JPH03283635A - ウエハ用バスケットおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、半導体回路を構成するシリコンウェハを多数
収容した状態で搬送ないしは各種処理を行うためのウェ
ハ用バスケットおよびその製造方法に関する。

発明の技術的背景 一般に、ＩＣ１ＬＳＩの製造工程においては、偏平なシ
リコンウェハを多数枚収容して搬送ないしは各種処理を
行うためのウェハ用バスケットが広く使用されている。

このウェハ用バスケットには、工程管理面からの要請に
より、製造ロフトの番号、製造年月日等を表示する識別
マークが付され、このバスケット内に収容されたシリコ
ンウェハを個別に管理している。

従来のウェハ用バスケットでは、前記識別マークを、直
接ウェハ用バスケットにフェルトペン等を用いて書くか
あるいは識別マークを書き込んだシールを貼っていた。

しかし、このような手段では、識別用の記号が煩雑にな
ったり、また書いた文字が消え昌いとかシールが剥れ易
いなどという欠点があった。

そこで、最近では、例えば、第６図に示すようなウェハ
用バスケット１を使用している。このウェハ用バスケッ
ト１は、内部に多数のウェハＷを収納する溝部２が形成
されたバスケット本体３を有し、このバスケット本体３
の側壁４又は端壁５等からなる外周壁６には、識別マー
クＭとしての突起７が複数個形成されている。この突起
７は、各バスケット１によりその位置あるいは個数等が
適宜変えられており、これを光センサ（図示せず）等に
より検知することにより、当該バスケット１が所定の処
理ラインに自動的に搬送されるようになっている。

しかし、このウェハ用バスケット１では、ウェハＷを化
学処理する処理液等によりバスケット１の構成材が化学
的劣化を受は前記突起７の表面が変化し、それに伴い反
射率が変化し識別精度が低下するおそれがあった。

また、識別マークが付された物をバスケット本体に着脱
可能にすることも考えられるが、この場合には、識別マ
ークが付された物の着脱が面倒であるという問題があり
、さらに、識別マークが付された物を取違えてバスケッ
ト本体に取付けるおそれがある。従って、可能であれば
識別マークは、着脱されずに、バスケット本体に固定的
である方が好ましいと考えられる。

この識別マークがバスケット本体に固定されたものの一
例として、特開昭６１−２３６．１３６号公報、特開昭
６１−２６７．３３８号公報及び特開昭６２−１２３．
７３５号公報等に開示された技術がある。これら公報に
は、それぞれ、情報表示素子、セラミック共振子及びＩ
Ｃカードを前記識別マークの代用手段として使用したも
のが開示されているが、このような識別手段は、種々の
付帯設備を必要とし、設備コストが高くなるという欠点
がある。また、セラミック共振子及びＩＣカードなどは
、バスケット本体に一体成型される必要があるが、これ
らＩＣカードなどは、バスケット本体の成型時の温度に
ほとんど耐えることができないため、これらＩＣカード
などを前記識別マークの代用手段として用いることは、
およそ現実的でない。また、たとえＩＣカードなどをバ
スケット本体中に埋め込めたとしても、バスケ。

トにウェハを入れて各種薬液に浸し、ウェハに種々の処
理を行なう際に、ＩＣカードが各種薬液で機能が損なわ
れる虞があり好ましくない。

そこで耐薬品性に優れたマークプレートを作成し、この
マークプレートをウェハ用バスケット本体の側壁に熱融
着することが本発明者等により開発されている。しかし
ながら、マークプレートを熱融着する際に、マークプレ
ートまたはウェハバスケット本体が熱により変形する虞
が有ることが本発明者等によって見出されている。ウェ
ハ用バスケットが変形すると、バスケットに歪みが生じ
、ウェハを当該バスケットから出し入れする際にウェハ
の破損を生じる虞があった。このような傾向は、とくに
融着面積が大きい場合に顕著であった。

また、融着面積を少なくするため、マークプレートとウ
ェハ用バスケットの側壁とを面接触させた状態でその一
部のみを融着しようとすると、マークプレートと側壁と
の間に隙間が生じ、これが空気溜まりとなり、その結果
ウェハバスケット内に液溜まりを生じ、たとえばウェハ
洗浄時またはエツチング時の薬液汚染防止の観点から好
ましくなかった。

発明の目的 本発明は、上述した欠点、問題点に鑑みてなされたもの
で、識別精度に優れ、識別マークが付された物を取り外
すことなく、各種薬液に浸されても識別マークが消える
ことなく、この識別マークが付されたウェハ用バスケッ
トの取違えを防止し、しかも歪みがなく微小な空気溜ま
りも有さないウェハ用バスケットを提供することを目的
とする。

また本発明は、ウェハ破損の原因となる歪みを形成する
ことなく、またウェハ洗浄時あるいはエツチング時の薬
液汚染の原因となる空気溜まりあるいは液溜まりを形成
することなく、識別マークが付されたマークプレートが
融着固定されたウェハ用バスケットを製造するための方
法を提供することも目的とする。

発明の概要 このような目的を達成するために、本発明に係るウェハ
用バスケットは、バスケット本体の外周壁に識別マーク
を有するウェハ用バスケットにおいて、 前記識別マークが付された表面を有する基材と、この基
材の表面にラミネートされ、前記識別マークを目視でき
る透明性および耐薬品性を有するフィルムとから成るマ
ークプレートが、前記バスケット本体の外周壁に形成し
てある貫通孔内に位置し、この貫通孔の周縁の一部から
内方に突出している内方突片の先端が前記マークプレー
トの一部に融着固定してあることを特徴としている。

また本発明に係るウェハバスケットの製造方法は、バス
ケット本体の外周壁に識別マークを有するウェハ用バス
ケットを製造する方法において、識別マークを基材の表
面に付する工程と、この基材の表面を、前記識別マーク
が目視できる透明性および耐薬品性を有するフィルムで
ラミネートしてマークプレートを形成する工程と、バス
ケット本体の外周壁に貫通孔が形成してあり、この貫通
孔の周縁の一部に内方突片が形成してあるバスケット本
体を形成する工程と、前記マークプレートを前記貫通孔
内に位置させ、前記内方突片の先端を前記マークプレー
トの一部に融着固定する工程とを有することを特徴とし
ている。

このような本発明に係るウェハ用バスケットおよびその
製造方法によれば、識別マークが付されたマークプレー
トの基材の表面に耐薬品性の表面側フィルムがラミネー
トされている。そのため、識別マークが薬品などにより
侵されず、識別表示の精度が低下することもない。また
、マークプレートがバスケット本体に固定されているた
め、マークプレートを着脱する煩雑さが無く、また、マ
ークプレートを取違えることを防止できる。

しかも本発明では、マークプレートとウェハバスケット
本体との融着部分が、ウェハ用バスケット本体の外周壁
に形成してある貫通孔の内方突片の先端部分であり、融
着部分が小さいので、マークプレートやバスケット本体
が熱変形してウェハ用バスケットが歪む虞もない。した
がってウェハ用バスケットの歪みによるウェハの破損も
生じない。

また、マークプレートとバスケット本体とは、融着部分
以外では接触していないため、これらの間に微小な隙間
が生じることもなく、それが空気溜まりあるいは液溜ま
りとなることもない。したがって、微小な液溜まりによ
るウェハ洗浄時あるいはエツチング時等の薬液汚染も防
止できる。

発明の詳細な説明 以下、図面に示す実施例を参照して本発明を説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す概略斜視図、第２図は
第１図に示す■−■線に沿う断面図、第３〜５図は本発
明の一実施例に係るウェハ用バスケットの製造方法を示
す斜視図、要部正面図、断面図であり、第６図に示す部
材と共通する部材には同一符号を付してある。

第１図に示すウェハ用バスケット１０は、半導体回路を
構成するシリコンウェハＷを並列的に多数収容するバス
ケット本体３を有している。

このバスケット本体３は、シリコンウェハＷに順次化学
処理を施こすために、耐薬品性を有する素材で造られて
おり、内部には、前記シリコンウェハＷを多数収容する
溝部２が形成され、外周壁のうちの端壁５には、貫通孔
８が形成してあり、この貫通孔内にマークプレート１１
が位置し、この貫通孔の周縁の一部から内方に突出して
いる一対の内方突片１２．１３を介してマークプレート
１１が融着固定されている。本実施例では、マークプレ
ート１１の両側部に、前記内方突片１２に対応して外方
突片１４，１５が形成してあり、これら突片がそれぞれ
熱融着式となり、相互に熱融着してある。

このマークプレート１１は、第２図に示すように、表面
にバーコード等の識別マークが付された紙あるいは合成
樹脂などからなる基材１６を、耐薬品性フィルム１８、
例えば、フッ素樹脂フィルムによりラミネートしたもの
である。耐薬品性フィルム１８を構成するフッ素樹脂と
しては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）　、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキ
ルビニルエーテルとの共重合体であるＰＦＡ、テトラフ
ルオロエチレンとへキサフルオロプロピレンとの共重合
体であるＦＥＰ、あるいはテトラフルオロエチレンとへ
キサフルオロプロピレンとパーフルオロアルキルビニル
エーテルとの共重合体であるＥＰＥなどが例示される。

本実施例では、フィルム１８は、基材１６の表面、側面
および裏面の全周囲を被うようにラミネートしてある。

なお、基材１６は、ラミネートされたフィルム１８が破
れてもよいようにＰＴＦＥ等の耐薬品性に優れた基材を
使用することが好ましい。また識別マークはカーボン系
のものがよい。また、識別マークＭが付された基材１６
の表面側を被うフィルム１８は、前記識別マークＭが外
部から目視できる程度に薄い半透明のもの、あるいは全
体的又は部分的に透明である必要がある。また、このよ
うな耐薬品性フィルム１８は、表面側がＰＦＡで裏面側
がＰＴＦＥというように表と裏が異なった材質でもよい
。

このように構成されたマークプレート１１は、その両側
部に形成してある一対の外方突片１４゜１５の先端がバ
スケット本体３の端壁５の貫通孔に形成してある内方突
片１２．１３の先端に融着固定されている。

熱融着に際しては、第３図に示すように、まず、バスケ
ット本体３の端壁５に貫通孔８が形成してあり、この貫
通孔８の周縁の一部に内方突片１２゜１３が形成してあ
るバスケット本体３を準備すると共に、前述したマーク
プレート１１を準備する。

次にマークプレート１１を貫通孔８内に位置させ、外方
突片１４．１５が、それぞれ内方突片１２゜１３に突き
合わさるようにする。

そして、第４．５図に示すように、凸部２０を有する凸
金型２１と、凹部２２を有する凹金型２３との間に、突
片相互の突き合せ部分を介在させ、これらを加熱するこ
とにより熱圧着し、融着部２５を形成する。その際に、
突片相互間に融着用部材を介在させても良いし、介在さ
せなくとも良い。マークプレートの基材がＰＴＦＥであ
り、その表面にラミネートしてあるフィルム１８がＰＦ
Ａである場合には、加熱温度は３３０〜３５０℃であり
加圧力は、０．５ｋｇ／ａＩ以上が好ましい。これによ
り、両者の突片が良好に溶融して外方突片１４．１５と
内方突片１２，１３とを熱圧着させる。

なお、融着は、金型を用いる熱圧着に限らず、溶接であ
っても良い。また、本発明では、突片相互の融着部２５
の数は限定されず、２か所以上であっても良く、また必
ずしも外方突片１４，１５が必要なものではない。ただ
し、内方突片１２゜１３の厚さは、外方突片１４．１５
がある場合にはその厚さ、これら突片がない場合にはマ
ークプレート１１の厚さに略等しいことが好ましい。内
方突片１２．１３の幅は、外方突片１４．１５の幅に略
等しいことが好ましい。熱融着時の熱歪みを極力小さく
するためである。

次に作用を説明する。

シリコンウェハＷの工程管理面から必要な情報、例えば
、製造ロフトの番号、製造年月日等が表示された識別マ
ークＭが付されたマークプレート１１を備えたウェハ用
バスケット本体３の内部に、所定のシリコンウェハＷを
多数収容する。

このマークプレート１１は、耐薬品性フィルムによりラ
ミネートされているので、バスケット本体３を直接薬品
浴槽等に浸漬したとしても、前記識別マークＭが薬品な
どにより侵されることはない。

したがって、この識別マークＭをバーコード読取り装置
により読取る場合にも、その識別精度が低下することは
なく、確実に読取ることができる。

また、マークプレート１１がバスケット本体３に固定さ
れているため、マークプレート１１を着脱する煩雑さが
無く、また、マークプレート１１を取違えることを防止
できる。さらに、マークプレートが融着によりバスケッ
ト本体に固定されているため、マークプレートが外れる
虞がない。

なお、本発明は、上述した実施例のみでなく、マークプ
レート１１を固定する位置は、端壁５のみでなく側壁４
などの外周壁６であればよいことはいうまでもない。ま
た、識別マークＭとしては、バーコードに限らず、その
他公知の識別マークであっても良い。

さらに、基材１６の表面と裏面とにのみ、耐薬品性フィ
ルム１８をラミネートするようにしても良い。この場合
、基材１６の側面が露出するので、基材１６も耐薬品性
に優れた材質である必要がある。

発明の効果 以上述べたように、本発明に係るウェハ用バスケットお
よびその製造方法によれば、識別マークが付されたマー
クプレートの基材の表面に耐薬品性の表面側フィルムが
ラミネートされている。そのため、識別マークが薬品な
どにより侵されず、識別表示の精度が低下することもな
い。また、マークプレートがバスケット本体に固定され
ているため、マークプレートを着脱する煩雑さが無く、
また、マークプレートを取違えることを防止できる。

しかも本発明では、マークプレートとウェハバスケット
本体との融着部分が、ウェハ用バスケット本体の外周壁
に形成してある貫通孔の内方突片の先端部分であり、融
着部分が小さいので、マークプレートやバスケット本体
が熱変形してウェハ用バスケットが歪む虞もない。した
がってウエノ１用バスケットの歪みによるウェハの破損
も生じない。

また、マークプレートとバスケット本体とは、融着部分
以外では接触していないため、これらの間に微小な隙間
が生じることもなく、それが空気溜まりあるいは液溜ま
りとなることもない。したがって、微小な液溜まりによ
るウェハ洗浄時あるいはエツチング時等の薬液汚染も防
止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略斜視図、第２図は
第１図に示すｎ−ｎ線に沿う断面図、第３〜５図は本発
明の一実施例に係るウエノ１用バスケットの製造方法を
示す斜視図、要部正面図、断面図、第６図は従来のウェ
ハ用バスケットを示す概略斜視図である。 ３・・・バスケット本体、　　４・・・側壁、５・・・
端壁、６・・・外周壁、８・・・貫通孔、１０・・・ウ
ェハ用バスケット、 １１・・・マークプレート、 １２．１３・・・内方突片、 １４．１５・・・外方突片、 １８・・・フィルム、 Ｗ・・・シリコンウェハ。 １６・・・基材、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）バスケット本体の外周壁に識別マークを有するウェ
   ハ用バスケットにおいて、 前記識別マークが付された表面を有する基材と、この基
   材の表面にラミネートされ、前記識別マークを目視でき
   る透明性および耐薬品性を有するフィルムとから成るマ
   ークプレートが、前記バスケット本体の外周壁に形成し
   てある貫通孔内に位置し、この貫通孔の周縁の一部から
   内方に突出している内方突片の先端が前記マークプレー
   トの一部に融着固定してあることを特徴とするウェハ用
   バスケット。 ２）前記マークプレートの外周の一部に外方に突出する
   外方突片が形成してあり、この外方突片と前記内方突片
   とが略同一の幅と厚さとを有しており、これら突片相互
   が融着固定してある請求項第１項に記載のウェハ用バス
   ケット。 ３）バスケット本体の外周壁に識別マークを有するウェ
   ハ用バスケットを製造する方法において、識別マークを
   基材の表面に付する工程と、 この基材の表面を、前記識別マークが目視できる透明性
   および耐薬品性を有するフィルムでラミネートしてマー
   クプレートを形成する工程と、バスケット本体の外周壁
   に貫通孔が形成してあり、この貫通孔の周縁の一部に内
   方突片が形成してあるバスケット本体を形成する工程と
   、 前記マークプレートを前記貫通孔内に位置させ、前記内
   方突片の先端を前記マークプレートの一部に融着固定す
   る工程とを有するウェハ用バスケットの製造方法。