JPH03270879A - ハブ付薄刃砥石 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体素子に用いられるシリコンウェーハや
、磁気ヘッドに用いられるフェライト等の電子および磁
性材料の切断分割や溝入れ加工などの超精密加工に使わ
れるハブ付薄刃砥石に関するものである。

［従来の技術］ 半導体素子に用いられるシリコンウェーハを一定間隔に
切断分割したり、フェライト製の磁気ヘッドに一定間隔
て溝入れを行うような超精密加工では、こｉらを単一の
刃体て加工していたのでは生産性が悪いので、従来は第
４図に示すような、薄肉円環状の電鋳砥石を組み合わせ
た、いわゆるマルチブレード型の薄刃砥石が使用される
ことがある。

これは、回転軸ｌに、加工ピッチに相当する厚さを有す
る円環状のスペーサ２を嵌挿し、このスペーサ２の両側
に薄肉円環状の電鋳砥石３．３　を配置し、さらにその
両側から円環状のフラノン４４を嵌入して、これらを回
転軸ｌに固定した構造となっており、この回転軸１を回
転して、被加工材を所定の間隔に切断したり、溝入れ加
工を施したりするものである。

［発明か解決しようとする課題］ 一般に、前記のような超精密加工ては、その加工ピッチ
が１ｍｍ以下であり、高い加工精度が要求される。しか
しながら、前述の従来技術では、スペーサと砥石との接
合面の粗度か加工精度に太きな影響を及はすため、スペ
ーサの両側面にラップ加工を施さねばならず、またスペ
ーサか薄いためラップ加工自体が難しく、精度の高いス
ペーサを得ることが難しかった。また、砥石の厚さがｌ
Ｏ〜６０μｍ程度と薄い場合には、マルチブレードを組
み立てる際の砥石のしめ具合の調節が非常に微妙で、ゆ
がみを生じたり、ブレードに歪み、損傷が生ずるという
欠点かあり、これらの損傷部等を起点にして切断加工時
にブレードが破損するという問題かあった。

このため、組み立てには専門的な技術と、高度の熟練が
必要であり、加工現場で組み立て作業を行うことは困難
たった。

また、加工ピッチを変更する場合には、スペーサを交換
しなければならず、その度に前記の作業を行う必要かあ
るため、作業効率の低下を免れない。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので
、薄肉円環状の砥粒層の一方の面に、これよりも外径の
小さい円環状のノ＼ブを、同軸に固定してなるハブ付薄
刃砥石において、ハブの砥粒層側の面に、砥粒層の他方
の面より軸方向外側に突出したスペーサ部を一体に形成
したことを特徴とする。

［作用］ このような構成のハブ付薄刃砥石ては、例えばスペーサ
部の厚さを、加工ピッチの！／２としたものを２個、そ
れぞれのスペーサ部が互いに当接するように組み合わせ
ることにより、所定のピッチで溝入れ加工等を行うこと
ができる。

また、スペーサ部を当接させた状態で、各砥粒層に応力
が加わることがないため、組み立ての際に、従来のよう
な微妙なしめ具合の調節を必要とせず、加工現場でも容
易に組み立てが行える。

さらに、スペーサ部の厚さの異なるハブ付薄刃砥石を数
種類用意し、これらを組み合わせて使用することにより
、加工ピッチの変更にも即座に対応することができる。

［実施例］ 第１図は、本発明の一実施例を示す断面図である。この
ハブ付薄刃砥石１１は、ダイヤモンドやＣＢＮ等の多層
電着によって形成された電鋳砥石である薄肉円環状の砥
粒層１２と、この砥粒層１２の一方の面１２ａに同軸に
固定された円環状のアルミニウム合金製ハブ１３から構
成されている。

ハブ１３の外径は、砥粒層１２の外径よりも小さく、中
心部には回転軸に嵌挿される取り付は穴１３ａが設けら
れている。また、外周部は砥粒層１２に固定される面１
３ｂに向って幅広な断面形状となっている。

そして、このハブ１３の砥粒層１２に固定さ乙る面１３
ｂには、砥粒層１２の、ハブ１３か固定される面１２ａ
の反対側の面＋２ｂより軸方向に突出した円環状のスペ
ーサ部１３ｃが、ハブＩ３と一体かつ同軸に形成されて
いる。このスペーサ部１３ｃｉ外径は、砥粒層１２の内
径よりも小さく、砥粒層１２の軸方向の中心とスペーサ
部１３Ｃの端面１３ｄとの軸方向の距離、すなわちスペ
ーサ部１３ｃの厚さは、加工ピッチの１／２に設定され
ている。

このような構成のハブ付薄刃砥石１１を得るには、ます
、形成する砥粒層１２の外径と同し大きさの外径のハブ
１３を切削により成形し、このハブ１３の、砥粒層１２
を形成する部分を除いてハブ１３にマスキングを施した
後、電着によって所定の厚さの砥粒層１２を形成する。

次に、ハブＩ３の外径を所定の寸法に成形する。しかる
後、ハブＩ３の寸法変化を許さない部分にマスキングを
施し、ハブ１３の外周面をアルカリ性溶肢等によって溶
解し、砥粒層１２の刃先を露出させる。

このような構成のハブ付薄刃砥石１１によって、被加工
物の切断分割や溝入ｔ。加工を行うには、第２図に示す
ように、２個のハブ付薄刃砥石ＩＩ。

１１を、そｔ、ぞれのスペーサ部か当接するように組み
合わせて回転軸１４に嵌挿し、固定する。この時、両ハ
ブ付薄刃砥石１１°ＩＩ　　の砥粒層１２１２の間隔は
、所定の加工ピッチに相当するから、これにより一定の
間隔で切断や溝入れの超精密加工を行うことができる。

本発明によれば、スペーサ部を当接させた状態て、各砥
粒層に応力が加わることがないか与、ゆがみや損傷を生
じるおそれがなく、従来のように砥石を固定するのに微
妙なしめ具合の調節を必要としない。これにより、マル
チブレードの組み立て作業が、特別な技術や熟練を要さ
ず、作業現場で誰にでも容易に行うことができ、非常に
簡便になる。

また、砥粒層をハブに固定したことにより、剛性の向上
が図られ、こＬによって、振れによる加工精度の低下を
防ぐことが可能である。

さらに、磁気ヘッドに溝入れを行う場合には、第３図に
示すように、まず、磁気ヘッドとなる被加工材１５にＶ
字型の断面の溝１５ａ・・を形成し、その後に溝１５ｂ
−を掘り込むものであるが、第４図に示しｆこマルチブ
レードでこのような加工を行うと、Ｖ字型断面の溝１５
　ａの深さの分だけ、砥石の刃先を必要以上に突出して
加工しなければならず、刃厚に対する砥石突出しが大き
くなるため、加工中に砥石が破損したり、刃先の振れが
発生して加工精度を低下させるおそれがあった。しかし
、本実施例では、ハブ１３の外周部が、砥粒層１２に固
定された面１３ｂに向って幅広な断面形状であり、この
傾斜度を被加工材１５のＶ字型溝の傾斜より小さくする
ことにより、ハブ１３の外周部の先端部１３ｅを被加工
材１５のＶ字型溝り５ａ内に侵入させて溝入れすること
が可能となる。このため、砥石の刃先突出量を小さくで
きるとともに、ハブ１３の外周部の先端部１３ｅが砥石
の閾１ｉ性を補強して、刃先の振れを抑えることができ
、加工精度を維持したまま深切り込みや高速加工ができ
る。

なお、本実施例では、スペーサ部１３ｃの厚さを加工ピ
ッチの１／２とし、このようなハブ付薄刃砥石１１を２
個組み合わせて使用したが、スペーサ部の厚さの異なる
ハブ付薄刃砥石を予め数種類用意しておき、これらを組
み合わせることにより、異なる加工ピッチの切断分割や
溝入れが容易に可能となる。この際、場合によってはス
ペーサ部を持たないハブ付薄刃砥石との組み合わせし可
能である。

また、本実施例では、ハブ１３を構成する材質として、
軽量化と十分ム剛性を確保するとともに、製造上、アル
カリ電解液に溶解する物質でなければならないことから
アルミニウム合金を用いたか、前記の作用をなす素材で
あるなら、これに限るものではない。さらに、このよう
なハブ付薄刃砥石の製造方法についても、砥石として十
分な加工精度と強度か維持されるのであれば、前述の製
造方法に限るものではない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、所定の加工ピッ
チを有するマルチプレートの組み送てを、作業現場にて
簡単に行うことか可能である。また、組み立ての際に砥
粒層に応力か加わることがないため、ゆかみや損傷の発
生を防止でき、高い加工精度を維持することかできる。

また、スペーサ部の厚さの異なるハブ付薄刃砥石を思量
し、これらを組み合わせて使用することにより、加工ピ
ッチの変更にも即座に対応することか可能であり、作業
効率の向上を図ることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す断面図であり、第２
図および第３図はこの実施例の使用例を示すものである
。また、第４図は従来例を示す断面図である。 ｌ・・ハブ付薄刃砥石、 ２・・・砥粒層、 ３・・ハブ、 ３ａ・・・取り付は穴、 ３ｃ　スペーサ部、 ４・回転軸、 ５・被加工材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 薄肉円環状の砥粒層の一方の面に、これよりも外径の小
   さい円環状のハブを同軸に固定してなるハブ付薄刃砥石
   において、 前記ハブの砥粒層側の面には、砥粒層の他方の面より軸
   方向外側に突出したスペーサ部が一体に形成されている
   ことを特徴とするハブ付薄刃砥石。