JPH09243723A - 磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブに取り付けられたホール素子の中心
を正確に検知する。 【解決手段】 磁界発生部によって分布の異なる磁界内
に、ホール素子を該磁界を横切るようにして微動移動さ
せ、該磁界の分布に応じた出力を常時測定し、その出力
の変化度合いから該ホール素子の現時点の配置位置（そ
の支持体となるプロープに対して）を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気測定装置のセ
ンサ取付け校正用装置に係り、たとえば３次元空間の磁
力の各方向およびその方向に対する量を検知する磁気測
定装置のセンサ取付け校正用装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気測定装置は、一空間内に磁力がどれ
だけの量、そしてどの方向に発生しているかを検出する
装置である。

【０００３】そして、これらを３次元的に検出する場合
には、ｘ、ｙ、およびｚ方向における各磁力の量をそれ
ぞれ別個に設けた磁気センサによって検出し、それらの
各検出量をベクトル的に合成して求めるようになってい
る。

【０００４】このような磁気測定装置は、たとえば陰極
線管に備えられる偏向ヨークにおける磁界分布の測定等
に用いられるようになっている。

【０００５】この場合、磁気センサとしてはホール素子
が使用されているのが一般的であり、このホール素子
は、極小のペレットからなるもので、その主表面に対し
て垂直方向にのみ発生している磁力の量に対応する電圧
値を出力できるように構成されている。

【０００６】そして、ホール素子は、上述のように極小
のペレットからなることから、たとえば棒状の支持体の
先端等に支持され、それ自体、ホール素子を組み込んだ
プローブとして構成されるようになっている。

【０００７】ここで、プローブにおけるホール素子は間
接的には該プローブが配置される個所における磁力の量
をそれぞれ計測することから、該ホール素子はプローブ
に対して所定の個所に正確に配置して取り付けることが
要請されることになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これま
での磁気測定装置は、その磁気センサであるホール素子
が極小のペレットであることから、所定の位置に正確に
配置することは極めて困難となり、その多くは所定の位
置から若干ずれた位置に配置されたままとなり、その解
決策が見出されないままとなっていた。

【０００９】そこで、本発明者等は、プローブに取り付
けられたホール素子の中心（感度の最も優れた点）を正
確に検知できるならば、その検知結果から該ホール素子
の配置に校正を加えることによって、該ホール素子を所
定の位置に正確に配置できることを見出し、本発明をす
るに至った。

【００１０】したがって、本発明の目的は、簡単な構成
にも拘らず、プローブに取り付けられたホール素子の中
心を正確に検知できる磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、たとえば、ｘ方向の磁場の強度を
測定するホール素子を備える磁気測定装置の該ホール素
子の中心を検出する場合には、磁気シールドされた空間
内に、少なくとも、そのｘ方向の中心を定める手段とし
て、少なくともｘｙ平面に磁界を左右方向に分布をもた
せて発生させる磁界発生部と、該磁界の分布を横切るよ
うにして該ホール素子をｘ方向に微動移動させる移動手
段と、この移動手段による該ホール素子の移動過程にお
ける出力が０となる時点を検出する検出手段を有し、ｙ
方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ平面に
磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生部
と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子をｙ
方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段による
該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる時
点を検出する検出手段を有し、ｚ方向の中心を定める手
段として、少なくともｘｚ平面に磁界を左右方向に分布
をもたせて発生させる磁界発生部と、該磁界の分布を横
切るようにして該ホール素子をｚ方向に微度移動させる
移動手段と、この移動手段による該ホール素子の移動過
程における出力が最大値となる時点を検出する検出手段
を有することを特徴とするものである。

【００１２】このように構成された磁気測定装置のセン
サ取付け校正用装置は、磁界発生部によって分布の異な
る磁界内に、ホール素子を該磁界を横切るようにして微
動移動させ、該磁界の分布に応じた出力を常時測定し、
その出力の変化度合いから該ホール素子の現時点の配置
位置（その支持体となるプロープに対して）を判定する
ことを基本的思想としている。

【００１３】ホール素子の位置は、たとえば、基準位置
からの距離に対応されるものであり、この距離は情報と
して記憶され、その後において該ホール素子のプローブ
に対する位置の構成を行う際に利用されるようになる。

【００１４】

【発明の実施の形態】実施例１． 図１は、本発明による磁気測定装置のセンサ
取付け校正用装置の一実施例を示す概略構成図である。

【００１５】同図（ａ）において、まず、図中ｚ方向に
中心軸を有する円筒状のシールド１がある。この円筒状
のシールド１は、その内部を地磁気の影響から遮断する
ための地磁気シールドとして機能する。

【００１６】そして、このシールド１は、その両端のう
ちの一端は完全に閉塞され、他端はその中心軸を中心と
した小円からなる開口１Ａが形成された部分を除くほか
は閉塞されている。この開口１Ａが設けられている理由
は後に詳述する。

【００１７】シールド１内にはそのｚ軸方向のほぼ中央
部あたりに円形コア２が備えられ、この円形コア２は、
その外周辺がシールド１の内壁に当接するようにして配
置されている。

【００１８】さらに、この円形コア２には電磁コイル３
Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄが４個取り付けられ、これら電磁
コイル３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄは、同図（ｂ）の平面図
に示すように、そのうちの２個の電磁コイル３Ｂ、３Ｄ
がｘ軸上においてそれぞれ一端が円形コア２に支持さ
れ、他端が互いに対向して配置されている。この場合、
図において、互いに対向する電磁コイル３Ｂ、３Ｄの他
端はＮ極となっている。

【００１９】そして、他の残りの２個の電磁コイル３
Ａ、３Ｃはｙ軸上においてそれぞれ一端が円形コア２に
支持され、他端が互いに対向して配置されている。この
場合、図において、互いに対向する電磁石コイルの他端
はＳ極となっている。

【００２０】これにより、各電磁コイル３Ａ、３Ｂ、３
Ｃ、３Ｄによって囲まれる空間内には、各電磁コイルに
対して、ｘｙ平面における左右方向に電界の分布を形成
するとともに、ｘｚ平面における上下方向に電界の分布
を形成するようになる。

【００２１】そして、このように各電磁コイル３Ａ、３
Ｂ、３Ｃ、３Ｄによって囲まれるｘｙ平面上の空間に
は、該平面に対して垂直（ｚ軸）にプローブ４が位置づ
けられるようにして配置されるようになっている。この
プローブ４は、その先端におけるホール素子の取付け個
所が前記各電磁コイル３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄを含む平
面内に位置づけられ、他端はシールド１の前記開口１Ａ
を通して延在されて配置されるようになっている。

【００２２】この場合、プローブ４には、そのシールド
１の開口Ａにおいて、スライドシールド５が取り付けら
れ、このスライドシールド５によって前記開口１Ａが完
全に閉塞されるようになっている。

【００２３】プローブ４は、その他端において図示しな
い機構部（たとえばｘｙｚテーブル）に支持され、該機
構部によって、シールド１内にて、そのｘ方向、ｙ方
向、およびｚ方向に任意に移動できるようになってい
る。

【００２４】すなわち、このプローブ４の移動は、同図
（ｂ）の点線に示すように、電磁コイル３ＡのＳ極の前
面を横切るようにしてｘ方向に移動し、次に、ｙ方向に
方向転換して電磁コイル３ＢのＮ極の前面を横切るよう
に移動するようになっている。そして、その後、前記電
磁コイル３ＢのＮ極に対向するようにそれまでの移動に
対して戻り、ｚ方向に移動することによって該電磁コイ
ル３ＢのＮ極の前面を横切るようになっている。

【００２５】このことから、シールド１に設けられた前
記開口１Ａは、プローブ４の前記移動を妨げない程度の
径を有し、かつプローブ４に取り付けられたスライドシ
ールド５は常に該開口１Ａを塞ぐ程度に大きいものとな
っている。

【００２６】この場合において、プローブ１のホール素
子からの出力は常時検出され、その出力変化を追跡する
ようになっている。

【００２７】次に、このように構成された磁気測定装置
のセンサ取付け校正用装置の使用方法の一実施例につい
て以下説明する。

【００２８】まず、この装置は、ｘ、ｙ、ｚ方向のそれ
ぞれの磁力を検出する各プローブに対して、そのいずれ
においてもそのホール素子の中心を検出できるようにな
っている。

【００２９】ここで、図２（ａ）は、ｘ方向の磁力を検
出するプローブ４を示し、その極小のペレット状のホー
ル素子６ｘは、その主表面がｘ軸と直交するように配置
されている。以下、このようなプロープをｘプローブ４
と称する。また、図２（ｂ）は、ｙ方向の磁力を検出す
るプローブ４を示し、その極小のペレット状のホール素
子６ｙは、その主表面がｙ軸と直交するように配置され
ている。以下、このようなプロープをｙプローブ４と称
する。さらに、図２（ｃ）は、ｚ方向の磁力を検出する
プローブ４を示し、その極小のペレット状のホール素子
６ｚは、その主表面がｚ軸と直交するように配置されて
いる。以下、このようなプロープをｚプローブ４と称す
る。

【００３０】このような各プローブ４は、磁気測定装置
のセンサ取付け校正用装置内に図１のように配置される
際ににおいて、そのホール素子６ｘ、６ｙ、６ｚの向き
をそれぞれ対応する軸に一致づけて挿入されることにな
る。

【００３１】以下、図３を用いて各プローブ毎のホール
素子における中心を見出す方法を説明する。

【００３２】（１）ｘプローブ４の場合 まず、電磁コイル３Ａを横切るプロープ４内のホール素
子６ｘは、該電磁コイル３ＡのＳ極から発生する磁力の
うち、特にｘｙ平面において左右方向に円弧形に発生す
る磁力を切ることになる。

【００３３】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子６ｘ
からの出力は０になる。

【００３４】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｘのｘ軸方向における中心が判明することになる。

【００３５】なお、この場合におけるホール素子６ｘの
位置は、基準位置（ｘ軸上）からの距離に対応されるも
のであり、この距離は情報として記憶され、その後にお
いて該ホール素子６ｘのプローブに対する位置の構成を
行う際に利用されるようになる。この方法は、以下の説
明においても同様である。

【００３６】そして、次に、電磁コイル３Ｂを横切るプ
ロープ４内のホール素子６ｘは、該電磁コイル３ＢのＮ
極から発生する磁力のうち、特にｘｙ平面において左右
方向に円弧形に発生する磁力を切ることになる。

【００３７】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｘの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子からの出力は最大になる。

【００３８】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｘのｙ軸方向における中心が判明することになる。

【００３９】さらに、この時点において、プローブ４を
その上下方向（ｚ軸方向）に移動させることによって、
前記電磁コイル３Ｂを横切るプロープ４内のホール素子
６ｘは、該電磁コイル３ＢのＮ極から発生する磁力のう
ち、特にｘｚ平面において上下方向に円弧形に発生する
磁力を切ることになる。

【００４０】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｘの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子６ｘからの出力は最大になる。

【００４１】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｘのｚ軸方向における中心が判明することになる。

【００４２】（２）ｙプローブ４の場合 まず、電磁コイル３Ａを横切るプロープ４内のホール素
子６ｙは、該電磁コイル３ＡのＳ極から発生する磁力の
うち、特にｘｙ平面において左右方向に円弧形に発生す
る磁力を切ることになる。

【００４３】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｙの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子６ｙからの出力は最大になる。

【００４４】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｙのｘ軸方向における中心が判明することになる。

【００４５】次に、この時点において、プローブ４をそ
の上下方向（ｚ軸方向）に移動させることによって、前
記電磁コイル３Ａを横切るプロープ４内のホール素子６
ｙは、該電磁コイル３ＡのＮ極から発生する磁力のう
ち、特にｘｚ平面において上下方向に円弧形に発生する
磁力を切ることになる。

【００４６】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｙの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子６ｙからの出力は最大になる。

【００４７】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｙのｚ軸方向における中心が判明することになる。

【００４８】さらに、電磁コイル３Ｂを横切るプロープ
４内のホール素子６ｙは、該電磁コイル３ＢのＮ極から
発生する磁力のうち、特にｘｙ平面において左右方向に
円弧形に発生する磁力を切ることになる。

【００４９】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｙの主表面を直交し
て通過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子
６ｙからの出力は０になる。

【００５０】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｙのｙ軸方向における中心が判明することになる。

【００５１】（３）ｚプローブ４の場合 まず、電磁コイル３Ａを横切るプロープ４内のホール素
子６ｚは、該電磁コイル３ＡのＳ極から発生する磁力の
うち、特にｘｚ平面において左右方向に円弧形に発生す
る磁力を切ることになる。

【００５２】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｚの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子６ｚからの出力は最大になる。

【００５３】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｚのｘ軸方向における中心が判明することになる。

【００５４】そして、次に、電磁コイル３Ｂを横切るプ
ロープ４内のホール素子６ｚは、該電磁コイル３ＢのＮ
極から発生する磁力のうち、特にｘｚ平面において上下
方向に円弧形に発生する磁力を切ることになる。

【００５５】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｚの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子６ｚからの出力は最大になる。

【００５６】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｚのｙ軸方向における中心が判明することになる。

【００５７】さらに、この時点において、プローブ４を
その上下方向（ｚ軸方向）に移動させることによって、
前記電磁コイル３Ｂを横切るプロープ４内のホール素子
６ｚは、該電磁コイル３ＢのＮ極から発生する磁力のう
ち、特にｘｚ平面において上下方向に円弧形に発生する
磁力を切ることになる。

【００５８】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子６ｚの主表面を直交し
て通過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子
６ｚからの出力は０になる。

【００５９】すなわち、この時点において、該ホール素
子６ｚのｚ軸方向における中心が判明することになる。

【００６０】上述した実施例では、シールド内に配置さ
れる磁石として電磁コイルを用いたものであるが、これ
に限定されることはなくたとえば永久磁石であってもよ
いことはいうまでもない。要は磁界発生手段が備えられ
ていればよい。

【００６１】また、上述した実施例では、その磁界発生
手段の極面がある面積を持って平坦化された形状となっ
ているものであるが、これに限定されることはなく、先
端が尖鋭状となったいわゆる磁性ピン等であってもよい
ことはいうまでもない。

【００６２】実施例２．図４は、本発明による磁気測定
装置のセンサ取付け校正用装置の他の実施例を示す概略
構成図である。なお、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）のｂ−ｂ線における断面図である。

【００６３】同図に示す装置は、各プロープのうち、特
にｘプローブとｙプローブにおけるホール素子の中心を
見出すことのできる装置を示したものである。

【００６４】基本的には図１に示す構成とほぼ同様であ
るが、その磁界発生部の構成が簡略化されたものとなっ
ている。

【００６５】すなわち、シールド１の内壁において、該
シールド１の中心軸から９０°の間隔で３個の磁界発生
部７Ａ、７Ｂ、７Ｃが備えられている。

【００６６】まず、ｘ軸と平行な内壁面にｚ軸方向へ延
在する２本の隣接する導電線に互いに逆方向に電流を流
して構成した第１磁界発生部７Ａが備えられている。そ
して、ｙ軸と平行な内壁面にｚ軸方向へ延在する２本の
隣接する導電線に互いに逆方向に電流を流して構成した
第２磁界発生部７Ｂが備えられている。さらに、この第
２磁界発生部７Ｂに対向するｙ軸と平行な内壁面にｙ軸
方向へ延在する２本の隣接する導電線に互いに逆方向に
電流を流して構成した第２磁界発生部７Ｃが備えられて
いる。

【００６７】ここで、各磁界発生部７Ａ、７Ｂ、７Ｃか
らの磁力は、実施例１の場合と異なり、導電線の延在方
向と直交する面内においてのみ、左右方向に円弧形に発
生する分布を呈するようになる。

【００６８】このようなことを前提にして、以下、各プ
ローブ毎のホール素子における中心を見出す方法を説明
する。

【００６９】（１）ｘプローブの場合 まず、第１磁界発生部７Ａを横切るプロープ内のホール
素子は、該第１磁界発生部におけるｘｙ平面の磁力であ
って、その左右方向に円弧形に発生する磁力を切ること
になる。

【００７０】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子から
の出力は０になる。

【００７１】すなわち、この時点において、該ホール素
子のｘ軸方向における中心が判明することになる。

【００７２】そして、次に、第２磁界発生部７Ｂを横切
るプロープ内のホール素子は、該第２磁界発生部７Ｂに
おけるｘｙ平面の磁力であって、その左右方向に円弧形
に発生する磁力を切ることになる。

【００７３】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。

【００７４】すなわち、この時点において、該ホール素
子のｙ軸方向における中心が判明することになる。

【００７５】さらに、第３磁界発生部７Ｃを横切るプロ
ープ内のホール素子は、該第３磁界発生部７Ｃにおける
ｘｚ平面の磁力であって、その上下方向に円弧形に発生
する磁力を切ることになる。

【００７６】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。

【００７７】すなわち、この時点において、該ホール素
子のｚ軸方向における中心が判明することになる。

【００７８】（２）ｙプローブの場合 まず、第１磁界発生部７Ａを横切るプロープ内のホール
素子は、該第１磁界発生部７Ａにおけるｘｙ平面の磁力
であって、その左右方向に円弧形に発生する磁力を切る
ことになる。

【００７９】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子から
の出力は０になる。

【００８０】すなわち、この時点において、該ホール素
子のｘ軸方向における中心が判明することになる。

【００８１】そして、次に、第２磁界発生部７Ｂを横切
るプロープ内のホール素子は、該第２磁界発生部７Ｂに
おけるｘｙ平面の磁力であって、その左右方向に円弧形
に発生する磁力を切ることになる。

【００８２】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。

【００８３】すなわち、この時点において、該ホール素
子のｙ軸方向における中心が判明することになる。

【００８４】さらに、第３磁界発生部７Ｃを横切るプロ
ープ内のホール素子は、該第３磁界発生部７Ｃにおける
ｘｚ平面の磁力であって、その左右方向に円弧形に発生
する磁力を切ることになる。

【００８５】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。

【００８６】すなわち、この時点において、該ホール素
子のｚ軸方向における中心が判明することになる。

【００８７】この場合、ｚプロープにおけるホール素子
の中心を検出できないのは、図５において他のプロープ
との関係を示すように、該ホール素子の主表面が磁界発
生部における磁界分布の異なる平面と一致してしまうか
らである。この点、図１に示した磁界発生部（電磁コイ
ル３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ）が一平面に限らず空間的に
磁界分布が異なっていることとは相違する。

【００８８】以上説明した各実施例から明らかなよう
に、磁界発生部によって分布の異なる磁界内に、ホール
素子を該磁界を横切るようにして微動移動させ、該磁界
の分布に応じた出力を常時測定し、その出力の変化度合
いから該ホール素子の現時点の配置位置（その支持体と
なるプロープに対して）を判定できるようになる。

【００８９】ここで、ホール素子の位置は、たとえば、
基準位置からの距離に対応されるものであり、この距離
は情報として記憶され、その後において該ホール素子の
プローブに対する位置の構成を行う際に利用されるよう
になる。

【００９０】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置に
よれば、プローブに取り付けられたホール素子の中心を
正確に検知できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の一実施例を示す概略構成図である。

【図２】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置によって測定される各種プロープを示した説明図
である。

【図３】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の利用の仕方を説明した説明図である。

【図４】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の他の実施例を示す概略構成図である。

【図５】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の他の実施例においてｚプロープを測定できない
理由を示した説明図である。

【符号の説明】 １……シールド、２……ヨーク、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３
Ｄ……電磁コイル、４……プローブ、６ｘ、６ｙ、６ｚ
……ホール素子。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ｘ方向の磁場の強度を測定するホール素
   子を備える磁気測定装置の該ホール素子の中心を検出す
   る磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置であって、磁
   気シールドされた空間内に、 そのｘ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ
   平面に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界
   発生部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素
   子をｘ方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段
   による該ホール素子の移動過程における出力が０となる
   時点を検出する検出手段を有し、 ｙ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ平面
   に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
   部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
   ｙ方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段によ
   る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
   時点を検出する検出手段を有し、 ｚ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｚ平面
   に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
   部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
   ｚ方向に微度移動させる移動手段と、この移動手段によ
   る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
   時点を検出する検出手段を有することを特徴とする磁気
   測定装置のセンサ取付け校正用装置。
2. 【請求項２】 ｙ方向の磁場の強度を測定するホール素
   子を備える磁気測定装置の該ホール素子の中心を検出す
   る磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置であって、磁
   気シールドされた空間内に、 そのｘ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ
   平面に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界
   発生部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素
   子をｘ方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段
   による該ホール素子の移動過程における出力が最大値と
   なる時点を検出する検出手段を有し、 ｙ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ平面
   に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
   部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
   ｙ方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段によ
   る該ホール素子の移動過程における出力が０となる時点
   を検出する検出手段を有し、 ｚ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｚ平面
   に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
   部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
   ｚ方向に微度移動させる移動手段と、この移動手段によ
   る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
   時点を検出する検出手段を有することを特徴とする磁気
   測定装置のセンサ取付け校正用装置。
3. 【請求項３】 ｚ方向の磁場の強度を測定するホール素
   子を備える磁気測定装置の該ホール素子の中心を検出す
   る磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置であって、磁
   気シールドされた空間内に、 そのｘ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ
   平面に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界
   発生部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素
   子をｘ方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段
   による該ホール素子の移動過程における出力が最大値と
   なる時点を検出する検出手段を有し、 ｙ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｙ平面
   に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
   部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
   ｙ方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段によ
   る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
   時点を検出する検出手段を有し、 ｚ方向の中心を定める手段として、少なくともｘｚ平面
   に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
   部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
   ｚ方向に微度移動させる移動手段と、この移動手段によ
   る該ホール素子の移動過程における出力が０となる時点
   を検出する検出手段を有することを特徴とする磁気測定
   装置のセンサ取付け校正用装置。
4. 【請求項４】 地磁気がシールドされた空間内に、その
   ｘ軸上で一方の極が対向し、かつｙ軸上で他方の極が対
   向する磁場空間が構成され、この磁場空間内において、
   ｘ、ｙ、ｚ方向のうちいずれかの方向磁場の強度を測定
   するホール素子をｙ軸上の一方の極に対向させてｘ方向
   に移動させ、次にｘ軸上の一方の極に対向させてｙ方向
   に移動させ、その後、前記ｘ軸上の一方の極に対向させ
   てｚ方向に移動させる移動手段と、この移動手段による
   該ホール素子の移動過程における出力が０あるいは最大
   値となる時点を検出する検出手段とからなる、請求項
   １、２、３を適用させたことを特徴とする磁気測定装置
   のセンサ取付け校正用装置。