JPH03269501A - 金属反射鏡およびその製造方法 - Google Patents
金属反射鏡およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH03269501A JPH03269501A JP6998090A JP6998090A JPH03269501A JP H03269501 A JPH03269501 A JP H03269501A JP 6998090 A JP6998090 A JP 6998090A JP 6998090 A JP6998090 A JP 6998090A JP H03269501 A JPH03269501 A JP H03269501A
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- Japan
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- base material
- film
- metal
- undercoating film
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属反射鏡とその製造方法に関するものである
。
。
金属反射鏡には、真空中あるいは所定の高純度ガス中で
使用されるものがあり、また高温の環境下で使用される
ものがある。このような金属反射鏡には、使用中にガス
を放出しない特性と、耐熱特性が要求される。
使用されるものがあり、また高温の環境下で使用される
ものがある。このような金属反射鏡には、使用中にガス
を放出しない特性と、耐熱特性が要求される。
しかし、例えば樹脂のような耐熱性の低い基材表面に金
属膜を堆積した金属反射鏡では、高温環境下では変形を
生じたりする。また、ガス放出をなくすためのベーキン
グなども困難である。さらに、高温環境下での使用にお
いては、基材と金属膜の間の熱膨脹率の差により、反射
鏡がはがれることもある。
属膜を堆積した金属反射鏡では、高温環境下では変形を
生じたりする。また、ガス放出をなくすためのベーキン
グなども困難である。さらに、高温環境下での使用にお
いては、基材と金属膜の間の熱膨脹率の差により、反射
鏡がはがれることもある。
本発明はこのような従来技術の欠点を解決することを課
題としている。
題としている。
本発明に係る金属反射鏡は、耐熱性の基材と、この表面
に堆積されて基材に対する密着性が良好な第１の金属材
料からなる第１のアンダーコーティング膜と、この表面
に堆積されて第１のアンダーコーティング膜に対する密
着性が良好な第２の金属材料からなる第２のアンダーコ
ーティング膜と、この表面に堆積されて第２のアンダー
コーティング膜と合金化を生じにくい第３の金属材料か
らなる薄い反射膜とを備えることを特徴とする。
に堆積されて基材に対する密着性が良好な第１の金属材
料からなる第１のアンダーコーティング膜と、この表面
に堆積されて第１のアンダーコーティング膜に対する密
着性が良好な第２の金属材料からなる第２のアンダーコ
ーティング膜と、この表面に堆積されて第２のアンダー
コーティング膜と合金化を生じにくい第３の金属材料か
らなる薄い反射膜とを備えることを特徴とする。
また、本発明に係る金属反射鏡の製造方法は、耐熱性の
基材表面に、基材に対して密着性が良好な第１の金属材
料を堆積して第１のアンダーコーティング膜を形成する
第１の工程と、第１のアンダーコーティング膜表面に、
第１のアンダーコーティング膜に対して密着性が良好な
第２の金属材料を堆積して第２のアンダーコーティング
膜を形成する第２の工程と、第２のアンダーコーティン
グ膜表面に、第２の金属材料と合金化を生じにくい第３
の金属材料を堆積して薄い反射膜を形成する第３の工程
と、所定温度条件でベーキングする第４の工程とを備え
ることを特徴とする。
基材表面に、基材に対して密着性が良好な第１の金属材
料を堆積して第１のアンダーコーティング膜を形成する
第１の工程と、第１のアンダーコーティング膜表面に、
第１のアンダーコーティング膜に対して密着性が良好な
第２の金属材料を堆積して第２のアンダーコーティング
膜を形成する第２の工程と、第２のアンダーコーティン
グ膜表面に、第２の金属材料と合金化を生じにくい第３
の金属材料を堆積して薄い反射膜を形成する第３の工程
と、所定温度条件でベーキングする第４の工程とを備え
ることを特徴とする。
本発明の金属反射鏡では、基材は耐熱性の高い材料（例
えばアルミニウム）で形成されるので、高温環境下で使
用することも可能である。また、アンダーコーティング
膜の相互間と第１のアンダーコーティング膜と基材の間
とは密着性が良好に保たれ、しかも第２のアンダーコー
ティング膜と反射膜は合金化しにくくされているので、
使用中に反射膜がはがれたりすることもない。
えばアルミニウム）で形成されるので、高温環境下で使
用することも可能である。また、アンダーコーティング
膜の相互間と第１のアンダーコーティング膜と基材の間
とは密着性が良好に保たれ、しかも第２のアンダーコー
ティング膜と反射膜は合金化しにくくされているので、
使用中に反射膜がはがれたりすることもない。
また、本発明の金属反射鏡の製造方法では、反射膜の堆
積後にベーキングを行なうようにしているので、ガス抜
きと熱的ストレスの解放を同時に行ない得る。
積後にベーキングを行なうようにしているので、ガス抜
きと熱的ストレスの解放を同時に行ない得る。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明による金属反射鏡の断面構造を示してい
る。図示の通り、基材１の表面には第１のアンダーコー
ティング膜２１、第２のアンダーコーティング膜２２お
よび反射膜３が順次に堆積される。
る。図示の通り、基材１の表面には第１のアンダーコー
ティング膜２１、第２のアンダーコーティング膜２２お
よび反射膜３が順次に堆積される。
ここで、基材１としては例えばアルミ板を用いることが
できる。アルミ板は転写プレスが可能なので、放物面形
状など種々の形状に加工できる。
できる。アルミ板は転写プレスが可能なので、放物面形
状など種々の形状に加工できる。
なお、プレス加工が可能な基材１の材料としては、例え
ば銅、金、銀などを用い得る。また、所定形状のファイ
ンセラミックスを用いることも可能である。
ば銅、金、銀などを用い得る。また、所定形状のファイ
ンセラミックスを用いることも可能である。
第１のアンダーコーティング膜２１としては、基材１に
対する密着性が良好で、しかも基材１表面の凹凸を滑ら
かにし得る金属材料として、例えばニッケルを用いるこ
とができる。この堆積は電解メツキの他、イオンブレー
ティング法によるプラズマ雰囲気での堆積法を用いても
よい。第２のアンダーコーティング膜２２としては、第
１のアンダーコーティング膜２１に対する密着性が良好
な材料として、例えばクロムを用いることができる。こ
の場合、クロムは表面平滑化のためには特に好適で、堆
積法としては第１のアンダーコーティング膜２１と同様
に電解メツキやイオンブレーティングを用い得る。
対する密着性が良好で、しかも基材１表面の凹凸を滑ら
かにし得る金属材料として、例えばニッケルを用いるこ
とができる。この堆積は電解メツキの他、イオンブレー
ティング法によるプラズマ雰囲気での堆積法を用いても
よい。第２のアンダーコーティング膜２２としては、第
１のアンダーコーティング膜２１に対する密着性が良好
な材料として、例えばクロムを用いることができる。こ
の場合、クロムは表面平滑化のためには特に好適で、堆
積法としては第１のアンダーコーティング膜２１と同様
に電解メツキやイオンブレーティングを用い得る。
反射膜３としては、第２のアンダーコーティング膜２２
に対する密着性が良好で、しかも第２のアンダーコーテ
ィング膜２２と合金化を生じにくい金属材料として、例
えばアルミニウムが選択される。アルミニウムは光反射
性が良好なので、反射膜として優れている。このアルミ
ニウム堆積は、例えば真空蒸着により行なう。なお、特
に耐熱性が要求されるときには、タングステンなどを用
いてもよい。
に対する密着性が良好で、しかも第２のアンダーコーテ
ィング膜２２と合金化を生じにくい金属材料として、例
えばアルミニウムが選択される。アルミニウムは光反射
性が良好なので、反射膜として優れている。このアルミ
ニウム堆積は、例えば真空蒸着により行なう。なお、特
に耐熱性が要求されるときには、タングステンなどを用
いてもよい。
次に、上記金属反射鏡の製造工程を、具体的な実施例に
従い説明する。
従い説明する。
まず、厚さ３關の円形のアルミ板を用意し、転写プレス
により放物面鏡の形状とする。次に、電解メツキにより
ニッケルを３５〜４０μｍの厚さで堆積し、更に電解メ
ツキによりクロムを３５〜４０μｍの厚さで堆積する。
により放物面鏡の形状とする。次に、電解メツキにより
ニッケルを３５〜４０μｍの厚さで堆積し、更に電解メ
ツキによりクロムを３５〜４０μｍの厚さで堆積する。
次に、アルミニウムを真空蒸着により、０．０５〜０．
１５μｍの厚さで堆積する。これにより、金属反射鏡の
基本構造が完成する。
１５μｍの厚さで堆積する。これにより、金属反射鏡の
基本構造が完成する。
次に、下記のようにしてベーキングを行なう。
まず、真空中で２００℃まで加熱して１０分間放置した
後、４５０℃にして１時間放置する。しかる後、２００
℃まで冷した後に１０分間放置し、その後は自然冷却さ
せる。ここで、ベーキングの前後における２００℃での
熱処理は、４５０℃までの昇温および４５０℃からの冷
却を、ゆるやかな温度勾配で行なうときには省略しても
よい。具体的には、３〜ｂ で加熱し、ベーキング後に徐冷すれば、２００℃で止め
るよりも良い膜が得られる。このような予備処理によっ
て、ベーキング中に金属膜がはがれたりするのを防止で
きる。また、ベーキング温度はあまり低いとガス抜き等
が不十分で、あまり高いと逆にストレスがたまりやすく
なるので、３５０〜５５０℃に設定される。このベーキ
ングにより、熱的ストレスが解放されて高温環境下での
使用が可能になり、ガス抜きも十分になされる。
後、４５０℃にして１時間放置する。しかる後、２００
℃まで冷した後に１０分間放置し、その後は自然冷却さ
せる。ここで、ベーキングの前後における２００℃での
熱処理は、４５０℃までの昇温および４５０℃からの冷
却を、ゆるやかな温度勾配で行なうときには省略しても
よい。具体的には、３〜ｂ で加熱し、ベーキング後に徐冷すれば、２００℃で止め
るよりも良い膜が得られる。このような予備処理によっ
て、ベーキング中に金属膜がはがれたりするのを防止で
きる。また、ベーキング温度はあまり低いとガス抜き等
が不十分で、あまり高いと逆にストレスがたまりやすく
なるので、３５０〜５５０℃に設定される。このベーキ
ングにより、熱的ストレスが解放されて高温環境下での
使用が可能になり、ガス抜きも十分になされる。
上記の方法により製造された金属反射鏡は、真空中で使
用しても不要なガスを発生させることが少なかった。ま
た、高温で使用しても反射膜がはがれたりしなかった。
用しても不要なガスを発生させることが少なかった。ま
た、高温で使用しても反射膜がはがれたりしなかった。
なお、比較例として第２のアンダーコーティング膜２２
に金を用いたところ、ベーキング中にこの金と反射膜３
のアルミニウムが合金化してしまい、ミラーとして使用
できなかった。
に金を用いたところ、ベーキング中にこの金と反射膜３
のアルミニウムが合金化してしまい、ミラーとして使用
できなかった。
以上、詳細に説明した通り本発明の金属反射鏡によれば
、基材は耐熱性の高い材料（例えばアルミニウム）で形
成されるので、高温環境下で使用することも可能である
。また、アンダーコーティング膜と基材は密着性が良好
に保たれ、しかも第２のアンダーコーティング膜と反射
膜は合金化しにくくされているので、使用中に反射膜が
はがれたりすることもない。
、基材は耐熱性の高い材料（例えばアルミニウム）で形
成されるので、高温環境下で使用することも可能である
。また、アンダーコーティング膜と基材は密着性が良好
に保たれ、しかも第２のアンダーコーティング膜と反射
膜は合金化しにくくされているので、使用中に反射膜が
はがれたりすることもない。
また、本発明の金属反射鏡の製造方法では、反射膜の堆
積後にベーキングを行なうようにしているので、ガス抜
きと熱的ストレスの解放を同時に行ない得る効果がある
。
積後にベーキングを行なうようにしているので、ガス抜
きと熱的ストレスの解放を同時に行ない得る効果がある
。
第１図は本発明の実施例に係る金属反射鏡の断面図であ
る。 １・・・基材、２１・・・第１のアンダーコーティング
膜、２２・・・第２のアンダーコーティング膜、３・・
・反射膜。
る。 １・・・基材、２１・・・第１のアンダーコーティング
膜、２２・・・第２のアンダーコーティング膜、３・・
・反射膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、耐熱性の基材と、この基材表面に堆積されて当該基
材に対する密着性が良好な第１の金属材料からなる第１
のアンダーコーティング膜と、この第１のアンダーコー
ティング膜表面に堆積されて当該第１のアンダーコーテ
ィング膜に対する密着性が良好な第２の金属材料からな
る第２のアンダーコーティング膜と、この第２のアンダ
ーコーティング膜表面に堆積されて当該第２のアンダー
コーティング膜と合金化を生じにくい第３の金属材料か
らなる薄い反射膜と を備えることを特徴とする金属反射鏡。 ２、前記基材の構成材料および第３の金属材料はアルミ
ニウムであり、前記第１の金属材料はニッケルであり、
前記第２の金属材料はクロムである請求項１記載の金属
反射鏡。 ３、耐熱性の基材表面に、当該基材に対して密着性が良
好な第１の金属材料を堆積して第１のアンダーコーティ
ング膜を形成する第１の工程と、前記第１のアンダーコ
ーティング膜表面に、当該第１のアンダーコーティング
膜に対して密着性が良好な第２の金属材料を堆積して第
２のアンダーコーティング膜を形成する第２の工程と、
前記第２のアンダーコーティング膜表面に、当該第２の
金属材料と合金化を生じにくい第３の金属材料を堆積し
て薄い反射膜を形成する第３の工程と、 所定温度条件でベーキングする第４の工程とを備えるこ
とを特徴とする金属反射鏡の製造方法。 ４、前記第１の工程はアルミニウムの基材にニッケルを
堆積する工程であり、前記第２の工程はクロムを堆積す
る工程であり、前記第３の工程はアルミニウムを蒸着す
る工程であり、前記第４の工程は３５０〜５５０℃でベ
ーキングする工程である請求項３記載の金属反射鏡の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6998090A JPH03269501A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 金属反射鏡およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6998090A JPH03269501A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 金属反射鏡およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03269501A true JPH03269501A (ja) | 1991-12-02 |
Family
ID=13418322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6998090A Pending JPH03269501A (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 金属反射鏡およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03269501A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH063513A (ja) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Ekuesutorian:Kk | 耐熱反射鏡 |
| JPH063512A (ja) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Ekuesutorian:Kk | 消熱反射鏡 |
| JPH075309A (ja) * | 1993-04-28 | 1995-01-10 | Boc Group Inc:The | 耐久第１面ミラーおよび第２面ミラー |
| KR100915293B1 (ko) * | 2008-06-28 | 2009-09-03 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 고반사 미러 및 그 제조방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6173901A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知装置用金属鏡の製造方法 |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP6998090A patent/JPH03269501A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6173901A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知装置用金属鏡の製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH063513A (ja) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Ekuesutorian:Kk | 耐熱反射鏡 |
| JPH063512A (ja) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Ekuesutorian:Kk | 消熱反射鏡 |
| JPH075309A (ja) * | 1993-04-28 | 1995-01-10 | Boc Group Inc:The | 耐久第１面ミラーおよび第２面ミラー |
| KR100915293B1 (ko) * | 2008-06-28 | 2009-09-03 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 고반사 미러 및 그 제조방법 |
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