JPH03269345A - 熱膨張振動を用いた試料評価方法 - Google Patents
熱膨張振動を用いた試料評価方法Info
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- JPH03269345A JPH03269345A JP7096790A JP7096790A JPH03269345A JP H03269345 A JPH03269345 A JP H03269345A JP 7096790 A JP7096790 A JP 7096790A JP 7096790 A JP7096790 A JP 7096790A JP H03269345 A JPH03269345 A JP H03269345A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title abstract 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 8
- 230000035559 beat frequency Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007572 expansion measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000006903 response to temperature Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は試料に周期的に強度変調した励起光を照射し、
これにより生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料
の欠陥等を評価する試料評価方法に関する。
これにより生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料
の欠陥等を評価する試料評価方法に関する。
試料に周期的に強度変調した励起光を照射すると、試料
はこの光の吸収により発熱し、これにより熱膨張する。
はこの光の吸収により発熱し、これにより熱膨張する。
照射光は周期的に強度変調しているため、発熱による試
料の温度変化は周期的となり、試料は熱膨張振動をおこ
す。これらの熱応答を計測することにより試料を評価す
る手法は光音響計測技術として知られている。
料の温度変化は周期的となり、試料は熱膨張振動をおこ
す。これらの熱応答を計測することにより試料を評価す
る手法は光音響計測技術として知られている。
第３図はマイケルソン型レーザ光干渉法により試料の□
熱膨張振動を計測する手法を示したものである（旧ｒａ
ｎｄａ、へＰＰＬＩＤ ０ＰＴＩＣ３Ｖｏ１２２．Ｎｏ
１８．Ｐ２８８２（１９８３））。ここに６１は被測定
試料、６２は試料に熱膨張振動を与えるための励起光源
であり、チョッパー６３により励起光源６２からの光を
強度変調し、試料６１に照射する。この熱膨張振動をレ
ーザ光干渉法により計測する。そのために測定用レーザ
６４からの光を半透鏡６５で二分し、方を、試料の熱膨
張測定点に、他方を空間的に固定した鏡６６に照射させ
、これらからの反射光を干渉させ光電変換器６７で受光
する。光電変換器６７からの電気出力Ｅは Ｅ ＝ Ｃ１＋Ｃ２（１）ｓ（Ｐ （ｔ）＋φ）・ （
１）ここで、Ｃ，、Ｃ，及びφは試料６１や干渉計の構
成や光電変換係数等に依存する定数、λは測定用レーザ
の波長である。ｐ （ｔ）は励起光照射による熱膨張振
動による試料の表面変位による位相変化であり、この計
測により試料の熱膨張振動（位相φ及び振幅Ｌ）を計測
し、試料の熱弾性的性質を評価する。第４図は反射率計
測法に基づく手法である（特開昭６ｌ−２０４６）。励
起レーザ３０からの光を変調器３２に周期的に強度変調
し試料２２に照射し、試料に周期的温度変化を与える。
熱膨張振動を計測する手法を示したものである（旧ｒａ
ｎｄａ、へＰＰＬＩＤ ０ＰＴＩＣ３Ｖｏ１２２．Ｎｏ
１８．Ｐ２８８２（１９８３））。ここに６１は被測定
試料、６２は試料に熱膨張振動を与えるための励起光源
であり、チョッパー６３により励起光源６２からの光を
強度変調し、試料６１に照射する。この熱膨張振動をレ
ーザ光干渉法により計測する。そのために測定用レーザ
６４からの光を半透鏡６５で二分し、方を、試料の熱膨
張測定点に、他方を空間的に固定した鏡６６に照射させ
、これらからの反射光を干渉させ光電変換器６７で受光
する。光電変換器６７からの電気出力Ｅは Ｅ ＝ Ｃ１＋Ｃ２（１）ｓ（Ｐ （ｔ）＋φ）・ （
１）ここで、Ｃ，、Ｃ，及びφは試料６１や干渉計の構
成や光電変換係数等に依存する定数、λは測定用レーザ
の波長である。ｐ （ｔ）は励起光照射による熱膨張振
動による試料の表面変位による位相変化であり、この計
測により試料の熱膨張振動（位相φ及び振幅Ｌ）を計測
し、試料の熱弾性的性質を評価する。第４図は反射率計
測法に基づく手法である（特開昭６ｌ−２０４６）。励
起レーザ３０からの光を変調器３２に周期的に強度変調
し試料２２に照射し、試料に周期的温度変化を与える。
この温度変化が試料に光反射率の変化をもたらす。
この反射率の変化を検出するために測定用レーザ５０を
、試料の温度変化計測点（本図においては励起レーザ照
射点と同位Ｗ）にミラー３６を通して照射し、その反射
光を光検出器５６で検出する。
、試料の温度変化計測点（本図においては励起レーザ照
射点と同位Ｗ）にミラー３６を通して照射し、その反射
光を光検出器５６で検出する。
この出力から信号処理回路５８により、反射率の変化を
求める。
求める。
前者のマイケルソン型レーザ光干渉により試料の熱膨張
を計測する手法では、前記式（１）における定数Ｃ，，
Ｃ，の変化が外乱として測定精度を低下させる。
を計測する手法では、前記式（１）における定数Ｃ，，
Ｃ，の変化が外乱として測定精度を低下させる。
例えば励起光照射による試料の温度変化およびプラズマ
（電子、ホール）密度の変化（半導体試料の場合）によ
り試料の反射率が変化する場合がある。この場合、干渉
光の信号は、反射率変化に伴う外乱信号を含んでいるこ
とになり、干渉光の信号から真の熱膨張信号を計測でき
ない。
（電子、ホール）密度の変化（半導体試料の場合）によ
り試料の反射率が変化する場合がある。この場合、干渉
光の信号は、反射率変化に伴う外乱信号を含んでいるこ
とになり、干渉光の信号から真の熱膨張信号を計測でき
ない。
また、後者の反射率計測法に基づく手法は、試料の温度
変化、プラズマ密度変化の計測であるため、試料の熱膨
張率等の熱弾性的性質を得ることができない。また熱拡
散長内の情報しか獲られないため、試料深部を評価でき
ないという欠点がある。更に基本的に温度変化にたいし
て、反射率が変化する試料しか適用できない。
変化、プラズマ密度変化の計測であるため、試料の熱膨
張率等の熱弾性的性質を得ることができない。また熱拡
散長内の情報しか獲られないため、試料深部を評価でき
ないという欠点がある。更に基本的に温度変化にたいし
て、反射率が変化する試料しか適用できない。
従って本発明が目的とするところは、試料の温度変化、
プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といっ
た外乱の影響を受けず、試料の真の熱膨張振動を計測す
ることのできる熱膨張振動による試料評価方法を提供す
ることである。
プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といっ
た外乱の影響を受けず、試料の真の熱膨張振動を計測す
ることのできる熱膨張振動による試料評価方法を提供す
ることである。
上記目的を達成するために本発明は、試料に周期的（周
波数：Ｆ）に強度変調した励起光を照射し、これによっ
て生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価す
る方法において、前記励起光照射によって熱膨張振動を
生じる試料表面位置に、振動周波数Ｆ、なる測定光（ビ
ーム１）を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参
照光（ビーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換し
た電気信号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号
Ｅ＋ （ビート周波数： Ｆｂ （Ｆｂ −Ｆ＋Ｆ
２））を取り出し、上記ビート波信号Ｅ、を２値化処理
して２値信号Ｅ２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波
数Ｆ−ＦＩ、あるいはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成
分の振幅及び位相により試料を評価することを特徴とす
る熱膨張振動を用いた試料評価方法として構成されてい
る。
波数：Ｆ）に強度変調した励起光を照射し、これによっ
て生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価す
る方法において、前記励起光照射によって熱膨張振動を
生じる試料表面位置に、振動周波数Ｆ、なる測定光（ビ
ーム１）を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参
照光（ビーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換し
た電気信号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号
Ｅ＋ （ビート周波数： Ｆｂ （Ｆｂ −Ｆ＋Ｆ
２））を取り出し、上記ビート波信号Ｅ、を２値化処理
して２値信号Ｅ２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波
数Ｆ−ＦＩ、あるいはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成
分の振幅及び位相により試料を評価することを特徴とす
る熱膨張振動を用いた試料評価方法として構成されてい
る。
続いて第１図、第２図を参照して本発明を具体化した実
施例につき説明する。
施例につき説明する。
ここに第１図は一実施例装置のブロック図、第２図は試
料の内部欠陥を検出する手法の概念図である。
料の内部欠陥を検出する手法の概念図である。
尚、以下の実施例は本発明を具体化した一例にすぎず、
本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
第１図に示す如く、試料４に熱膨張振動をあたえる励起
レーザとして半導体レーザ１が用いられる。同レーザ１
への注入電流の変化により、励起光を周波数Ｆで強度変
調し、グイクロイックミラー２で反射させ、レンズ３で
集光し、試料４に照射する。
レーザとして半導体レーザ１が用いられる。同レーザ１
への注入電流の変化により、励起光を周波数Ｆで強度変
調し、グイクロイックミラー２で反射させ、レンズ３で
集光し、試料４に照射する。
試料４は、この周期的な光照射により、周期的な加熱を
うけ、熱膨張振動をおこす。この熱膨張振動を次に述べ
るレーザ光干渉法で計測する。
うけ、熱膨張振動をおこす。この熱膨張振動を次に述べ
るレーザ光干渉法で計測する。
測定用レーザとして、Ｈｅ−Ｎｅレーザ５が用いられる
。この出射光を周波数シフクーロにより互いに直交し周
波数差がＦＩ、なる測定光（ビーム１）、参照光（ビー
ム２）を生成する。これらの光を偏光ビームスプリッタ
フにより２つに分け、ビーム１をダイクロイックミラー
２を透過させ、レンズ３で集光し、試料４に照射し、ビ
ーム２をミラー８に照射する。ビーム１の試料４からの
反射光は、×波長板９を通過後、偏光面が９０度変化す
るため、偏光ビームスプリンタ７で、今度は反射する。
。この出射光を周波数シフクーロにより互いに直交し周
波数差がＦＩ、なる測定光（ビーム１）、参照光（ビー
ム２）を生成する。これらの光を偏光ビームスプリッタ
フにより２つに分け、ビーム１をダイクロイックミラー
２を透過させ、レンズ３で集光し、試料４に照射し、ビ
ーム２をミラー８に照射する。ビーム１の試料４からの
反射光は、×波長板９を通過後、偏光面が９０度変化す
るため、偏光ビームスプリンタ７で、今度は反射する。
同様にビーム２のミラー８からの反射光は偏光ビームス
プリッタ７を透過する。これらのレーザ光は直交してい
るため偏光板１０を透過さすことにより、これらのビー
ムを干渉させ、この干渉光を光電変換器１１で受光する
。
プリッタ７を透過する。これらのレーザ光は直交してい
るため偏光板１０を透過さすことにより、これらのビー
ムを干渉させ、この干渉光を光電変換器１１で受光する
。
光電変換器１１からの出力Ｖをフィルタ１２を通し干渉
光におけるビート波信号Ｅｌを取り出す。
光におけるビート波信号Ｅｌを取り出す。
Ｅ、は
Ｅ＋ ＝ＡＣＯ９（２πＦＩ、ｔ 十Ｐ（ｔ）＋φ）・
（２）で与えられる。ここでＡは試料、干渉光学系等
に依存する値（（１）式のＣ２に相当）、Ｐ（ｔ）は試
料の熱膨張振動によるビーム１の位相変化、φはｐ（ｔ
）が零のときのビーム１、ビーム２間の光路長差による
位相差である。試料の振動の振幅をし、位相をＰとする
とＰ（ｔ）は ４π ｐ（ｔ）は−Ｌｓｉｎ （２πＦｔ＋Ｐ）−（３）λ で与えられる。ここでＬ＜＜λのときＥ、の周波数Ｆｂ
−Ｆをもつ信号成分■は ２π Ｖ−−ＡＬｃｏｓ （２π（Ｆｂ−Ｆ）ｔ−Ｐ＋φ）
−（４）λ となり、この周波数成分の信号の振幅し、位相Ｐの計測
により試料の熱膨張振動の計測が可能である。しかし前
述のようにＡは試料の温度変化、プラズマ密度変化に伴
って変化する試料の反射率に影響されるので、これが変
動する場合、ノイズとなり正確に熱膨張振動を計測でき
ない。
（２）で与えられる。ここでＡは試料、干渉光学系等
に依存する値（（１）式のＣ２に相当）、Ｐ（ｔ）は試
料の熱膨張振動によるビーム１の位相変化、φはｐ（ｔ
）が零のときのビーム１、ビーム２間の光路長差による
位相差である。試料の振動の振幅をし、位相をＰとする
とＰ（ｔ）は ４π ｐ（ｔ）は−Ｌｓｉｎ （２πＦｔ＋Ｐ）−（３）λ で与えられる。ここでＬ＜＜λのときＥ、の周波数Ｆｂ
−Ｆをもつ信号成分■は ２π Ｖ−−ＡＬｃｏｓ （２π（Ｆｂ−Ｆ）ｔ−Ｐ＋φ）
−（４）λ となり、この周波数成分の信号の振幅し、位相Ｐの計測
により試料の熱膨張振動の計測が可能である。しかし前
述のようにＡは試料の温度変化、プラズマ密度変化に伴
って変化する試料の反射率に影響されるので、これが変
動する場合、ノイズとなり正確に熱膨張振動を計測でき
ない。
そこで、本実施例では、Ｅｌの値を零レベル（しきい値
）と比較し、Ｅｌが零レベル以上ならＥ、＝Ｖ、Ｅ、が
零レベル以上ならＥ、＝−Ｖとなるようにコンパレータ
（１３）で２値化による波形変換を行う。この波形変換
後の信号Ｅ２はｖ Ｃ２”” Ｃ０５（２πＦＩ、ｔ＋Ｐ（ｔ）＋φ）
π １（高周波成分）・・・（５） となる。この場合、Ｃ２においてＬ＜＜λのときの周波
数Ｆｔ＋−Ｆをもつ信号成分 ｖ ■”” Ｉ−ｃｏｓ （２π（Ｆｂ −Ｆ）ｔ
−Ｐ ＋ φ）−（６）λ となり、Ａを含まないため、正確に熱膨張振動（振幅り
１位相Ｐ）を計測できる。
）と比較し、Ｅｌが零レベル以上ならＥ、＝Ｖ、Ｅ、が
零レベル以上ならＥ、＝−Ｖとなるようにコンパレータ
（１３）で２値化による波形変換を行う。この波形変換
後の信号Ｅ２はｖ Ｃ２”” Ｃ０５（２πＦＩ、ｔ＋Ｐ（ｔ）＋φ）
π １（高周波成分）・・・（５） となる。この場合、Ｃ２においてＬ＜＜λのときの周波
数Ｆｔ＋−Ｆをもつ信号成分 ｖ ■”” Ｉ−ｃｏｓ （２π（Ｆｂ −Ｆ）ｔ
−Ｐ ＋ φ）−（６）λ となり、Ａを含まないため、正確に熱膨張振動（振幅り
１位相Ｐ）を計測できる。
Ｃ２から周波数Ｆ、−Ｆをもつ信号成分を抽出するため
に、周波数解析器、ＦＭチューナー等の利用が考えられ
るが、信号レヘルが小さいときには、同期検波方式を用
いるのが適している。この場合、同期検波において、参
照信号として周波数ＦＩ、−Ｆをもつ信号で同期検波を
おこなえばよい。
に、周波数解析器、ＦＭチューナー等の利用が考えられ
るが、信号レヘルが小さいときには、同期検波方式を用
いるのが適している。この場合、同期検波において、参
照信号として周波数ＦＩ、−Ｆをもつ信号で同期検波を
おこなえばよい。
しかし、一般に光学干渉計は空気の揺らぎゃ外乱振動等
の影響を受は易くこれがノイズとなり、（２）式、（５
）式における位相φに時間的変動をもたらす。φの変動
はＶの変動となり、安定に熱膨張振動を計測できない。
の影響を受は易くこれがノイズとなり、（２）式、（５
）式における位相φに時間的変動をもたらす。φの変動
はＶの変動となり、安定に熱膨張振動を計測できない。
そこで、本実施例では、まずＣ２に変調信号（Ｍ ・５
ｉｎ（２πＦｔ＋ｑ））を乗算器１４で乗算する。Ｍお
よびｑは既知の定数。乗算後の信号Ｖｌ、ｌは、Ｖｍ
＝Ｒａ＋ｓ（２π（Ｆｂ ＋Ｆ）ｔ ＋φ１＋ｑ）＋Ｒ
ｃｏｓ（２π（Ｆｂ −Ｆ）ｔ ＋φ（１） −（７）
（Ｒ＝２ＭＶ／π） になる。次にＶｍをフィルタ１５に通し上式の右辺にお
ける第２項の信号Ｖｒを取り出す。このＶｒを参照信号
として同期検波を行う。ｖｒには位相φを含んでいるた
めＶｒを参照信号として同期検波１６を行えば、■にお
ける位相φの影響は相殺される。同期検波出力Ｖ。は Ｖｏ ＝ −ＬＣＯ５（Ｐ＋ｑ）−（８）λ となり、位相φはなくなり安定にＶ。を計測でき、これ
により熱膨張振動（Ｌ、 Ｐ）を高精度で計測できる
。
ｉｎ（２πＦｔ＋ｑ））を乗算器１４で乗算する。Ｍお
よびｑは既知の定数。乗算後の信号Ｖｌ、ｌは、Ｖｍ
＝Ｒａ＋ｓ（２π（Ｆｂ ＋Ｆ）ｔ ＋φ１＋ｑ）＋Ｒ
ｃｏｓ（２π（Ｆｂ −Ｆ）ｔ ＋φ（１） −（７）
（Ｒ＝２ＭＶ／π） になる。次にＶｍをフィルタ１５に通し上式の右辺にお
ける第２項の信号Ｖｒを取り出す。このＶｒを参照信号
として同期検波を行う。ｖｒには位相φを含んでいるた
めＶｒを参照信号として同期検波１６を行えば、■にお
ける位相φの影響は相殺される。同期検波出力Ｖ。は Ｖｏ ＝ −ＬＣＯ５（Ｐ＋ｑ）−（８）λ となり、位相φはなくなり安定にＶ。を計測でき、これ
により熱膨張振動（Ｌ、 Ｐ）を高精度で計測できる
。
なお上記においては、周波数ＦＩ、−Ｆの抽出について
記したが、Ｅ、において周波数Ｆ、＋Ｆの成分にも熱膨
張振動の情報が含まれる。従って（７）式のＶｍの右辺
の第１項の信号を参照信号として用いても熱膨張振動を
計測できる。
記したが、Ｅ、において周波数Ｆ、＋Ｆの成分にも熱膨
張振動の情報が含まれる。従って（７）式のＶｍの右辺
の第１項の信号を参照信号として用いても熱膨張振動を
計測できる。
第２図に試料の内部欠陥の検出方法を示す。即ち、同図
は試料の表面に熱膨張信号を誘起するレーザ光を照射さ
せ、熱膨張振動による歪波を試料の背面あるいは照射点
から離れた地点で検出する構成を示している。この場合
、検出される振動には、弾性波伝搬中の情報（弾性的特
性）を含んでおり、試料内部の欠陥、表面クラックの等
が検出できる。前記従来の反射率計測法では、励起光の
拡散長内の情報しか得られないため、このような１ 評価はできない。
は試料の表面に熱膨張信号を誘起するレーザ光を照射さ
せ、熱膨張振動による歪波を試料の背面あるいは照射点
から離れた地点で検出する構成を示している。この場合
、検出される振動には、弾性波伝搬中の情報（弾性的特
性）を含んでおり、試料内部の欠陥、表面クラックの等
が検出できる。前記従来の反射率計測法では、励起光の
拡散長内の情報しか得られないため、このような１ 評価はできない。
本発明は以上述べたように、試料に周期的（同波数二Ｆ
）に強度変調した励起光を照射し、これによって生じる
試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価する方法に
おいて、前記励起光照射によって熱膨張振動を生じる試
料表面位置に、振動周波数Ｆ、なる測定光（ビーム１）
を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参照光（ビ
ーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換した電気信
号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号Ｅ（ビー
ト周波数： Ｆｂ （Ｆｂ＝Ｆｌ −Ｆ２ ））を取
り出し、上記ビート波信号Ｅ、を２値化処理して２値信
号Ｅ２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−Ｆｂ
あるいはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び
位相により試料を評価することを特徴とする熱膨張振動
を用いた試料評価方法であるから、試料の温度変化又は
プラズマ密度の変化等に伴う反射率の変化により生じる
測定光の振幅変化の影響がキャンセルされるので、試料
の２ 真の熱膨張振動を計測することができる。
）に強度変調した励起光を照射し、これによって生じる
試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価する方法に
おいて、前記励起光照射によって熱膨張振動を生じる試
料表面位置に、振動周波数Ｆ、なる測定光（ビーム１）
を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参照光（ビ
ーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換した電気信
号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号Ｅ（ビー
ト周波数： Ｆｂ （Ｆｂ＝Ｆｌ −Ｆ２ ））を取
り出し、上記ビート波信号Ｅ、を２値化処理して２値信
号Ｅ２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−Ｆｂ
あるいはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び
位相により試料を評価することを特徴とする熱膨張振動
を用いた試料評価方法であるから、試料の温度変化又は
プラズマ密度の変化等に伴う反射率の変化により生じる
測定光の振幅変化の影響がキャンセルされるので、試料
の２ 真の熱膨張振動を計測することができる。
第１図は本発明の一実施例に係る評価方法の実施に使用
する装置を示すプロ・ンク図、第２図は試料の内部欠陥
の検出方法を示す概念図、第３図は従来の熱膨張振動を
計測する手法の概念図、第４図は従来の反射率計測法に
基づく試料評価手法を示す概念図である。 〔符号の説明〕 １・・・励起レーザ ２・・・グイクロイックミラ ３・・・レンズ ４・・・試料 ５・・・測定用レーザ ６・・・周波数シック ７・・・偏向ビームスプリンタ ８・・・参照ミラー ９・・・２波長板 １０・・・偏光板１１・・
・光電変換器 １２・・・フィルタ１３・・・コ
ンパレータ １４・・・乗算Ｈ１５・・・フィル
タ １６・・・同期検波器
する装置を示すプロ・ンク図、第２図は試料の内部欠陥
の検出方法を示す概念図、第３図は従来の熱膨張振動を
計測する手法の概念図、第４図は従来の反射率計測法に
基づく試料評価手法を示す概念図である。 〔符号の説明〕 １・・・励起レーザ ２・・・グイクロイックミラ ３・・・レンズ ４・・・試料 ５・・・測定用レーザ ６・・・周波数シック ７・・・偏向ビームスプリンタ ８・・・参照ミラー ９・・・２波長板 １０・・・偏光板１１・・
・光電変換器 １２・・・フィルタ１３・・・コ
ンパレータ １４・・・乗算Ｈ１５・・・フィル
タ １６・・・同期検波器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料に周期的（周波数：Ｆ）に強度変調した励起光
を照射し、これによって生じる試料表面の熱膨張振動を
測定して試料を評価する方法において、 前記励起光照射によって熱膨張振動を生じる試料表面位
置に、振動周波数Ｆ＿１なる測定光（ビーム１）を照射
し、その反射光と振動周波数Ｆ＿２なる参照光（ビーム
２）を干渉させ、 上記干渉光を光電変換した電気信号Ｅを得た後、上記電
気信号Ｅのビート波信号Ｅ＿１（ビート周波数：Ｆ＿ｂ
（Ｆ＿ｂ＝Ｆ＿１−Ｆ＿２））を取り出し、上記ビート
波信号Ｅ＿１を２値化処理して２値信号Ｅ＿２に変換し
、 上記２値信号Ｅ＿２から周波数Ｆ−Ｆ＿ｂあるいはＦ＋
Ｆ＿ｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び位相により
試料を評価することを特徴とする熱膨張振動を用いた試
料評価方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2070967A JPH0617864B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 熱膨張振動を用いた試料評価方法 |
| KR1019910004405A KR0168444B1 (ko) | 1990-03-20 | 1991-03-20 | 열팽창진동을 이용한 시료평가방법 |
| DE4109182A DE4109182A1 (de) | 1990-03-20 | 1991-03-20 | Verfahren zur probenbewertung durch nutzung der waermeausdehnungsverformung |
| US07/955,241 US5298970A (en) | 1990-03-20 | 1992-10-01 | Sample evaluating method by using thermal expansion displacement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2070967A JPH0617864B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 熱膨張振動を用いた試料評価方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03269345A true JPH03269345A (ja) | 1991-11-29 |
| JPH0617864B2 JPH0617864B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=13446806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2070967A Expired - Fee Related JPH0617864B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 熱膨張振動を用いた試料評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617864B2 (ja) |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP2070967A patent/JPH0617864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0617864B2 (ja) | 1994-03-09 |
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