JPH0327041B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0327041B2 JPH0327041B2 JP59150455A JP15045584A JPH0327041B2 JP H0327041 B2 JPH0327041 B2 JP H0327041B2 JP 59150455 A JP59150455 A JP 59150455A JP 15045584 A JP15045584 A JP 15045584A JP H0327041 B2 JPH0327041 B2 JP H0327041B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring
- support
- coil
- electromagnetic transducer
- coils
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、探触ピンが支持体を介して上側部分
に対しＸ−、Ｙ−および場合によつてはＺ−測定
方向に転向でき、各測定方向に対し、探触ピンを
上側部分に対しその測定方向に移動可能に支持し
ている平行四辺形支持装置、探触ピンを電磁石装
置によつてその運動方向において零点位置から揺
動する転向装置、および探触ピンをその運動方向
における運動を阻止する固定装置がそれぞれ設け
られている多重座標測定機械の測定ヘツドに関す
る。
に対しＸ−、Ｙ−および場合によつてはＺ−測定
方向に転向でき、各測定方向に対し、探触ピンを
上側部分に対しその測定方向に移動可能に支持し
ている平行四辺形支持装置、探触ピンを電磁石装
置によつてその運動方向において零点位置から揺
動する転向装置、および探触ピンをその運動方向
における運動を阻止する固定装置がそれぞれ設け
られている多重座標測定機械の測定ヘツドに関す
る。
かかる測定ヘツドは西ドイツ特許第2242355号
明細書に記載されている。その場合上側部分に３
つの電磁コイルが配置されている。これらの電磁
コイルによつて問題とする支持体がＸ−、Ｙ−な
いしＺ−測定方向に転向される。相応した電流制
御によつて所定の測定力が得られる。電磁コイル
の運動はレバー装置を介して問題とする支持体に
与えられねばならない。これは構造的に経費がか
かる。
明細書に記載されている。その場合上側部分に３
つの電磁コイルが配置されている。これらの電磁
コイルによつて問題とする支持体がＸ−、Ｙ−な
いしＺ−測定方向に転向される。相応した電流制
御によつて所定の測定力が得られる。電磁コイル
の運動はレバー装置を介して問題とする支持体に
与えられねばならない。これは構造的に経費がか
かる。
西ドイツ特許第2242355号明細書で提案されて
いる固定装置は電磁コイルから分離して支持体に
配置されている。この固定装置は機械的に拘束さ
れ、固有の電動モータで制御される。これは同様
に構造的に経費がかかる。さらにある一測定方向
における測定の際固定装置が探触ピンを別の測定
方向に対し拘束するように、固定装置および電磁
コイルの切替えを連動するために、特別な電気制
御装置が設けられねばならない。
いる固定装置は電磁コイルから分離して支持体に
配置されている。この固定装置は機械的に拘束さ
れ、固有の電動モータで制御される。これは同様
に構造的に経費がかかる。さらにある一測定方向
における測定の際固定装置が探触ピンを別の測定
方向に対し拘束するように、固定装置および電磁
コイルの切替えを連動するために、特別な電気制
御装置が設けられねばならない。
本発明の目的は、冒頭に述べた形式の測定ヘツ
ドにおいて固定装置および転向装置の構造を改善
することにある。
ドにおいて固定装置および転向装置の構造を改善
することにある。
本発明によればこの目的は、固定装置が各測定
方向の転向装置と共に少なくともそれぞれ１個の
磁石を持つた２つのコイルを有する１つの電磁変
換器によつて形成され、コイルの軸心がその測定
方向に対し平行に向けられ、コイルあるいは磁石
がその測定方向における運動を阻止され、磁石な
いしコイルがその測定方向に移動可能な支持体に
取り付けられていることによつて達成される。
方向の転向装置と共に少なくともそれぞれ１個の
磁石を持つた２つのコイルを有する１つの電磁変
換器によつて形成され、コイルの軸心がその測定
方向に対し平行に向けられ、コイルあるいは磁石
がその測定方向における運動を阻止され、磁石な
いしコイルがその測定方向に移動可能な支持体に
取り付けられていることによつて達成される。
２つのコイルに同時に逆向きの電流が流される
と問題とする支持体がその測定方向において固定
される。これに対しコイルの電流が一方向である
場合、支持体はその測定方向の一方向において転
向される。別の方向における電流の場合この測定
方向の別の方向における転向が行なわれる。Ｘ−
測定方向における測定の際たとえばこの測定方向
の支持体が始動のために測定面に予め転向され
る。始動後に支持体は測定面に所定の測定力で保
持される。Ｙ−およびＺ−測定方向に対する別の
２つの支持体はそれらに付属された電磁変換器に
よつてその間固定される。
と問題とする支持体がその測定方向において固定
される。これに対しコイルの電流が一方向である
場合、支持体はその測定方向の一方向において転
向される。別の方向における電流の場合この測定
方向の別の方向における転向が行なわれる。Ｘ−
測定方向における測定の際たとえばこの測定方向
の支持体が始動のために測定面に予め転向され
る。始動後に支持体は測定面に所定の測定力で保
持される。Ｙ−およびＺ−測定方向に対する別の
２つの支持体はそれらに付属された電磁変換器に
よつてその間固定される。
本発明に基づく固定装置および転向装置の構造
は簡単である。というのはそれらの装置の作用が
電磁変換器によつて行なわれ、電磁変換器が問題
とする支持体に直接おかれているからである。そ
れによつてレバー伝達装置は不要となる。
は簡単である。というのはそれらの装置の作用が
電磁変換器によつて行なわれ、電磁変換器が問題
とする支持体に直接おかれているからである。そ
れによつてレバー伝達装置は不要となる。
本発明の有利な実施形態においてコイル軸心は
一直線の上にあり、コイルは互に間隔を隔てら
れ、磁石は非磁性部品によつて互に接続されてい
る。これらはさらに構造を簡単にする。
一直線の上にあり、コイルは互に間隔を隔てら
れ、磁石は非磁性部品によつて互に接続されてい
る。これらはさらに構造を簡単にする。
本発明の別の有利な実施形態は特許請求の範囲
の実施態様項にまとめて記載してある。
の実施態様項にまとめて記載してある。
以下図面に示す本発明の実施例について説明す
る。
る。
探触ピン２は３−座標測定機械の測定ヘツドの
上側部分１によつて支持されている。
上側部分１によつて支持されている。
この上側部分１はＺ−方向に伸びるウエブ３を
有している。このウエブ３には平行四辺形型支持
装置４を介して支持体５が配置され、この支持体
５は上側部分１に対してＺ−方向に移動できる。
支持体５と上側部分１との間には電磁変換器６が
設けられ、この電磁変換器６によつて支持体５は
上側部分１に対しＺ−方向に送られたり固定され
る。
有している。このウエブ３には平行四辺形型支持
装置４を介して支持体５が配置され、この支持体
５は上側部分１に対してＺ−方向に移動できる。
支持体５と上側部分１との間には電磁変換器６が
設けられ、この電磁変換器６によつて支持体５は
上側部分１に対しＺ−方向に送られたり固定され
る。
さらに支持体５と上側部分１との間にはＺ−測
定装置７が配置されている。
定装置７が配置されている。
支持体５には剛性のシーソー形懸垂体８として
形成された平行四辺形型支持装置によつて別の支
持体９がＹ−方向に移動可能に支持されている。
支持体５と別の支持体９との間にはコイル体１１
と鉄心１２とを持つたＹ−方向に作用する電磁変
換器１０が配置されている。コイル体１１はＵリ
ンク１３を介して支持体５に堅く接続されてい
る。鉄心１２は支持体９に接続されている。さら
にＵリンク１３と支持体９との間にはＹ−測定装
置１４が設けられている。
形成された平行四辺形型支持装置によつて別の支
持体９がＹ−方向に移動可能に支持されている。
支持体５と別の支持体９との間にはコイル体１１
と鉄心１２とを持つたＹ−方向に作用する電磁変
換器１０が配置されている。コイル体１１はＵリ
ンク１３を介して支持体５に堅く接続されてい
る。鉄心１２は支持体９に接続されている。さら
にＵリンク１３と支持体９との間にはＹ−測定装
置１４が設けられている。
第３の支持体１５が第３の平行四辺形型支持装
置を形成している別の剛性のシーソー形懸垂体１
６を介して支持体５に支持されている。Ｙ−方向
において支持体９は第３の支持体１５の脚部１
５′に当接している（第１図参照）。第３の支持体
１５はＸ−方向において別の支持体９に対し自由
になつている。支持体９と第３の支持体１５との
間にはコイル体１８と鉄心１９とを持つたＸ−方
向に作用する電磁変換器１７が配置されている。
コイル体１８は支持体９の付属物２０に取り付け
られている。鉄心１９は第３の支持体１５に接続
されている。付属物２０と第３の支持体１５との
間にはＸ−測定装置２１が設けられている。第３
の支持体１５には探触ピン２が取り付けられてい
る。
置を形成している別の剛性のシーソー形懸垂体１
６を介して支持体５に支持されている。Ｙ−方向
において支持体９は第３の支持体１５の脚部１
５′に当接している（第１図参照）。第３の支持体
１５はＸ−方向において別の支持体９に対し自由
になつている。支持体９と第３の支持体１５との
間にはコイル体１８と鉄心１９とを持つたＸ−方
向に作用する電磁変換器１７が配置されている。
コイル体１８は支持体９の付属物２０に取り付け
られている。鉄心１９は第３の支持体１５に接続
されている。付属物２０と第３の支持体１５との
間にはＸ−測定装置２１が設けられている。第３
の支持体１５には探触ピン２が取り付けられてい
る。
電磁変換器１０および電磁変換器１７は第３図
に示されているように構成されている。コイル体
１１ないし１８の中には互に間隔を隔てられた２
つのコイル２２と２３が設けられている。鉄心１
２，１９は４つの永久磁石２４，２５，２６，２
７を有している。これらの永久磁石はそれぞれコ
イル端部範囲に配置されている。永久磁石のＮ極
およびＳ極はそれぞれ対向している（第３図参
照）。磁石は非磁性の接続部片２８によつて互に
固定されている。問題とする支持体と接続し駆動
するために別の非磁性接続片２９が設けられてい
る。コイル軸心は一直線の上にある。
に示されているように構成されている。コイル体
１１ないし１８の中には互に間隔を隔てられた２
つのコイル２２と２３が設けられている。鉄心１
２，１９は４つの永久磁石２４，２５，２６，２
７を有している。これらの永久磁石はそれぞれコ
イル端部範囲に配置されている。永久磁石のＮ極
およびＳ極はそれぞれ対向している（第３図参
照）。磁石は非磁性の接続部片２８によつて互に
固定されている。問題とする支持体と接続し駆動
するために別の非磁性接続片２９が設けられてい
る。コイル軸心は一直線の上にある。
次に電磁変換器６，１０，１７の作用について
説明する。
説明する。
相応した電流によつて同方向に向けられた磁界
が形成された場合、相応して鉄心１２，１３が右
ないし左に向けて移動される。これに対し２つの
コイル２２と２３に互に逆向きに向けられた磁界
が発生されると、鉄心１２，１９はその中心位置
（その測定方向の零点位置）に拘束される。
が形成された場合、相応して鉄心１２，１３が右
ないし左に向けて移動される。これに対し２つの
コイル２２と２３に互に逆向きに向けられた磁界
が発生されると、鉄心１２，１９はその中心位置
（その測定方向の零点位置）に拘束される。
電磁変換器６は原理的に電磁変換器１０，１７
と同様に構成されている。しかし電磁変換器６の
場合２つのコイル２２と２３はその軸心が一直線
の上にはなく、互に並んで位置している。第１図
には１つのコイル２２だけが示されている。
と同様に構成されている。しかし電磁変換器６の
場合２つのコイル２２と２３はその軸心が一直線
の上にはなく、互に並んで位置している。第１図
には１つのコイル２２だけが示されている。
上述した測定ヘツドにおいて電磁変換器６，１
０，１７は次のように作用する。
０，１７は次のように作用する。
たとえばＹ−測定方向における測定を実施しよ
うとする場合、電磁変換器６のコイルに支持体５
がＺ−方向の零点位置に拘束されるように電流が
供給される。さらに電磁変換器１７のコイルに支
持体１５がＸ方向の零点位置に拘束されるように
電流が供給される。電磁変換器１０のコイルに支
持体９およびそれに伴つて支持体１５が所望の距
離だけおよび所望方向にＹ−測定方向に移動され
るような電流が供給される。同時にそれによつて
所望の測定が発生される。
うとする場合、電磁変換器６のコイルに支持体５
がＺ−方向の零点位置に拘束されるように電流が
供給される。さらに電磁変換器１７のコイルに支
持体１５がＸ方向の零点位置に拘束されるように
電流が供給される。電磁変換器１０のコイルに支
持体９およびそれに伴つて支持体１５が所望の距
離だけおよび所望方向にＹ−測定方向に移動され
るような電流が供給される。同時にそれによつて
所望の測定が発生される。
他の２つの方向における測定は同じようにして
行なわれる。
行なわれる。
第１図は本発明に基づく多重座標測定器の測定
ヘツドのＺ−Ｙ平面における断面図、第２図は第
１図における測定ヘツドのＺ−Ｘ平面における断
面図、第３図は電磁変換器の断面図である。 １……上側部分、２……探触ピン、３……ウエ
ブ、４……平行四辺形支持装置、５……支持体、
６……電磁変換器、７……Ｚ−測定装置、８……
シーソー形懸垂体、９……支持体、１０……電磁
変換器、１４……Ｙ−測定装置、１５……支持
体、１６……シーソー形懸垂体、１７……電磁変
換器、２２，２３……コイル、２４，２５，２
６，２７……磁石、２８……非磁性連結部片。
ヘツドのＺ−Ｙ平面における断面図、第２図は第
１図における測定ヘツドのＺ−Ｘ平面における断
面図、第３図は電磁変換器の断面図である。 １……上側部分、２……探触ピン、３……ウエ
ブ、４……平行四辺形支持装置、５……支持体、
６……電磁変換器、７……Ｚ−測定装置、８……
シーソー形懸垂体、９……支持体、１０……電磁
変換器、１４……Ｙ−測定装置、１５……支持
体、１６……シーソー形懸垂体、１７……電磁変
換器、２２，２３……コイル、２４，２５，２
６，２７……磁石、２８……非磁性連結部片。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 探触ピンが支持体を介して上側部分に対しＸ
−、Ｙ−および場合によつてはＺ−測定方向に転
向でき、各測定方向に対し、探触ピンを上側部分
に対しその測定方向に移動可能に支持している平
行四辺形型支持装置、探触ピンを電磁石装置によ
つてその運動方向において零点位置から揺動する
転向装置、および探触ピンをその運動方向におけ
る運動を阻止する固定装置がそれぞれ設けられて
いる多重座標測定機械の測定ヘツドにおいて、固
定装置が各測定方向の転向装置と共に少なくとも
それぞれ１個の磁石２４〜２７を持つた２つのコ
イル２２，２３を有する１つの電磁変換器６，１
０，１７によつて形成され、コイル２２，２３の
軸心がその測定方向に対し平行に向けられ、コイ
ル２２，２３あるいは磁石２４〜２７がその測定
方向における運動を阻止され、磁石２４〜２７な
いしコイル２２，２３がその測定方向に移動可能
な支持体５，９，１５に取り付けられていること
を特徴とする多重座標測定機械の測定ヘツド。 ２ コイル２２，２３の軸心が一直線上にあり、
コイル２２，２３が互いに間隔を隔てられ、磁石
２４〜２７が非磁性部品２８を介して互いに接続
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の多重座標測定機械の測定ヘツド。 ３ 各コイル２２，２３におけるその終端範囲に
２つの磁石２４，２５，２６，２７が配置され、
それらのＮ極あるいはＳ極が互いに向き合わさ
れ、非磁性部品２８を介して互いに接続されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項または
第２項に記載の多重座標測定機械の測定ヘツド。 ４ 支持装置４，８，１６が剛性のシーソー形懸
垂体として形成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載
の多重座標測定機械の測定ヘツド。 ５ Ｚ−測定方向の電磁変換器６のコイルが上側
部分１に固定して位置し、Ｙ−測定方向の電磁変
換器１０のコイルがＺ−測定方向の電磁変換器６
から転向できる支持体５に取り付けられ、Ｘ−測
定方向の電磁変換器１７のコイルがＺ−測定方向
の電磁変換器６およびＹ−測定方向の電磁変換器
１０から転向できる支持体９に取り付けられてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし
第４項のいずれかに記載の多重座標測定機械の測
定ヘツド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE8322759 | 1983-08-06 | ||
| DE8322759.8 | 1983-08-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078301A JPS6078301A (ja) | 1985-05-04 |
| JPH0327041B2 true JPH0327041B2 (ja) | 1991-04-12 |
Family
ID=6755935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59150455A Granted JPS6078301A (ja) | 1983-08-06 | 1984-07-19 | 多重座標測定機械の測定ヘツド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4563823A (ja) |
| JP (1) | JPS6078301A (ja) |
| AT (1) | AT385123B (ja) |
| IT (2) | IT8422786V0 (ja) |
| SE (1) | SE456365B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866854A (en) * | 1986-12-05 | 1989-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multiple axis displacement sensor |
| GB2208934B (en) * | 1987-08-24 | 1991-05-15 | Mitutoyo Corp | Surface contour measuring tracer |
| GB8728500D0 (en) * | 1987-12-05 | 1988-01-13 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
| GB9724453D0 (en) * | 1997-11-20 | 1998-01-14 | Renishaw Plc | Measuring or positioning machine |
| CN103837072B (zh) * | 2012-11-23 | 2017-07-18 | 孟宪章 | 一种三维触发式测量头 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2242355C2 (de) * | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
| DE2356030C3 (de) * | 1973-11-09 | 1978-05-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Taster zur Werkstückantastung |
| GB1551218A (en) * | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
-
1984
- 1984-07-19 JP JP59150455A patent/JPS6078301A/ja active Granted
- 1984-07-23 AT AT0236384A patent/AT385123B/de not_active IP Right Cessation
- 1984-07-25 US US06/634,124 patent/US4563823A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-08-02 IT IT8422786U patent/IT8422786V0/it unknown
- 1984-08-02 IT IT22186/84A patent/IT1196210B/it active
- 1984-08-03 SE SE8403967A patent/SE456365B/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT8422186A0 (it) | 1984-08-02 |
| IT8422186A1 (it) | 1986-02-02 |
| ATA236384A (de) | 1987-07-15 |
| SE8403967L (sv) | 1985-02-07 |
| SE8403967D0 (sv) | 1984-08-03 |
| JPS6078301A (ja) | 1985-05-04 |
| IT8422786V0 (it) | 1984-08-02 |
| US4563823A (en) | 1986-01-14 |
| AT385123B (de) | 1988-02-25 |
| SE456365B (sv) | 1988-09-26 |
| IT1196210B (it) | 1988-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6850053B2 (en) | Device for measuring the motion of a conducting body through magnetic induction | |
| US3331972A (en) | Magnetic control stick system | |
| JPH0327041B2 (ja) | ||
| GB2144860A (en) | Measuring head of a multi- coordinate measuring machine | |
| US3395349A (en) | Wide angle d'arsonval movement having core mounting means interfitted with the core ring | |
| JP2716884B2 (ja) | 平面モータ装置 | |
| JPS6452443A (en) | Magnetic resonance diagnostic apparatus | |
| US4197494A (en) | Electromagnetic device with magnetic null means | |
| JP3377822B2 (ja) | 磁気共鳴イメージング装置 | |
| DE50213062D1 (en) | Ferraris-sensor | |
| JPH05109B2 (ja) | ||
| JPH0837772A (ja) | リニアモータ | |
| JPH09243723A (ja) | 磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置 | |
| JPH11253418A5 (ja) | 磁気共鳴イメージング装置のｒｆコイル及びそのｒｆコイルを備えた磁気共鳴イメージング装置 | |
| JPH09280807A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JP2003116812A5 (ja) | ||
| JP7492474B2 (ja) | センシング装置 | |
| JP2881865B2 (ja) | フライング・プローブ・ヘッド | |
| SU1163250A1 (ru) | Электромагнитный преобразователь дл неразрушающего контрол изделий | |
| JP3457265B2 (ja) | 加速度検出装置 | |
| JPS6241250Y2 (ja) | ||
| JPH10206103A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JPS5873850A (ja) | 磁界発生用装置およびその製造方法 | |
| JP2500305Y2 (ja) | 傾斜磁場発生コイル | |
| JPH0234619Y2 (ja) |