュエータ５
７、即ち第５図に示す圧電素子３２に印加される。これ
により、微動機構８が駆動され、微動テーブル９を目標
位置へ変位せしめる。

以上のような粗動駆動機構に対する制御および微動機構
に対する制御は、第１図（ａ）、（ｂ）のフローチャー
トにしたがって述べた本実施例の制御方法における指令
値の出力に応して実施される。

そして、第２，３図に示す制御は単なる一例にすぎず、
本発明の制御方法はどのような制御に対しても適用する
ことができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、粗動制御の１期間内で
複数回の微動制御を行ない、この各微動制御のなかで常
に微動範囲にあるか否かを判断するようにしたので、粗
動テーブルをロックするロック手段を設けることなく、
かつ、ロック手段によってもなし得ない確実な位置決め
を行なうことができる。又、ロック手段を省くことがが
きるので、機構を簡素化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例に係る位置決め
テーブルの駆動制御方法を説明するフローチャート、第
２図は速度指令パターンの特性図、第３図は制御の機能
を示すブロック図、第４図は位置決め装置の斜視図、第
５図は第４図に示す微動機構の斜視図である。 ６・・・移動台（粗動テーブル）、８・・・微動機構、
９・・・テーブル （微動テーブル） 第 図 第　１　図 （ｂ） （ａ） ２ 図 第 図 Ｃ情（１５１台（粗動テーフ）し） ８ｑ軟動視精 ９°　ヲーフ・ハ／　（イ灯動ヲ−７つ））ンｂ″ａ ２７Ｆソレ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）粗動機構で駆動される粗動テーブル上に微動テー
   ブルが設けられた位置決めテーブルにおいて、前記粗動
   テーブルの粗動位置を検出しこれに応じて前記粗動機構
   の駆動指令を出力する粗動制御の１期間内に、前記微動
   テーブルが微動制御の範囲内に入つたか否かを判断し、
   かつ、当該範囲内に入つているとき前記微動テーブルを
   駆動する微動機構の駆動指令を出力する微動制御を複数
   回実行することを特徴とする位置決めテーブルの駆動制
   御方法。
2. （２）請求項（１）において、前記粗動制御は、時間の
   ３次関数にしたがう速度指令パターンに基づいて実行さ
   れることを特徴とする位置決めテーブルの駆動制御方法
   。
3. （３）請求項（１）において、前記微動機構は、前記粗
   動機構より応答周波数が大きいことを特徴とする位置決
   めテーブルの駆動制御方法。