JPH0328708A - レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法 - Google Patents
レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法Info
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- JPH0328708A JPH0328708A JP16431789A JP16431789A JPH0328708A JP H0328708 A JPH0328708 A JP H0328708A JP 16431789 A JP16431789 A JP 16431789A JP 16431789 A JP16431789 A JP 16431789A JP H0328708 A JPH0328708 A JP H0328708A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ加工物の表面粗さ３１測方法及び表／１
＜方法に関し、特にレーザ加工物の加工面のデタを２次
元の計測データとして記憶するレーザ加工物の表面粗さ
計測方法、及びその計測データを使用して、表面の詳細
を斜視図のように描画するレーザ加」二物の表面粗さ表
示方法に関する。 〔従来の技術〕 レーザカＩＩＩでは固有のビームモードと拡がり大きさ
をイ丁するレーザ゛ヒ゛−ｌ・を、レンズ等｛こよって
集光し、エネルギー密度の究めて高い熱源として使用し
ている。光であるレーザは光学的な焦点位置、焦点深度
を有し、さらに、レーザ加工に使用されるアシストガス
等の影響により、レーザ加工による加丁’−面は−様で
はなく、レーサビーｌ１の照射方向に沿って異なった面
粗さを有する。 第７図はレーザ加工物の加工向の例を表す図である。レ
ーザ加干物３０の加二Ｉ１面３１は上方からレーザビー
ムが照射され、かつ、アシストガスが吹きつけられて、
切断されたものである。上層３２はレーザ光によって溶
融されて切断されており、面粗さは細かい。中層３３は
アシストガスの影響により、ガス切断になり面粗さは中
程度である。 下層３４は上方からの熱、溶融した金属の流れ等によっ
て切断されたものであり、而粗さは粗い。 〔発明が解決しようとする課題〕 このように、レーザ加工物の加工面は−様ではなく、従
来の機械による加工物のような１次元での計測あるいは
表示では、レーザ加工物の加王而の面粗さを正確に３１
測、あるいは表示することはできない。 本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ加工物のような面粗さが一様でない加工面の面粗さ
を的確に計測するレーザ加干物の表面粗さ計測方法を提
供することを目的とする。 また、本発明の他の目的はレーサ加工物の面粗さを的確
に描画できるレーサ加工物の表面
＜方法に関し、特にレーザ加工物の加工面のデタを２次
元の計測データとして記憶するレーザ加工物の表面粗さ
計測方法、及びその計測データを使用して、表面の詳細
を斜視図のように描画するレーザ加」二物の表面粗さ表
示方法に関する。 〔従来の技術〕 レーザカＩＩＩでは固有のビームモードと拡がり大きさ
をイ丁するレーザ゛ヒ゛−ｌ・を、レンズ等｛こよって
集光し、エネルギー密度の究めて高い熱源として使用し
ている。光であるレーザは光学的な焦点位置、焦点深度
を有し、さらに、レーザ加工に使用されるアシストガス
等の影響により、レーザ加工による加丁’−面は−様で
はなく、レーサビーｌ１の照射方向に沿って異なった面
粗さを有する。 第７図はレーザ加工物の加工向の例を表す図である。レ
ーザ加干物３０の加二Ｉ１面３１は上方からレーザビー
ムが照射され、かつ、アシストガスが吹きつけられて、
切断されたものである。上層３２はレーザ光によって溶
融されて切断されており、面粗さは細かい。中層３３は
アシストガスの影響により、ガス切断になり面粗さは中
程度である。 下層３４は上方からの熱、溶融した金属の流れ等によっ
て切断されたものであり、而粗さは粗い。 〔発明が解決しようとする課題〕 このように、レーザ加工物の加工面は−様ではなく、従
来の機械による加工物のような１次元での計測あるいは
表示では、レーザ加工物の加王而の面粗さを正確に３１
測、あるいは表示することはできない。 本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ加工物のような面粗さが一様でない加工面の面粗さ
を的確に計測するレーザ加干物の表面粗さ計測方法を提
供することを目的とする。 また、本発明の他の目的はレーサ加工物の面粗さを的確
に描画できるレーサ加工物の表面
【１１さ表示方法を提
供することである。 （課題を解決するための手段〕 本発明では１゛，記課題を解決するために、レーザ加工
物の表面粗さ計測方法においーＣ、定のピッチ毎に触針
を移動させて、前記レザ加工物の表面粗さを測定し、前
記測定値をディジタル値に変換し、前記レーザ加工物の
加［面に対応する平而４：の而粗さデータを２次元マト
リンクスの３１測データとしてメモリに記憶することを
特徴とするレーザ加＝［物の表面粗さ計測方法が、提供
される。 また、レーザ加工物の表面粗さ表示方法において、一定
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、
前記レーザ加工物の加工面に刻応ずる平面上の面粗さデ
ータを２次元マ｝ ＩＪックスの計測データとしてメモ
リに記憶し、前記マトリンクスの１行毎に横方向に走査
し、縦方向に面粗さを描画（，、前記レーザ加工物の平
面上の表面粗さを描くことを特徴とするレーザ加Ｔ物の
表面粗さ表示方法が、提供される。 〔作用〕 レーザ加工物の加工面の面粗さは一様ではないので、一
定ピッチ毎に一方向に而粗さを測定し、これを加二［面
に対応ずる２次元マトリックスＯＪ ；ｌ−測データと
して記憶する。この計測データは、ほぼ、加工面の面粗
さに対応しており、加工面の状態を的確に表している。 また、このディジタルデータを一定ビッヂ毎に２次元的
に描画すれば、レーザ加工物の表面を拡大した斜視図が
得られ、レーザ加工物の面粗さを的確に表示することが
できる。 〔実施例〕 以下、本発明の−実施例を図面に基ついて説明する。 第２図は本発明を実施するだめのハードウエアの概略の
構或図である。触針式粗さ計１はベース８にコラｌ、２
が直立配置されており、：Ｊラム２には横方向に移動す
るユニット３があり、ユニット３の先端には触針４が設
けられている。ユニット３は内部にバルスモータを内蔵
しており、パーソナルニコンピュータ１０からの指令に
よって触針４を横方向（Ｘ方向．ビー＝ｌ、又はテーブ
ル移動方向）に移動させる。 ベース８にはユニソト７があり、ユニット７は内部にパ
ルスモー夕を内蔵し、指令によって紙面と垂直の方向（
Ｙ方向・ビーｌ・照射方向又は深さ方向）に調整テーブ
ル６を移動させる。調整テブル６の」二にはレーザ加玉
物５が固定されている。 パーソナルコンピュータ１０からの指令はドライブ回路
２１に与えられ、ドライブ回路２１はユニット３内のパ
ルスモー夕を駆動して、ユニット３を横方向（Ｘ方向）
に動かし、触針４をレーザ加工物５の表面を触針しなが
ら移動させる。触針４からの而粗さ信号はアナロク信号
であり、その−ｒナＴフク信号はパーソナルコンピュー
タ１０内の追加ボード１１によって、ディジタル信号に
変換され、ディジタルな計測データとして、ハードディ
スクに格納される。すなわち、一定距離と、それに対応
ずるＺ方向の高さデータとして格納されていく。 横方向（Ｘ方向）の測定すべき範囲の測定力（，ｌわる
と、パーソナルコンピュータ１０はドライブ回路２１に
指令を出し、ユニット７を紙面と垂直方向（Ｙ方向）に
送る。すなわち、レーザ加工物上を触針４が一定ピッチ
分移動する。続いて、同じようにユニット３を横方向（
Ｘ方向）に移動させレーザ加工物４の表面粗さを測定し
、ハードディスクにその計測データを格納し−Ｃいく。 第６図は計測データの例を示す図である。３Ｉ測データ
は図のように、２次元マトリックスの形式で得られる。 これらのマトリックスの行及び列の数値はＹ方向のステ
ップの距離、Ｘ方向のデータの取り込み間隔によって変
化する。しかし、最近のパーソナルコンピュータのハー
ドディスクの容量は大きく、測定間隔あるいは、測定ピ
ッチを細かくしても充分に計測データを格納できる。ま
た、計測データは一区ハードディスクに格納された後に
、フＬ７ツビイディスク２６に出力して、保存していく
こともできる。 格納されたレーザ加工物の計測データは、プロッタイン
タフＪ−ス２２を経由して、プロッタ２３によって、描
画することができる。その詳細は後述する。パーソナル
コンピュータ１０に必要ナデータはキーボード２４ある
いはマウス２５を使用して指定される。また、ハードデ
ィスクに格納された２１棋ｔｌテ゛一夕はフ■】ンピイ
テ′イスク２６に出力して、保存ずることもできる。 さらに、プリンタ２７に計測データをプリントアウトで
きる。１：た、計測データから、中心線平均粗さＲａ、
最大高さＲｍａｘ、１０点平均粗さＲｚ等の面粗さを３
１算して、プリンタ２７にプリントアウトすることもで
きる。 第３図はパーソナルー゛Ｊンピュータに追加すべき追加
ボードのハードウェアの概略を示す図である。 追加ボード１１にはマルチプレクサ１２を介して、而粗
さ計測信号ＺＡとＸ軸方向の移動信号ＸＡが入力される
。この信号はＡＤ変換器１３でディジタル信号に変換さ
れ、εＩ測データとしてバス１６を経由して、プロセッ
ザ１５に読みとられ、図示されていないハードディスク
に格納されていく．，ここで、信号ＺＡはレーザ加工物
の面のｌ１ｒ１凸を示し、信号ＸＡは測定開始からの距
離を表す。従って、信号ＸＡから予め定めた一定距ｆｆ
ｉｌｉを検出し、表面の凹凸を示す信号ＺＡを読み取れ
ば、第６図に示すような２次元マトリックスの面粗さの
訓測データが作成できる。 逆にインタフェース１４からはトレース期間信号Ｔ Ｉ
と測定有効期間信号ＭＡが出力される。ε−の信号によ
って、触針粗さ計１は計測信号を出力する。また、触釧
粗さ計１のユニット３を横方１７Ｉ」（Ｘ方向）に移動
させるための信号Ｘ Ｉ）、ユニント７をＹ方向に所定
のステップ移動させる信号ＹＤがインタフェース１４を
経由して、ドライブ［τ』」路２丁に勾えられる。 第４図はパーソナルコンピュータの人出力信号の例を示
すタイムチャートである。トレース期間９ ■０ 信号ＴＩが出力され、触針粗さ計１はこの信号ＴＩがオ
ンの期間中は測定モードになる。次に横方向（Ｘ方向）
に計測を行う毎に、測定有効期間信ｑＭＡが出され、触
針粗さ計１の測定信号ＺＡはこの期間中有効であり、プ
ロセンサｌ５によって、読み取られる。横方向（Ｘ方向
）の移動量を示す信号ＸＡはディジタル的に読み取られ
、一定距離毎に信号ＺＡが計測データとして読み込んで
いくのに使用する。 第１図は本発明の−実施例の処理の流れを示すフローチ
ャートである。 〔Ｓ１〕触針粗さ計ｌはパーソナルコンピュータ１０か
らの指令によって、横方向（Ｘ方向）に触針４を移動さ
せレーザ加工物の面粗さの計測を行う。 〔Ｓ２〕計測データをディジタル信号に変換し、漢方ｒ
：ｉ］（ｘ方向）に一定量進むごとに読み取り、バーソ
づ−ノレｒｊンヒ゜ユーク１０のハードテ゛イスク１こ
格納していく。 〔Ｓ３〕次に縦方向（Ｙ方向）に一定ステンプ分移動す
る。 〔Ｓ４〕縦方向（Ｙ方向）の範囲が計測範囲か調べ、３
１測範囲であればＳ１に戻り横方向（Ｘ方向）に触針４
を移動させ計測を行う。縦方向（Ｙ方向）が計測範囲を
越えていれば、計測は完了であり、次のスデップに進む
。すなわち、ここで第６図に示すような計測データが得
られ、ハートディスクに格納される。 〔Ｓ５〕描画要求があれば、Ｓ６へいく。 〔Ｓ６〕描画要求に応じて、ハードディスクに格納され
た計測データをブロソタ２３に描画する。 〔Ｓ７〕中心線平均粗さＲａ等の面粗さデータの要求が
あれば、Ｓ８へ進む。 〔Ｓ８〕計測データから面粗さデータを訓算ずる。 〔Ｓ９〕面粗さデータをプリンタ２４にプリントアウト
する。 第５図は面粗さをプロックに描画した例を示す図である
。この例では、厚さ２．３ｍｍの鉄板をレーザ切断し、
横方向（Ｘ方向）に２ ． ５ ｍ ｍ （７）長さ
分描画したものであり、ピッチの間隔は０１２ ０２ｍｍである。ここでは、第６図に示すような計測デ
ータの第１列のデータを横方向（Ｘ方向）に描画し、さ
らに次に縦方向（Ｙ方向）に一定ピッチ移動して、次の
第２列のデータを猫画して行けば、第５図の陽画が得ら
れる。この図は実際は２次元表示の集合であるが、３次
元的な斜視図として認識することができ、レーザ加工物
の面粗さが切断面の上層、中層、下層で変化しているこ
とが的確に分かる。すなわち、第５図は加工面を拡大表
示した斜視図と等価でもあり、レーザ加工機の加工条件
等を決定するのに有用である。 また、描画に際して、縦方向（Ｙ方向）に移動して次の
行を痛画するときに、描画の開始点を少しづつずらして
いくと、猫画は立体斜視図のようになって、まり面粗さ
の凹凸が明確になる場合がある。 さらに、プロツタではなく、パーソナルコンピュータ１
０の表示画面１７にこの猫画を表示することもできる。 これはハードディスク内の計測デタを画像信号に変換す
ればよく、通常のバーソナルコンピュータのソフトウェ
アで簡単に行うことができる。 」二記の説明では、制御装置としてパーソナルコンピュ
ータを使用したが、ワークステーションあるいはＰＣ（
プログラマブル・コント「７−ラ）等を使用することも
できる。 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明では、レーザ加工物の而粗さ
データを計測して、２次元のマトリックスの馴測データ
として、格納するようにしたので、より的確な面粗さデ
ータが得られる。 また、その言１測データから立体的な面の状態を描画す
るようにしたので、レーザ加工物の加工面の状態を的確
に認識でき、加工条件等を決定する上での有力な判断材
料となる。
供することである。 （課題を解決するための手段〕 本発明では１゛，記課題を解決するために、レーザ加工
物の表面粗さ計測方法においーＣ、定のピッチ毎に触針
を移動させて、前記レザ加工物の表面粗さを測定し、前
記測定値をディジタル値に変換し、前記レーザ加工物の
加［面に対応する平而４：の而粗さデータを２次元マト
リンクスの３１測データとしてメモリに記憶することを
特徴とするレーザ加＝［物の表面粗さ計測方法が、提供
される。 また、レーザ加工物の表面粗さ表示方法において、一定
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、
前記レーザ加工物の加工面に刻応ずる平面上の面粗さデ
ータを２次元マ｝ ＩＪックスの計測データとしてメモ
リに記憶し、前記マトリンクスの１行毎に横方向に走査
し、縦方向に面粗さを描画（，、前記レーザ加工物の平
面上の表面粗さを描くことを特徴とするレーザ加Ｔ物の
表面粗さ表示方法が、提供される。 〔作用〕 レーザ加工物の加工面の面粗さは一様ではないので、一
定ピッチ毎に一方向に而粗さを測定し、これを加二［面
に対応ずる２次元マトリックスＯＪ ；ｌ−測データと
して記憶する。この計測データは、ほぼ、加工面の面粗
さに対応しており、加工面の状態を的確に表している。 また、このディジタルデータを一定ビッヂ毎に２次元的
に描画すれば、レーザ加工物の表面を拡大した斜視図が
得られ、レーザ加工物の面粗さを的確に表示することが
できる。 〔実施例〕 以下、本発明の−実施例を図面に基ついて説明する。 第２図は本発明を実施するだめのハードウエアの概略の
構或図である。触針式粗さ計１はベース８にコラｌ、２
が直立配置されており、：Ｊラム２には横方向に移動す
るユニット３があり、ユニット３の先端には触針４が設
けられている。ユニット３は内部にバルスモータを内蔵
しており、パーソナルニコンピュータ１０からの指令に
よって触針４を横方向（Ｘ方向．ビー＝ｌ、又はテーブ
ル移動方向）に移動させる。 ベース８にはユニソト７があり、ユニット７は内部にパ
ルスモー夕を内蔵し、指令によって紙面と垂直の方向（
Ｙ方向・ビーｌ・照射方向又は深さ方向）に調整テーブ
ル６を移動させる。調整テブル６の」二にはレーザ加玉
物５が固定されている。 パーソナルコンピュータ１０からの指令はドライブ回路
２１に与えられ、ドライブ回路２１はユニット３内のパ
ルスモー夕を駆動して、ユニット３を横方向（Ｘ方向）
に動かし、触針４をレーザ加工物５の表面を触針しなが
ら移動させる。触針４からの而粗さ信号はアナロク信号
であり、その−ｒナＴフク信号はパーソナルコンピュー
タ１０内の追加ボード１１によって、ディジタル信号に
変換され、ディジタルな計測データとして、ハードディ
スクに格納される。すなわち、一定距離と、それに対応
ずるＺ方向の高さデータとして格納されていく。 横方向（Ｘ方向）の測定すべき範囲の測定力（，ｌわる
と、パーソナルコンピュータ１０はドライブ回路２１に
指令を出し、ユニット７を紙面と垂直方向（Ｙ方向）に
送る。すなわち、レーザ加工物上を触針４が一定ピッチ
分移動する。続いて、同じようにユニット３を横方向（
Ｘ方向）に移動させレーザ加工物４の表面粗さを測定し
、ハードディスクにその計測データを格納し−Ｃいく。 第６図は計測データの例を示す図である。３Ｉ測データ
は図のように、２次元マトリックスの形式で得られる。 これらのマトリックスの行及び列の数値はＹ方向のステ
ップの距離、Ｘ方向のデータの取り込み間隔によって変
化する。しかし、最近のパーソナルコンピュータのハー
ドディスクの容量は大きく、測定間隔あるいは、測定ピ
ッチを細かくしても充分に計測データを格納できる。ま
た、計測データは一区ハードディスクに格納された後に
、フＬ７ツビイディスク２６に出力して、保存していく
こともできる。 格納されたレーザ加工物の計測データは、プロッタイン
タフＪ−ス２２を経由して、プロッタ２３によって、描
画することができる。その詳細は後述する。パーソナル
コンピュータ１０に必要ナデータはキーボード２４ある
いはマウス２５を使用して指定される。また、ハードデ
ィスクに格納された２１棋ｔｌテ゛一夕はフ■】ンピイ
テ′イスク２６に出力して、保存ずることもできる。 さらに、プリンタ２７に計測データをプリントアウトで
きる。１：た、計測データから、中心線平均粗さＲａ、
最大高さＲｍａｘ、１０点平均粗さＲｚ等の面粗さを３
１算して、プリンタ２７にプリントアウトすることもで
きる。 第３図はパーソナルー゛Ｊンピュータに追加すべき追加
ボードのハードウェアの概略を示す図である。 追加ボード１１にはマルチプレクサ１２を介して、而粗
さ計測信号ＺＡとＸ軸方向の移動信号ＸＡが入力される
。この信号はＡＤ変換器１３でディジタル信号に変換さ
れ、εＩ測データとしてバス１６を経由して、プロセッ
ザ１５に読みとられ、図示されていないハードディスク
に格納されていく．，ここで、信号ＺＡはレーザ加工物
の面のｌ１ｒ１凸を示し、信号ＸＡは測定開始からの距
離を表す。従って、信号ＸＡから予め定めた一定距ｆｆ
ｉｌｉを検出し、表面の凹凸を示す信号ＺＡを読み取れ
ば、第６図に示すような２次元マトリックスの面粗さの
訓測データが作成できる。 逆にインタフェース１４からはトレース期間信号Ｔ Ｉ
と測定有効期間信号ＭＡが出力される。ε−の信号によ
って、触針粗さ計１は計測信号を出力する。また、触釧
粗さ計１のユニット３を横方１７Ｉ」（Ｘ方向）に移動
させるための信号Ｘ Ｉ）、ユニント７をＹ方向に所定
のステップ移動させる信号ＹＤがインタフェース１４を
経由して、ドライブ［τ』」路２丁に勾えられる。 第４図はパーソナルコンピュータの人出力信号の例を示
すタイムチャートである。トレース期間９ ■０ 信号ＴＩが出力され、触針粗さ計１はこの信号ＴＩがオ
ンの期間中は測定モードになる。次に横方向（Ｘ方向）
に計測を行う毎に、測定有効期間信ｑＭＡが出され、触
針粗さ計１の測定信号ＺＡはこの期間中有効であり、プ
ロセンサｌ５によって、読み取られる。横方向（Ｘ方向
）の移動量を示す信号ＸＡはディジタル的に読み取られ
、一定距離毎に信号ＺＡが計測データとして読み込んで
いくのに使用する。 第１図は本発明の−実施例の処理の流れを示すフローチ
ャートである。 〔Ｓ１〕触針粗さ計ｌはパーソナルコンピュータ１０か
らの指令によって、横方向（Ｘ方向）に触針４を移動さ
せレーザ加工物の面粗さの計測を行う。 〔Ｓ２〕計測データをディジタル信号に変換し、漢方ｒ
：ｉ］（ｘ方向）に一定量進むごとに読み取り、バーソ
づ−ノレｒｊンヒ゜ユーク１０のハードテ゛イスク１こ
格納していく。 〔Ｓ３〕次に縦方向（Ｙ方向）に一定ステンプ分移動す
る。 〔Ｓ４〕縦方向（Ｙ方向）の範囲が計測範囲か調べ、３
１測範囲であればＳ１に戻り横方向（Ｘ方向）に触針４
を移動させ計測を行う。縦方向（Ｙ方向）が計測範囲を
越えていれば、計測は完了であり、次のスデップに進む
。すなわち、ここで第６図に示すような計測データが得
られ、ハートディスクに格納される。 〔Ｓ５〕描画要求があれば、Ｓ６へいく。 〔Ｓ６〕描画要求に応じて、ハードディスクに格納され
た計測データをブロソタ２３に描画する。 〔Ｓ７〕中心線平均粗さＲａ等の面粗さデータの要求が
あれば、Ｓ８へ進む。 〔Ｓ８〕計測データから面粗さデータを訓算ずる。 〔Ｓ９〕面粗さデータをプリンタ２４にプリントアウト
する。 第５図は面粗さをプロックに描画した例を示す図である
。この例では、厚さ２．３ｍｍの鉄板をレーザ切断し、
横方向（Ｘ方向）に２ ． ５ ｍ ｍ （７）長さ
分描画したものであり、ピッチの間隔は０１２ ０２ｍｍである。ここでは、第６図に示すような計測デ
ータの第１列のデータを横方向（Ｘ方向）に描画し、さ
らに次に縦方向（Ｙ方向）に一定ピッチ移動して、次の
第２列のデータを猫画して行けば、第５図の陽画が得ら
れる。この図は実際は２次元表示の集合であるが、３次
元的な斜視図として認識することができ、レーザ加工物
の面粗さが切断面の上層、中層、下層で変化しているこ
とが的確に分かる。すなわち、第５図は加工面を拡大表
示した斜視図と等価でもあり、レーザ加工機の加工条件
等を決定するのに有用である。 また、描画に際して、縦方向（Ｙ方向）に移動して次の
行を痛画するときに、描画の開始点を少しづつずらして
いくと、猫画は立体斜視図のようになって、まり面粗さ
の凹凸が明確になる場合がある。 さらに、プロツタではなく、パーソナルコンピュータ１
０の表示画面１７にこの猫画を表示することもできる。 これはハードディスク内の計測デタを画像信号に変換す
ればよく、通常のバーソナルコンピュータのソフトウェ
アで簡単に行うことができる。 」二記の説明では、制御装置としてパーソナルコンピュ
ータを使用したが、ワークステーションあるいはＰＣ（
プログラマブル・コント「７−ラ）等を使用することも
できる。 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明では、レーザ加工物の而粗さ
データを計測して、２次元のマトリックスの馴測データ
として、格納するようにしたので、より的確な面粗さデ
ータが得られる。 また、その言１測データから立体的な面の状態を描画す
るようにしたので、レーザ加工物の加工面の状態を的確
に認識でき、加工条件等を決定する上での有力な判断材
料となる。
第１図は本発明の一実施例の処理の流れを示すフローチ
ャート、 １３ １４ 第２図は本発明を実施するためのハードウエアの概略の
構或図、 第：３図はパーソナルコンピュータに追加すべきボ−ド
のハードウェアの概略を示す図、第４図はパーソナルコ
ンピュータの人出力信号のタイｌ・チャート・ 第５図は面粗さをプロソタに描画した例を示す図、 第６図は田測データの例を示す図、 第７図はレーザ加工物の加工面の例を表す図である。 触針粗さ計 触針 レーザ加工物 パーソナルコンピュータ 追加ボード ドライブ回路 プロッタインタフェース プ口ンタ １ ５ プリンタ
ャート、 １３ １４ 第２図は本発明を実施するためのハードウエアの概略の
構或図、 第：３図はパーソナルコンピュータに追加すべきボ−ド
のハードウェアの概略を示す図、第４図はパーソナルコ
ンピュータの人出力信号のタイｌ・チャート・ 第５図は面粗さをプロソタに描画した例を示す図、 第６図は田測データの例を示す図、 第７図はレーザ加工物の加工面の例を表す図である。 触針粗さ計 触針 レーザ加工物 パーソナルコンピュータ 追加ボード ドライブ回路 プロッタインタフェース プ口ンタ １ ５ プリンタ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）レーザ加工物の表面粗さ計測方法において、一定
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、 前記レーザ加工物の加工面に対応する平面上の面粗さデ
ータを２次元マトリックスの計測データとしてメモリに
記憶することを特徴とするレーザ加工物の表面粗さ計測
方法。 （２）前記計測データから、表面粗さデータを算出する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ加
工物の表面粗さ計測方法。 （３）レーザ加工物の表面粗さ表示方法において、一定
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、 前記レーザ加工物の加工面に対応する平面上の面粗さデ
ータを２次元マトリックスの計測データとしてメモリに
記憶し、 前記マトリックスの１行毎に横方向に走査し、縦方向に
面粗さを描画し、 前記レーザ加工物の表面粗さを描くことを特徴とするレ
ーザ加工物の表面粗さ表示方法。（４）前記マトリック
スの行に相当する描画を行うときに、描画開始位置を一
定距離変化させて描画することを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載のレーザ加工物の表面粗さ表示方法。 （５）前記描画はプロッタを使用して描画することを特
徴とする特許請求の範囲第３項又は第４項記載のレーザ
加工物の表面粗さ表示方法。 （６）前記描画はパーソナルコンピュータの表示画面に
描画することを特徴とする特許請求の範囲第３項または
第４項記載のレーザ加工物の表面粗さ表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16431789A JPH0328708A (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16431789A JPH0328708A (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328708A true JPH0328708A (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=15790854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16431789A Pending JPH0328708A (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328708A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0571952A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定装置 |
| JPH0587561A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定装置 |
| CN104834806A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | 结构面粗糙度系数尺寸效应取样代表性评价方法 |
| CN104833333A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | 结构面粗糙度系数尺寸效应试样表征单元确定方法 |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP16431789A patent/JPH0328708A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0571952A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定装置 |
| JPH0587561A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定装置 |
| CN104834806A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | 结构面粗糙度系数尺寸效应取样代表性评价方法 |
| CN104833333A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | 结构面粗糙度系数尺寸效应试样表征单元确定方法 |
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