JPH03274004A - 波長選択ミラーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は透明基板の表面に選択吸収層を形成して成る波
長選択ミラーに関し、更に詳しくは透明基板表面に有機
吸収剤を含有する二酸化珪素被膜を形成して戊る化学的
・機械的耐久性に優れた波長選択ミラーに関する。

〔従来の技術〕

波長選択ミラーは、白色光またはいろいろな波長のまざ
った光の中から、特定の波長範囲の光を選択的に透過ま
たは反射させるもので、コールドミラー　レーザーミラ
ー　ダイクロイックミラーなどがあり、様々な電子機器
・医療機器に使用されている。

一般には多層蒸着膜が多く用いられ、透明基板に酸化チ
タン、酸化ジルコニウム、酸化セリウムなどの高屈折率
物質と弗化マグネシウム、水晶石、二酸化珪素などの低
屈折率物質を交互に積層して作製される。各層の膜厚は
λ／４（場合によってはλ／８またはλ／２の膜厚にす
る層もある）で７〜２１の積層を必要とする。

〔発明が解決しようとする問題点〕

これら多層膜を作製する場合、膜厚が非常に薄＜膜厚コ
ントロールが難しい。それ放火面積への応用が困難であ
る。また、何層にも積層するため工程が多くなり、コス
トが高くなるといった問題点があった。

通常、膜の作製には真空蒸着法、スパッター法、イオン
・ブレーティング法などが用いられる。

これらの方法には、基板を加熱する場合と、常温蒸着を
する場合がある。

基板を加熱する場合は、物理的強度が強く膜面の清掃、
拭きなどに充分耐えられるが、基板を高温加熱する関係
上、熱によって変形または変質するような基板は使用で
きない。

また、常温蒸着の場合、蒸着物質によっては物理的強度
が非常に弱く、膜の基板に対する付着力も弱く、膜面ば
機械的強度、及び耐湿性に乏しいといった問題点があっ
た。

これら従来の問題点を解決するために有機染料・顔料な
どの有機吸収剤を含む二酸化珪素被膜で透明基板表面を
被覆することが行なわれている。

このような方法としては、金属アルコキシドの加水分解
溶液中に有機吸収剤を添加した溶液と基板を接触させる
、いわゆるゾル・ゲル法があげられる。

例えば、この製造方法に関する文献としては「Ｊ、Ｎｏ
ｎ−Ｃｒｙｓｔ、５ｏｌｉｄｓ、７４　（１９８５）　
　３９５Ｊがあり、二酸化珪素薄膜中に有機蛍光色素を
導入している。

また、　「セラミックス、２１．Ｎｏ、２　（１９８６
＞　ＩＩＩＪでは、ゾル・ゲル法によって有機分子を非
晶質石英にドープしている。

しかしながら、ゾル・ゲル法では被膜を基材に固着させ
るために最終工程で加熱する必要があり、有機物が分解
するような高い温度で加熱処理することはできないので
、生成した膜はどうしても多孔質となる問題があった。

また、低い温度での加熱によっても分解してしまうよう
な有機物は、膜中に導入することができなかった。さら
に、低い温度でしか加熱できないことは、゛ゾル・ゲル
法固有の問題をいっそう大きなものにし、膜中には未分
解の原料や溶媒等の不純物が残存していた。

また、膜中に導入できる有機吸収剤の濃度も限られてお
り、約１０−’／（１０ｃｍ）３程度と低く、通常の着
色鏡には使用できても光学ミラー特に波長選択ミラーに
は適用できなかった。

その他の問題としては、出発原料として高価な金属アル
コキシドを用いるため、膜の製造コストが高くなること
である。また、コーティング方法としてはデイツプコー
ト等が用いられ、この方法では複雑な形状を持った基材
には適用できなかった。

〔問題点を解決する手段〕

本発明の方法では、二酸化珪素を過飽和に含む珪フッ化
水素酸の水溶液に染料・顔料などの有機吸収剤を添加し
て成る処理液と透明基板を接触させることで、該基板表
面に有機吸収剤を含有する二酸化珪素被膜を形成させる
ことを利用するものである。この場合、二酸化珪素を過
飽和に含む珪フッ化水素酸の水溶液は、珪フッ化水素酸
の水溶液に二酸化珪素を飽和した溶液にほう酸・アンモ
ニア水・金属ハライドあるいは水素よりもイオン化傾向
の大きい金属を添加することによって得られる。あるい
は低温の珪フッ化水素酸の水溶液に二酸化珪素を飽和し
た後、該溶液の温度を上昇させること（温度差法）によ
っても得られる。有機吸収剤は、直接処理液に添加して
もよいし、水またはエタノールなど水溶性有機溶媒中に
溶解させた後、処理液に添加することもできる。また、
添加の仕方は珪フッ化水素酸の二酸化珪素飽和溶液に有
機吸収剤を加えてもよく、二酸化珪素を過飽和に含む状
態とした後の溶液に添加してもよい。

条件的には珪フッ化水素酸の濃度は１．０モル／２以上
、望ましくは１．５〜３．０モル１５１が使われる。

また、透明基板を接触させるときの処理液の温度は１５
〜６０℃、望ましくは２５〜４０℃であり、温度差法で
は通常１０°Ｃ以下の温度で二酸化珪素を飽和させ、２
０℃以上好ましくは４０〜６０℃の温度で処理液と透明
基板を接触させる。接触の方法は、−船釣には処理液の
中に透明基板を浸漬する方法がとられる。

有機吸収剤としては、染料・顔料などがあげられ、例え
ば具体的には、マラカイト　グリーン［ＭＡＬＡＣＨＩ
ＴＥ　ＧＲＥＥＮ］　　（保土谷化学）、ビクトリアブ
ルー　　Ｂ　Ｈ［ＶＩＣＴＯＲＩＡ　ＢＬＬＩＥ　Ｂｌ
コ　（保土谷化学）、ビクトリア　ピュアー　ブルー　
ＢＯＨ［ＶＩＣＴＯＲＩＡ　ＰＵＲＥ　ＢＬＵＥ　Ｂｏ
ｉ１］　　（保土谷化学）、メチル　バイオＬ／ット　
ビｘ７−　　ＳＰ［ＭＥＴｌｌＹＬＶＩＯＬＥＴ　ＰＵ
ＲＥ　ＳＰＩ　　（保土谷化学）、カヤシールイエロー
　Ｇ　Ｇ　［ＫＡＹＡＣＹＬ　ＹＥＬＬＯＷ　ＧＧ］　
　（日本花祭）、カヤシール　ローダミン　Ｆ　Ｂ　［
ＫＡＹＡＣＹＬＲＩＩＯＤＡＭＩＮＥ　ＦＢ］　　（日
本花祭〉、ブルー　５Ｐ［ＢＬＵＥ　５Ｐ］　　（日本
花祭）、レッド　２１　Ｐ　［ＲＥＤ２１Ｐ］　　（日
本花祭）、レッド　３　Ｐ　［ＲＥＤ　３Ｐ］　　（日
本花祭）、グリーン　１０　Ｐ　［ＧＲＥＥＮ　ＩＯＰ
］　　（日本花祭）、アリザリン　アストロール［ＡＲ
ＩＺＡＲＩＮＥ　ＡＳＴＲＯＬ］　　（東京化ｅ、＞等
に類する染料、ダイアセリトン　ファスト　し・ノド　
Ｒ［ＤＩＡＣＥＬＬＩＴＯＮ　ＦＡＳＴ　ＲＥＤ　Ｒ］
　　（三菱化成）に類する分散染料、ローダミン　６　
Ｇ　［ＲＩＩＯＤＡＭＩＮＥ　６Ｇ］　　（東京化成）
、ローダミン　Ｂ　［ＲＨＯＤＡＭＮＥ　Ｂｌ　　（東
京化成）、スルホローダミン　Ｂ　［ＳＵＬＦＯＲＨＯ
ＤＡＭＩＮＥ　Ｂｌ　　（東京化成）、アクリジン　レ
ッド［＾ＣＲＩＤＩＮＥ　ＲＥＤ］（東京化成）、フル
オレセイン［ＦＬＵＯＲＥＳＣＥ　ＩＮ］（東京化成）
、　　２．５−シ゛フ１ニルオＨソ′−ル　［２，５−
Ｄｉｐｈｅｎｙ１ｏｘａｚｏｌｅ］　　（東京化成）、
　ｌ、４４’ス［２−（５−フェニル１目ソ′リル）Ｊ
へ゛ンセ′ン　［１，４−Ｂ！ｓ［２−（５−ｐｈｅｎ
ｙｌｏｘａｚｏｌｙ＋）］ｂｅｎｚｅｎｅ］　　　（東
京化成）、　　２−（ｌ−ナフチル〉−５−フェニルｊ
４１ソ１−ル　［２−（１−Ｎａｐｈｔｈｙｌ）−５−
ｐｈｅｎｙｌｏｘａｚｏｌｅ］　　　（Ｌ　　ａｎｃａ
ｓｔｅｒ　　５ｙｎｔｈｅｓｉｓ）、ローダミ　ン　　
　１２３　　［ＲＩＩＯＤＡＭＩＮＥ　　１２３］　　
　（Ｋ　　ｏ　　ｄ　　ａ　　ｋ　　）　　、ローダミ
ン　ｌ　１０　　［ＲＩＩＯＤＡＭＩＮＥ　１１０］　
　（Ｋ　ｏ　ｄａｋ）、ローダミン　１１６　［ＲＩＩ
ＯＤＡＭＩＮＥ　１１６　ＰＥＲＣＩＩＬＯＲＡＴＥ］
　　（Ｋ　ｏ　ｄ　ａ　ｋ　）、ローダミン　１９［Ｒ
ＨＯＤＡＭＩＮＥ　１９　ＰＥＲＣＩＩＬＯＲＡＴＥ］
　　（Ｋ　Ｏｄ　ａ　ｋ　）、クマリン　６　［ＣＯｔ
ｌＭＡＲＩＮ　Ｓ］　　（Ｋ　Ｏｄ　ａ　ｋ　）、ＮＫ
　−１２５［１，３，３−Ｔｒｉｍｅｔｈｙｌ−２−［
７−（１，３，３−ｔｒｉｍｅｔｈｙ　ｌ−２−ｉｎｄ
ｏｌ　１ｎｙｌ　１ｄｅｎｅ）−１，３，５−ｈｅｐｔ
ａｔ　ｒ　１ｅｎｙ　Ｉ　］−３１１−ｉｎｄｏｌｉｕ
ｍ　１ｏｄｉｄｅ］　　（日本感光色素研究所）、Ｎ　
Ｋ　−７８［１−Ｅｔｈｙｌ−４−［３−ｃｈｌｏｒｏ
−５−（１−ｅｔｈｙｌ−４（１１１）−ｑｕｉｎｏｌ
ｙｌｌｄｅｎｅ）−１，３−ｐｅｎｔａｄｉｅｎｙｌｌ
　　ｑｕｌｎｏｌｉｎｌｕｍ　Ｉｏｄｉｄｅ］　　（日
本感光色素研究所）、ＮＫ−１２３［１−Ｅｔｈｙｌ−
２−［７−（１−ｅｔｈｙｌ−２（ｉｌｌ）−ｑｕｉｎ
ｏｌｙｌｌｄｅｎｅ）−１，３，５−ｈｅｐｔａＬｒｉ
ｅｎｙｌ）　ｑｕｉｎｏ口ｎｉｕｍ　１ｏｄｉｄｅ］　
　（日本感光色素研究所）、ＮＫ−８６３［３−Ｅｔｈ
ｙｌ−２−（（３−ｅｔｈｙｌ−２−ｂｅｎｚｏｘａｚ
ｏｌｌｎｙｌｉｄｅｎｅ）ｍｅＬｈｙｌ）　ｂｅｎｚｏ
ｘａｚｏｌｉｕｍ　１ｏｄｉｄｅｌ　　（日本感光色素
研究所）、Ｎ　Ｋ　−１１４４［１−Ｅｔｈｙｌ−４−
（５−（１−ｅｔｈｙ−４（１Ｂ）−ｑｕｉｎｏｌｙｌ
ｉｄｅｎｅ）−１，３−ｐｅｎｔａｄｉｅｎｙｌｌ　ｑ
ｕｉｎｏ１１ｎｌｕｉ＋　１ｏｄｉｄｅｌ　　（日本感
光色素研究所）等に類するレーザー用色素などがあげら
れる。

一方、透明基板としてはガラスの他透明な加機結晶性基
板でもよく、プラスチックなどの有機素材でもよい。ま
た、本発明の方法では二酸化珪素膜が積層過程を経て形
成されるため、基板の面形状に関係なく均一な厚みの層
が得られるとの特徴から、透明基板は平板状に限らず凹
面、凸面のものでもよい。さらには、ポリカーボネート
樹脂・アクリル樹脂など、有機材料から呟る基板でもよ
い。この場合、密着力のよい選択吸収層を形成するため
には、有機透明基板の表面をシランカップリング剤から
成る有機珪素化合物、それらの加水分解物およびコロイ
ダルシリカ等から成る群より選ばれた少なくとも１種の
珪素化合物で被覆した後、処理液中に浸漬・分散させ有
機吸収剤含有二酸化珪素被膜を形成することが望ましい
。

ミラーの作製は有機吸収剤含有二酸化珪素被膜を作製後
、アルミニウム・クロム・銀など通常ミラーを作製する
ときの反射膜を片面にコーティングする。反射膜の作製
方法は真空蒸着、めっきなどどのような方法でもよい。

作製された二酸化珪素膜中の有機吸収剤の濃度は約１０
”２／（１０ｃｍ）３程度と高く、ゾルゲル法で作製し
た膜の約１００倍となる。その結果、作製されたミラー
は強い吸収帯を持つこととなり、反射波長領域はより一
層明確なものとなる。

〔作用〕

この発明では、均一な溶液内で有機物を含む二酸化珪素
薄膜を形成している。この成膜反応は室温付近で進むた
め、溶液中の有機物は分解することなく均一に膜中に取
り込まれる。また、この膜質は緻密であり、基材と固着
しているため、加熱処理する必要がない。薄膜形成が過
飽和溶液からの析出によって行われるため、この発明で
得られる有機物含有二酸化珪素薄膜中には、未分解原料
や溶媒等の不純物がほとんど混入しない。この発明の出
発原料は非常に安価であり、高温での加熱処理工程もな
いことから、膜の製造コストを低く抑えることができる
。さらに、均一な溶液内で反応させているため、複雑な
形状を持った基材上にも均一な有機物含有二酸化珪素薄
膜を形成させることができる。

また、有機吸収剤を使用するため選択波長の種類が豊富
であり、その有機吸収剤は二酸化珪素薄膜の中に閉じ込
められているため、化学的安定性が増し、耐光性、耐熱
性などが向上する。

さらには、ドープされた有機吸収剤の濃度は高く、強い
吸収帯が形成できる。したがって、通常の着色鏡のみな
らず、反射波長領域の明瞭な波長選択ミラーを作製する
ことができる。

また、透明基板は平板状に限らず凹面、凸面のものでも
よい。さらには、ポリカーボネート樹脂・アクリル樹脂
など、有機材料からなる基板でも使用できる。

〔実施例１〕 縦７５Ｍ、　　横２５閣、厚さ１ｍのスライドガラスを
充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした。

次に種々の吸収剤を蒸留水に室温にて混合または溶解さ
せ、５ｖｔＸまたは飽和の添加液とした。また、シリカ
ゲルを飽和させた珪弗化水素酸水溶液１００ｃｃに、　
０．５ｍｏｌ／　ｆｌのほう酸水溶液を８ｃｃ加えたも
の、あるいは上記珪弗化水素酸水溶液１００ｃｃに、金
属アルミニウム０．４ｇ溶解させたものを処理液とした
。この処理液１００ｃｃをビーカーに取り、各々の染料
液１ｃｃずつを添加攪拌し、３５°Ｃの水浴上にセット
、加温した。この溶液中に、上記試料基材をそれぞれ１
枚ずつ浸漬し、１６時間保持した後、取り出して洗浄乾
燥した。

添加吸収剤の種類及び実験結果を第１表に示す。

二酸化珪素膜の膜厚は接触針式膜厚測定機にて測定した
。

これらの有機吸収剤は、ＥＳＣＡ（Ｘ線光電子分光法）
、ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析法）、ＩＲ（赤外線分
光法）などにより分析した結果、膜中に均一に取り込ま
れていることが確認された。

さらに、二酸化珪素成膜後の基板を９９．５％アルコー
ル溶液の中に２４時間浸漬したが、有機吸収剤の溶出は
みられなかった。また、テープテスト、スポンジ払拭テ
ストによる二酸化珪素膜の剥離も見られなかった。

このようにして得られた有機色素含有二酸化珪素被膜ガ
ラスのうちマラカイト　グリーンについて、その片面に
真空蒸着法でアルミニウム薄膜を形成し、波長選択ミラ
ーを作製した。その反射スペクトルを第１図に示す。５
１０ｎｍ〜５９０ｎ■の緑色領域を反射しており、その
反射率も８０％と高い。モして５１０ｎｍ以下または５
９０ｎ■以上の領域をよく吸収しており、波長選択ミラ
ーとして有効であることがわかる。

第１表 〔実施例２〕 縦７５ｍｍ、　　横２５ｍ、厚さ１ｍｇ＋のスライドガ
ラスを充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした。

次に分散染料グイヤセリトン　ファスト　し・ノド（三
菱化成）を蒸留水に室温にて分散させ、５ｖｔＸの添加
液とした。

また、シリカゲルを飽和させた珪弗化水素酸水溶液１０
０ｃｃに、金属アルミニウム ０．４ｇ溶解させたものを処理液とした。この処理液を
ビーカーに取り、上記分散染料液ｌｅｅを添加攪拌し、
３５℃の水浴上にセット、加温した。この溶液中に、上
記試料基材を１枚浸漬し、１６時間保持した後、取り出
して洗浄乾燥した。

作製された二酸化珪素膜は赤色を示し、接触針式膜厚測
定機にて測定した膜厚は７６０５Ａであった。

この分散染料は、ＥＳＣＡ％　ＳＩＭＳ、ＩＲなどによ
り分析した結果、膜中に均一に取り込まれていることが
確認された。さらに、二酸化珪素成膜後の基板を９９．
５％アルコール溶液の中に２４時間浸漬したが、分散染
料の溶出はみられなかった。

また、テープテスト、スポンジ払拭テストによる二酸化
珪素膜の剥離も見られなかった。

このようにして得られた有機色素含有二酸化珪素被膜ガ
ラスについて、その片面に真空蒸着法でアルミニウム薄
膜を形成し、波長選択ミラーを作製した。その反射スペ
クトルを第２図に示す。６０００１１以上の赤色領域を
反射しており、その反射率も８０％以上と高い。そして
６００ｎ園以下の領域をよく吸収しており、波長選択ミ
ラーとして有効であることがわかる。

〔実施例３〕 縦７５５ｗ５．１ｆＩ２ｓ鴫、厚さｌ−のスライドガラ
スを充分に洗浄、乾燥し、試料基材とした。

次に種々の吸収剤を蒸留水に室温にて混合または溶解さ
せ、５ｖｔ％または飽和の添加液とした。また、シリカ
ゲルを飽和させた珪弗化水素酸水溶液１００ｃｃに、　
０．５ｍｏｌ／　Ｑのほう酸水溶液を８ｃｃ加えたもの
、あるいは上記珪弗化水素酸水溶液１００ｃｃに。

金属アルミニウム０．４ｇ溶解させたものを処理液とし
た。この処理液１００ｃｃをビーカーに取り、各々の吸
収剤液Ｉｃｅずつを添加撹拌し、３５℃の水浴上にセッ
ト、加温した。この溶液中に、上記試料基材をそれぞれ
１枚ずつ浸漬し、１６時間保持した後、取り出して洗浄
乾燥した。

添加吸収剤の種類及び実験結果を第２表に示す。

二酸化珪素膜の膜厚は接触針式膜厚測定機にて測定した
。

これらの有機吸収剤は、ＥＳＣＡ、ＳＩＭＳ。

ＩＲなどにより分析した結果、膜中に均一に取り込まれ
ていることが確認された。さらに、二酸化珪素成膜後の
基板を９９５％アルコール溶液の中ニス４時間浸漬した
が、有機吸収剤の溶出はみられなかった。また、テープ
テスト、スポンジ払拭テストによる二酸化珪素膜の剥離
も見られなかった。

このようにして得られた有機色素含有二酸化珪素被膜ガ
ラスのうちブルー　５Ｐについて、その片面に真空蒸着
法でアルミニウム薄膜を形成し、波長選択ミラーを作製
した。その反射スペクトルを第３図に示す。５５０ｒｖ
以下の青色領域を反射しており、その反射率も７５％以
上と高い。そして５５０１ｍ１以上の領域をよく吸収し
ており、波長選択ミラーとして有効であることがわかる
。

に洗浄、乾燥し、基材として用いた。

次にシリカゲルを飽和させた珪弗化水素酸水溶液１００
０ｃｃに、金属アルミニウム４ｇを溶解させて処理液と
した。この処理液を角型容器に取り、各々の有機紫外線
吸収剤をｏ、　５ｇずつ添加した後、充分に攪拌してか
ら３５℃の水浴上で加温した。この溶液中に 第２表 〔実施例４〕 縦１００ｍ、　　横１００閣、厚さ２鵬のガラス板を充
分上記のガラス板をそれぞれ１枚ずつ浸漬し、４時間経
過した後、取り出して洗浄乾燥した。

添加した有機紫外線吸収剤の種類及び実験結果を第３表
に示す。二酸化珪素薄膜の膜厚は接触針式膜厚測定機に
て測定したものであり、この薄膜カカラス板の両面に形
成されている。

これらの有機紫外線吸収剤は、ＥＳＣＡ、ＳＩＭＳ、Ｉ
Ｒなどにより分析した結果、膜中に均一に取り込まれて
いることが確認された。さらに、得られた紫外線吸収ガ
ラスを３５℃の９９．５％エタノール溶液または６０℃
の温水に１０００時間浸漬したが、有機紫外線吸収剤の
溶出は認められなかった。

また、テープテスト、スポンジ払拭テストによる上記の
二酸化珪素薄膜の剥離も見られなかった。

第４図から第６図はこの実施例により得られた紫外線吸
収ガラスについて、その片面に真空蒸着法でアルミニウ
ム薄膜を形成し、波長選択ミラーを作製したものの反射
スペクトルである。反射波長領域は可視光全体にわたり
、波長４００ｎｍ以下の紫外線領域は効率よく遮断して
いる。反射率は９０％程度と高く、この発明が有効なこ
とがわかる。特にＮＫ−７８、ＮＫ−１１４４について
は４００ｔｖ以下を完全に吸収しており、優れた波長選
択ミラーといえる。

第３表 〔発明の効果〕 この発明は、以下のような優れた効果を有している。

■得られる有機物含有二酸化珪素薄膜が緻密であるため
、有機吸収剤の溶出がない。

■有機吸収剤を二酸化珪素薄膜の中に関し込めるため、
化学的安定性が増し、耐光性、耐熱性などが向上する。

■有機吸収剤を使用するため、選択波長の種類が豊富で
ある。

■ドープする有機吸収剤の濃度を高くできるため、波長
選択性が明確になる。

■原料が安価でありまた工程が簡素であるため、膜の製
造コストを低くすることができる。

■複雑な形状の基材上にでも、有機物含有二酸化珪素薄
膜を形成することができる。

第１図波長選択ミラー （マラカイトク゛リーン）

【図面の簡単な説明】

第１図は添加吸収剤としてマラカイト　グリーンを用い
た場合の波長−反射率の関係を示し、第２図はグイヤセ
リトンフ１スト　レッドを用いた場合、第３図はブルー
　５Ｐを用いた場合、第４図はＮＫ−７８を用いた場合
、第５図はＮＫ−８６３を用いた場合、第６図はＮＫ−
１１４４を用いた場合をそれぞれ示している。 波長（ｎ醒） ：寺（１ 波！（ｎｍ） 第３図波長選択ミラー （フルー５Ｐ） 波長（７１７７２） 第５図波長選択ミラー （ＮＫ−８６３） 第６図波長８ｇ択ミラー （ＮＫ−７７４４）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板の表面に、有機吸収剤を含有する二酸化
   珪素被膜を形成した後、少くとも一方の面に金属膜を形
   成して成る波長選択ミラー
2. （２）有機吸収剤を含有する二酸化珪素被膜が二酸化珪
   素の過飽和状態となった珪フッ化水素酸水溶液に有機吸
   収剤を添加して成る処理液と、透明基板を接触させるこ
   とで該基板表面に形成されることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項に記載の波長選択ミラー