JPH0592365A - 超砥粒砥石の修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】浮上面の幅を狭くし、浮上量を低減して、高記
録密度の磁気ディスク装置を提供する。 【構成】超砥粒砥石２の厚さよりも広く、砥石の切込み
量よりも深い複数本の溝を持つベース４の上に薄板状の
一般砥石３を貼り付け、一般砥石３を貫通してベース４
の溝内に超砥粒砥石２の先端を突きださせながら修正を
行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置におけ
る磁気ヘッド及びその製造方法に係り、特に、磁気ヘッ
ド浮上面のレール幅を狭く且つ高精度に加工するため
の、超砥粒からなる薄刃砥石の成形に好適な修正法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気ヘッド等の硬脆材料の加工に
用いられる超砥粒薄刃砥石の修正は、昭和６２年度精密
工学会春季大会学術講演会論文集ｐ１４７に記載のよう
に、スティックと称する角棒状の一般砥石や、ドレッシ
ングボードと呼ばれる薄板状の一般砥石を加工機のテー
ブル上に固定し、高速回転する超砥粒薄刃砥石を一般砥
石に一般砥石の厚さ内の範囲で任意量だけ切り込んで砥
石先端を修正しており、磁気ヘッドのレールの成形加工
等においても上記により修正された超砥粒薄刃砥石をそ
のまま用いて加工していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、修
正による超砥粒砥石の形状劣化の点については考慮がさ
れておらず、修正後に超砥粒砥石先端がテーパ状にな
り、その様な砥石で加工された製品は溝あるいは切断面
の側面の直角度が悪いという問題があった。

【０００４】特に磁気ディスク装置の磁気ヘッドのレー
ルの加工では、ヘッド浮上量を低減し、かつ浮上量の変
動を小さくするために、浮上面の幅を高精度に狭くしな
ければならず、端面の薄膜素子の寸法は小さくできない
ため、浮上面の肩部を微細な段付き形状にする必要があ
る。この時、砥石の精度が悪いとレールの精度の確保が
難しく、素子を傷つけたり、浮上量の変動が大きいとい
う問題があった。

【０００５】本発明の目的は、薄刃の超砥粒砥石を簡便
に、かつ、高精度に修正することができる砥石修正法を
提供し、磁気ヘッドを高精度に加工することにより、高
記録密度の磁気ディスク装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、くし歯状のベースの上にドレッシング
用の一般砥石の薄いボードを貼り付け、ドレッシングボ
ードを貫通してベースの溝内に超砥粒砥石の先端を突き
出させながら修正する。

【０００７】

【作用】上記の技術的手段による働きは、次のとうりで
ある。

【０００８】超砥粒砥石をドレッシングボードに切り込
んだとき、ドレッシングボードの厚さを薄くし、砥石を
貫通させた状態で加工すると、超砥粒砥石側面とドレッ
シングボードとの接触弧の内外周での差が小さくなり、
ドレッシング距離が均一化され、側面のドレス量が内外
周でほぼ等しくなるため砥石側面のテーパは小さくな
る。

【０００９】このような砥石で加工された製品は直角度
が良く、磁気ヘッドの場合、レール幅のばらつきが小さ
く高精度に加工できるため、よりレール幅が狭く浮上量
の安定したヘッドを得ることができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。

【００１１】図１は、本発明の一実施例に係る超砥粒砥
石の修正法の略示構成図。図２は、図１のII−II線断面
図である。

【００１２】図１において、１は研削盤（図示せず）の
砥石主軸、２は、砥石主軸１に取付けられた超砥粒砥石
で、この超砥粒砥石２は、金属からなる台金２ｂと、台
金２ｂの外周面にダイヤモンド等の硬質材料からなる砥
粒２ｃをフェノール等の樹脂や、銅などの金属、あるい
は無機質中に含ませて一体に成形された砥粒層２ａとか
らなり、矢印方向に回転する。

【００１３】３は、超砥粒砥石２を修正するための板状
をしたＷＡ砥粒あるいはＧＣ砥粒からなる一般砥石で、
等ピッチに配置された複数本の溝５を持つ、くし歯状の
ベース４にワックス６によって貼り付けられている。溝
５の寸法は、図２に見られるように超砥粒砥石２の砥石
厚さよりも幅広く、超砥粒砥石２の切込み量よりも深く
してあり、超砥粒砥石２が回転しても超砥粒砥石２の側
面及び端面が溝５の内壁に接触しないようにしてある。
このように構成した砥石修正法により超砥粒砥石２を高
精度に修正する動作を説明する。

【００１４】超砥粒砥石２を回転させ、研削液８を供給
しながら超砥粒砥石２を板状の一般砥石３の厚さよりも
深く切り込むと、超砥粒砥石２の砥粒層２ａの内周側と
外周側とでは一般砥石３に接触している距離がことなる
ため、長く接している部分の方が砥粒層２ａの脱落が多
くなり、超砥粒砥石２の断面形状はテーパ状になってし
まう。

【００１５】図３は、超砥粒砥石２の側面と一般砥石３
との接触弧の内外周の差と、一般砥石３の厚さ及び超砥
粒砥石２の切り込み量との関係図である。一般砥石を貫
通させた場合、内外周差が０となる点があるが位置の設
定が困難であり、変動量も大である。そこで極めて薄い
一般砥石３を用い、切込み量に対して一般砥石３の厚さ
を薄くすることにより接触弧の内外周差を小さくし、砥
粒の脱落を一様にすることができる。

【００１６】超砥粒砥石２がすべて砥粒層２ａからなる
オールブレードタイプの砥石でも同様に、一般砥石３の
厚さが薄くなるほど接触弧の内外周差は小さくなる。

【００１７】このように修正された超砥粒砥石で磁気ヘ
ッド９を加工することにより、素子１３を傷つけずに浮
上面１０のレールの幅を精度良く狭く段付き形状に加工
することができる。

【００１８】図４は、従来の修正法で修正した超砥粒砥
石を用いて磁気ヘッド９を加工した時の断面図である。
砥石はテーパ形状になっており、指定量切り込んだ時、
テーパの量だけ浮上面１０のレール幅がばらついてしま
う。図５は、０．１ｍｍの厚さの一般砥石を用い、本発
明による砥石修正法で修正した超砥粒砥石で磁気ヘッド
を加工したときの断面図である。砥石のテーパが１μｍ
と小さいことから、加工された磁気ヘッドのレール側面
のテーパも小さく、レール幅のばらつきが小さくなる。
これにより浮上量は０．１μｍから０．２μｍが得ら
れ、浮上量の変動量も小さく高性能な磁気ディスク装置
を得ることができる。

【００１９】図６は、本発明の他の実施例の斜視図で、
硬脆材に溝加工や、段付き加工を行ない、インプロセス
で砥石修正を行なう場合である。研削盤（図示せず）の
テーブル１３上で製品１１の端面に一般砥石３をスペー
サ１２を介して、一般砥石３の下部が空隙となるように
固定する。超砥粒砥石２で製品１１を加工した後、引き
続き一般砥石３を通過させることにより、超砥粒砥石２
の形状を劣化させることなく修正を行ない、常に精度の
良い加工を行なうことができる。

【００２０】

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドのレール部
の加工を高精度に行うことができるので、浮上量が０．
１μｍから０．２μｍの磁気ヘッドを得ることができ、
それに対応して記録密度が７０Ｍｂｉｔ／ｉｎｃｈ² 以
上の高性能な磁気ディスク装置が得られる。

【００２１】また、砥石断面が直角になっているため、
磁気ヘッド加工時の砥石側面の砥粒層の脱落が少なく、
砥石の長寿命化が図れ、他の硬脆材の高精度加工にも応
用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第一の実施例の斜視図、

【図２】図１のII−II線断面図、

【図３】一般砥石の厚さ及び砥石の切込み量と、砥石側
面と一般砥石との接触弧の内外周差との関係の説明図、

【図４】

【図５】磁気ヘッドのレール部加工時の断面図。

【図６】本発明の第二の実施例の斜視図。

【符号の説明】

１…砥石主軸、 ２…超砥粒砥石、 ３…一般砥石、 ４…ベ−ス。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹下 幸二 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所小田原工場内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】砥石主軸を中心に高速回転して、硬脆材を
   切断、あるいは溝加工、あるいは段付き加工を行なうダ
   イヤモンド等の硬質砥粒からなる超砥粒薄刃砥石におい
   て、薄板上のドレッシング用一般砥石の超砥粒砥石通過
   部下部に空隙を設け超砥粒砥石を貫通させた状態で成形
   することを特徴とする超砥粒砥石の修正方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記修正法により成形
   された超砥粒砥石を用いた磁気ヘッド浮上面のレール加
   工法。
3. 【請求項３】請求項１において、成形された前記超砥粒
   砥石を用いて浮上面の肩部を段付き形状に加工され、レ
   ールの幅を狭くして浮上面の面積を少なくした磁気ヘッ
   ド。
4. 【請求項４】請求項１において、成形された前記超砥粒
   砥石によって加工された磁気ヘッドを設け浮上量が０．
   ２μｍ以下となり、記録密度７０Ｍｂ／ｉｎｃｈ² 以上
   の磁気ディスク装置。