JPH0334925Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0334925Y2 JPH0334925Y2 JP1985158448U JP15844885U JPH0334925Y2 JP H0334925 Y2 JPH0334925 Y2 JP H0334925Y2 JP 1985158448 U JP1985158448 U JP 1985158448U JP 15844885 U JP15844885 U JP 15844885U JP H0334925 Y2 JPH0334925 Y2 JP H0334925Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- gas
- laser
- pipe
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は軸流型ガスレーザー発振器に関し、特
に、レーザー管が外管と該外管内に同心状に設け
られた内部をガス流路とする内管とからなり、こ
れら内管と外管との間には冷却水を流すための冷
却室が形成され、内管には、放電用の電極が複数
個所に設けられていると共いに、ガス流路にガス
を流すためのガス給排管が設けられている軸流型
ガスレーザー発振器に関する。
に、レーザー管が外管と該外管内に同心状に設け
られた内部をガス流路とする内管とからなり、こ
れら内管と外管との間には冷却水を流すための冷
却室が形成され、内管には、放電用の電極が複数
個所に設けられていると共いに、ガス流路にガス
を流すためのガス給排管が設けられている軸流型
ガスレーザー発振器に関する。
（従来技術及びその問題点）
従来この種の軸流型ガスレーザー発振器におい
ては、各放電用電極の電極端子がその電極からレ
ーザー管の外向き半径方向に１本だけ導出されて
おり、またガス供給管やガス排出管も、レーザー
管の内管から外管側へ外向き半径方向に延設され
て外管の外へ延出した構造となつているため、ガ
スレーザー発振器の使用時に放電によつて内管が
高温に加熱される時には、内管における電極端子
の延出部分やガス給排管の取付部分が局部的に偏
つて熱膨張することになつて、斯る部分からレー
ザー管の中心軸線が屈曲するなど、その直線性に
狂いを生じ、その結果両端に取付けられているミ
ラーの角度が変化して出力が変動するという問題
があつた。
ては、各放電用電極の電極端子がその電極からレ
ーザー管の外向き半径方向に１本だけ導出されて
おり、またガス供給管やガス排出管も、レーザー
管の内管から外管側へ外向き半径方向に延設され
て外管の外へ延出した構造となつているため、ガ
スレーザー発振器の使用時に放電によつて内管が
高温に加熱される時には、内管における電極端子
の延出部分やガス給排管の取付部分が局部的に偏
つて熱膨張することになつて、斯る部分からレー
ザー管の中心軸線が屈曲するなど、その直線性に
狂いを生じ、その結果両端に取付けられているミ
ラーの角度が変化して出力が変動するという問題
があつた。
（問題点を解決するための技術的手段）
本考案は上記の問題点を解決せんとしたもの
で、そのための技術的手段は、各放電用電極か
ら、レーザー管の断面に関して対称位置に配設さ
れた複数の電極端子が外管の外部に導出されてい
ると共に、各電極端子は内管から外管に亘つてレ
ーザー管の半径方向に一体延設された水封端子管
に挿通支持されており、各ガス給排管は、内管と
外管との間においてレーザー管の直径方向対称状
に一体延設された１対の管状部を有することを特
徴としている。
で、そのための技術的手段は、各放電用電極か
ら、レーザー管の断面に関して対称位置に配設さ
れた複数の電極端子が外管の外部に導出されてい
ると共に、各電極端子は内管から外管に亘つてレ
ーザー管の半径方向に一体延設された水封端子管
に挿通支持されており、各ガス給排管は、内管と
外管との間においてレーザー管の直径方向対称状
に一体延設された１対の管状部を有することを特
徴としている。
（実施例）
以下本考案の実施例を図面にもとづき説明す
る。
る。
第１図は高速軸流型のレーザー発振器を縦断面
図で示したものであり、第２図は同発振器を第１
図の位置から90゜回転させた状で示す縦断面図で
ある。これらの図において１１はレーザー管で、
外管１１ａと、この外管１１ａ内部に同心的且つ
一体的に形成されて内部をガス流路１４とする内
管１１ｂとからなり、そして内管１１ｂの左右各
端部が外管１１ａの左右各端部のフランジ１３ま
で延びて、これら内管１１ｂと外管１１ｂとの間
には環状の冷却室１２がレーザー管１１の全長に
亘り形成されている。
図で示したものであり、第２図は同発振器を第１
図の位置から90゜回転させた状で示す縦断面図で
ある。これらの図において１１はレーザー管で、
外管１１ａと、この外管１１ａ内部に同心的且つ
一体的に形成されて内部をガス流路１４とする内
管１１ｂとからなり、そして内管１１ｂの左右各
端部が外管１１ａの左右各端部のフランジ１３ま
で延びて、これら内管１１ｂと外管１１ｂとの間
には環状の冷却室１２がレーザー管１１の全長に
亘り形成されている。
上記内管１１ｂの両端部寄りの位置及び中央位
置にはそれぞれ放電用の円筒状及びリング丈電極
１５，１６が配設されている。各端部側の円筒状
電極１５からは、レーザー管１１の断面の直径方
向線に関して対称位置に配設された２本の電極端
子１７，１７がレーザー管１１の外部に導出され
ていると共に、これらの電極端子１７，１７は、
第２図に示されるように内管１１ｂから外管１１
ａ側へレーザー管１１の断面の半径方向に一体延
設され更にこの外管１１ａを貫通してその外側で
折曲延設されたところの水封端子管１８，１８に
それぞれ挿通支持されている。また、中央部側の
リング状電極１６からも同様に、レーザー管１１
の直径に関して対称位置に配設された２本の電極
端子１９，１９がレーザー管１１の外部に導出さ
れ、そしてこれらの電極端子１９，１９も、前記
端子管１８，１８と同様に内管１１ｂからレーザ
ー管１１の直径方向に外管１１ａを貫いて外方へ
一体延設された水封端子管２０，２０に挿通支持
されている。
置にはそれぞれ放電用の円筒状及びリング丈電極
１５，１６が配設されている。各端部側の円筒状
電極１５からは、レーザー管１１の断面の直径方
向線に関して対称位置に配設された２本の電極端
子１７，１７がレーザー管１１の外部に導出され
ていると共に、これらの電極端子１７，１７は、
第２図に示されるように内管１１ｂから外管１１
ａ側へレーザー管１１の断面の半径方向に一体延
設され更にこの外管１１ａを貫通してその外側で
折曲延設されたところの水封端子管１８，１８に
それぞれ挿通支持されている。また、中央部側の
リング状電極１６からも同様に、レーザー管１１
の直径に関して対称位置に配設された２本の電極
端子１９，１９がレーザー管１１の外部に導出さ
れ、そしてこれらの電極端子１９，１９も、前記
端子管１８，１８と同様に内管１１ｂからレーザ
ー管１１の直径方向に外管１１ａを貫いて外方へ
一体延設された水封端子管２０，２０に挿通支持
されている。
上記外管１１ａの両端部には冷却室１２に対し
冷却水の給排を行うための冷却水給排口２１，２
１が設けられている。また、レーザー管１１の両
端部にはガス流路１４にガスを供給するためのガ
ス供給管２２が設けられ、中央部側にはガス排出
管２３が設けられている。各ガス供給管２２は、
内管１１ｂと外管１１ａとの間においてレーザー
管１１の直径方向対称状に一体延設された１対の
管状部２２ａ，２２ｂを有し、その一方側の管状
部２２ａは外管１１ａの外方へ延出され、この延
出端部からガスが当該管状部２２ａを通じて内管
１１ｂ内部のガス流路１４に流入されることにな
り、また他方側の管状部２２ｂは、その内端部が
内管１１ｂと連通しているだけで、外端部は外管
１１ａによつて閉塞された状態となつている。ま
た、ガス排出管２３も、前記ガス供給管２２と同
様に内管１１ｂと外管１１ａとの間においてレー
ザー管１１の直径方向対称状に一体延設された１
対の管状部２３ａ、２３ａを有し、これら管状部
２３ａ、２３ａのそれぞれが外管１１ａを貫通し
てその外方へ延出されており、従つてこれら両管
状部２３ａ、２３ａを通じてガス流路１４内のガ
スが排出されるようになつている。尚、図示は省
略するが、レーザー管１１の両端にはミラーヘツ
ドを介してミラーが取付けられるようになつてい
る。
冷却水の給排を行うための冷却水給排口２１，２
１が設けられている。また、レーザー管１１の両
端部にはガス流路１４にガスを供給するためのガ
ス供給管２２が設けられ、中央部側にはガス排出
管２３が設けられている。各ガス供給管２２は、
内管１１ｂと外管１１ａとの間においてレーザー
管１１の直径方向対称状に一体延設された１対の
管状部２２ａ，２２ｂを有し、その一方側の管状
部２２ａは外管１１ａの外方へ延出され、この延
出端部からガスが当該管状部２２ａを通じて内管
１１ｂ内部のガス流路１４に流入されることにな
り、また他方側の管状部２２ｂは、その内端部が
内管１１ｂと連通しているだけで、外端部は外管
１１ａによつて閉塞された状態となつている。ま
た、ガス排出管２３も、前記ガス供給管２２と同
様に内管１１ｂと外管１１ａとの間においてレー
ザー管１１の直径方向対称状に一体延設された１
対の管状部２３ａ、２３ａを有し、これら管状部
２３ａ、２３ａのそれぞれが外管１１ａを貫通し
てその外方へ延出されており、従つてこれら両管
状部２３ａ、２３ａを通じてガス流路１４内のガ
スが排出されるようになつている。尚、図示は省
略するが、レーザー管１１の両端にはミラーヘツ
ドを介してミラーが取付けられるようになつてい
る。
また、上記外管１１ａ、内管１１ｂ、フランジ
１３、水封端子管１８，２０、冷却水給排口２
１、ガス供給管及びガス排出管２３は石英その他
熱膨張率の小さいガラスで一体形成されている。
１３、水封端子管１８，２０、冷却水給排口２
１、ガス供給管及びガス排出管２３は石英その他
熱膨張率の小さいガラスで一体形成されている。
上述したような構成を有するガスレーザー発振
器の使用にあたつては、レーザー管１１内部の中
央側に配置されたリング状電極１６を高圧側に、
各端部側に配置された円筒状電極１５を低圧側に
充電して、それぞれ両電極１５，１６間で放電を
行わせる。ガスは各ガス供給管２２からガス流路
１４に供給されてガス排出管２３から排出され、
そして冷却水はいずれか一方の給排口２１から冷
却室１２に供給され、ここを流通した冷却水は他
方の給排口２１より排出されるようになつてい
る。
器の使用にあたつては、レーザー管１１内部の中
央側に配置されたリング状電極１６を高圧側に、
各端部側に配置された円筒状電極１５を低圧側に
充電して、それぞれ両電極１５，１６間で放電を
行わせる。ガスは各ガス供給管２２からガス流路
１４に供給されてガス排出管２３から排出され、
そして冷却水はいずれか一方の給排口２１から冷
却室１２に供給され、ここを流通した冷却水は他
方の給排口２１より排出されるようになつてい
る。
上述の実施例によると、各水封端子管１８、１
８、２０、２０ならびにガス供給管２２の管状部
２２ａ、２２ｂ及びガス排出管２３の管状部２３
ａ、２３ａがそれぞれレーザー管１１の断面に関
してその直径方向対称位置に設けられているた
め、均等に熱膨張してレーザー管の直線性を維持
することができる。
８、２０、２０ならびにガス供給管２２の管状部
２２ａ、２２ｂ及びガス排出管２３の管状部２３
ａ、２３ａがそれぞれレーザー管１１の断面に関
してその直径方向対称位置に設けられているた
め、均等に熱膨張してレーザー管の直線性を維持
することができる。
上記実施例は２本の電極端子１７，１７又は１
９，１９をレーザー管１１の断面上の両側対称位
置に配設したものであるが、第４図イに例示して
いるように、周方向に120゜の等間隔で配設した３
本の電極端子２７，２７，２７を電極２５からレ
ーザー管３０の外部に導出させるようにしてもよ
く、また第４図ロのように、２個づつ両側対称位
置に配設した４本の電極端子２９，２９，２９，
２９を電極２６からレーザー管３１の外部に導出
させてもよい。尚、図中３２及び３３は水封端子
管を示す。
９，１９をレーザー管１１の断面上の両側対称位
置に配設したものであるが、第４図イに例示して
いるように、周方向に120゜の等間隔で配設した３
本の電極端子２７，２７，２７を電極２５からレ
ーザー管３０の外部に導出させるようにしてもよ
く、また第４図ロのように、２個づつ両側対称位
置に配設した４本の電極端子２９，２９，２９，
２９を電極２６からレーザー管３１の外部に導出
させてもよい。尚、図中３２及び３３は水封端子
管を示す。
（考案の作用及び効果）
本考案の軸流型ガスレーザー発振器によれば、
電極端子を挿通支持する水封端子管の設けられて
いるレーザー管部分及び各ガス給排管の設けられ
ているレーザー管部分がいずれも断面対称形状と
なり、従つて放電時に内管更には端子管、ガス給
排管が高温に加熱される際には上記各レーザー管
部分、特に内管部分がその断面上の対称位置で均
等に熱膨張し、それによりレーザー管はその中心
軸線が屈曲することなくその直線性を維持するこ
とができる。
電極端子を挿通支持する水封端子管の設けられて
いるレーザー管部分及び各ガス給排管の設けられ
ているレーザー管部分がいずれも断面対称形状と
なり、従つて放電時に内管更には端子管、ガス給
排管が高温に加熱される際には上記各レーザー管
部分、特に内管部分がその断面上の対称位置で均
等に熱膨張し、それによりレーザー管はその中心
軸線が屈曲することなくその直線性を維持するこ
とができる。
第１図は本考案に係るガスレーザー発振器の一
実施例を示す縦断面図、第２図はレーザー管を第
１図の状態から90゜回転させた位置での縦断面図、
第３図は第１図に示すガスレーザー発振器の端面
図、第４図イ，ロは他の実施例を示す横断面図で
ある。 １１……レーザー管、１１ａ……外管、１１ｂ
……内管、１２……冷却室、１４…ガス流路、１
５，１６……放電用電極、１７，１９，２７，２
９……電極端子、１８，２０……水封端子管、２
１……冷却水給排口、２２……ガス供給管、２２
ａ，２２ｂ……管状部、２３……ガス排出管、２
３ａ…管状部。
実施例を示す縦断面図、第２図はレーザー管を第
１図の状態から90゜回転させた位置での縦断面図、
第３図は第１図に示すガスレーザー発振器の端面
図、第４図イ，ロは他の実施例を示す横断面図で
ある。 １１……レーザー管、１１ａ……外管、１１ｂ
……内管、１２……冷却室、１４…ガス流路、１
５，１６……放電用電極、１７，１９，２７，２
９……電極端子、１８，２０……水封端子管、２
１……冷却水給排口、２２……ガス供給管、２２
ａ，２２ｂ……管状部、２３……ガス排出管、２
３ａ…管状部。
Claims (1)
- レーザー管が外管と該外管内に同心状に設けら
れた内部をガス流路とする内管とからなり、これ
ら内管と外管との間には冷却水を流すための冷却
室が形成され、内管には、放電用の電極が複数箇
所に設けられていると共に、ガス流路にガスを流
すためのガス給排管が設けられている軸流型ガス
レーザー発振器において、各放電用電極からはレ
ーザー管の断面に関して対称位置に配設された複
数の電極端子が外管の外部に導出されていると共
に、各電極端子は内管から外管に亘つてレーザー
管の半径方向に一体延設された水封端子管に挿通
支持されており、各ガス給排管は、内管と外管と
の間においてレーザー管の直径方向対称状に一体
延設された１対の管状部を有することを特徴とす
る軸流型ガスレーザー発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985158448U JPH0334925Y2 (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985158448U JPH0334925Y2 (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265858U JPS6265858U (ja) | 1987-04-23 |
| JPH0334925Y2 true JPH0334925Y2 (ja) | 1991-07-24 |
Family
ID=31081945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985158448U Expired JPH0334925Y2 (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334925Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS568042B2 (ja) * | 1972-09-06 | 1981-02-21 | ||
| JPS5821008B2 (ja) * | 1975-10-06 | 1983-04-26 | 新日本製鐵株式会社 | アツエンノママデテイオンジンセイノスグレタ テイコウフクヒコウチヨウリヨクアツコウハンノセイゾウホウホウ |
-
1985
- 1985-10-15 JP JP1985158448U patent/JPH0334925Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6265858U (ja) | 1987-04-23 |
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