JPH03270026A - Manufacture of ic package - Google Patents
Manufacture of ic packageInfo
- Publication number
- JPH03270026A JPH03270026A JP6803590A JP6803590A JPH03270026A JP H03270026 A JPH03270026 A JP H03270026A JP 6803590 A JP6803590 A JP 6803590A JP 6803590 A JP6803590 A JP 6803590A JP H03270026 A JPH03270026 A JP H03270026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing resin
- carrier tape
- package
- chip
- flexible printed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
テープオートメイテッドボンディング用キャリアテープ
又はフレキシブルプリント基板にチップを搭載し樹脂封
止するICパッケージの製造方法に関し、
パッケージ内への水分の侵入を防止するため、キャリア
テープ又はフレキシブルプリント基板と封止樹脂との密
着力を向上することを目的とし、テープオートメイテッ
ドボンディング用キャリアテープ又はフレキシブルプリ
ンl板を用いてチップを搭載し、封止樹脂にて封止する
ICパッケージの製造方法において、上記キャリアテー
プ又はフレキシブルプリント基板の表面を、チップ搭載
前に粗面化処理を施すように構成する。[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a method for manufacturing an IC package in which a chip is mounted on a carrier tape for tape automated bonding or a flexible printed circuit board and sealed with resin, in order to prevent moisture from entering the package, For the purpose of improving the adhesion between the carrier tape or flexible printed circuit board and the sealing resin, the chip is mounted using a carrier tape for tape automated bonding or a flexible printed board, and then sealed with the sealing resin. In the method for manufacturing an IC package, the surface of the carrier tape or flexible printed circuit board is subjected to surface roughening treatment before chip mounting.
本発明はテープオートメイテッドボンディング用キャリ
アテープ又はフレキシブルプリント基板にチップを搭載
し樹脂封止するICパッケージの製造方法に関する。The present invention relates to a method for manufacturing an IC package in which a chip is mounted on a carrier tape for tape automated bonding or a flexible printed circuit board and sealed with resin.
近年、ICパッケージは、その多ピン化、小型・薄型化
等の要求により新しい技術、材料を用いることが多くな
ってきているが、これらに対する信頼性を高めることが
重要な課題となっている。In recent years, new technologies and materials have been increasingly used in IC packages due to demands for increasing the number of pins, making them smaller and thinner, and increasing the reliability of these has become an important issue.
従来のテープオートメイテッドボンディング方式による
ICパッケージの製造方法を第3図に示す。これは先ず
(a)図に示すように、チップ搭載用の孔1と外部リー
ド用の孔2を設けた長尺のスプロケット孔付ポリイミド
フィルムよりなるキャリアテープ3に、(b)図に示す
ように銅箔4をはり付け、該銅箔4をエツチングして(
C)図に示すようにリード5を形成し、該リード5にS
nめっきした後、(d)図に示すようにAuバンブ6を
もったチップ7を連続的にAu−3n共晶ボンデイング
し、次いで(e)図に示すようにフィルム3及びリード
5をイーイ線及びローロ線より切断し、これを第4図(
a)に示すようにリード5の一部が外部に出るようにし
て樹脂8にて封止するか、又は第4図(b)に示すよう
に、リード5をリードフレーム9にボンディング又は半
田付けした後、樹脂8にて封止している。FIG. 3 shows a method of manufacturing an IC package using the conventional tape automated bonding method. First, as shown in figure (a), a carrier tape 3 made of a long sprocket-hole polyimide film with holes 1 for chip mounting and holes 2 for external leads is attached to the carrier tape 3, as shown in figure (b). A copper foil 4 is pasted on the surface, and the copper foil 4 is etched (
C) Form the lead 5 as shown in the figure, and apply S to the lead 5.
After n plating, the chip 7 with Au bumps 6 is continuously bonded with Au-3n eutectic bonding as shown in FIG. and cut it from the Rolo wire, and cut it from the Rolo wire as shown in Figure 4 (
As shown in a), a part of the lead 5 is exposed to the outside and sealed with resin 8, or as shown in FIG. 4(b), the lead 5 is bonded or soldered to a lead frame 9. After that, it is sealed with resin 8.
また第5図は従来のフレキシブルプリント基板を用いた
ICパッケージを示す図である。これは、リード5を有
するフレキシブルプリント基板10の上にチップ7を搭
載し、その電極とリード5間をワイヤ11でワイヤボン
ディングし、さらにリード5をリードフレーム9にボン
ディング又は半田付けした後、樹脂8にて封止したもの
である。Further, FIG. 5 is a diagram showing an IC package using a conventional flexible printed circuit board. This involves mounting a chip 7 on a flexible printed circuit board 10 having leads 5, wire-bonding the electrodes and leads 5 with wires 11, bonding or soldering the leads 5 to a lead frame 9, and then 8.
上記従来のテープオートメイテッドボンディング方式又
はフレキシブルプリント基板を用いたICパッケージで
は、そのキャリアテープ3又はフレキシブルプリント基
板10の材料がポリイド、ガラスエポキシ、ポリエステ
ル等であるため、エポキシ等の封止樹脂8との密着力が
弱いため剥離し易く、そして剥離した部分からはパッケ
ージ内に水分が侵入し、この水分によりマイグレーショ
ンを生じたり、又実装時の熱で蒸発し樹脂にクラック生
じさせる等、パッケージの信頼性を低下させるという問
題があった。In the IC package using the conventional tape automated bonding method or the flexible printed circuit board, the material of the carrier tape 3 or the flexible printed circuit board 10 is polyide, glass epoxy, polyester, etc., so the sealing resin 8 such as epoxy Since the adhesive strength of the resin is weak, it is easy to peel off, and moisture can enter the package from the peeled part, causing migration, or evaporating due to heat during mounting, causing cracks in the resin, which can affect the reliability of the package. There was a problem of lowering sex.
本発明は上記従来の問題点に鑑み、パッケージ内への水
分の侵入を防止するため、キャリアテープ又はフレキシ
ブルプリント基板と封止樹脂との密着力を向上可能とし
たICパッケージの製造方法を提供することを目的とす
る。In view of the above conventional problems, the present invention provides a method for manufacturing an IC package that can improve the adhesion between a carrier tape or a flexible printed circuit board and a sealing resin in order to prevent moisture from entering the package. The purpose is to
上記目的を達成するために本発明のICパッケージの製
造方法では、テープオートメイテッドボンディング用キ
ャリアテープ3又は、フレキシブルプリント基板10を
用いてチップ7を搭載し、封止樹脂8にて封止するIC
パッケージの製造方法において、上記キ+’)アテーブ
3又はフレキシブルプリント基板10の表面を、チップ
搭載前に粗面化処理することを特徴とする。In order to achieve the above object, in the method for manufacturing an IC package of the present invention, a chip 7 is mounted using a tape automated bonding carrier tape 3 or a flexible printed circuit board 10, and an IC package is sealed with a sealing resin 8.
The package manufacturing method is characterized in that the surface of the above-mentioned substrate 3 or flexible printed circuit board 10 is subjected to surface roughening treatment before chip mounting.
キャリアテープ3又はフレキシブルプリント基板10の
表面をチップ搭載前に予め粗面化処理した後、樹脂にて
封止することにより、キャリアテープ3又はフレキシブ
ルプリント基板10の粗面化した表面と樹脂8との間の
密着力が投錨効果により向上する。その結果パッケージ
内への水分の侵入がなくなり、マイグレーションの発生
及び封止樹脂のクラックの発生などは防止される。The surface of the carrier tape 3 or flexible printed circuit board 10 is roughened before chip mounting, and then sealed with resin, so that the roughened surface of the carrier tape 3 or flexible printed circuit board 10 and the resin 8 are sealed. The adhesion between the two is improved by the anchoring effect. As a result, moisture does not enter the package, and migration and cracks in the sealing resin are prevented.
第1図に本発明の実施例を示す。同図において、3はテ
ープオートメイテッドボンディング法に用いるキャリア
テープ、5はリード、7はチップ、8は封止樹脂、9は
リードフレームである。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In the figure, 3 is a carrier tape used in the tape automated bonding method, 5 is a lead, 7 is a chip, 8 is a sealing resin, and 9 is a lead frame.
本実施例のICパッケージの製造方法は、先ず第1図(
a)の断面図に示すように、キャリアテープ3のリード
等のパターンを形成しない方の面を化学的又は機械的方
法により粗面化処理する。The method for manufacturing the IC package of this example is first shown in Figure 1 (
As shown in the cross-sectional view a), the surface of the carrier tape 3 on which a pattern such as a lead is not formed is roughened by a chemical or mechanical method.
化学的粗面化処理は、キャリアテープ3がポリイミドの
場合、エツチング液として苛性ソーダ溶液を用いる。こ
の場合、部分的にエツチングして図の如くデインプル(
凹凸)3aを形成するか、又は全面エツチングしてミク
ロ的凹凸を形成する。In the chemical surface roughening treatment, when the carrier tape 3 is made of polyimide, a caustic soda solution is used as an etching liquid. In this case, partially etching the dimples (as shown in the figure)
3a or by etching the entire surface to form microscopic asperities.
また機械的粗面化処理はワイヤブラッシ等を用いて表面
を研磨し粗面化する。In the mechanical surface roughening treatment, the surface is polished and roughened using a wire brush or the like.
このようにして表面を粗面化したキャリアテープ3は第
3図(a)〜(e)で説明した従来と同様な工程を経て
チップ7を搭載し、これを第1図(b)に示すようにリ
ード5の一部が露出するよう:二して封止樹脂8で封止
するか、又は第1図(C)に示すようにリード5をリー
ドフレーム9にボンディング又は半田付けした後、チッ
プ7を搭載したキャリアテープ3とリードフレーム9の
一部を封止樹脂8で封止する。The carrier tape 3 whose surface has been roughened in this way is mounted with a chip 7 through the same conventional process as explained in FIGS. 3(a) to (e), and this is shown in FIG. 1(b). After sealing with sealing resin 8 or bonding or soldering the leads 5 to the lead frame 9 as shown in FIG. 1(C), The carrier tape 3 on which the chip 7 is mounted and a part of the lead frame 9 are sealed with a sealing resin 8.
このようにして作成されたICパッケージはキャリアテ
ープ3と封止樹脂8との接着が、キャリアテープ3の粗
面化により投錨効果を生じ接着力が向上する。これによ
りパッケージ内への水分の侵入がなくなり、マイグレー
ションの発生や封止樹脂の割れ発生は防止される。In the IC package thus created, the adhesion between the carrier tape 3 and the sealing resin 8 produces an anchoring effect due to the roughened surface of the carrier tape 3, and the adhesion strength is improved. This prevents moisture from entering the package, preventing migration and cracking of the sealing resin.
第2図は本発明の第2の実施例を説明するための図であ
る。同図において、5はリード、7はチップ、8は封止
樹脂、9はリードフレーム、10はフレキシブルプリン
ト基板、11はワイヤである。FIG. 2 is a diagram for explaining a second embodiment of the present invention. In the figure, 5 is a lead, 7 is a chip, 8 is a sealing resin, 9 is a lead frame, 10 is a flexible printed circuit board, and 11 is a wire.
本実施例のICパッケージの製造方法は、先ず第2図(
a)に示すようにフレキシブルプリント基板10の、リ
ード等のパターンが形成されない方の面を粗面化する。The method for manufacturing the IC package of this example is first shown in Fig. 2 (
As shown in a), the surface of the flexible printed circuit board 10 on which patterns such as leads are not formed is roughened.
粗面化する方法は前実施例と同様に化学的エツチングに
よりデインプル10aを形成するか、又はミクロ的凹凸
を形成する。或いは機械的研磨により粗面化する。次に
このフレキシブルプリント基板10に第2図(b)に示
す様に、接着剤等を用いてチップ7を搭載し、さらに該
チップ7の電極とリード5との間をワイヤ11でワイヤ
ボンディングする。次いで第2図(C)に示す様に、リ
ード5をリードフレーム9にボンディング又は半田付け
した後、チップ5を搭載したフレキシブルプリント基板
10及びリードフレーム9の一部を封止樹脂8によって
封止するのである。The surface is roughened by forming dimples 10a by chemical etching as in the previous embodiment, or by forming microscopic irregularities. Alternatively, the surface is roughened by mechanical polishing. Next, as shown in FIG. 2(b), a chip 7 is mounted on this flexible printed circuit board 10 using an adhesive or the like, and wire bonding is performed between the electrodes of the chip 7 and the leads 5 using wires 11. . Next, as shown in FIG. 2(C), after bonding or soldering the leads 5 to the lead frame 9, the flexible printed circuit board 10 on which the chip 5 is mounted and a part of the lead frame 9 are sealed with a sealing resin 8. That's what I do.
このようにして作成されたICパッケージは、フレキシ
ブルプリント基板10の表面を粗面化したことによって
封止樹脂8との接着が投錨効果によって強化される。こ
れによりパッケージ内への水分の侵入がなくなり、水分
によるマイグレーションの発生や封止樹脂の割れ発生は
防止される。In the IC package thus created, the surface of the flexible printed circuit board 10 is roughened, so that the adhesion with the sealing resin 8 is strengthened by the anchoring effect. This prevents moisture from entering the package, and prevents migration and cracking of the sealing resin due to moisture.
以上説明した様に、本発明によれば、フレキシブルプリ
ント基板又はテープオートメイテッドボンディング用キ
ャリアテープの表面を粗面化することにより、封止樹脂
との接着力を強化することができ、水分の侵入を防ぎ水
分によるマイグレーションの発生や封止樹脂の割れを防
止することができ、ICパッケージの品質向上に寄与す
るところ大である。As explained above, according to the present invention, by roughening the surface of a flexible printed circuit board or a carrier tape for tape automated bonding, it is possible to strengthen the adhesive force with the sealing resin and prevent moisture from entering. It is possible to prevent migration caused by moisture and cracking of the sealing resin, which greatly contributes to improving the quality of IC packages.
第1図は本発明の第1の実施例を説明するための図、
第2図は本発明の第2の実施例を説明するための図、
第3図は従来のテープオートメイテッドボンディング方
式を説明するための図、
第4図は従来のテープオートメイテッドボンディング方
式を用いたICパッケージを示す図、第5図は従来のフ
レキシブルプリント基板を用いたICパッケージを示す
図である。
図において、
3はキャリアテープ、
3aiOaはデインプル、
5はリード、
7はチップ、
8は封止樹脂、
9はリードフレーム、
IOはフレキシブルプリント基板、
11はワイヤ
を示す。FIG. 1 is a diagram for explaining the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram for explaining the conventional tape automated bonding method. Diagrams for explanation: FIG. 4 is a diagram showing an IC package using a conventional tape automated bonding method, and FIG. 5 is a diagram showing an IC package using a conventional flexible printed circuit board. In the figure, 3 is a carrier tape, 3aiOa is a dimple, 5 is a lead, 7 is a chip, 8 is a sealing resin, 9 is a lead frame, IO is a flexible printed circuit board, and 11 is a wire.
Claims (1)
ープ(3)又はフレキシブルプリント基板(10)を用
いてチップ(7)を搭載し、封止樹脂(8)にて封止す
るICパッケージの製造方法において、 上記キャリアテープ(3)又はフレキシブルプリント基
板(10)の表面を、チップ(7)搭載前に粗面化処理
することを特徴とするICパッケージの製造方法。[Claims] 1. An IC package in which a chip (7) is mounted using a tape automated bonding carrier tape (3) or a flexible printed circuit board (10) and sealed with a sealing resin (8). A method for manufacturing an IC package, characterized in that the surface of the carrier tape (3) or the flexible printed circuit board (10) is roughened before mounting the chip (7).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6803590A JPH03270026A (en) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | Manufacture of ic package |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6803590A JPH03270026A (en) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | Manufacture of ic package |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03270026A true JPH03270026A (en) | 1991-12-02 |
Family
ID=13362142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6803590A Pending JPH03270026A (en) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | Manufacture of ic package |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03270026A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999017363A1 (en) * | 1997-09-30 | 1999-04-08 | Tyco Electronics Logistics Ag | Method for producing a multilevel cable carrier (substrate), especially for multichip modules |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP6803590A patent/JPH03270026A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999017363A1 (en) * | 1997-09-30 | 1999-04-08 | Tyco Electronics Logistics Ag | Method for producing a multilevel cable carrier (substrate), especially for multichip modules |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102362345B (en) | Semiconductor element substrate, method for manufacturing same, and semiconductor device | |
| JP3578770B2 (en) | Semiconductor device | |
| CN102165582B (en) | Lead frame substrate, manufacturing method thereof, and semiconductor device | |
| JPH04277636A (en) | Preparation of semiconductor device | |
| JP2004048024A (en) | Semiconductor integrated circuit device and method of manufacturing the same | |
| US20080174005A1 (en) | Electronic device and method for manufacturing electronic device | |
| JPH09199635A (en) | CIRCUIT BOARD FORMING MULTILAYER FILM, MULTILAYER CIRCUIT BOARD USING THE SAME, AND SEMICONDUCTOR DEVICE PACKAGE | |
| JP3475569B2 (en) | Package and manufacturing method thereof | |
| JPH0883865A (en) | Resin-sealed semiconductor device | |
| CN112992839B (en) | Lead frame for chip packaging and preparation method | |
| JPH03270026A (en) | Manufacture of ic package | |
| JP2000124363A (en) | Semiconductor package | |
| JPH08288316A (en) | Semiconductor device | |
| JP3362007B2 (en) | Semiconductor device, method of manufacturing the same, and tape carrier | |
| JP2001077266A (en) | Method for manufacturing resin-encapsulated semiconductor device | |
| JPH0362542A (en) | Semiconductor device and manufacture thereof | |
| JP2817425B2 (en) | Semiconductor device mounting method | |
| JPH10284668A (en) | Lead frame for semiconductor device, surface treatment method thereof, and semiconductor device using this lead frame | |
| JP2002164497A (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
| JPH04162734A (en) | Semiconductor device and formation therefor | |
| JPS6242549A (en) | Package for electronic part and manufacture thereof | |
| KR0155441B1 (en) | Semiconductor package | |
| JP2002329807A (en) | Semiconductor device | |
| JP2002124596A (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
| JP2003234434A (en) | Method for manufacturing semiconductor device |