JPH0328167A - 予備セラミツクス成形組成物 - Google Patents

予備セラミツクス成形組成物

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JPH0328167A
JPH0328167A JP2134273A JP13427390A JPH0328167A JP H0328167 A JPH0328167 A JP H0328167A JP 2134273 A JP2134273 A JP 2134273A JP 13427390 A JP13427390 A JP 13427390A JP H0328167 A JPH0328167 A JP H0328167A
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ceramic
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JP2134273A
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William E Moehle
ウイリアム・エミール・モール
John Joseph Rogers
ジヨン・ジヨセフ・ロジヤーズ
John Semen
ジヨン・セメン
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はポリシラザンから誘導される摩耗耐性が改善さ
れたセラミックス、およびこれを製造するのに有用な予
備セラミックス組或物に関する。
これを要約すれば本発明は(A)2〜50重量%のグラ
ファイト粉末および98〜50重量%の炭化珪素、窒化
珪素およびこれらの混合物から選ばれる第2の粉末から
戊る粉末戊分50〜90重量部と、それに対応し(B)
予備セラミックス・ポリシラザン接合剤50−10重量
部との緊密な混合物であって、粒径が約105μmを超
えないことを特徴とする許容できる強度をもち摩耗耐性
が改善された低密度セラミックス製品を製造し得る予備
セラミックス成形組戊物に関する。
米国特許第4 ,482 ,669号〔セイファース(
Seyferth)等−1】、同第4.645.807
号(セイファース等一!!)、同第4.650.837
号(セイファース等一III)および同第4,659.
850号[アライ(Arai)等]に記載されているよ
うに、ポリシラザンは予備セラミックス材料として有用
であり、セイ7アース等の特許−1によれば該特許記載
のポリシラザンはセラミックス粉末、例えば炭化珪素お
よび窒化珪素に対する接合剤として特に有用である。
米国特許第4,835.207号[セメン( Seme
n)等−11、同第4.895.889号(セメン等−
I1)および同第4.891,340号(セメン等−I
I+)には、予備セラミックス戊形組戊物として炭化珪
素または窒化珪素とポリシラザンとから戊り粒径が約1
05μmを超えないように微粒化した混合物を使用する
ことIこより、改善された強度をもつポリシラザンから
誘導された低密度のセラミックスを得ることができる。
セメン等の特許−1、−11およびーIII記載の予備
セラミックス組戊物から多くの用途に使用可能なセラミ
ックスが得られる。しかしポンプの部品のような他の用
途に対してはこれらの材料は所望の摩耗耐性をもってい
ない。
マテリアルズ・エンジニアリング(Materials
Enginaering)誌106巻5号(1989年
5月)39〜41頁のルイス(Levis)の論文には
、炭化珪素の中にグラファイトが高濃度で残留している
と、砂スラリ・ボング、水ポンプ、並びに腐食性および
摩耗性の多い環境で使用する軸受および密封材のような
用途において優れた摩耗耐性を示すことが記載されてい
る。
本発明においては、(A) (1) 2=50重量%の
グラ7アイト粉末および98〜50重量%の炭化珪素、
窒化珪素およびこれらの混合物から選ばれる第2の粉末
から成る粉末成分50〜90重量部と、およびそれに対
応し(2)予備セラミックス・ポリシラザン接合剤50
〜IO重量部とを緊密に混合し、(B)該混合物の粒径
をすべての粒子が105μmの篩を通るように低減させ
ることにより、許容できる強度をもち摩耗耐性が改善さ
れた低密度セラミックス製品を製造し得る予備セラミッ
クス戊形組或物が得られることが見出だされた。
本発明に使用し得るグラファイト粉末は市販の材料であ
り、非常に細かい粉末から粗い粉末に互っている。グラ
7アイト粉末の粒径はあまり重要ではないが、粒径が約
100μm以下のもの、好ましくは0.1−10μ■の
ものを使用すると処理が容易になる。
炭化珪素または窒化珪素の粉末は別々にまたは混合物と
して使用することができる。これらの第2の粉末もまた
市販されており、その粒径は非常に細かいものから粗い
粉末に互っている。好適な第2の粉末は粒径が約5ハ以
下、好ましくはluw以下のものであり、一般に平均粒
径が0.1−1.0μmであることが好ましい。
粉末の使用量はグラファイトが粉末全体の2〜50重量
%、好ましくは10〜l5重量%をなすような量である
粉末と混合する接合剤はポリシラザン、即ちセイファー
ス等の特許−11 一目およびーIII並びにアライの
特許記載のポリシラザンである。しかしセイ7アースの
特許一!記載のポリシラザン、即ち有機ジハロゲノシラ
ンー、例えばメチルジクロロシランをアンモニアと反応
させ、アンモニア分解生成物−を水素化カリウムまたは
SiH基に隣接したNH基からプロトンを引き抜き得る
他の塩基性触媒で処理し、得られた生成物を電子親和性
重合停止剤、例えばヨウ化メチルまたはジメチルクロロ
シランで重合を停止させて得られるポリシラザン、また
はこれらのポリシラザンの混合物が好適である。
使用できるポリシラザンは通常の有機溶媒、例えば脂肪
族または芳香族炭化水素、或いはジアルキルまたは脂環
式エーテルに溶解する固体であり、通常固体のポリシラ
ザンと通常液体のポリシラザンとの混合物を含んでいる
。熱分解速度を速くすることかでき−るt;めに、通常
は固体で可溶性をもっt;高分子量のポリシラザンが好
適である。
高温において良好な強度保持性が望ましいときには、使
用するポリシラザンはアルカリ金属含量が約100pp
m+,好ましくは約5ppmより高くてはいけない。製
造されたポリシラザンが不純物としてこれより多くのア
ルカリ金属を含んでいる場合には、適当な方法、例えば
かポリシラザンを有機溶媒に溶解して濾過する方法で不
純物の量を減らさなければならない。
ポリシラザンの使用量は本発明の予備セラミックス成形
組或物が50〜90重量%、好ましくは70〜80重量
%の粉末と50〜IO重量%、好ましくは30〜20重
量%の接合剤とを含むような量である。
必要に応じ随時添加する戊分、例えばボリイソブテニル
スクシノイミド、他の分散剤、並びに他の添加剤、例え
ば公知セラミックス戊形組成物に使用される酸化防止剤
を含ませて本発明の組或物を変性することができる。こ
のような添加剤は少量で使用する。例えば分散剤は典型
的には約5重量%以下の濃度で使用される。
セラミックスは予備セラミックス組或物から部材を製造
するのに適した温度および圧力、通常は温度60〜22
5℃、圧力6.8〜343MPaにおいて、適当な戊形
法、例えば圧縮戊形、射出戊形または移送成形法、或い
は押出し法により虞形し、次いで虞形された組戊物を窒
素またはアルゴンのような不活性雰囲気中で温度120
0−1450℃、好ましくは約1300℃に加熱して熱
分解することによりつくられる。熱分解に必要な時間は
最終的な熱分解温度によって変わり、好適な熱分解温度
では少なくとも1時間であり、これよりも温度が高いと
短く、温度が低いと長くする。
本発明の利点は予備セラミックス成形組戊物中にグラフ
ァイトを含ませることにより、許容できる強度をもちセ
マン等の特許記載のような酷.似した予備セラミックス
組成物からつくられたセラミックスよりも良好な摩耗耐
性をもつ低密度のセラミックス製品が得られる点である
下記実施例により本発明を例示する。これらの実施例は
本発明を限定するものではない。下記実施例においては
十分に乾燥した装置、精製した原料および不活性雰囲気
を使用して、合戊、処理および貯蔵中にポリシラザンが
水および活性水素をもった他の物質に侵されることを防
いだ。
実施例l ポリシラザンの合戊 第1部 適当な反応器に15.4Qの無水テトラヒド口フランを
入れ、約一10℃に冷却した後、1970g (17.
12モル)のメチルジクロロシランを容器番=加え、約
60rpmで撹拌を開始する。無水アンモニアのガス8
85g (51.96モル)を、反応圧力が400kP
a以下に保たれ反応温度が0〜10℃に保持されるよう
な流速でゆっくりと反応器の中に定常的に導入する。
さらに約3時間反応混合物を0″Oで撹拌した後、反応
混合物を周囲温度に加温し、この間系全体にゆっくりと
窒素を流して過剰のアンモニアを大部分追い出す。次い
で反応混合物を遠心濾過して副戒物の粒状塩化アンモニ
ウムを除去して透明な液相を得る。2〜312の無水テ
トラとドロフランでフィルター・ケーキを洗滌し、さら
に透明な液を得る。
この液を前の液相と一緒にする。
第2部 第1部でアンモニア分解反応により得られた液相を、0
℃の冷却液で冷却されたジャケット付きの撹拌容器に入
れる。次いで反応器にio.61g(0.264モル)
の水素化カリウム粉末を加え、0°Cにおいて22時間
撹拌する。次いで125.16g (1.323モル)
のジメチルク口ロシランを反応混合物に加えて重合反応
を停止させる。さらに数時間撹拌した後、反応器中に数
分間無水アンモニアを通して過剰のジメチルクロロシラ
ンを中和する。周囲温度に加温した後、真空回転蒸発器
で反応液を約312に濃縮する。濃縮した溶液を0.2
μのテフロンのフィルターを通して加圧濾過し、18.
8重量%の不揮発性固体を含む透明な溶液3320gを
得た。
このようにしてつくった溶液の同相はセイ7アースの特
許一!のポリシラザンと矛盾のないプロトンNMRスペ
クトルを示し、カリウム元素の含量は5ppmより少な
く、塩素元素の含量は7ppII1より少なかった。較
正標準として分子量分布の狭いボリスチレンを使用しテ
トラヒド口フラン溶媒中でCPCにより決定された重量
平均分子量は約8800であった。
実施例2 戊形組或物の製造 実施例Iでつくられたポリシラザン溶液133g (乾
燥重合体残留物25.0g) 、粒径0.65μmの炭
化珪素粉末65g1粒径が44μ一より小さいグラファ
イト粉末log,および市販のボリインプテニルスクシ
ノイミド分散剤0.5gを適当な容器に入れる。この混
合物を約30分間機械的に撹拌し、約45分間超音波を
かけて粉末を分散させた後、真空回転蒸発器を用いて周
囲温度で蒸発させ非流動性の残渣をつくり、次いで数日
間真空乾燥する。乾燥した残渣を乳鉢で軽く粉砕して−
30メッシュの粉末、即ち粒径が590/Zmより小さ
い粉末にする。この−30メッシュの粉末および直径約
0 . 6cmの炭化珪素の粉砕用ボールを1.4Qの
セラミックス粉砕ジャーに入れ、約2時間ローラで粉砕
する。ローラ粉砕した材料を乾燥状態で米国標準No.
l40の篩にかけ、−140メッシュの成形i戊物粉末
、即ち粒径が約105μm以下の粉末54.8gを得た
実施例3 セラミックス試験試料の製造 第1部 公称の直径約1cm,長さ12.7cmの鋼の分割キャ
ビティー戊形型の中で実施例2の戊形組戊物粉末から生
の成形捧試料をつくった。成形キャビティーをシリコー
ンの型抜き剤で被覆し、次いで型を120〜130°C
に加熱し、威形組或物粉末4.6〜5.5gを充填する
。充填した戊形型を66.7Paに減圧し、これに13
.3kN (圧力173MPa)の力を約5分間かけて
一軸方向に加圧する。しかる後成形型を圧力をかけない
で約15分間冷却した後、型から戊形した棒試料を取り
出した。
第2s アルミナの処理管を備えた管式の炉中で(1)生の棒を
処理管の中に素速く入れ、(2)乾燥窒素ガスを数回処
理管中に逆流させて乾燥窒素雰囲気をつくり、(3)処
理管の中に14.2Q/時間の速度で窒素ガスを流し、
(4)窒素ガス流中で棒を毎時60℃の速度で室温から
60℃に加熱し、毎時30℃の速度で60℃から260
℃に加熱し、毎時120゜Cの速度で260℃から13
00℃に加熱し、l300℃に1時間保ち、毎時120
0℃の速度で1100℃に冷却し、加熱器を切ることに
より得られる速度で100℃より低い温度に冷却するこ
とにより第1部の生の棒を熱分解してセラミックスの棒
にした。熱分解で得られた試料は公称の直径が0 . 
9cm,長さ2.5〜3.0cn+の黒色の棒であり、
その密度は2.18g/cc,曲げ強さl5.9kg/
mm”、比強度?.3(kg/IIys”)/(g/c
c)であった。
実施例4 セラミックス試料の試験 実施例3のセラミックスの棒について回転摩耗試験を行
った。この試験では試料を25〜50gの錘りを付けた
試料アーム上において、直径10.2cmの潤滑剤を付
けないステンレス鋼製の回転する車へII械的に押し付
ける。試験の前後において試料および車の両方の重さを
秤る。試験により生じた試料および車の両゛方の重量減
は0.05gより少なかった。これに対し10gのグラ
ファイト粉末の代わりに余分に10gの炭化珪素の粉末
を使用した組虞物から試験試料を作ったこと以外実施例
2〜4の方法を繰り返して行った試験においては、試料
と車との重量減は1.0gよりも多かった。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.(A)2〜50重量%のグラファイト粉末および9
    8〜50重量%の炭化珪素、窒化珪素およびこれらの混
    合物から選ばれる第2の粉末から成る粉末成分50〜9
    0重量部と、それに対応し(B)予備セラミックス・ポ
    リシラザン接合剤50〜10重量部との緊密な混合物で
    あって、粒径が約105μmを超えないことを特徴とす
    る予備セラミックス成形組成物。
JP2134273A 1989-05-26 1990-05-25 予備セラミツクス成形組成物 Pending JPH0328167A (ja)

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US07/357,542 US4942145A (en) 1989-05-26 1989-05-26 Preceramic compositions and ceramic products
US357542 1989-05-26

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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5342563A (en) * 1991-11-22 1994-08-30 The Lubrizol Corporation Methods of preparing sintered shapes and green bodies used therein
US5433261A (en) * 1993-04-30 1995-07-18 Lanxide Technology Company, Lp Methods for fabricating shapes by use of organometallic, ceramic precursor binders
US5641817A (en) * 1993-04-30 1997-06-24 Lanxide Technology Company, Lp Methods for fabricating shapes by use of organometallic, ceramic precursor binders
US5563212A (en) 1994-05-24 1996-10-08 Exxon Research And Engineering Company Synthesis of microporous ceramics
US5696217A (en) * 1994-05-24 1997-12-09 Exxon Research & Engineering Company Synthesis of microporous ceramics by ammonia pyrolysis of ceramic precursors
US5643987A (en) * 1994-05-24 1997-07-01 Exxon Research And Engineering Company Synthesis of microporous ceramics
US5486496A (en) * 1994-06-10 1996-01-23 Alumina Ceramics Co. (Aci) Graphite-loaded silicon carbide
US5952421A (en) * 1995-12-27 1999-09-14 Exxon Research And Engineering Co. Synthesis of preceramic polymer-stabilized metal colloids and their conversion to microporous ceramics
US5852088A (en) * 1995-12-27 1998-12-22 Exxon Research And Engineering Company Nanoporous ceramics with catalytic functionality
DE10030011A1 (de) 2000-06-17 2002-01-03 Sgl Carbon Ag Formteil aus von Polymeren abgeleiteter Keramik
DE10154739B4 (de) * 2001-11-09 2005-09-01 Ab Skf Verfahren zur Herstellung keramischer Lagerbauteile
US6692597B2 (en) * 2001-12-03 2004-02-17 Frederick M. Mako Ceramic joining
US6716800B2 (en) 2002-04-12 2004-04-06 John Crane Inc. Composite body of silicon carbide and binderless carbon, process for producing such composite body, and article of manufacturing utilizing such composite body for tribological applications
DE20212848U1 (de) * 2002-08-21 2002-10-31 Burgmann Dichtungswerke GmbH & Co. KG, 82515 Wolfratshausen Gleitringdichtungsanordnung
US6953760B2 (en) * 2003-06-04 2005-10-11 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Ceramic component containing inclusions
US20060063059A1 (en) * 2004-07-01 2006-03-23 Ceramatec, Inc. Amorphous, non-oxide seals for solid electrolyte or mixed electrolyte cells
US7214342B2 (en) 2004-07-23 2007-05-08 Schunk Ingenieurkeramik Gmbh Method of making a composite silicon carbide
DE102014216433A1 (de) * 2014-08-19 2016-02-25 Schunk Kohlenstofftechnik Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers sowie Formkörper
CN111286224B (zh) * 2018-12-07 2021-12-07 中国计量大学 一种用于锅炉受热面抗高温氯腐蚀涂层及制备方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3459566A (en) * 1967-01-03 1969-08-05 Carborundum Co Process for producing silicon carbide articles employing pyromellitic dianhydride-limonene dioxide mixture
DE2243527A1 (de) * 1972-09-05 1974-04-18 Bayer Ag Formkoerper aus homogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer herstellung
US4720532A (en) * 1986-08-22 1988-01-19 Massachusetts Institute Of Technology Organopolysilazane precursors to silicon nitride-rich mixed SiC/Si3 N4
US4777234A (en) * 1986-08-25 1988-10-11 Case Western Reserve University Silicon carbide precursors
US4835207A (en) * 1987-11-13 1989-05-30 Ethyl Corporation Preceramic compositions and ceramic products
US4895889A (en) * 1988-05-12 1990-01-23 Ethyl Corporation Preceramic compositions

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Publication number Publication date
US4942145A (en) 1990-07-17
EP0400862A1 (en) 1990-12-05

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