JPH03273543A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH03273543A
JPH03273543A JP7421190A JP7421190A JPH03273543A JP H03273543 A JPH03273543 A JP H03273543A JP 7421190 A JP7421190 A JP 7421190A JP 7421190 A JP7421190 A JP 7421190A JP H03273543 A JPH03273543 A JP H03273543A
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JP
Japan
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layer
magneto
recording
recording medium
optical recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP7421190A
Other languages
English (en)
Inventor
Yujiro Kaneko
裕治郎 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
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Publication of JPH03273543A publication Critical patent/JPH03273543A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザー光を用いて情報の記録、再生、消去を
行う光磁気記録媒体に関するものである。
〔従来の技術〕
光磁気ディスクはレーザー光を用いて情報の記録、再生
及び消去を行うため記憶容量が大きく。
しかも記録膜に磁性体を用いているため書換えが可能で
ある。又非接触で記録、再生が出来、J!!埃の影響を
受けないことから安定性にも優れている。
この光磁気記録層(以下記録層と記す)に用いる材料と
してはTbFeCo、NdDyFeCo、TbDyFe
Co等の希土類−遷移金属(RE−丁M)非晶質合金が
知られており、これらの非晶質合金は、粒界ノイズが無
く、スパッタリング等を用いることによって容易に垂直
磁化膜が得られることから盛んに開発が行われており、
現在一部では商品化の段階に至っている。
この光磁気記録媒体の構成として、レーザー光の記録再
生効率を向上させるために記録層を200〜300人の
厚さまで薄くし、その上に反射層を設ける方式が提案さ
れている(特公昭62−27458号公報等)。この場
合、反射層は反射率が高いことが望ましく、そのような
構成材料としてはAl、 Ag、 Au、Cu等の金属
が挙げられる。上記方式はカー効果とファラデー効果の
両方が利用できるためC/Nやジッタマージンが大きく
とれるという点で優れている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記従来技術には以下のような問題点が
あった。
反射層の材料としてAu= Ag、 Al、 Cu等の
ような記録再生光であるレーザー光に対して反射率の高
い材料を用いた場合、 C/N、特にキャリアレベルが
大きくなるが、Au、 Ag、Cuのように熱伝導率も
高い材料は、記録時に反射層においてレーザー光照射に
よる熱が拡散してしまい、反射層を用いない構成の媒体
に比べて記録感度が大幅に低下してしまうといった欠点
を有している。このため、反射率の高い上記の材料の中
でも比較的熱伝導率が小さいAlが現在一般に用いられ
ている。ところが、光磁気記録媒体の高速化に対応した
記録用レーザーパワーを考慮すると肝反射層では感度上
十分とは言えない、又、A2反射層の場合、高温高湿度
な環境条件下において、酸化によって反射率が変化し、
Cハが低下したり、孔食の発生によってエラーレートが
増加したりしてしまうといった欠点がある。
本発明は以上のような従来技術の問題点を解決するため
になされたもので、記録感度及び再生C/Nが高く、か
つ経時安定性に優れた反射層タイプの光磁気記録媒体を
提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段及び作用〕本発明者は上記
目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、反射層をGe
を含有する肝合金で構成することによって、記録感度が
高くかつキャリアレベルが高く、しかも経時安定性に優
れた光磁気記録媒体が得られることを見出し、本発明を
完成するに至った。
即ち、本発明によれば、透明な基板上に少なくとも干渉
層、光磁気記録層および反射層が順次積層されてなる光
磁気記録媒体において、前記反射層がGeを含有する脚
台金薄膜からなることを特徴とする光磁気記録媒体が提
供される。
以下本発明を図面に基づき詳細に説明する。
第1図は本発明による反射層タイプの光磁気記録媒体の
一構成例を示す断面図である。この媒体はプリグループ
付の透明な基板1上に干渉層2、記録層3及び反射N4
を順次積層して構成されている。
本発明の光磁気記録媒体の構成上の特徴は、反射層4を
Geを含有する静合金で構成した点にある。
本発明の光磁気記録媒体を構成する材料及び各層の必要
特性について説明すると、先ず、透明基板1としてはポ
リカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(
PMHA)、アモルファスポリオレフィン(APO)等
の樹脂からなるプラスチック基板、又はアルミノ珪酸、
バリウム硼珪酸等のガラス上に溝付き樹脂を形成した基
板等が挙げられる。これらの基板はディスク形状をなし
、厚みが1、2mm程度のものが一般に使用される。
記録層3としてはTbFeCo、 NdDyFeCo、
丁bDyFec。
等の希土類金属と遷移金属との非晶質合金薄膜、BaF
e、 、 0□、、CoFe、O,、(Bi、Y)、F
e50□2等の酸化物薄膜、MnB1. CoPt等の
多結晶合金薄膜が挙げられ、これらはいずれも膜面に垂
直な方向に磁化容易軸を有している。膜厚は合金薄膜の
場合、100〜1000入、好ましくは200〜400
Åである。酸化物薄膜の場合、多くは記録再生光に対し
て透光性が大きいので特に膜厚に制約はないが、100
0〜5000λが適当である。又記録層3は単層膜に限
らず多層膜でも良い。
干渉層3は基板1と記録層3との間に設けられる。
干渉層3は、この層に屈折率の高い(1,8以上)透明
膜を用い、光の干渉効果によって磁気光学効果をエンハ
ンスメントさせ、又反射率を落とすことでノイズを低下
させ、C/Nを向上させることを目的として設けられる
。又、記録層3が希土類金属と遷移金属とからなる非晶
質合金薄膜により構成される場合には、酸化等の腐食を
防止する機能も兼ね備えていなければならない。即ち、
空気中や基板1からの水分や酸素の侵入を防ぎ、それ自
身の耐食性が高く、記録Fr13との反応性が小さいこ
とが必要であり、具体的な材料としては、5iO1Si
O2、Al203.Ta2O,等の金属酸化物、84C
,SiC等の無機炭化物、ZrS等の金属硫化物が挙げ
られる。
これらの材料は複合して用いても良く(例えば、5iA
lON、 5iZrN等)、また単層膜に限らず多層膜
であっても良い。膜厚は屈折率によって最適値が異なる
が、通常300〜1500Å、好ましくは800〜13
00Åである。
反射層4は本発明の特徴となるもので、前述したように
、Geを含有する静合金が構成材料として使用される。
Geの含有量は0.1〜30atomic%が好ましく
、1〜20atomic%が特に好ましい。本発明のG
eを含有する脚台全反射層4は反射率が記録再生光(波
長:830nm)に対して70−90%、熱伝導率が0
.3〜0.5caQ/cvsec・’Cであるため、み
かけ上のカー回転角を増大させ再生信号を大きくすると
ともに、記録時におけるレーザー光照射による熱の拡散
を小さくし記録感度を向上させるように作用する。
このAl合金中にはさらに耐食性等の改善のため他の元
素(Cu、 Mn、 Mg等)を小量含有させても良い
反射層4の膜厚は200〜1000Aが好ましく、30
0−800Åが特に好ましい。膜厚が薄すぎた場合には
C/Nが低下し、厚すぎた場合には記録感度が低下する
基板1上に干渉層2、記録層3及び反射層4を形成する
手段としては、スパッタリング、イオンブレーティング
等の物理蒸着法、プラズマCVDのような化学蒸着法等
が用いられる。又層構成は第1図に示した構成以外に、
記録層3と反射層4との間にさらに第2の干渉層5を設
けたり(第2図)、反射層4の上に保護層を設けたり、
又それらの膜面どうしを接着剤によって貼り合わせた両
面記録タイプの構成でも本発明の効果はそこなわれない
〔実施例〕
次に実施例をあげて本発明をさらに詳細に説明するが、
本発明はここに例示の実施例に限定されるものではない
(実施例) 直径130+wm、厚さ1、2mmのプリグループ付ポ
リカーボネート基板をスパッタリング装置の真空槽内に
セットし、 5X10−’Torr以下になるまで真空
排気した。次にArとN2との混合ガスを真空槽内に導
入し、圧力を5 X 10−’ Torrに調整し、S
iをターゲットとして放電電力2kW(4w/cm”)
で高周波スパッタリン、グを行い、基板上に干渉層とし
てSiN膜を1000人堆積した。続いて記録層として
ThxzDyxzFegsCO*合金(添数字は組成(
atomic%)を示す)をターゲットとして同様にス
パッタリングによってTbDyFeC。
膜を250入設けた。更にGeチップを配置したAlメ
タ−ットをスパッタリングし500A厚の反射層を形成
し、実施例の記録媒体とした。なお、反射層中のGeの
量はNiターゲット上のAlチップの数をかえてgff
i5した。
(比較例1及び2) 上記実施例と同様にして記録層までの形成を行い、その
上に反射層として肋膜、Ge膜をスパッタリングによっ
て400大形威し、それぞれ比較例1及び2の記録媒体
とした。
以上のようにして作製した各記録媒体のC/N及び記録
感度を測定した。その結果を第3図に示す。
記録感度は2次歪みが最小になるときの記録パワーとし
た。なお、記録再生条件は以下の通りとした。
記録条件: CAV 1800rpm、半径30mmの
記録位置。
記録周波数3.7MHz 再生条件: CAV 1800rpm、再生パワー1m
W第3図より、利合金中のGe含有量が増加するに伴い
記録感度が向上し、一方C/NはGe含有量が増加する
に伴い徐々に低下する傾向にあるが、Ge含有量が30
atomic%まではそれほど減少しないことがわかる
。つまり肝合金中のGe含有量が30atomic瓢ま
ではC/Nを低下させることなく記録感度が向上するこ
とが確認された。又、実施例の媒体2枚の膜面どうしを
接着剤によって貼り合わせて両面記録タイプの記録媒体
を作威し、該記録媒体について80℃、85%RHの条
件で環境試験を行った。その結果、この記録媒体では2
000時間後においても初期に比べてピットエラーレー
トに変化がなく、経時安定性にも優れていることがわか
った。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように、本発明によれば、反射率が
高く熱伝導率の小さい、Geを含有するAl合金を用い
て反射層を構成したので、記録感度及び再生C/Nが高
く、かつ経時安定性に優れた光磁気記録媒体の提供が可
能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による光磁気記録媒体の層構成例を示す
断面図、第2図は本発明による光磁気記録媒体の別の層
構成例を示す断面図、第3図はC/N及び記録感度の測
定結果を示すグラフである。 1・・・基板     2,5・・・干渉層3・・・光
磁気記録層 4・・・反射層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明な基板上に少なくとも干渉層、光磁気記録層
    および反射層が順次積層されてなる光磁気記録媒体にお
    いて、前記反射層がGeを含有するAl合金薄膜からな
    ることを特徴とする光磁気記録媒体。
JP7421190A 1990-03-23 1990-03-23 光磁気記録媒体 Pending JPH03273543A (ja)

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JP7421190A JPH03273543A (ja) 1990-03-23 1990-03-23 光磁気記録媒体

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JP (1) JPH03273543A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5886969A (en) * 1990-05-25 1999-03-23 Hitachi, Ltd. High-density information recording/reproducing method
EP1146509A3 (en) * 1997-03-27 2002-05-02 Mitsubishi Chemical Corporation Optical information recording medium
US8192905B2 (en) 2006-04-20 2012-06-05 Ricoh Company, Ltd. Electrophotographic photoconductor, image forming apparatus, and process cartridge

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5886969A (en) * 1990-05-25 1999-03-23 Hitachi, Ltd. High-density information recording/reproducing method
EP1146509A3 (en) * 1997-03-27 2002-05-02 Mitsubishi Chemical Corporation Optical information recording medium
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