JPH0639453Y2 - ウエハ用バスケット - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、半導体回路を構成するシリコンウェハを多数
収容した状態で搬送するためのウェハ用バスケットに関
する。

考案の技術的背景ならびにその問題点 一般に、IC,LSI等の製造工程においては、偏平なシリコ
ンウェハを多数枚収容して搬送するためのウェハ用バス
ケットが広く使用されている。

このウェハ用バスケットには、工程管理面からの要請に
より、製造ロットの番号、製造年月日等を表示する識別
マークが付され、このバスケット内に収容されたシリコ
ンウェハを個別に管理するようにしている。

従来のウェハ用バスケットでは、前記識別マークを、直
接ウェハ用バスケットの壁面にフェルトペン等を用いて
書くか、或いは識別マークを書き込んだシールを貼って
いた。

しかし、このような手段では、識別用の記号が煩雑とな
ったり、また書いた文字が消え易いとか、シールが剥れ
易いなどという欠点があった。

そこで、最近では、例えば、第６図に示すようなウェハ
用バスケット１が使用されている。

このウェハ用バスケット１は、内部に多数のシリコンウ
ェハＷを収納する溝部２が形成されたバスケット本体３
を有し、このバスケット本体３の側壁４または端壁５等
からなる外周壁６に、識別マークＭとしての突起７が複
数個形成されている。この突起７は、各バスケット１に
よりその位置或いは個数等が適宜変えられており、これ
を光センサ（図示せず）等により検知することにより、
当該バスケット１が所定の処理ラインに自動的に搬送さ
れるようになっている（実開昭61-158943号公報、実開
昭62-239635号公報等参照）。

しかし、このウェハ用バスケット１では、シリコンウェ
ハＷを化学処理する処理液等によりバスケット１の構成
材が化学的劣化を受け前記突起７の表面が変化し、それ
に伴い反射率が変化し識別精度が低下するおそれがあ
り、また、バスケット本体３自体に突起７を形成してい
ることから、識別マークＭが各バスケット毎に固定的に
なり、他のウェハ用バスケットに使用できす、汎用性に
欠けるという欠点がある。

また、特開昭60-211957号公報には、ウェハ用バスケッ
トの本体に孔を複数個設け、この孔を適宜栓により閉塞
することにより前述した識別マークとなし、これを電気
的な手段等により読み取るようにしたものが開示されて
いる。

しかし、これも前記突起７を形成したものと同様に、識
別マークが固定的になり、他のウェハ用バスケットに使
用できず、汎用性に欠けるという欠点がある。更に、特
開昭61-236136号公報、特開昭61-267338号公報及び特開
昭62-123735号公報等には、それぞれ前記識別マークの
代用手段として、情報表示素子、セラミック共振子及び
ICカードを使用したものが開示されているが、このよう
な識別手段は、個々に付帯設備を必要とし、設備コスト
が高くなるという欠点がある。

ここに、ウェハ用バスケットは、前述のように、内部に
多数のシリコンウェハを収容した状態で、シリコンウェ
ハに対する化学処理の際に、直接薬品浴槽に浸漬される
こともあるので、識別マークが薬品に侵されたり、また
この薬品溶液の中に不純物が溶け出さないようにする必
要がある。

考案の目的 本考案は、上記に鑑みてなされたもので、識別精度に優
れ、識別マークの変更表示が可能な、汎用性のある、し
かも高価な付帯設備を必要としないばかりでなく、薬品
に侵されたり、薬液内に不純物が溶け出してしまうこと
がないようにしたウェハ用バスケットを提供することを
目的とする。

考案の概要 このような目的を達成するため、本考案に係るウェハ用
バスケットは、バスケット本体の外周壁に識別マークを
有するウェハ用バスケットにおいて、前記バスケット本
体の外周壁にはプレート取付部が形成してあり、このプ
レート取付部にマークプレートが着脱自在に取付けら
れ、このマークプレートは、前記識別マークが付された
耐薬品性を有する四フッ化エチレン樹脂製の基板と、こ
の基板の表面にラミネートされ、識別マークを目視でき
る透明性および耐薬品性を有する四フッ化エチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂製のフ
ィルムから成ることを特徴とするものである。

このような構成のウェハ用バスケットにあっては、接着
剤を使用することなく耐薬品性を有するフッ素樹脂のみ
で、しかも識別マークをフィルムで覆ってマークプレー
トを構成し、これをバスケット本体に着脱自在に取付け
たので、マークプレートが薬品などにより侵されず、か
つ識別マークをフィルムで有効に保護して識別時の精度
が低下することもなく、しかも接着剤等の不純物が薬液
中に溶け出してこれを汚してしまうこともない。また、
マークプレートを容易に他の識別表示がなされたマーク
プレートと変更できるので、汎用性に優れたバスケット
となる。

考案の具体的説明 以下、図面に示す実施例を参照して本考案を詳細に説明
する。

第１図は本考案の一実施例を示す概略斜視図であり、第
５図に示す部材と同一部材には同一符号を付してある。

第１図に示すウェハ用バスケット10は、半導体回路を構
成するシリコンウェハＷを並列的に多数収容するバスケ
ット本体３を有している。

このバスケット本体３は、シリコンウェハＷに順次化学
処理を施すために、耐薬品性を有する素材で造られてお
り、内部には、前記シリコンウェハＷを多数収容する溝
部２が形成され、端壁５にマークプレート11が着脱自在
に取付けられるようになっている。

このマークプレート11は、第２図に示すように、表面に
バーコード等の識別マークＭが付された耐薬品性を有す
る四フッ化エチレン樹脂（PTFE）製の基材12に、透明性
および耐薬品性を有する四フッ化エチレン−パーフルオ
ロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂（PFA）製のフ
ィルム13をラミネートしたものである。

ここに、前記PTFE及びPFAは、いかなる物質にも貼着し
ない、即ち接着剤が効かない性質を有しているため、PT
FE製の基板12へのPFA製のフィルム13のラミネートは、
両者12,13を溶融させた熱溶着によってなされている。

即ち、PTFEは、融点が約327℃で、PFAは、融点が約305
℃であるため、例えばPTFE製の基板12の上下にPFA製の
フィルム13をサンドイッチ状に挟んだ状態で、これを前
記PTFEの融点以上に加熱することによって、両者を溶融
させて熱溶着させている。

ここに、PTFEは、融点以上になっても流動しない性質を
有しているため、このように熱溶着させても、PTFE製の
基板12の表面に付した識別マークＭが消えたり、歪んで
しまったりすることはない。

識別マークＭはカーボン系のものがよく、またPTFE製の
基板12は、そのままでは、インクが乗りにくいので、切
削後、再焼成処理したものを使うことが好ましい。再焼
成によってPTFE製の基板12の表面が粗面化され、インク
の乗りが良くなるからである。

なお、前記PFA製のフィルム13は、前期識別マークＭが
外部から目視できる程度に薄い半透明のもの、或いは全
体的または部分的に透明である必要がある。

そして、このマークプレート11は、前記バスケット本体
３の端壁５に設けたプレート取付部Ｔに着脱自在に取付
けられている。

このプレート取付部Ｔは、本実施例の場合は、突起Taで
あり、この突起Taが前記マークプレート11に設けられた
取付孔Ｏに嵌合するようになっている。

次に作用を説明する。

前記ウェハ用バスケット本体３の内部にシリコンウェハ
Ｗを多数収容した後に、このシリコンウェハＷの工程管
理面から必要な情報、例えば製造ロットの番号、製造年
月日等が表示された識別マークＭが付されたマークプレ
ート11を取付ける。

このマークプレート11は、識別マークＭを付した耐薬品
性を有するPTFE製の基板12の表面に、耐薬品性を有する
PAF製のフィルム13をラミネートして構成されているの
で、バスケット本体３を直接薬品浴槽等に浸漬したとし
ても、マークプレート11、ひいては前記識別マークＭが
薬品などにより侵されることはない。

従って、この識別マークＭをバーコード読み取り装置に
より読み取る場合にも、その識別精度が低下することは
なく、確実に読み取ることができる。

しかも、マークプレート11は、接着剤を使用することな
く、耐薬品性を有するフッ素樹脂のみから構成されてい
るので、薬液によってマークプレート11が侵されたり、
接着剤等の不純物が薬液中に溶け出してこれを汚してし
まうことがない。

また、前記ウェハ用バスケット内部のシリコンウェハＷ
を他のものと交換したために、識別マークＭを変更する
場合には、他の識別マークＭが付されたマークプレート
11をバスケット本体３の端壁５等に取付ければよい。こ
のようにすれば、マークプレート11を他のものと交換す
るのみで、バスケット本体３を共用化でき、バスケット
本体３の汎用性が増すことになる。

第３図は、本考案の他の実施例を示すもので、このプレ
ート取付部Ｔは、バスケット本体３の端壁５に一対のＬ
字状のアングル材16,16を取付け、この両アングル材16,
16の両内側面によりマークプレート挿入溝17を形成した
ものである。

本実施例では、このマークプレート挿入溝17に前記マー
クプレート11を挿入することによりマークプレート11を
取付けるようにしているが、このマークプレート11の脱
落を完全に防止するには、前記マークプレート挿入溝17
の幅l₁よりマークプレート11の幅l₂を多少大きめとする
か、或いはこのマークプレート11とマークプレート挿入
溝17とが凹凸嵌合するように構成する必要がある。

第４図は、本考案の更に他の実施例を示すもので、この
プレート取付部Ｔは、バスケット本体３の端壁５に一対
の取付孔18,18を形成したもので、この両取付孔18,18に
マークプレート11側より突出したピン19を嵌合するよう
にしてある。

この場合も、マークプレート11の脱落を完全に防止する
ためには、前記ピン19を、先端に突起を有する割ピンと
し、これが前記取付孔18に係合するようにするのが好ま
しい。

第５図は、本考案の更に他の実施例を示すもので、この
プレート取付部Ｔは、バスケット本体３の端壁５に直方
体状の突出部20を形成し、この突出部20をマークプレー
ト11側より突出した一対の弾性脚片21,21が挟圧するよ
うにしたものである。この場合にも、マークプレート11
の脱落防止には、前記突出部20と弾性脚片21とが凹凸嵌
合させる必要がある。

なお、本考案は、上述した実施例のみでなく、プレート
取付部Ｔは、マークプレート11側とバスケット本体３側
との凹凸関係が逆であってもよく、またこのプレート取
付部Ｔの取付け位置は、端壁５のみでなく側壁４などの
外周壁６であればよいことはいうまでもない。更に、識
別マークＭとしては、バーコードに限らず、その他公知
の識別マークであってもよい。

考案の効果 以上述べたように、本考案によれば、接着剤を使用する
ことなく、耐薬品性を有するフッ素樹脂のみで、しかも
識別マークをフィルムで覆ってマークプレートを構成し
たので、マークプレートが薬品などに侵されず、かつ識
別マークをフィルムで有効に保護して、識別時の精度が
低下することを防止するとともに、薬液中に接着剤等の
不純物が溶け出してこれを汚してしまうことを防止する
ことができる。

また、マークプレートをバスケット本体に着脱自在に取
付けることで、この識別マークを適宜変更して表示で
き、更にこのマークプレートを他のものと変更すること
もできるので、バスケット本体の汎用性が増すことにな
る。

しかも、識別マークをバーコードとすれば、この識別マ
ークを読み取る場合に、高価な設備を必要とすることな
く、簡単に読み取ることができ、製造コストも高いもの
とはならない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案に係るウェハ用バスケットを示す概略
斜視図、第２図は、第１図のII-II線に沿う断面図、第
３図〜第５図は、それぞれ異なる本考案の他の実施例を
示す要部斜視図、第６図は、従来のウェハ用バスケット
を示す概略斜視図である。 ３……バスケット本体、４……側壁、５……端壁、10…
…ウェハ用バスケット、11……マークプレート、12……
基板、13……フィルム、Ｔ……プレート取付部、Ｍ……
識別マーク、Ｗ……シリコンウェハ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】バスケット本体の外周壁に識別マークを有
   するウェハ用バスケットにおいて、前記バスケット本体
   の外周壁にはプレート取付部が形成してあり、このプレ
   ート取付部にマークプレートが着脱自在に取付けられ、
   このマークプレートは、前記識別マークが付された耐薬
   品性を有する四フッ化エチレン樹脂製の基板と、この基
   板の表面にラミネートされ、識別マークを目視できる透
   明性および耐薬品性を有する四フッ化エチレン−パーフ
   ルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂製のフィル
   ムとから成ることを特徴とするウェハ用バスケット。