JPH03270253A - ウエハ処理方法およびウエハ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明はウェハ処理装置に関する。

（従来の技術） キャリアに収容された複数枚のウェハのオリフラを回転
ローラにより一度に合わせるものとじて特公平１−５９
７３９号公報である。

また、キャリアに収納された複数枚のウェハの有無を、
収納されるウェハと同数の光検出器を設け、−度に検出
するものとして特開昭６３−１３３４号、特開昭６３−
２０９５８号公報がある。

（発明が解決しようとする課題） キャリアに収納されたウェハに所定の成膜やエツチング
等の処理を行うに際し、ウェハのオリフラ合せとキャリ
ア内に収容されたウェハの有無の検出を行うため、従来
は独立したオリフラ合せステーション部とウェハカウン
トステーション部を設けこの間をキャリア搬送装置によ
りキャリアを搬送し所定のオリフラ合せとウェハ検出を
行っていた。

上記の如くキャリア搬送装置によりキャリアを搬送して
いたのでキャリア搬送時にゴミが発生しウェハに付着し
半導体素子の不良が発生するという改善点を有する。

また、オリフラ合せステーション部とウェハカウントス
テーション部と２ケ所のスペースを必要とするためウェ
ハ処理装置が大型になり、このウェハ処理装置が設置さ
れる高価なりリーンルームを不要に専有するという改善
点を有する。

さらに、オリフラ合せステーション部でオリフラ合せを
行った後、キャリア搬送装置でキャリアをウェハカウン
トステーション部へ移載しウェハ検出を行っているので
処理時間が多大に必要となる改善点を有する。

そして、オリフラ合せステーション部とウェハカウント
ステーション部の間をキャリア搬送するキャリア搬送装
置が必要となリウェハ処理装置が大型で、複雑で、コス
トが高くなるという改善点を有する。

この発明は上記点に鑑みなされたもので、複数枚のウェ
ハのオリフラを所定の姿勢に整列させることと、複数枚
のウェハの有無および位置検知をウェハ収納保持部機内
において短時間に行えるウェハ処理装置を提供するもの
である。

〔発明の構成〕

（１１１題を解決するための手段） この発明は予め定められた間隔で各ウェハが配置される
保持部材と、この保持部材に設けられた上記ウェハの下
部周縁に当接上昇させ上記ウェハを回転可能の如く構成
されたローラと、上記保持部材内に設けられた上記各ウ
ェハに光照射する投光部と、この投光部により照射され
た光によりウェハの有無を検出する検知部と、この検知
部出力により上記ウェハ列の状態を出力する信号処理部
を設けたものである。

（作用） 本発明は、複数枚のウェハを予め定めた所定間隔の垂直
面内で上下および回転可能に収納し、この収納された各
ウェハの下部周縁に当接する回転可能なローラを設け、
さらに上記収納された各ウェハの周縁部に嵌合する位置
に設けられた投光素子と受光素子からなる検知素子対を
、所定のウェハの収納数に対応させて般けでいる。

このため、上記ローラの回転によりウェハのオリフラを
所定の姿勢で保持部材に整列できる。

また、各ウェハによって投光素子から投光される光を遮
断もしくは反射し、この光を受ける受光素子の光量変化
を電気的に接続された信号処理部で検出しウェハの有無
および位置を瞬時に一括検知できるわ （実施例） 以下本発明のウェハ処理装置の一実施例について図面を
参照して具体的に説明する。

第１図において複数枚のウェハ１はウェハサイズ６イン
チで外径１５０＋ｍ＋オリフラ部長さ６０ａｎであり、
軟質の樹脂例えばフッ素樹脂からなるガイド２の中間部
より上方垂直方向にこのガイド２を上から見て断面がコ
字形に形成された溝部３に、上記ウェハｌの周縁部を嵌
入しこのウェハ１を垂直面内で上下および回転可能に収
納しており、上記ガイド２は開口部５を有する載置台４
に載置している。

上記開口部５には複数枚の上記ウェハ１を嵌合する如く
設けられた溝部７を有し、図示しない昇降機構により上
記ウェハ１を収納して昇降可能な如く設けられた突き上
げ部６と、２本のローラ１０とウェハ検出器３０を設け
ており、詳細は第２図を用いて説明する。

上記２本のローラ１０は直径２０ｍｎで軟質の樹脂例え
ばフッ素樹脂からなり、中心軸１１を中心として回転可
能に構成されており、上記２本のローラ１０の下部に設
けられたモータ２０にはプーリー２１が装置され、ベル
ト２２が２つのローラ１０とプーリー２１の間に張設さ
れ、モータ２０の回転により２本のローラ１０が同一方
向に回転可能の如く構成している。

また、上記２本のローラ１０とモータ２０からなるロー
ラ機構１２は図示しない昇降機構により昇降可能に構成
しである。

また、上記２本のローラ１０の間隔はウェハ１の大きさ
やオリフラ長さによって調整可能な如く構成しである。

次に、上記２本のローラｌＯの間にローラ１０と平行し
てウェハ検出器３０を設けている。

このウェハ検出器３０はセラミックスや樹脂例えばデル
リン（商品名）を用いてモールド成型して作られ、複数
の溝部３２が設けられこの各溝部３２の内側対向面には
第３図の如き投光素子３４と受光素子３６からなる検知
素子対３８を設け、この検知素子対３８はウェハの有無
を検出する信号処理部４０に電気的に接続しである。

上記ウェハ検出器３０の溝部３２のピッチはウェハが収
納されるウェハキャリアの溝ピッチである３／１６イン
チで約４．７ｍとしてあり、溝部３２の幅Ａは約２．７
ｍ＋で凸部３１の厚さＢは２ｍとしである。

この凸部３１の厚さＢの２ＩｆｆｌｌＩ内に、発光素子
３４と受光素子３６を複数個同軸的に配置することはで
きないため、第４図に示すように検知素子３８を交互に
配置している・。

また、ウェハ検出器３０は２本のローラ１０の間に設け
るためウェハ検出器３０の幅Ｗは１５ｍ＋であり、凸部
３１の厚さＢは２ｍ＋と薄いため溝部３２の深さＣは、
デルリンで作られた凸部３１の機械的強度およびデルリ
ンのモールド成型後の変形やその他経時変形を考慮する
と、５ｍ以上とすることは困難であり、本実施例におい
ては溝部３２の深さＣは上記限度である５Ｉ１１１１と
した。

このためウェハ検出器３０は複数枚のウェハ１が整列さ
れた状態のオリフラ位置に嵌合させることが、正確なウ
ェハ検知を行うために望ましい。

次に上記実施例装置による複数枚のウェハ１のオリフラ
合せと、複数枚のウェハ１の有無および位置検知するウ
ェハカウント方法について説明する。

上記ガイド２に収納された複数枚のウェハｌの下部周縁
部に２本のローラ１０を当接するように。

ローラ機構１２を図示しない昇降機構により上昇させる
。

モしてモータ２０を回転させプーリー２１．ベルト２２
を介して２本のローラ１０を同一方向に回転させる。

この回転するローラ１０との接触により複数枚のウェハ
１は回転させられオリフラ部が下側になるまで回転が続
けられる。

そしてウェハ１のオリフラ部が下側になったとき、オリ
フラ部とローラ１０が離間しウェハ１の回転は自動的に
停止する。

全てのウェハ１のオリフラが整列終了後、モータ２０の
回転を止め、ローラ２０の回転を停止する。

次にウェハ検出器３０を図示しない昇降機構で上昇させ
、整列された複数枚のウェハ■のオリフラ部ヘウェハ検
出器３０の溝部３２を嵌合させる。

そしてウェハ検出器３０に設けられた投光素子３４から
赤外光を発光すると、ウェハ１が嵌合された溝部３２の
上記投光素子３４と対向する受光素子３６には上記赤外
光が入らず、上記受光素子３６が受ける光量に比例した
電気信号が信号処理部４０へ伝達されウェハ１の有無と
位置が検知される。

上記と同様にして全ての溝部３２における複数枚のウェ
ハ１の有無および位置が瞬時に検知され、図示しない次
工程程装置へ信号伝達し、さらに図示しないモニター装
置に表示を行う。

次に上記２本のローラ１０の両側に配置された突き上げ
部６の溝部７にウェハ１の周縁部が嵌合するように図示
しない昇降機構により突き上げ部６を上昇させ、複数枚
のウェハ１のオリフラが整列した状態で一度にガイド２
の上方にウェハ１を突き上げ、図示しないウェハチャッ
クで次工程ヘウェハ搬送を行う。

上記投光素子３４に赤外光を用いた場合には、受光素子
３６は赤外光で受光感度の高いものとするか。

あるいは赤外光だけを通過する光学フィルタを設けるこ
とにより、室内照明等値の光源の影響を排除することが
でき、正確なウェハ１の検出を行うことができる。

尚１本発明は上記実施例に限定されるものではなく６本
発明の要旨の範囲内で種々変形実施が可能である。

上記実施例では複数枚のウェハ１を収納するガイド２を
用いたが、このガイド２の代りに２５枚のウェハを収納
する樹脂例えばフッ素樹脂からなるウェハキャリアを用
いてもよい。この場合オリフラ合せとウェハカウント終
了後、ローラ機１１１２とウェハ検出器３０を図示しな
い昇降機構で下降させ、複数枚のウェハ１が収納された
状態で上記キャリアを１例えばキャリア搬送装置で次工
程へ搬送してもよい。

さらに整列したオリフラ位置を例えば上方にする場合に
は、２本のローラ１０のうち１本のローラ１０をウェハ
１の周縁部に当接せしめ、上記オリフラ合せを行った位
置より所定高さローラ１０を上昇させ、ローラ１０を所
定回転行うことによりオリフラ位置を上方に移動させる
ことができる。

また本実施例においてウェハ検知素子対３８は透過型を
用いて説明を行ったが反射型の検知素子対を用いてもよ
いことは当然である。

発光素子としては発光ダイオード、受光素子としてはフ
ォトダイオード、フォトトランジスタ、太陽電池型の薄
肉光検出器等を用いることができる。

またオリフラ合せを行う回転ローラ１０は２本に限らず
、１本もしくは３本以上としてもよい。

ウェハ検出部３０は突き上げ部６の少なくとも片側に設
けてもよい。

さらに上記したウェハ処理装置の応用例は半導体装置の
各工程において有効に活用出来るものであり、熱処理装
置、エツチング装置、イオン注入装置、検査装置、レジ
スト塗布装置、キャリアストッカー装置等へ利用できる
。

例えば横型熱処理装置や縦型熱処理装置において複数の
キャリアから熱処理用ボートに複数枚のウェハを移換え
る工程に本発明を利用することにより、熱処理装置を小
型に構成することができ、またウェハ移換え時間を短時
間で行える。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば複数枚のウェハの
オリフラを所定の姿勢に整列させることと、多数枚のウ
ェハの有無および位置検知をウェハ収納保持部材内にお
いて短時間に行うことが可能になるという顕著な効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェハ処理装置の一実施例のウェ
ハ収納部説明図、第２図は第１図の部分説明図、第３図
、第４図は第２図のウェハ検出器説明図である。 １・・・ウェハ　　　　　　　２・・・ガイド６・・・
突き上げ部　　　　　ｌＯ・・・ローラ２０・・モータ ３０・・ウェハ検出器 ４０・・・信号処理部 第１図 第 ２ 図 手 続 補 正 書 特 許 庁 長 官 殿 平成 ２．１１．−７ 年　　月　　日 １、事件の表示 平成２年特許願第７１５６０号 ２、発明の名称 ウェハ処理装置 ３゜ 補正をする者 事件との関係　特許出願人 神奈川県津久井郡城山町用尻字本郷３２１０番１４、補
正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ５、補正の内容 明細書第２頁第４行目乃至第５行目「特開昭６３−１３
３４号・特開昭６３−２０９５８号Ｊを１特開昭６）、
、、　、、、、、１３３４４号、特開昭６４−７４３号
」と補正する。 第３図 ８

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　予め定められた間隔で各ウェハが配置される保持部材
   と、この保持部材に設けられた上記ウェハの下部周縁に
   当接上昇させ上記ウェハを回転可能の如く構成されたロ
   ーラと、上記保持部材内に設けられた上記各ウェハに光
   照射する投光部と、この投光部により照射された光によ
   りウェハの有無を検出する検知部と、この検知部出力に
   より上記ウェハ列の状態を出力する信号処理部とを具備
   するウェハ処理装置。