JPH03269353A - 表面疵検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、誘導加熱の原理を用いた表面疵検出装置に
関するものである。

［従来の技術１ 従来の誘導加熱を用いた表面疵検出装置の構成例を第５
図に示す。第５図において、（１）は被検材、（２）は
被検材を誘導電流によって加熱するためのコイルであり
被検材（１）がこの中を通過する。さらに（３）はコイ
ル（２）に高周波電流を供給する高周波電源、（５）は
加熱された被検材が放射する赤外線を検出する赤外線検
出器である。（６）は赤外線検出器（５）で得られた被
検材表面の温度情報から信号処理によって疵を検出する
信号処理装置、（７）は高周波電源（３）や信号処理装
置（６）を制御する制御装置である。従来の誘導加熱を
用いた表面疵検出装置はこの様な構成であり、搬送され
てきた被検材の表面を加熱し、疵部と正常部との温度上
昇の差を検出することにより１表面疵の検出を行なって
いた。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の装置では搬送されてきた被検材をそのまま電磁誘
導により加熱して疵部と正常部との温度上昇の差によっ
て疵を検出していた。しかし加熱される前の被検材の温
度が高ければ加熱後の疵あるいは正常部の温度は更に高
くなる為、低い温度用にダイナミックレンジを設定した
赤外線検出器では検出レンジをオーバーすることがあっ
た。また、検出器で検出できても信号処理装置では加熱
前の被検材の温度によって疵に相当する部分の信号レベ
ルが違うので、信号のレベルだけで疵の程度を判断する
ことはできず、また加熱による信号レベルの上昇分につ
いても、同じパワーを投入しても元の温度によって異な
ることがあり、疵と正常部とのレベル差による疵の程度
の判定ができなかった。

このように従来の表面疵検出装置では、加熱前の温度が
大きく異なる場合にはその信頼性が保たれないという課
題があった。この発明は、検出の信頼性を向上させるこ
とを目的としたものである。

［課題を解決する手段］ この発明に係る表面疵検出装置は、温度調整部を備える
ことにより９表面疵検出の信頼性を向上させるものであ
る。

［作用］ この発明に係る表面疵検出装置は、予め被検材の温度を
一定の範囲内に設定することにより、誘導加熱にともな
う信号レベルの上昇のばらつきを押えることができ、疵
検出の信頼性が向上する。

［実施例］ 以下にこの発明に係る装置の実施例を示す。

第１図にこの発明による装置の構成の一例を示す。第１
図において、（１）は被検材、（２）は被検材を誘導電
流によって加熱するためのコイルであり被検材（１）が
この中を通過する。さらに（３）はコイル（２）に高周
波電流を供給する高周波電源。

（４）は被検材（１）が疵検出のための加熱コイル（２
）に達する前に予め被検材の温度を一定に保つ温度調整
部である。（５）は加熱された被検材が放射する赤外線
を検出する赤外線検出器であり。

（６）は赤外線検出器（５）で得られた情報から疵を検
出する信号処理装置、（７）は高周波電源（３）と温度
調整部（４）と信号処理装置（６）の制御を行う制御部
、（８）は温度調整の為に被検材の温度を検知する温度
センサである。

次にこの発明の実施例の動作について説明する。

まず、被検材（１）が温度調整部（４）の中を通過する
と制御装置（７）が温度センサ（９）からの情報に基づ
いて出口温度がほぼ一定になるように制御する。この後
被検材（１）が加熱コイル（２）の中を通過すると、再
び電磁誘導により表面が加熱される。この際表面欠陥が
あれば欠陥のところが母材部に比べてより加熱され温度
が高（なる。この被検材の表面から放射される赤外線を
赤外線検出器（５）で順次検出することにより被検材の
全表面の温度分布情報を得る。赤外線検出器（５）で検
出された情報は信号処理装置（６）では正常部と疵部の
信号レベルの違いを検出することにより疵のサイズや位
置、形状等を検出、計測する。

以上のように本実施例では被検材の温度を予めある設定
温度にしてから更に誘導加熱により加熱するので、同程
度の疵部の信号が元の被検材温度にかかわらずほぼ同じ
くらいになる。従って疵と正常部の温度差もほぼ疵の程
度によってのみ決まるので疵検出の信頼性を挙げること
ができる。

また被検材の温度が一定であるので赤外線検出器が検知
すべき温度レンジもある範囲内に限定することができる
。

第２図に温度調整部の実施例を示す。第２図において（
９）は疵検査前の被検材に対して予備加熱を行う加熱コ
イルであり、　（１０）は予備加熱コイル（９）に高周
波電流を供給する予備加熱用高周波電源、　（１１）は
制御装置（７）からの制御信号である。

本実施例では予備加熱用高周波電源（１０）に対して制
御装置（７）が温度センサ（８）からの情報に基づきパ
ワーコントロールを行うことにより疵検出用加熱コイル
（２）の位置での被検材温度を一定に保つことができる
。

第３図は温度調整部の他の実施例を示す図である。第３
図において（１２）は熱風を吹き付ける送風口であり、
　（１３）の矢印が空気の流れを示す。また（１４）は
空気を加熱するヒータであり、加熱温度や熱風の流量は
制御装置（７）からの制御信号（１５）によって被検材
温度が一定になるように制御される。なお、第３図では
ヒータからダクトで熱風を送り込む様になっているが、
ヒータを直接被検材に面するように配置しヒータからの
輻射熱を利用して被検材を暖めても良い。

第４図は温度調整部のさらに他の実施例を示す図である
。第４図において〔１６）は被検材に対して冷却液を吹
き付けるノズルであり、　（１７）は冷却液の流量コン
トローラである。第４図に示す実施例では制御装置（７
）からの制御信号（１８）により冷却液の流量をコント
ロールすることにより被検材温度を一定にする。

［発明の効果１ 以上の様に、この発明によれば被検材表面の温度を予め
一定にすることができるので、疵検出時の被検材温度の
違いによる信号レベルの変動を防ぐことができ、疵検出
の信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図から第４図はこの発明による表面疵検出装置の実
施例の構成図、第５図は従来の表面疵検出装置の構成図
の例を示す説明図である。 図に於て（１）は被検材、（２）は加熱コイル。 （３）は高周波電源、（４）は温度調整部、（５）は赤
外線検出器、（６）は信号処理装置、（７）は制御装置
、（８）は温度センサ、（９）は予備加熱用加熱コイル
、　　（１０）は予備加熱用高周波電源、　（１１）は
予備加熱用高周波電源の制御信号、　（１２）は送風口
。 （１３）は熱風の方向、　（１４１はヒータ、　（１５
）はヒータ用制御信号、　（１６）はノズル、　（１７
）は冷却液流量コントローラ、　（１８）は流用コント
ローラ用の制御信号である。 尚１図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検材に磁場をかけ電磁誘導によって加熱するた
   めの加熱コイルと、このコイルに高周波電流を流す高周
   波電源と、被検材表面の赤外線を検出する赤外線検出器
   と、この赤外線検出器で得られた情報から疵を検出する
   信号処理装置と、被倹材が上記加熱コイルに至る前に予
   め上記被検材の温度を加熱する温度調整部と、前記高周
   波電源と信号処理装置、温度調整部を制御する制御装置
   とを備えたことを特徴とする表面疵検出装置。
2. （２）被検材に磁場をかけ電磁誘導によって加熱するた
   めの加熱コイルと、このコイルに高周波電流を流す高周
   波電源と、被検材表面の赤外線を検出する赤外線検出器
   と、この赤外線検出器で得られた情報から疵を検出する
   信号処理装置と、被検材が上記加熱コイルに至る前に予
   め被検材の温度を冷却する温度調整部と、前記高周波電
   源と信号処理装置、温度調整部を制御する制御装置を備
   えたことを特徴とする表面疵検出装置。