JPH03266484A - 気体レーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、気体レーザ発振器に関し、特に放電励起方式
の軸流気体レーザ発振器に関するものである。

（従来の技術） ＣＯ□ガス等の気体をレーザ媒体とする気体レーザ発振
器として、ガラス管制のレーザ放電管の軸線方向に互い
に隔置されたアノード電極とカソード電極とによる放電
により前記レーザガスの励起を行うよう構成された放電
励起方式の軸流気体レーザ発振器は良く知られている。

上述の如き軸流気体レーザ発振器に於ては、大きいレー
ザ出力を得るために、二つのレーザ放電管がレーザガス
出口を兼ねたセンタブロックをもって直列に接続され、
二つのレーザ放電管の互いの接続端とは反対の側の端部
に各々レーザガス入口とアノード電極とが設けられ、接
続端側に各々カソード電極が設けられ、二つのレーザ放
電管の各々のアノード電極とカソード電極との間にて放
電が行われるよう構成された二連式のものがある。

二連式の軸流気体レーザ発振器に於ては、互いに直列に
接続された二つのレーザ放電管のカソード電極はセンタ
ブロックを隔てて互いに隣接配置されるから、各レーザ
放電管のアノード電極とカソード電極との間にて確実な
放電が行われるべく、二つのカソード電極間の距離を所
定値以上に広（とる必要があり、このためカソード電極
はレーザ放電管の軸線方向の途中に設けられている。

この場合、カソード電極の支持方法が問題になり、従来
一般的には、一つのレーザ放電管を二つのガラス管によ
って分割構成し、この二つのガラス管をアルミニウム等
により構成された金属製の接続部材により接続するよう
にすると共にこの接続部材にカソード電極を取付けるこ
とが行われている。

（発明が解決しようとする課題） 上述の如きカソード電極支持構造においては、構成部品
点数が多いばかりでなく、二つのガラス管の接続精度、
即ち同心度を高精度に保つ必要が生じ、このためレーザ
ビームのアライメントがレーザ放電管毎に必要になり、
またレーザ放電管の交換が面倒なものになる。

本発明は、上述の如き不具合に鑑み、構造簡単にしてカ
ソード電極を適切に保持し、しかも一つのレーザ放電管
に於て特別なレーザビームのアライメントを必要としな
い気体レーザ発振器を提供することを目的としている。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上述の如き目的は、本発明によれば、ガラス製のレーザ
放電管の軸線方向の途中にカソード電極が設けられる気
体レーザ発振器に於て、前記レーザ放電管にこれの管壁
を貫通して延在するタングステン製の電極支持ピンが一
体的に設けられ、前記電極支持ピンにより前記レーザ放
電管内にリング状のカソード電極が固定配置されている
ことを特徴とする気体レーザ発振器によって達成される
。

（作用） 上述の如き構成によれば、一つのレーザ放電管は一つの
ガラス管により構成されるようになり、これによって一
つのレーザ放電管に於て心合せを行う必要がなくなる。

カソード電極はレーザ放電管に一体的に設けられた電極
支持ピンによってレーザ放電管内に封入式に固定配置さ
れることになり、電極支持ピンはガラス製のレーザ放電
管の熱膨張率と同程度の熱膨張率を有するタングステン
により構成されているから、該両者の熱膨張率差によっ
て該両者の一体的接続部に熱応力が作用すれることがな
い。

（実施例） 以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。

第１図及び第２図は本発明による気体レーザ発振器の一
つの実施例を示している。気体レーザ発振器はアルミニ
ウム等の金属により構成されたセンタブロック１によっ
て互いに直列に接続された二つのレーザ放電管３及び５
を有している。レーザ放電管３及び５は、各々、硼珪酸
ガラス（パイレックス）の如き耐熱ガラスにより構成さ
れ、各々の外側の端部には光共振器としての反射鏡７及
び９が設けられている。反射鏡７と９の何れか一つは請
ゆるハーフミラ−として構成されて出力ミラーをなして
いる。

レーザ放電管３及び５の各々の外側端部近傍、即ち互い
の接続端とは反対の側の端部にはレーザガス人口１３．
１７を備えたアノード電極ホルダ１１．１５が設けられ
ている。センタプロ・ンク１にはレーザ放電管３及び５
の共通のレーザガス出口１９が設けられており、これに
よりレーザガスは、レーザ放電管３に於てはアノード電
極ホルダ１１よりセンタブロック１へ向けて流れ、これ
：こ対しレーザ放電管５に於てはアノード電極ホルダ１
５よりセンタブロック１へ向けて流れることになる。

アノード電極ホルダ１１と１５には各々のピン状のアノ
ード電極２１．２３が取付けられている。

レーザ放電管３及び５の各々の軸線方向の途中には、第
２図によく示されている如く、タングステン製の電極支
持ピン２５．２７がインサート成形により一体的に設け
られている。電極支持ピン５．２７は、各々、レーザ放
電管３及び５の各々の端壁を貫通して延在し、レーザ放
電管内部の先端部にてリング状のカソード電極２９．３
１を固定支持している。電極支持ピン２５．２７とカソ
ード電極２９．３１の接続は、溶接、ろう付等の適宜の
導電性溶着手段により一体的に行われればよく、カソー
ド電極２９．３１は、電極支持ピン２５．２７のレーザ
放電管３．５に対する取付精度をもってこれらレーザ放
電管と同心に配置されている。尚、カソード電極２５．
２７の内径はレーザ放電管３及び５の内径とほぼ同等で
あってよい。

また図示の実施例に於ては、レーザ放電管３及び５は、
各々、カソード電極２９．３１の配置部に於ては、他の
部分より拡径されて大きい通路断面積を有し、その両側
に於ては同一径になっている。これによりレーザ放電管
３或いは５内に於けるレーザビームがレーザ放電管３．
５の管壁に衝突することがない。

以上に於ては、本発明を特定の実施例について詳細に説
明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、
本発明の範囲内にて種々の実施例が可能であることは当
業者にとって明らかであろう。

［発明の効果コ 上述の如き実施例の説明より理解されるように、本発明
による気体レーザ発振器に於ては、レーザ放電管に一体
的に設けられた電極支持ピンによってカソード電極がレ
ーザ放電管内に固定配置されることから、カソード電極
はレーザ放電管内に封入されるようになってレーザ放電
管を二つのガラス管に分割する必要がなくなる。これに
より部品点数が従来に比して削減されると共にレーザ放
電管の、更にはカソード電極の組付、交換等のメンテナ
ンスが従来に比して容易に行われ得るようになる。レー
ザ放電管により直接支持される電極支持ピンはレーザ放
電管を構成するガラスと同程度の熱膨張率を有するタン
グステンにより構成されていることから、両者の熱膨張
率の違いにより、これら材料に変形が生じることがなく
、このことによって信頼性高くガラス製のレーザ放電管
と電極支持ピンとの接続、ついてはカソード電極のレー
ザ放電管内に対する封入が行われるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による気体レーザ発振器の一つの実施例
を示す概略構成図、第２図は本発明による気体レーザ発
振器に用いられるレーザ放電管の一つの実施例を示す縦
断面図である。 １・・・センタブロック　　３．５・・・レーザ放電管
１３．１７・・・レーザガス入口 １９・・・レーザガス出口 ２１．２３・・・アノード電極 ２５．２７・・・電極支持ピン ２９．３１・・・カソード電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガラス製のレーザ放電管の軸線方向の途中にカソード電
   極が設けられる気体レーザ発振器に於て、前記レーザ放
   電管にこれの管壁を貫通して延在するタングステン製の
   電極支持ピンが一体的に設けられ、前記電極支持ピンに
   より前記レーザ放電管内にリング状のカソード電極が固
   定配置されていることを特徴とする気体レーザ発振器。