JPH03280480A - 積層型圧電アクチュエータ素子の外装方法 - Google Patents
積層型圧電アクチュエータ素子の外装方法Info
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- JPH03280480A JPH03280480A JP2079894A JP7989490A JPH03280480A JP H03280480 A JPH03280480 A JP H03280480A JP 2079894 A JP2079894 A JP 2079894A JP 7989490 A JP7989490 A JP 7989490A JP H03280480 A JPH03280480 A JP H03280480A
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- Japan
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- actuator element
- piezoelectric actuator
- molded body
- epoxy resin
- laminated piezoelectric
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- Pending
Links
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は積層型圧電アクチュエータ素子に関し、特に外
装方法に関する。
装方法に関する。
第６図は、この種の積層型圧電アクチュエータ素子の従
来例の斜視図である。
来例の斜視図である。
この積層型圧電アクチュエータ素子は、低電圧駆動およ
び高変位を得るため圧電セラミックス１４を薄い膜厚の
グリーンシートにし、その上に銀などの内部導電体層１
５を塗布した後数十層積層して焼結し、側面に露出した
内部導電体層１５を対向する側面で一層おきに絶縁体１
７で絶縁した後、外部電極１６にて露出している内部電
極１５を接続して２つのくし歯形電極を形成して製造さ
れていた。そして、この電極間に電圧を与え積層方向に
縦歪を生じさせることにより積層型圧電アクチュエータ
素子の積層方向に変位と力を取出していた。しかし前記
構造の積層型圧電アクチュエータ素子は、内部導電体ｆ
ｉ１５が露出しており、高湿度雰囲気中においては内部
導電体層１５中の銀がマイグレーションを生じ絶縁抵抗
を低下させてしまうため内部導電体層２が露出してい葛
側面をエポキシ樹脂などで外装し防湿を行なっている。
び高変位を得るため圧電セラミックス１４を薄い膜厚の
グリーンシートにし、その上に銀などの内部導電体層１
５を塗布した後数十層積層して焼結し、側面に露出した
内部導電体層１５を対向する側面で一層おきに絶縁体１
７で絶縁した後、外部電極１６にて露出している内部電
極１５を接続して２つのくし歯形電極を形成して製造さ
れていた。そして、この電極間に電圧を与え積層方向に
縦歪を生じさせることにより積層型圧電アクチュエータ
素子の積層方向に変位と力を取出していた。しかし前記
構造の積層型圧電アクチュエータ素子は、内部導電体ｆ
ｉ１５が露出しており、高湿度雰囲気中においては内部
導電体層１５中の銀がマイグレーションを生じ絶縁抵抗
を低下させてしまうため内部導電体層２が露出してい葛
側面をエポキシ樹脂などで外装し防湿を行なっている。
上述した従来のａ層型圧電アクチュエータ素子は、端面
１８にエポキシ樹脂が付着した状態で使用されると変位
または力がエポキシ樹脂に吸収され、変位や力が減少す
るため、外装を行なう場合、端面１８にマスキング用ゴ
ムを貼付けたり、テフロン樹脂や金属製の治具にて端面
１８を覆い、端面１８に外装用樹脂が侵入しないように
した後、液状または粉末状エポキシ樹脂を積層型圧電ア
クチュエータ素子表面に被着させ、樹脂を硬化させた後
に、端面部を覆うマスキング用ゴムや治具を取外すと共
に、端面付近のエポキシ樹脂を削り成形しており、この
作業を行なうために多くの作業工数が必要で、積層型圧
電アクチュエータ素子のコストが高くなるという欠点が
ある。
１８にエポキシ樹脂が付着した状態で使用されると変位
または力がエポキシ樹脂に吸収され、変位や力が減少す
るため、外装を行なう場合、端面１８にマスキング用ゴ
ムを貼付けたり、テフロン樹脂や金属製の治具にて端面
１８を覆い、端面１８に外装用樹脂が侵入しないように
した後、液状または粉末状エポキシ樹脂を積層型圧電ア
クチュエータ素子表面に被着させ、樹脂を硬化させた後
に、端面部を覆うマスキング用ゴムや治具を取外すと共
に、端面付近のエポキシ樹脂を削り成形しており、この
作業を行なうために多くの作業工数が必要で、積層型圧
電アクチュエータ素子のコストが高くなるという欠点が
ある。
本発明の積層型圧電アクチュエータの外装方法は、未反
応エポキシ粉末樹脂をあらかじめプレス機にて加圧して
成形体を作り、積層型圧電アクチュエータ素子を前記成
形体で挟装みこんだ後加熱してエポキシ樹脂を硬化させ
、外装することを特徴とする。
応エポキシ粉末樹脂をあらかじめプレス機にて加圧して
成形体を作り、積層型圧電アクチュエータ素子を前記成
形体で挟装みこんだ後加熱してエポキシ樹脂を硬化させ
、外装することを特徴とする。
未反応エポキシ粉末樹脂をあらかじめ成形しておくので
、積層型圧電アクチュエータ素子の端面にまったく樹脂
が付着しない外装を容易に行なうことができる。
、積層型圧電アクチュエータ素子の端面にまったく樹脂
が付着しない外装を容易に行なうことができる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の積層型圧電アクチュエータの外装方法
の一実施例による外装治具の断面図、第２図から第４図
まではプレス機において成形金具の動きを示す成形金具
型の断面図、第５図は本実施例における成形体の斜視図
である。
の一実施例による外装治具の断面図、第２図から第４図
まではプレス機において成形金具の動きを示す成形金具
型の断面図、第５図は本実施例における成形体の斜視図
である。
未反応エポキシ粉末樹脂２は第２図に示すようにポツパ
ー３より振動子４の振動と重力によりパイプ５を通りダ
イス６中に充てんされる。この時下パンチ７はＡ点で停
止している０次に、ポツパー３下部のスクレッパ８が移
動し、ダイス６上面上の未反応エポキシ粉末樹脂２を掃
き除き、ダイス６中の空間を埋める未反応エポキシ粉末
樹脂２の量が一定量となるようにする０次に、第３図に
示すように下パンチ７がＢ点まで下降すると共に１パン
チ９も下降していき、未反応エポキシ粉末樹脂２はダイ
ス６中で加圧され上パンチ９と下パンチ７の先端に下降
された形状に従い、第５図に示すような形の成形体１が
できる０次に、第４図に示すように、上パンチ９が上昇
し、その後下パンチ７が成形体１を押し上げながらダイ
ス６の上面まで上昇し成形体１をダイス６中から押出す
。この後、スクレッパ８がダイス６の穴まで再度移動し
、成形体ｌを収容箱１０まで移動させると共に再度振動
と重力により未反応エポキシ粉゛末樹脂２をダイス６中
に充てんする。
ー３より振動子４の振動と重力によりパイプ５を通りダ
イス６中に充てんされる。この時下パンチ７はＡ点で停
止している０次に、ポツパー３下部のスクレッパ８が移
動し、ダイス６上面上の未反応エポキシ粉末樹脂２を掃
き除き、ダイス６中の空間を埋める未反応エポキシ粉末
樹脂２の量が一定量となるようにする０次に、第３図に
示すように下パンチ７がＢ点まで下降すると共に１パン
チ９も下降していき、未反応エポキシ粉末樹脂２はダイ
ス６中で加圧され上パンチ９と下パンチ７の先端に下降
された形状に従い、第５図に示すような形の成形体１が
できる０次に、第４図に示すように、上パンチ９が上昇
し、その後下パンチ７が成形体１を押し上げながらダイ
ス６の上面まで上昇し成形体１をダイス６中から押出す
。この後、スクレッパ８がダイス６の穴まで再度移動し
、成形体ｌを収容箱１０まで移動させると共に再度振動
と重力により未反応エポキシ粉゛末樹脂２をダイス６中
に充てんする。
このようにして成形された成形体１を第１図のテフロン
製の外装治具１２の溝１１に入れる６次に、積層型圧電
アクチュエータ素子１３を成形体ｌの溝に入れる。さら
に、成形体１を積層型圧電アクチュエータ素子１３を挟
むように置く０次に、恒温槽中で外装治具１２を１５０
＠０１時間加熱すると未反応エポキシ樹脂は一度軟化し
、積層型圧電アクチュエータ素子表面に密着した後硬化
する。冷却後、外装治具１２より積層型圧電アクチュエ
ータ素子１３を取出す。
製の外装治具１２の溝１１に入れる６次に、積層型圧電
アクチュエータ素子１３を成形体ｌの溝に入れる。さら
に、成形体１を積層型圧電アクチュエータ素子１３を挟
むように置く０次に、恒温槽中で外装治具１２を１５０
＠０１時間加熱すると未反応エポキシ樹脂は一度軟化し
、積層型圧電アクチュエータ素子表面に密着した後硬化
する。冷却後、外装治具１２より積層型圧電アクチュエ
ータ素子１３を取出す。
このような製造方法により積層型圧電アクチュエータ素
子の端面にまったく樹脂が付着しない外装を容易に行な
うことができる。
子の端面にまったく樹脂が付着しない外装を容易に行な
うことができる。
以上説明したように本発明は、未反応エポキシ粉末樹脂
をあらかじめ成形しておくことにより、下記のような効
果がある。
をあらかじめ成形しておくことにより、下記のような効
果がある。
（１）積層型圧電アクチュエータ素子端面への外装樹脂
付着防止のため、マスキングが不用となり、外装作業工
数がほぼζ以下に減少する。
付着防止のため、マスキングが不用となり、外装作業工
数がほぼζ以下に減少する。
（２）未反応エポキシ粉末樹脂の使用効率が１０％から
６０％に向上する。
６０％に向上する。
（３）外装樹脂中の空コウ率が減少し１歩留が５％向上
する。
する。
第１図は本発明の積層型圧電アクチュエータの外装方法
の一実施例による外装治具の断面図、第２図、第３図、
第４図は本実施例により成形用金型の動きを示す成形体
用金型の断面、第５図は本実施例における成形体の斜視
図、第６図は外装前の積層型圧電アクチュエータ素子の
斜視図である。 １・・・・・・成形体、 ２・・・・・・未反応エポキシ粉末樹脂、３・・・・・
・ポツパー、 ４・・・・・・振動子、５・・・・・
・パイプ、 ６・・・・・・ダイス、７・・・・
・・下パンチ、 ８・・・・・・スクレツパ、９・・
・・・・上パンチ、 ｌＯ・・・・・・収容箱、１１
・・・・・・溝、 １２・・・・・・外装治具
、１３・・・・・・積層型圧電アクチュエータ素子、１
４・・・・・・圧電セラミックス、 １５・・・・・・内部導電体層、１Ｂ・・・・・・外部
電極、１７・・・・・・絶縁体、 １８・・・・・
・端面。
の一実施例による外装治具の断面図、第２図、第３図、
第４図は本実施例により成形用金型の動きを示す成形体
用金型の断面、第５図は本実施例における成形体の斜視
図、第６図は外装前の積層型圧電アクチュエータ素子の
斜視図である。 １・・・・・・成形体、 ２・・・・・・未反応エポキシ粉末樹脂、３・・・・・
・ポツパー、 ４・・・・・・振動子、５・・・・・
・パイプ、 ６・・・・・・ダイス、７・・・・
・・下パンチ、 ８・・・・・・スクレツパ、９・・
・・・・上パンチ、 ｌＯ・・・・・・収容箱、１１
・・・・・・溝、 １２・・・・・・外装治具
、１３・・・・・・積層型圧電アクチュエータ素子、１
４・・・・・・圧電セラミックス、 １５・・・・・・内部導電体層、１Ｂ・・・・・・外部
電極、１７・・・・・・絶縁体、 １８・・・・・
・端面。
Claims (1)
- １．圧電セラミック層と内部導電体層が交互に積層され
てなる積層型圧電アクチュエータ素子の外装方法におい
て、未反応エポキシ粉末樹脂をプレス機にて加圧して成
形体を作り、積層型圧電アクチュエータ素子を前記成形
体で挟みこんだ後、加熱してエポキシ樹脂硬化させ、外
装することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子
の外装方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2079894A JPH03280480A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 積層型圧電アクチュエータ素子の外装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2079894A JPH03280480A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 積層型圧電アクチュエータ素子の外装方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03280480A true JPH03280480A (ja) | 1991-12-11 |
Family
ID=13702983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2079894A Pending JPH03280480A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 積層型圧電アクチュエータ素子の外装方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03280480A (ja) |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP2079894A patent/JPH03280480A/ja active Pending
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