JPH0328079B2 - - Google Patents

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JPH0328079B2
JPH0328079B2 JP61233591A JP23359186A JPH0328079B2 JP H0328079 B2 JPH0328079 B2 JP H0328079B2 JP 61233591 A JP61233591 A JP 61233591A JP 23359186 A JP23359186 A JP 23359186A JP H0328079 B2 JPH0328079 B2 JP H0328079B2
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JP
Japan
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nozzle
circuit forming
paste
substrate material
moving
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Katsuhiko Taguchi
Kazuhiko Kurosaki
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Juki Corp
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Juki Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用] この発明は、電気用基板素材等に液体状の回路
形成材を吐出して所定の回路形成を行なう回路形
成装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application] The present invention relates to a circuit forming apparatus that forms a predetermined circuit by discharging a liquid circuit forming material onto an electrical substrate material or the like.

[従来の技術] 従来、この種の装置としては第6図に示すもの
がある。
[Prior Art] Conventionally, there is a device of this type as shown in FIG.

図において、1は基板素材2を設置する移動テ
ーブルで、予め定めた回路形成パターンに応じて
所定の駆動装置により水平方向、すなわちXおよ
びY方向(図中、矢符にて示す)へ一定速度で移
動する。3は液体状の回路形成材P(以下ペース
トと称す)を収納して成るノズルで、先端部に微
小の吐出孔3aを有する。4はこのノズル3内に
圧縮空気を供給するチユーブで空圧制御弁として
の電磁弁を介して所定の空気圧源に連結されてい
る。7はノズル保持部7aを有し、ボールねじ軸
9を回転させることによりフレーム8のレール8
aに沿つて垂直方向(Z方向)に昇降する昇降体
であり、上面にはボールねじ軸9と螺合するボー
ルナツト10が固着されている。なお、以上7〜
10により昇降機構Aを構成している。
In the figure, reference numeral 1 denotes a moving table on which the substrate material 2 is placed, and it moves at a constant speed in the horizontal direction, that is, in the X and Y directions (indicated by arrows in the figure), by a predetermined drive device according to a predetermined circuit formation pattern. Move with. A nozzle 3 contains a liquid circuit forming material P (hereinafter referred to as paste) and has a minute discharge hole 3a at its tip. A tube 4 supplies compressed air into the nozzle 3 and is connected to a predetermined air pressure source via a solenoid valve serving as a pneumatic control valve. 7 has a nozzle holding part 7a, and by rotating the ball screw shaft 9, the rail 8 of the frame 8 is
It is an elevating body that ascends and descends in the vertical direction (Z direction) along a, and a ball nut 10 that is screwed into a ball screw shaft 9 is fixed to the upper surface. In addition, above 7~
10 constitutes a lifting mechanism A.

上記回路形成装置において、ペーストPを吐出
するに際しては、まずノズル3を基板素材2上に
所定間隔おいて位置させる。このノズル3をセツ
トする位置は、適用するペーストの種類、ノズル
3の吐出孔3aの径等によつて異なるが、適正な
吐出状態を得るためには付着させようとするペー
ストPの膜厚より上方に位置させる必要がある。
ノズル3がセツトされると、電磁弁が開となりノ
ズル3内に圧縮空気が送り込まれ、ペーストPが
吐出される。また、これと同時に移動テーブル1
が所定の回路パターンに従つて移動し、基板素材
2にペーストPが付着されてゆく。なお、この装
置において、適用するペーストPには、主として
導体用、絶縁体用、抵抗体用等がある。これら
は、いずれも微小の金属粒子を高粘度の溶液中に
拡散させて成り、ペーストPの吐出完了後は、乾
燥させ、800℃〜1000℃の高温で焼成することに
より所定の電気特性が得られる。また、使用する
基板素材2としては、上記のような高温に耐え得
る様、通常96%のアルミナ(Al2O3)等から成る
いわゆるセラミツク基板を用いている。
In the circuit forming apparatus described above, when discharging the paste P, the nozzle 3 is first positioned on the substrate material 2 at a predetermined interval. The position at which this nozzle 3 is set varies depending on the type of paste to be applied, the diameter of the discharge hole 3a of the nozzle 3, etc., but in order to obtain an appropriate discharge condition, the thickness of the paste P to be deposited must be It needs to be located at the top.
When the nozzle 3 is set, the solenoid valve is opened, compressed air is sent into the nozzle 3, and the paste P is discharged. At the same time, the moving table 1
moves according to a predetermined circuit pattern, and the paste P is adhered to the substrate material 2. In addition, in this apparatus, the paste P to be applied is mainly for conductors, insulators, resistors, etc. All of these are made by diffusing minute metal particles into a highly viscous solution, and after the paste P has been discharged, it is dried and fired at a high temperature of 800°C to 1000°C to obtain the desired electrical properties. It will be done. The substrate material 2 used is usually a so-called ceramic substrate made of 96% alumina (Al 2 O 3 ) or the like so that it can withstand the above-mentioned high temperatures.

[発明が解決しようとする問題点] ところで、ノズル3内の空気圧は、第7図aに
示すような電磁弁の開閉信号に対し、いわゆる一
次遅れを伴つて増加、減少する。このため、空気
圧によつて決定されるペーストPの吐出流量は吐
出開始、吐出終了時において、第7図bのイ,ロ
に示すような曲線を描くこととなる。従つて、定
速移動する基板素材2上にペーストPを吐出した
場合、その吐出状態は第7図cに示すようにパタ
ーンの先端部P1および終端部P2においてペース
トの付着状態が不均一になる。すなわち、吐出開
始時において、十分な吐出量が得られないにも拘
らず移動テーブル1が移動を開始してしまうた
め、形成されるパターンの先端部分が他の部分よ
り細くなり、また、電磁弁の閉成後一次遅れによ
つてパターンの終端P2が第8図に示すように糸
引き状態となつて基板に付着する。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, the air pressure within the nozzle 3 increases and decreases with a so-called first-order delay with respect to the opening/closing signal of the electromagnetic valve as shown in FIG. 7a. Therefore, the discharge flow rate of the paste P determined by the air pressure will draw curves as shown in A and B in FIG. 7B at the start and end of discharge. Therefore, when the paste P is discharged onto the substrate material 2 moving at a constant speed, the state of the discharge is such that the state of paste adhesion is uneven at the leading end P1 and the terminal end P2 of the pattern, as shown in FIG. 7c. become. That is, at the start of dispensing, the movable table 1 starts moving even though a sufficient dispensing amount cannot be obtained, so the tip of the formed pattern becomes thinner than the other parts, and the electromagnetic valve Due to the first-order delay after closing, the terminal end P2 of the pattern becomes stringy and adheres to the substrate as shown in FIG.

このように回路パターンが不均一になると、回
路形成上種々の問題が生じる。例えば、導体用ペ
ーストであれば、細い部分は導体抵抗の増大とな
り、抵抗体ペーストであれば抵抗体の変化とな
り、また絶縁体の場合には耐絶縁電圧の低下を招
くという問題が生じ。また、終端部に糸引き現象
が発生すると、その部分は極めて不安定な状態と
なり、予定外の個所に付着する等の問題があつ
た。特に、適用するペーストが導体用ペーストの
場合には、隣接回路等に付着して短絡してしまう
おそれがある。
If the circuit pattern becomes non-uniform in this way, various problems arise in circuit formation. For example, if it is a conductor paste, the thin part will increase the conductor resistance, if it is a resistor paste, it will cause a change in the resistance, and if it is an insulator, it will cause a decrease in withstand voltage. Furthermore, when a stringy phenomenon occurs at the terminal end, that part becomes extremely unstable, causing problems such as adhesion to unexpected locations. In particular, if the applied paste is a conductor paste, there is a risk that it will adhere to adjacent circuits and cause a short circuit.

この発明は、上記問題点に着目して成されたも
ので、パターン終端部の糸引き現象を防止し、か
つ終端部は定常吐出部分のパターンと同様な均一
断面形状を有する回路パターンを形成し得る回路
形成装置の提供を目的とする。
This invention was made by focusing on the above-mentioned problems, and it is possible to prevent the stringing phenomenon at the end of the pattern, and form a circuit pattern at the end that has a uniform cross-sectional shape similar to the pattern of the steady discharge portion. The purpose of the present invention is to provide a circuit forming device that can obtain the desired results.

[問題点を解決するための手段] この発明は、空圧制御弁の開閉によりノズルか
らの回路形成材の吐出、遮断を行うと共に、基板
素材を設置した移動テーブルとノズルとを回路形
成パターンに応じて水平方向に相対移動させるよ
うにした回路形成装置において、 前記ノズルを昇降させるノズル昇降手段と、 前記相対移動開始を前記空圧制御弁開成後から
所定時間経過後に行うよう移動するテーブル移動
手段と、 空圧制御弁の開成後ノズルと基板素材との間隔
を吐出すべき回路形成材の厚膜より小さく設定し
た位置から予め定めた吐出適正位置までノズルを
上昇させ、その後テーブルを移動制御し、空圧制
御弁の閉成後は回路形成材の吐出適正位置から厚
膜表面までノズルを下降させテーブルを停止する
よう制御する制御手段とを備えたものである。
[Means for Solving the Problems] This invention discharges and shuts off circuit forming material from a nozzle by opening and closing a pneumatic control valve, and also connects a movable table on which a substrate material is installed and a nozzle to a circuit forming pattern. In the circuit forming apparatus, the circuit forming apparatus is configured to move the nozzle relatively in the horizontal direction, comprising: a nozzle elevating means for elevating the nozzle; and a table moving means for moving the nozzle so that the relative movement is started after a predetermined period of time has elapsed from the opening of the pneumatic control valve. After opening the pneumatic control valve, the nozzle is raised from a position where the distance between the nozzle and the substrate material is set to be smaller than the thick film of the circuit forming material to be discharged to a predetermined appropriate discharge position, and then the table is controlled to move. After the pneumatic control valve is closed, the nozzle is lowered from the appropriate position for discharging the circuit forming material to the thick film surface, and the table is stopped.

[作用] この発明においては、ノズルと基板素材との間
隔を吐出すべきペーストの厚膜より小さく設定
し、電磁弁開信号によりノズルはペーストを吐出
しながら予め定めた吐出適正位置まで上昇し、そ
の後テーブルを移動して、電磁弁が閉じると、ノ
ズルは定常吐出部分を付着させつつ厚膜表面まで
下降し、既に吐出したペーストの後端部に吐出部
分を付着させテーブルを停止するように制御する
ため、終端部の糸引き現象が生じることなく定常
吐出部分の厚膜と同様な均一断面形状の厚膜が得
られる。
[Operation] In this invention, the distance between the nozzle and the substrate material is set to be smaller than the thickness of the paste to be discharged, and the nozzle rises to a predetermined appropriate discharge position while discharging the paste in response to a solenoid valve opening signal. After that, when the table is moved and the solenoid valve is closed, the nozzle descends to the thick film surface while attaching the steady discharge part, and controls the table so that the discharge part attaches to the rear end of the paste that has already been discharged and the table is stopped. Therefore, a thick film with a uniform cross-sectional shape similar to the thick film in the steady discharge portion can be obtained without causing stringiness at the terminal end.

[発明の実施例] 以下、この発明の一実施例を第1図ないし第4
図に基づき説明する。なお、前記従来例と同一も
しくは相当部分には同一符号を付し、その説明の
詳細は省く。
[Embodiment of the invention] An embodiment of the invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4.
This will be explained based on the diagram. Note that the same or equivalent parts as in the conventional example are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.

第1図は、本実施例における制御系を示すブロ
ク図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a control system in this embodiment.

図において、11は前記ノズル3と空気圧源1
2との間に介在させた空気圧制御弁としての電磁
弁、13は前述のノズル昇降機構Aを駆動する昇
降機構駆動装置で、ノズル昇降機構Aと共にノズ
ル昇降手段を構成している。14は前記移動テー
ブル1を駆動するテーブル駆動装置(テーブル移
動手段)、15は後述の制御プログラムを格納し
て成るROM、16はこの制御プログラムに従つ
て前記電磁弁11の開閉、昇降機構駆動装置13
およびテーブル駆動装置14の作動等を制御する
テーブル移動制御手段およびノズル昇降制御手段
としてのCPU(制御手段)である。なお、その他
の構成は前述の従来例と同様である。
In the figure, 11 indicates the nozzle 3 and the air pressure source 1.
A solenoid valve 13 as a pneumatic control valve is interposed between the nozzle elevating mechanism A and the elevating mechanism driving device 13, which together with the nozzle elevating mechanism A constitutes a nozzle elevating means. 14 is a table driving device (table moving means) that drives the moving table 1; 15 is a ROM that stores a control program to be described later; and 16 is a lifting mechanism driving device that opens and closes the solenoid valve 11 according to this control program. 13
and a CPU (control means) as a table movement control means and a nozzle elevation control means for controlling the operation of the table drive device 14 and the like. Note that the other configurations are the same as those of the prior art example described above.

第2図は前記ROM15内に格納されている制
御プログラムを示すフローチヤートであり、以
下、このフローチヤートに基づき上記構成を有す
る本実施例の動作を説明する。
FIG. 2 is a flowchart showing the control program stored in the ROM 15, and the operation of this embodiment having the above configuration will be explained below based on this flowchart.

基板素材2を移動テーブル1の所定位置にセツ
トし、動作開始指令を送ると、まずステツプ1で
は、基板素材2のパターン形成開始位置とノズル
3との位置合わせ、およびノズル3の高さ設定等
の初期設定を行なう。この後、CPU16からの
電磁弁開信号により電磁弁11が開となつてノズ
ル3内に圧縮空気が送り込まれ、ペーストPa(第
3図a参照)の吐出が開始される(ステツプ2)。
本実施例では、前述初期設定において、第3図a
に示すようにノズル3と基板素材2との間隔h1
吐出すべきペーストPの膜厚h(第3図c参照)
より狭く設定し、ペーストPが基板素材2に付着
するまでの不安定な状態が緩和されるようになつ
ている。その後、ノズル3はペーストPaを吐出
しながら第3図bに示すように予め定めた吐出適
正位置(基板素材2よりh3の高さ)まで上昇する
(ステツプ3)。また、この吐出開始時におけるペ
ーストPa+Pbの吐出流量は、先に述べたように
空気圧制御特有の一次遅れのため不足状態にあ
る。この一次遅れ期間中は移動テーブルは移動を
開始せずノズル3内の空気圧が適正値に達した時
点でCPU16からの移動開始信号により移動を
開始する(ステツプ4)。従つて、一次遅れ期間
中の吐出すべきペーストPa+Pbが総て基板素材
2のパターン形成開始個所に吐出されることとな
り、第3図cに示すようにこの開始個所における
ペーストPの付着量は他の部分に比して不足する
ことはない。そして、パターン形成の終端に達す
るとCPU16からの電磁弁閉信号によつて電磁
弁11が閉じる(第4図a状態)。また、これと
同時に、昇降機構駆動装置13に対しCPU16
からノズル下降信号が出力され、ノズル3は定常
吐出部分Pを付着させつつ第4図aに示す位置か
ら第4図bに示す位置を経て第4図cに示す位
置、すなわち厚膜表面まで下降する(ステツプ
6)。ところで電磁弁11が閉となつてもノズル
3からはペーストPの二点鎖線に示す部分Pdが
吐出され続づけることとなる。この間、移動テー
ブル1は移動し続づけており従来は前記吐出部分
P2(第7図C参照)が糸引き状態となり、これが
第5図の破線に示すように後方へ細長く延出して
しまう結果となつていたが、本実施例では電磁弁
11が閉じると、同時にノズルが下降し基板素材
2との間隔を狭めてゆくため、この吐出部分P2
が糸引き状態となることはなく、第5図に示すよ
うに既に付着されている定常吐出部分Pの後端に
付着される。従つて不必要に後端部が延出するこ
とはなく、隣接するパターン等に悪影響を与える
ことはない。なお、この吐出部分Pdの吐出が完
了した時点で移動テーブル1の動作は停止する
(ステツプ7)。
When the substrate material 2 is set at a predetermined position on the moving table 1 and an operation start command is sent, first in step 1, the pattern formation start position of the substrate material 2 and the nozzle 3 are aligned, the height of the nozzle 3 is set, etc. Perform initial settings. Thereafter, the solenoid valve 11 is opened in response to a solenoid valve opening signal from the CPU 16, compressed air is sent into the nozzle 3, and discharge of the paste Pa (see FIG. 3a) is started (step 2).
In this embodiment, in the above-mentioned initial setting,
As shown in Figure 3, the distance h1 between the nozzle 3 and the substrate material 2 corresponds to the thickness h of the paste P to be discharged (see Figure 3c).
By setting it narrower, the unstable state until the paste P adheres to the substrate material 2 is alleviated. Thereafter, the nozzle 3 rises to a predetermined appropriate discharge position (height h 3 above the substrate material 2) as shown in FIG. 3b while discharging the paste Pa (step 3). Furthermore, the discharge flow rate of paste Pa+Pb at the start of discharge is insufficient due to the first-order delay peculiar to air pressure control, as described above. During this first delay period, the moving table does not start moving, but starts moving in response to a movement start signal from the CPU 16 when the air pressure in the nozzle 3 reaches an appropriate value (step 4). Therefore, all of the paste Pa+Pb to be discharged during the first delay period is discharged to the pattern formation start point of the substrate material 2, and as shown in FIG. 3c, the amount of paste P deposited at this start point is There is no shortage compared to that part. When the end of pattern formation is reached, the solenoid valve 11 is closed by a solenoid valve close signal from the CPU 16 (state a in FIG. 4). At the same time, the CPU 16 also controls the lifting mechanism drive device 13.
A nozzle lowering signal is output from , and the nozzle 3 descends from the position shown in Fig. 4a through the position shown in Fig. 4b to the position shown in Fig. 4c, that is, the thick film surface, while depositing the steady discharge portion P. (Step 6). By the way, even if the solenoid valve 11 is closed, the portion Pd of the paste P shown by the two-dot chain line continues to be discharged from the nozzle 3. During this time, the movable table 1 continues to move, and conventionally the discharging portion
P 2 (see FIG. 7C) becomes stringy, and this results in a long and thin extension toward the rear as shown by the broken line in FIG. 5. However, in this embodiment, when the solenoid valve 11 closes, At the same time, the nozzle descends and narrows the gap with the substrate material 2, so this discharge portion P 2
does not become stringy, and is attached to the rear end of the steady discharge portion P, which has already been attached, as shown in FIG. Therefore, the rear end portion does not extend unnecessarily and does not adversely affect adjacent patterns. Note that the operation of the movable table 1 stops when the discharge of the discharge portion Pd is completed (step 7).

[発明の効果] 以上説明したとおり、この発明によれば、回路
パターン終端部は糸引き現象を防止するととも
に、定常吐出部の厚膜と同様な均一断面形状を有
する厚膜が得られるという効果がある。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the end portion of the circuit pattern can prevent the stringing phenomenon, and can obtain a thick film having a uniform cross-sectional shape similar to the thick film of the steady discharge portion. There is.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例における制御系を
示すブロツク図、第2図はこの実施例における制
御動作を示すフローチヤート、第3図a,b,c
はこの実施例のパターンの形成開始時におけるペ
ーストの吐出状態を示す動作説明側面図、第4図
a,b,cはこの実施例のパターン形成終了時に
おけるペーストの吐出状態を示す動作説明側面
図、第5図はこの実施例によつて形成されたパタ
ーンの先端部および後端部を示す説明側面図、第
6図は従来の回路形成装置を示す斜視図、第7図
aは電磁弁の開閉信号を示す図、同図bは電磁弁
開閉信号に対するノズルからの吐出量を示す図、
同図cは従来の回路形成装置によるパターンの吐
出状態を示す図、第8図は従来の回路形成装置に
おける電磁弁閉成後のパターンの吐出状態(糸引
き状態)を示す図である。 1……移動テーブル、2……基板素材、3……
ノズル、{A……昇降機構、13……昇降機構駆
動装置}ノズル昇降手段、16……CPU(昇降制
御手段、テーブル移動制御手段)。
Fig. 1 is a block diagram showing a control system in an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a flowchart showing control operations in this embodiment, and Figs. 3 a, b, c.
4 is a side view illustrating the operation of the paste discharging state at the start of pattern formation in this embodiment, and FIGS. 4a, b, and c are side views illustrating the operation showing the paste discharge state at the end of pattern formation in this embodiment , FIG. 5 is an explanatory side view showing the front end and rear end of the pattern formed by this embodiment, FIG. 6 is a perspective view showing a conventional circuit forming device, and FIG. 7a is an illustration of a solenoid valve. A diagram showing the opening/closing signal; Figure b is a diagram showing the discharge amount from the nozzle in response to the solenoid valve opening/closing signal;
FIG. 8c is a diagram showing a pattern discharge state by a conventional circuit forming apparatus, and FIG. 8 is a diagram showing a pattern discharge state (stringing state) after the electromagnetic valve is closed in the conventional circuit forming apparatus. 1...Moving table, 2...Substrate material, 3...
Nozzle, {A...lifting mechanism, 13...lifting mechanism drive device} nozzle lifting means, 16...CPU (lifting control means, table movement control means).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 空圧制御弁の開閉によりノズルからの回路形
成材の吐出、遮断を行うと共に、基板素材を設置
した移動テーブルとノズルとを回路形成パターン
に応じて水平方向に相対移動させるようにした回
路形成装置において、 前記ノズルを昇降させるノズル昇降手段と、 前記相対移動開始を前記空圧制御弁開成後から
所定時間経過後に行うよう移動するテーブル移動
手段と、 空圧制御弁の開成後ノズルと基板素材との間隔
を吐出すべき回路形成材の厚膜より小さく設定し
た位置から予め定めた吐出適正位置までノズルを
上昇させ、その後テーブルを移動制御し、空圧制
御弁の閉成後は回路形成材の吐出適正位置から厚
膜表面までノズルを下降させテーブルを停止する
よう制御する制御手段とを備えたことを特徴とす
る回路形成装置。
[Claims] 1. Discharging and blocking the circuit forming material from the nozzle by opening and closing the pneumatic control valve, and moving the nozzle and the movable table on which the substrate material is installed relative to each other in the horizontal direction according to the circuit forming pattern. A circuit forming device configured to move the nozzle up and down, comprising: nozzle elevating means for elevating and lowering the nozzle; table moving means for moving so that the relative movement starts after a predetermined period of time has elapsed from the opening of the pneumatic control valve; After opening, the nozzle is raised from a position where the distance between the nozzle and the substrate material is set smaller than the thickness of the circuit forming material to be discharged to a predetermined appropriate discharge position, and then the table is controlled to move and the pneumatic control valve is closed. 1. A circuit forming apparatus comprising: a control means for controlling a nozzle to be lowered from an appropriate discharge position of a circuit forming material to a thick film surface and a table to be stopped after forming the circuit forming material.
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