JPH03277514A - 素子の樹脂パッケージ用金型の清掃装置 - Google Patents

素子の樹脂パッケージ用金型の清掃装置

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JPH03277514A
JPH03277514A JP7838390A JP7838390A JPH03277514A JP H03277514 A JPH03277514 A JP H03277514A JP 7838390 A JP7838390 A JP 7838390A JP 7838390 A JP7838390 A JP 7838390A JP H03277514 A JPH03277514 A JP H03277514A
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JP
Japan
Prior art keywords
resin
mold
lead frame
sealing
cavity
Prior art date
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Pending
Application number
JP7838390A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuhiro Obara
小原 光博
Hiroo Usui
碓井 裕雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP7838390A priority Critical patent/JPH03277514A/ja
Publication of JPH03277514A publication Critical patent/JPH03277514A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/1753—Cleaning or purging, e.g. of the injection unit

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、リードフレーム上の素子を樹脂でパケージン
グするための素子の樹脂パッケージ用金型の清掃装置に
関するものである。
[従来の技術] 素子を樹脂でパッケージング(封止)する場合に、従来
から多用されているトランスファー成形法を例に挙げて
説明する。
この種のトランスファー成形の場合、金型としては、上
チエイス(上金型)と下チエイス(下金型)との対向面
に、リードフレームをインサートする部分が形成されか
つ該リードフレーム上の素子Iこ樹脂パッケージを形成
すべきキャビティが形成されているとともに、これらキ
ャビティのぞれぞれにゲートを介して連通し外部から供
給された固形状の樹脂を溶融して前記キャビティに供給
するボートが形成されたものが用いられている。
[発明が解決しようとする課題] ところが、上記従来の樹脂パッケージ用の金型において
は、成形を繰り返すうちに、キャビティ内面に封止用の
樹脂が次第に残るようになり、成彩後の樹脂の面に小さ
な凹凸が生じるようになる。
このため、定期的にクリーニング用の樹脂を金型に供給
するとともに、ダミーリードフレームを供給して、実際
にクリーニング用の樹脂で成形することのよって、キャ
ビティ内面の清掃を行っている。
しかし、クリーニング樹脂やダミーリードフレームに代
えるために成形機を一時止めて、清掃のための作業を別
に行わなければならず、成形能率が悪いという問題があ
った。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、成形機
等を止めることなく、連続して金型を清掃することによ
って成形能率の向上を図ることのできる素子の樹脂パッ
ケージ用金型の清掃装置を提供することを目的としてい
る。
[課題を解決するための手段] 本発明は、上記目的を達成するため、IC等の素子を有
するリードフレームをインサートした状態において前記
素子の周りに樹脂を充填するためのキャビティが形成さ
れているとともに、前記キャビティに通じ外部から与え
られた封止用固形樹脂を加熱溶解して前記キャビティに
供給するポットが形成された金型と、 前記リードフレームを蓄えるメインラックと、ダミーの
素子を有するダミーリードフレームを蓄えるサブラック
と、 このサブラックまたは前記メインラックからダミーリー
ドフレームまたはリードフレームを取り出して前記金型
にインサートするインサート装置と、 前記封止用固形樹脂を蓄える樹脂用メインラックと、 前記封止用固形樹脂に形状が同じで色の異なる金型清掃
用のクリーニング樹脂を蓄える樹脂用ザブラックと、 樹脂用メインラックあるいは樹脂用サブラックから、封
止用固形樹脂あるいはクリーニング樹脂を取り出して前
記金型のポットに供給する樹脂供給装置と、 前記金型が型開された際の前記キャビティを臨む線上に
該キャビティの内面に向けて設けられたイメージセンサ
と、 このイメージセンサにより得られる信号から前記キャビ
ティ内面に付着した前記封止用固形樹脂の指を検知して
、該封止用固形樹脂の量が基IP!m以上になったら前
記リードフレームお上び封止用固形樹脂の代わりに、前
記ダミーリードフレームおよびクリーニング樹脂を前記
金型に供給するように、前記インサート装置および前記
樹脂供給装置を制御する制御装置とを備えてなるもので
ある。
[作用] 本発明においては、キャビティ内面に封止用樹脂が基準
量以上付着すると、金型にダミーリードフレームおよび
クリーニング樹脂が供給され、該キャビティ内面等が奇
麗に清掃される。そして、封止用樹脂の付着量か基準量
以下になると再び金型に正規のリードフレームおよび封
止用固形樹脂が供給され、素子のパッケージングが連続
して行なわれる。
[実施例] 以下、第1図ないし第4図を参照して本発明の一実施例
を説明する。
第1図において、1はIC等の素子がボンディングされ
たリードフレームであり、2はリードフレームを収納す
るメインラックである。
メインラック2は、リードフレームを垂直方向(第1図
の紙面に直交する方向)および幅方向(第1図の矢印Y
1方向)に複数収納可能になっており、その一端部に、
ダミーリードフレーム1aを収納するサブラック2aが
設けられている。このザブラック2aおよびメインラッ
ク2は、−緒に矢印Y!力方向移動可能になっていると
ともに、インサート装置3によって、内部に収納された
リードフレームlやダミーリードフレームlaを自由に
搬出することが可能なように構成されている。
インサート装置3は、矢印Y1方向の移動によって取り
出し位置にきたメインラック2またはサブラック2aか
らリードフレームIまたはダミーリードフレーム1aを
取り出して(この実施例では2つを平行に取り出す)、
まず予備加熱装置4に送り、ここで予備加熱されたり一
ドフレヘム1を金型5内の後述Vるフレーム四部5aに
インサートするようになっている。
そして、メインラック2から取り出したリードフレーム
1を、予備加熱装置4を介して金型5内にインサートす
るインイノ−トラインAは、はぼ直線状に配置されてい
る。
第1図に示す金型5は、下ヂエイス(下金型)のパーテ
ィング面を平面視したものを示しており、この図示で示
すように、パーティング面にはり一トフレーム]が精密
に嵌まる形状のフレーム四部5aが2つ平行に形成され
、各フレーム凹部5aには、パーティング面を合わU=
で型締した上ヂエイス(上金型)(図示せず)とによっ
て、素子が位置ずろ部分を囲むようにキャビティ5bか
形成されている。また、各フレーム四部5aの間の中央
線上には、後述する樹脂タブレットが入る円孔状のボッ
ト5cが形成され、各ボット5cからは、各キャビティ
5bへ通じるゲート5dが形成されている。
ボット5cは、樹脂タブレッ]・を加熱溶融するととも
に、該ボット5内に挿入されたトランスファー(図示せ
ず)を上昇させることによって溶融樹脂を各キう・ビテ
ィ5b内に供給するようになっている。
また、第1図において、6は円板状あるいは円柱状に形
成され、黒色をした封止用樹脂タブレット(封止用固杉
樹脂)であり、6aは前記封止用樹脂タブレット6に形
状が同一で白色をしたクリーニング樹脂タブレットであ
る。これら封止用樹脂タブレット6およびクリーニング
樹脂タブレット6aは、それぞれ樹脂用メインラック7
および樹脂用サブラック7aに蓄えられている。
樹脂用メインラック7および樹脂用サブラック7aは、
第1図ないし第2図に示すように、一体に形成されたも
のであり、全体が矢印Y2(第1図参照)方向に移動可
能になっているとともに、封止用樹脂タブレット6およ
びクリーニング樹脂タブレット6aをそれぞれを積層し
た状態で複数列にわたって保持しておき、下方から押し
出すロットlによって、各封止用樹脂タブレット6等を
順次、」一端開口部に送り出すようになっている。
上記封止用樹脂タブレット6およびクリーニンク樹脂タ
ブレッt−6aは、矢印Y2方向に移動することによっ
て取り出し位置にきたものが、その上端の乙のから樹脂
供給装置(図示仕ず)によって取り出されて、樹脂予備
加熱装置8に運ばれる。
]−記樹脂供給装置は、複数(または単数)の封止用樹
脂タブレット6やクリーニング樹脂タブレット6aを同
時に(この実施例では3つ)吸引盤等で吸引して移動す
るしのであり、該封止用樹脂タブレット6等を、樹脂用
メインラック7等から樹脂予備加熱装置8へ、また樹脂
予備加熱装置8から金型5のボット5c内に挿入するよ
うになっている。
そして、樹脂用メインラック7および樹脂用サブラック
7aから樹脂予備加熱装置8を介して金型5に至る樹脂
供給ラインBは、リードフレームlが金型5内にインサ
ートされるインサートラインAにほぼ直交して配置され
ており、封止用樹脂タブレット6を金型5内に挿入する
樹脂挿入ラインCは前記インサートライン八に対向して
いる。
また、金型5内で樹脂パッケージが成形されたリードフ
レーム1は、前記インサートラインAに対して単方向と
なる搬出ラインDがら取り出され。
カル切断装置9で後述するカルが取り除かれた後、この
成形装置から搬出される。
さらに、金型5は、他の部分に対して密閉された状態に
なっており、該金型5のインサートラインAおよび樹脂
挿入ラインCに対応する位置に扉10が設けられている
。
また、金型5が型開された状態において、所定の位置の
キャビティ5bを臨む線上に、該キャビティ5bの内面
に向けてイメージセンサ2が設けられている。
イメージセンサl!は、キャビティ5bの内面に付着し
た封止用樹脂(黒色)の分布を認識するようになってい
る。
成形後のリードフレーム■よ、第3図ないし第4図に示
すように、素子が樹脂パッケージSで覆われ、ポット5
0部にカルCuが残り、ゲート5d部にゲート部分Gが
残った形状になっている。
前記カル切断装置9は、前記ゲート部分Gを切断して、
カルCuを取り除き、再び2つのリードフレームlに分
離するものである。
また、上記メインラック2、サブラック2a。
インサート装置3、金型5、樹脂用メインラック7およ
び樹脂用サブラック7a、樹脂供給装置(図示せず)、
カル切断装置9、金型5の扉10、イメージセンサ11
等が制御装置12に接続されており、該制御装置12に
よってそれぞれ制御されるようになっている。
制御装置I2は、イメージセンサ11からの信号によっ
て、キャビティ5bの内面の封止用樹脂(黒色)の分布
を認識し、所定の基準以上の広がりとなっているときに
、メインラック2、サブラック2aおよびインサート装
置3、樹脂用メインラック7、樹脂用サブラック7aお
よび樹脂供給装置に指令を与えて、リードフレーム1お
よび封止用樹脂タブレット6に代えてダミーリードフレ
ーム1aおよびがクリーニング樹脂タブレット6aを金
型5に供給するように制御するようになっている。
そして、この制御装置12は、イメージセンサ11で認
識する封止用樹脂の範囲が所定の基準以下になるまで、
前記ダミーリードフレームlaおよびクリーニング樹脂
タブレット6aによる成形を繰り返し、上記基準以下に
なったら、ダミーリードフレームlaおよびクリーニン
グ樹脂タブレット6aに代えて、再びリードフレーム!
および封止用樹脂タブレット6を供給して正規の成形を
行うように制御するようになっている。
上記のように構成された素子のパッケージ成形装置にお
いては、キャビティ5bの内面に封止用樹脂が次第に付
着し、その封止用樹脂の範囲が制御装置12に設定され
た所定の基準量以上になると、リードフレーム!および
封止用樹脂タブレット6に代えてダミーリードフレーム
laおよびクリーニング樹脂タブレット6aが供給され
、キャビティ5b内が連続して清掃される。そして、ク
リーニング樹脂によってキャビティ5b内が清掃され、
封止用樹脂の範囲か基4!I量以下になると、再びリー
ドフレーム1および封止用樹脂タブレット6が金型5に
供給されて、正規の素子のベラケージングが行なわれる
。
したがって、上記装置によれば、成形機を停止すること
なく、連続して成形しながら、キャビティ5ム内等を清
掃することができ、素子封止の成形能率を向上させるこ
とができる。
なお、上記実施例においては、封止用樹脂タブレット6
を同時に3つ挿入可能な金型5を設けたか、3つに限る
ことはなく、5つ等のようにさらに多くてもよく、また
1つであってしよいことはいうまでもない。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、10等の素子を
有するリードフレームをインサートした状態において前
記素子の周りに樹脂を充填するためのキャビティが形成
されているととらに、前記キャビティに通じ外部から与
えられた封止用固形樹脂を加熱溶解して前記キャビティ
に供給するボットが形成された金型と、 前記リードフレームを蓄えるメインラックと、ダミーの
素子を有するダミーリードフレームを蓄えるサブラック
と、 このサブラックまたは前記メインラックからダミーリー
ドフレームまたはリードフレームを取り出して前記金型
にインサートするインサート装置と、 前記封止用固形樹脂を蓄える樹脂用メインラックと、 前記封止用固形樹脂に形状が同じで色の異なる金型清掃
用のクリーニング樹脂を蓄える樹脂用サブラックと、 樹脂用メインラックあるいは樹脂用ザブラックから、封
止用固形樹脂あるいはクリーニング樹脂を取り出して前
記金型のポットに供給する樹脂供給装置と、 前記金型が型開された際の前記キャビティを臨む線上に
該キャビティの内面に向けて設けられたイメージセンサ
と、 このイメージセンサにより得られる信号から前記キャビ
ティ内面に付着した前記封止用固形樹脂の組を検知して
、該封止用固形樹脂の量が基準量以上になったら前記リ
ードフレームおよび封止用固形樹脂の代わりに、前記ダ
ミーリードフレームおよびクリーニング樹脂を前記金型
に供給するように、前記インサーi・装置および前記樹
脂供給装置を制御する制御装置とを備えてなる6のであ
るから、 成形機を一時停止することなく、連続して成形しながら
キャビティ内等を清掃することができる。
したがって、素子封止の成形能率の向上を図るることが
できるという顕著な作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図は本発明の一実施例を示す図であっ
て、第1図は素子のパッケージ成形装置の構成を示す平
面図、第2図は第1図の■矢視図、第3図はパッケージ
成形後のリードフレームを示す平面図、第4図は同リー
ドフレームの側面図である。 l・・・・リードフレーム、 1a・・・・・ダミーリードフレーム、2 ・ メイン
ラック、 2a・・ ・ザブラック、 3 ・・インサート装置、 5・・・・金型、 5b・・・・・・キャビティ、 5c・ ・・ボッ]・、 6・・・・・・封止用樹脂タブレット(封止用固形樹脂
)、6a・・・・・・クリーニング樹脂タブレッ)・、
7・・・・・・樹脂用メインラック、 7a・・・・樹脂用サブラック、 11・・・・・・イメージセンサ、 12・・・・・制御装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  IC等の素子を有するリードフレームをインサートし
    た状態において前記素子の周りに樹脂を充填するための
    キャビティが形成されているとともに、前記キャビティ
    に通じ外部から与えられた封止用固形樹脂を加熱溶解し
    て前記キャビティに供給するポットが形成された金型と
    、 前記リードフレームを蓄えるメインラックと、ダミーの
    素子を有するダミーリードフレームを蓄えるサブラック
    と、 このサブラックまたは前記メインラックからダミーリー
    ドフレームまたはリードフレームを取り出して前記金型
    にインサートするインサート装置と、 前記封止用固形樹脂を蓄える樹脂用メインラックと、 前記封止用固形樹脂に形状が同じで色の異なる金型清掃
    用のクリーニング樹脂を蓄える樹脂用サブラックと、 樹脂用メインラックあるいは樹脂用サブラックから、封
    止用固形樹脂あるいはクリーニング樹脂を取り出して前
    記金型のポットに供給する樹脂供給装置と、 前記金型が型開された際の前記キャビティを臨む線上に
    該キャビティの内面に向けて設けられたイメージセンサ
    と、 このイメージセンサにより得られる信号から前記キャビ
    ティ内面に付着した前記封止用固形樹脂の量を検知して
    、該封止用固形樹脂の量が基準量以上になったら前記リ
    ードフレームおよび封止用固形樹脂の代わりに、前記ダ
    ミーリードフレームおよびクリーニング樹脂を前記金型
    に供給するように、前記インサート装置および前記樹脂
    供給装置を制御する制御装置とを備えてなることを特徴
    とする素子の樹脂パッケージ用金型の清掃装置。
JP7838390A 1990-03-27 1990-03-27 素子の樹脂パッケージ用金型の清掃装置 Pending JPH03277514A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1993020996A1 (en) * 1992-04-13 1993-10-28 Apic Yamada Corporation Method of transfer mold and apparatus for transfer mold
KR100455388B1 (ko) * 2002-05-28 2004-11-06 삼성전자주식회사 금형에의 이형제 처리를 자동화한 반도체 소자 성형 장비

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