JPH03268302A - 抵抗体素子 - Google Patents

抵抗体素子

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JPH03268302A
JPH03268302A JP2067904A JP6790490A JPH03268302A JP H03268302 A JPH03268302 A JP H03268302A JP 2067904 A JP2067904 A JP 2067904A JP 6790490 A JP6790490 A JP 6790490A JP H03268302 A JPH03268302 A JP H03268302A
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石黒 不二男
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、抵抗体素子、特に抵抗体の抵抗値の温度依存
性を利用して、温度測定等に好適に用いられる抵抗体素
子に関するものである。
(背景技術) 従来から、この種の抵抗体素子としては、第1図に示さ
れるように、アルミナ等からなる、外径が0.5 on
程度のセラミックパイプ2の両端部に、0.2価φ程度
の白金線からなるリード4を、ガラス6によりそれぞれ
接着固定せしめる一方、20〜40pm程度の極めて細
い白金ワイヤ8を抵抗体としてセラミックバイブ2の外
周面に100ターン程度巻き、そしてかかる白金ワイヤ
8の端を前記リード4に巻き付け、溶接して、電気的に
接続せしめ、更にその全体をガラスコーティングしたも
のが、知られている。
また、第2図に示される如き薄膜型の抵抗体素子もよく
知られている。そこでは、所定の抵抗値を有するように
パターン形成された白金薄膜1゜が、セラミックバイブ
2の外表面に、前記白金ワイヤ8に代わって設けられて
おり、この白金’fil膜10が、セラミックパイプ2
の両端部において、それぞれ、リード4.4に対して白
金接続ベースト12によって電気的に接続せしめられて
、素子を構成している。
そして、このような抵抗体素子を使用する場合にあって
は、そのリード4が金属端子等に溶接固定されて、目的
とする部位に位置せしめられることとなるのである。例
えば、第3図に示されるように、鉄管等の管14内に形
成されるガス流路16中に、上述の如き抵抗体素子18
を配置せしめて、かかるガス流路16を流通せしめられ
るガスの温度等を測定する場合において、抵抗体素子1
8は、その両端のリード4部分において、絶縁セラミッ
クス20を介して管14内に挿入せしめられた、太さが
2mmφ程度のステンレス棒の如き金属端子22.22
に溶接固定されて、セットせしめられることとなるので
ある。なお、金属端子22、22は、温度表示装置等の
外部機器24に接続せしめられている。
しかしながら、従来の抵抗体素子にあっては、測定環境
が急変したとき等に、正確な測定が困難となる問題を内
在するものであった。即ち、空気の如き温度測定対象の
温度が急変した時、第3図において、抵抗体素子18を
支持する金属端子22は、その熱容量が大きいために直
ちに温度変化せず、元の温度のままとなっているところ
から、抵抗体素子18の温度変化速度は、そのリード4
を伝わって逃げる或いは入る熱量の影響により、遅くな
り、以て正確な温度測定が出来ないという欠点があった
のである。
(解決課題) そこで、本発明者らは、上述の如き温度急変時の抵抗体
素子の応答性を改良すべく、従来から用いられている白
金線よりも熱伝導性の悪い材料を抵抗体素子のリードと
して使用することを試み、第2図に示される如き構造の
抵抗体素子において、白金線に代えて、同じ太さ(サイ
ズ)のステンレス線を用いて、目的とする抵抗体素子を
作製し、更に実際の測温のために、かかる抵抗体素子の
リードを第3図の如き金属端子にスポット溶接(抵抗溶
接)したところ、この溶接後の抵抗体素子による温度測
定時に、指示値の異常なものが存在することを見い出し
た。
そして、本発明者らの更なる検討の結果、かかる指示値
の異常は、抵抗体素子におけるリードと白金薄膜(抵抗
体)との間の電気的な導通の不良に起因するものである
ことが明らかとなったのである。即ち、第2図の如き抵
抗体素子において、そのリードを金属端子に接続するた
めの抵抗溶接時において、溶接用電極により、リード(
ステンレス線)に対して押曲げ力や引張力が加わり、そ
してそれらの力に耐えきれず、リードがガラス接着部か
ら抜けかけて、それらの間に隙間やクランクを惹起せし
めて、白金接続ペーストとの接触が悪くなるものが発生
するのである。
なお、この問題は、リードとして、ステンレス線等の熱
伝導性の悪い金属材料を用いた場合において顕著に見い
出され、従来の白金線をリードとして用いた抵抗体素子
においては、異常な力が加わった時に、リードが抜は出
すよりもリード自体が切れてしまうところから、そのよ
うな問題を生しることはなかったのである。
ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為さ
れたものであって、その目的とするところは、上述の欠
点を解消し、応答性が良く、且つリードの接着強度に優
れた抵抗体素子を提供することにある。
(解決手段) そして、本発明は、上記のような目的を達成するために
、セラミック基体と、該基体上に設けられた抵抗体と、
前記基体に対して接着剤により接着、固定されて、該抵
抗体に電気的に導通せしめられるリードとを含んで構成
され、J亥す−トは白金を材質としたものよりも熱伝導
量が少なく、且つ該リードの少なくとも外表面を構成す
る金属が前記接着剤中に含有せしめられていることを特
徴とする抵抗体素子を、その要旨とするものである。
(作用・効果) このように、本発明に従う抵抗体素子は、そのリードと
して、従来の白金線よりも熱伝導性の悪い金属材料を用
い、従って同一サイズ(直径、断面積、長さ)のリード
形態において、白金を材質としたものよりも熱伝導量が
少なくされ、それによって、温度急変時におけるリード
を介しての伝熱が効果的に抑制せしめられ得るようにな
っているのであり、またリードをセラミック基体に接着
固定せしめる接着剤中に、かかるリードの少なくとも外
表面を構成する金属が含有せしめられていることによっ
て、該接着剤中の金属と該リードを構成する金属との間
の結合が惹起され、リードと接着剤との間の接合強度が
高められ、更にはIJ−ドとセラミック基体との間の接
着強度が効果的に高められるのである。
従って、本発明に係る抵抗体素子においては、測定環境
が変化して、温度が急変した時にあっても、かかる素子
は、そのような環境温度の変化に良好に追随し、それに
よって正確な温度測定が可能となるのであり、応答性が
良好となると共に、そのリードの接着強度が向上せしめ
られているところから、かかるリードに対して押曲げ力
や引張力等が作用したりしても、リードの抜は出しやそ
の電気的接続部に隙間やクランク等が生じたりして、そ
の電気的接続性が低下せしめられるようなことも効果的
に抑制され、以て温度測定時tこ異常な指示値を発生す
る問題も、有利に回避し得ることとなったのである。
(具体的構成) ところで、本発明に従う抵抗体素子は、リードとそれを
接着固定する接着剤を除き、従来の素子と同様な構造を
有するものであって、その−例が第4〜6図に示されて
いるが、また第1図や第2図に示される如き構造の素子
とすることも可能である。
それらの具体例のうち、第4図に示される抵抗体素子は
、第2図のものと同様な構造を有しており、そこでは、
セラミック基体として、アルミナ等の公知のセラミック
材料からなるパイプ状のボビン30が用いられている。
そして、このボビン30の両端部に、リード32.32
が、それぞれ所定長さ挿入せしめられた状態において、
接着剤34にて接着固定せしめられている。また、ボビ
ン30の外周面には、白金等からなる抵抗体薄膜36が
、従来と同様にして、所定パターンにおいて設けられ、
ボビン30の端部において導体ペースト38にてリード
32に電気的に接続せしめられている。そして、かかる
ボビン30の全体を覆うように、ガラス等からなる保護
コーティング層40が設けられている。
また、第5図に示される抵抗体素子にあっては、ボビン
30の外周面に設けられた抵抗体薄膜36とリード32
との電気的な接続が、接着剤34自体によって実現され
ているところが、第4図の素子とは異なっている。接着
剤34には、後述するように、リード32の少なくとも
外表面を構成する金属が含有せしめられているところか
ら、そのような金属の配合量を高めることによって、抵
抗体薄膜36とリード32との間の電気的な接続が可能
となるのである。
さらに、第6図に示される抵抗体素子においては、セラ
ミック基体として、所定大きさのセラミック板42が用
いられ、このセラミック板42上に形成された所定パタ
ーンの抵抗体薄膜36に対して、リード32.32が、
それぞれ接着剤34にて接着固定せしめられ、且つ電気
的に接続されている。なお、セラミンク板42の抵抗体
薄膜36が設けられた側には、第4図や第5図の素子と
同様に、ガラス等からなる保護コーティング層40が所
定厚さで設けられている。
本発明は、このような抵抗体素子において、そのリード
32を、従来の白金線よりも熱伝導性の悪い金属材料に
て構成するようにしたのである。
そして、そのような金属材料としては、単体金属をも用
いられ得るが、融点や熱伝導率の点から、合金材料が有
利に用いられ、代表的なものとしては、ニクロム、錫青
銅、モネルメタル、アンバーステンレス綱、ニッケルー
鉄合金等があり、これらは、何れも、白金の1/3乃至
それ以下の熱伝導率を示すものである。なお、リード3
2は、このような熱伝導性の悪い金属材料のみから構成
されるばかりでなく、同一サイズの白金リードよりも熱
伝導量が少なければ、そのような金属材料からなる線材
の表面を、他の適当な金属の被覆層にて被覆せしめてな
るものも、使用可能である。
そして、このようなり一ド32の少なくとも外表面を構
成する金属(複数あれば、そのうちの少なくとも1つ以
上の金属)が含有せしめられ、以て、かかるリード32
の接着強度が高められるのである。なお、この接着剤3
4のベースには、従来から公知のセラミックと金属を接
合するための接着剤が何れも選択使用されるが、通常、
ガラスが有利に用いられることとなる。また、そのガラ
スの中でも、Z n 0−Btus  ・S i Ox
系などの結晶化ガラスを使用することが望ましく、それ
によって強度を10%以上も向上せしめることが出来る
のである。なお、この強度が向上する理由としては、接
着剤34が結晶化していることにより、リード32に押
曲げ力や引張力が作用して、微少クラックが入りかけて
も、それが結晶部で阻止され、強度低下に繋がるような
りランクの発生が抑制されるためであると考えられる。
なお、このような接着剤34中の前記リード32外表面
構成金属の含有量は、目的に応じて適宜に決定されるが
、一般に、7容量%〜70容量%程度の範囲内において
選定されることとなる。その中でも、第5図に示される
ように、接着剤34そのものによってリード32と抵抗
体薄膜36との電気的導通を図る場合にあっては、接着
剤34中の前記金属の含有量が前記範囲内において高い
割合で選定されることは、言うまでもないところである
そして、かかる接着剤34を用いて、リード32をボビ
ン30やセラミック板42等のセラミック基体に接着固
定するには、そのような接着剤34にてリード32を前
記セラミック基体の所定部位に位置固定に取り付けた状
態において、適当な熱処理(焼成)が施されて、接着剤
34が溶融せしめられ、以てそれらリードとセラミック
基体との接着が実現されるが、その際、接着剤34中に
含有されるリード外周面金属の融点の1/3以上の温度
で熱処理(焼成)されることが望ましい。
これによって、接着剤34中に含まれる金属とり一ド3
2との間の有効な結合/接合が達成され、リードの接着
強度の向上に有利に寄与し得るのである。また、このよ
うな熱処理は、窒素等の不活性雰囲気中で行なわれるこ
とが望ましく、これによってリード32を接合部におい
て錆びさせることなく、その接着強度を高めることが出
来るのである。
(実施例) 以下に、本発明の幾つかの実施例を示し、本発明を更に
具体的に明らかにすることとするが、本発明が、そのよ
うな実施例の記載によって、何等限定的に解釈されるも
のでないことは、言うまでもないところである。本発明
には、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知
識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等が加えられ
得るものであることが、理解されるべきである。
実施例 1 第4図に示される如き抵抗体素子を得るべく、内径:0
.3mφ、外径:0.5mφ、長さ:2醜のアルミナボ
ビンをセラミック基体として用い、その外周面に、白金
薄膜を、スパッタリングにより0.8μmの厚さにおい
て形成した後、レーザートリミングによって、抵抗値が
100Ωとなるように、かかる白金薄膜にスパイラル状
の切り溝を入れ、目的とする抵抗体薄膜を形成した。
一方、作業温度が750°Cのガラス:9o容量%にニ
ッケル粉末=10容量%を配合し、更に有機バインダ及
びテルピネオールを加えて、ペースト状としたガラスペ
ーストを接着剤として用い、0.211IIlφノステ
ンレス線(SUS304)からなるリードワイヤを、上
記アルミナボビンの両端部にそれぞれ挿入して、該ガラ
スペーストにて固定、乾燥せしめた後、窒素雰囲気中に
おいて750 ’Cの温度で10分間焼成することによ
り、該アルミナボビンの両端部にリードワイヤをそれぞ
れ接着固定せしめた。
その後、かかるアルミナボビンの両端部に白金ペースト
を塗って、700°Cの温度で5分間焼成することによ
り、アルミナボビンの両端部に取り付けられたリードワ
イヤとアルミナボビンの外表面に設けられた抵抗体薄膜
との電気的導通を行なった。更に、その後、全体にガラ
スをかけて、600°Cで10分間焼成することにより
、全体に保護コーティング層を形成せしめ、目的とする
抵抗体素子を完成した。
かくして得られた抵抗体素子のリードワイヤの引張試験
を行なった結果、n=5において、リードワイヤの接着
剤(ガラスペースト)からの抜は出しを何等惹起するこ
となく、1400g〜1700gでリードワイヤが切断
された。
また、かかる抵抗体素子を、第3図に示されるように取
り付け、測温素子として用い、温度急変時の応答性(正
確性をも含む)について評価したところ、従来の白金を
リードとする抵抗体素子に比べて優れていることが判っ
た。更に、本実施例で得られた抵抗体素子においては、
その指示値の異常なものは認められなかった。
なお、上記のリードワイヤに代えて、上記のステンレス
線(SUS304)上にNiメツキを施したものを用い
て、上記と同様にして抵抗体素子を作製したところ、上
記と同様な、リードワイヤの接着強度の強い素子を得る
ことが出来た。
実施例 2 第5図に示される抵抗体素子を得るべく、セラミック基
体として、内径:0.20mmφ、外径:0.45mm
φ、長さ:2.5mmのアルミナボビンを用い、その外
表面に、実施例1と同様にして、白金薄膜からなる、抵
抗体値が100Ωの抵抗体薄膜を形成した。
次いで、かかるアルミナボビンの両端部に、40%Ni
−Feワイヤの表面に3μmの厚さでPtメツキを施し
てなる0、1311Inφのリードワイヤを、Pt:6
0容量%とガラス:40容量%からなるガラスペースト
を用いて、それぞれ取り付け、空気中において700°
CX5分焼成を行ない、更にその後、ガラスをコーティ
ングして、空気中で680℃×5分の焼き付けを行ない
、アルミナボビンの外周面にガラスの保護コーティング
層を焼き付けて、目的とする抵抗体素子を得た。
かくして得られた抵抗体素子のリードワイヤの引張強度
を測定(n=5)したところ、1250〜1380gで
リードワイヤが切断した。なお、リードワイヤが切断す
るまでに、リードワイヤが素子から抜は出すようなこと
は、何等認められなかった。
実施例 3 実施例2の抵抗体素子において、リードワイヤ及び/又
は接着剤を下記の如く種々異ならしめて、第5図に示さ
れる如き抵抗体素子を作製したところ、何れも、リード
ワイヤの接合強度の高い素子を得ることが出来た。
a)40%Ni−Feワイヤ表面にPtを蒸着したもの
を、リードワイヤとして用いた。
b)40%Ni−Feワイヤ表面にNiメツキを施した
ものを、リードワイヤとして用い、また、Ni:30容
量%、Pt:30容量%及びガラス:40容量%からな
るガラスペーストを接着剤として用いて、N2雰囲気中
において焼成した。
C)40%Ni−Feワイヤ表面にAgを蒸着にて1μ
mの厚さにおいて付与したものを、リードワイヤとし、
またガラスペーストとして、Ag:20容量%、Pt、
:20容量%及びガラス:60容量%からなるものを、
使用した。
d)40%Ni−Feワイヤ表面に7umの厚さにおい
てPdメツキを施したものを、リードワイヤとする一方
、Pd:40容量%を含むガラスペーストを、接着剤と
して使用した。
e)40%Ni−Feワイヤ表面にスパッタリングによ
りRh層を0.5μmの厚さにて設けたものを、リード
ワイヤとする一方、20%Rh−Pt合金を含むガラス
ペーストを使用した。
f)リードワイヤとして、クラツド材(外表面に2μm
のPt膜を形成した52%Ni−Feワイヤ)を使用し
た。
実施例 4 第6図に示される如き構造の抵抗体素子を得るべく、セ
ラミック基体として、厚さ:llll11、幅:2mm
のBeO□板を用い、その一方の面上に、実施例1と同
様にして、白金薄膜からなる、抵抗体値が100Ωの抵
抗体薄膜を、ジグザグパターンにおいて形成した。
次いで、かかるセラミック板の両端部に、40%Ni−
Feワイヤの表面に3μmの厚さでptメツキを施して
なる、0.20mmφのリードワイヤを、PL : 1
0容量%、Fe:lO容量%、Ni:5容量%、及びガ
ラス:残部からなるガラスペーストを用いて、それぞれ
取り付け、N2雲囲気中において780°C×10分焼
成を行ない、更にその後、ガラスをコーティングして、
700″c×5分の焼き付けを行ない、セラミック板の
一方の面上にガラスの保護コーティング層を焼き付けて
、目的とする抵抗体素子を得た。
力へして得られた抵抗体素子のリードワイヤの引張試験
を行なった結果、n=5において、リードワイヤの接着
剤(ガラスペースト)からの抜は出しを同等惹起するこ
となく、1000g〜1500gでリードワイヤが切断
された。
実施例 5 前記実施例Iにおいて、ガラスペースト(接着剤)を構
成するガラスとして、その結晶化温度が850°Cであ
る、Zn0−BtO,−S ioz系結高結晶化ガラス
い、N2雰囲気中にて、720”CX 15分の焼成の
後、更に850°C×30分焼成を行なって、リードワ
イヤの取り付けを行なったところ、その強度が10%以
上向上することが判った。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は、それぞれ、従来の抵抗体素子の一
例を示す斜視図及び断面説明図であり、第3図は、それ
らの抵抗体素子の配置構成を示す概略説明図であり、第
4図、第5図及び第6図は、それぞれ、本発明に係る抵
抗体素子の一例を示す断面説明図である。 30:ボビン    32:リード 34:接着剤    36:抵抗体薄膜38:導体ペー
スト 40:保護コーティング層 42:セラミック板

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)セラミック基体と、該基体上に設けられた抵抗体
    と、前記基体に対して接着剤により接着、固定されて、
    該抵抗体に電気的に導通せしめられるリードとを含んで
    構成され、該リードは白金を材質としたものよりも熱伝
    導量が少なく、且つ該リードの少なくとも外表面を構成
    する金属が前記接着剤中に含有せしめられていることを
    特徴とする抵抗体素子。
  2. (2)前記リード及び接着剤が、該接着剤にて該リード
    を前記基体に取り付けた状態において、前記金属の融点
    の1/3以上の温度で熱処理されている請求項(1)記
    載の抵抗体素子。
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